本發(fā)明涉及顯示制程領(lǐng)域，尤其涉及一種基板清洗設(shè)備。

背景技術(shù)：

隨著顯示技術(shù)的發(fā)展，液晶顯示器(liquidcrystaldisplay，lcd)等平面顯示裝置因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、個(gè)人數(shù)字助理、數(shù)字相機(jī)、筆記本電腦、臺(tái)式計(jì)算機(jī)等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

通常液晶顯示面板由彩膜基板(colorfilter，cf)、薄膜晶體管基板(thinfilmtransistor，tft)、夾于彩膜基板與薄膜晶體管基板之間的液晶(lc，liquidcrystal)及密封膠框(sealant)組成，其成型工藝一般包括：前段陣列(array)制程(薄膜、黃光、蝕刻及剝膜)、中段成盒(cell)制程(tft基板與cf基板貼合)及后段模組組裝制程(驅(qū)動(dòng)ic與印刷電路板壓合)。其中，前段array制程主要是形成tft基板，以便于控制液晶分子的運(yùn)動(dòng)；中段cell制程主要是在tft基板與cf基板之間添加液晶；后段模組組裝制程主要是驅(qū)動(dòng)ic壓合與印刷電路板的整合，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)液晶分子轉(zhuǎn)動(dòng)，顯示圖像。

在液晶顯示面板制造過程中，濕制程機(jī)臺(tái)應(yīng)用十分廣泛，涉及蝕刻、涂布顯影、清洗等眾多工藝，在清洗制程中，由于基板上部分顆粒(particle)尺寸過大或者在基板上粘附過緊，需要使用滾刷(rollbrush)對(duì)基板進(jìn)行清洗。如圖1所示，現(xiàn)有的一種基板清洗設(shè)備包括：承載桿100、設(shè)于承載桿100外表面上的毛刷300、與承載桿100一端連接的驅(qū)動(dòng)裝置200、設(shè)于承載桿100上且將承載桿100固定于濕制程機(jī)臺(tái)上的軸承400，對(duì)基板進(jìn)行清洗時(shí)，向基板表面提供清洗液體，并通過驅(qū)動(dòng)裝置200帶動(dòng)承載桿100及其上的毛刷300轉(zhuǎn)動(dòng)清洗基板表面，但是在實(shí)際生產(chǎn)過程中，由于清洗液體在毛刷300上的沖洗并不均勻，將會(huì)導(dǎo)致一些顆粒長(zhǎng)期藏于毛刷300里面，進(jìn)而毛刷300在對(duì)基板進(jìn)行清洗時(shí)將顆粒帶到基板上，甚至刮傷基板。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種基板清洗設(shè)備，能夠均勻地潤(rùn)濕毛刷且有效地清洗毛刷中的顆粒，避免在清洗基板時(shí)將毛刷中的顆粒帶到基板上及出現(xiàn)顆粒刮傷基板的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基板清洗設(shè)備，包括：中空的承載桿、設(shè)于承載桿外表面上的毛刷、與承載桿一端連接的驅(qū)動(dòng)裝置、及與承載桿另一端旋轉(zhuǎn)連接的進(jìn)液管；所述承載桿上設(shè)有多個(gè)出水口；

所述進(jìn)液管用于向承載桿內(nèi)部通入清洗液體；

所述出水口用于將承載桿內(nèi)的清洗液體從承載桿內(nèi)部噴出至承載桿外部，從而潤(rùn)濕毛刷并對(duì)毛刷進(jìn)行清洗。

所述基板清洗設(shè)備還包括設(shè)于承載桿上的軸承。

所述承載桿的材料為金屬或塑料。

所述承載桿的材料為304不銹鋼、316不銹鋼、聚丙烯、超高分子聚乙烯、或聚氯乙烯。

所述驅(qū)動(dòng)裝置為電動(dòng)機(jī)。

所述毛刷通過粘貼的方式設(shè)于承載桿的外表面。

所述清洗液體為去離子水、超純水、洗滌劑、或三羥甲基氨基甲烷。

可選地，所述出水口為線狀出水口。

所述線狀出水口的形狀為環(huán)狀、波浪狀、鋸齒狀、或斜線狀。

所述線狀出水口的寬度為0.01mm-15mm。

可選地，所述出水口為孔狀出水口。

所述孔狀出水口的孔徑為0.01mm-15mm。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明的基板清洗設(shè)備，包括中空的承載桿、設(shè)于承載桿外表面上的毛刷、與承載桿一端連接的驅(qū)動(dòng)裝置、及與承載桿另一端旋轉(zhuǎn)連接的進(jìn)液管，所述承載桿上設(shè)有多個(gè)出水口，通過進(jìn)液管向承載桿內(nèi)部通入清洗液體，承載桿內(nèi)部的清洗液體從多個(gè)出水口噴出至承載桿外部，從而均勻地潤(rùn)濕毛刷且對(duì)毛刷進(jìn)行有效的清洗，去除毛刷內(nèi)部殘存的顆粒，避免在清洗基板時(shí)將毛刷內(nèi)部的顆粒帶到基板上及出現(xiàn)顆粒刮傷基板的問題，提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)品品質(zhì)。

附圖說明

為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說明與附圖，然而附圖僅提供參考與說明用，并非用來對(duì)本發(fā)明加以限制。

附圖中，

圖1為現(xiàn)有的基板清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的基板清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的基板清洗設(shè)備的承載桿的第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本發(fā)明的基板清洗設(shè)備的承載桿的第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明的基板清洗設(shè)備對(duì)基板進(jìn)行清洗的示意圖。

具體實(shí)施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。

請(qǐng)參閱圖2，本發(fā)明提供一種基板清洗設(shè)備，包括：中空的承載桿10、設(shè)于承載桿10外表面上的毛刷40、與承載桿10一端連接的驅(qū)動(dòng)裝置20、及與承載桿10另一端旋轉(zhuǎn)連接的進(jìn)液管30；請(qǐng)參閱圖3或圖4，所述承載桿10上設(shè)有多個(gè)出水口11；

所述進(jìn)液管30用于向承載桿10內(nèi)部通入清洗液體；

所述出水口11用于將承載桿10內(nèi)的清洗液體從承載桿10內(nèi)部噴出至承載桿10外部，從而潤(rùn)濕毛刷40并對(duì)毛刷40進(jìn)行清洗。

需要說明的是，上述基板清洗設(shè)備，用于濕制程機(jī)臺(tái)中對(duì)基板的清洗，工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)裝置20驅(qū)動(dòng)承載桿10旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)其外表面的毛刷40進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)液管30向承載桿10內(nèi)部通入清洗液體，清洗液體會(huì)從承載桿10上的出水口11噴出至承載桿10外部，而由于毛刷40是設(shè)置在承載桿10外表面上的，出水口11噴出的清洗液體會(huì)從毛刷40與承載桿10接觸的部分流至毛刷40端部，使毛刷40充分且均勻的濕潤(rùn)，能夠有效地對(duì)毛刷40進(jìn)行清洗，持續(xù)置換毛刷40內(nèi)部殘存的顆粒，避免在清洗基板時(shí)將毛刷40內(nèi)部的顆粒帶到基板上及出現(xiàn)顆粒刮傷基板的問題，提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)品品質(zhì)，同時(shí)，由于出水口11噴出清洗液潤(rùn)濕毛刷40，因而在對(duì)基板進(jìn)行清洗時(shí)，無需另外設(shè)置提供清洗液體的裝置，降低了用于對(duì)基板進(jìn)行清洗的裝置的復(fù)雜程度，有利于提升基板清洗的效率。

優(yōu)選地，請(qǐng)參閱圖5，為達(dá)到更好的清洗效果，本發(fā)明的基板清洗設(shè)備同時(shí)具有四個(gè)承載桿10，每一承載桿10的外表面均設(shè)有毛刷40，其中兩個(gè)承載桿10及對(duì)應(yīng)的毛刷40位于待清洗的基板60的上方，另兩個(gè)承載桿10及對(duì)應(yīng)的毛刷40位于待清洗的基板60的下方，相應(yīng)地，對(duì)應(yīng)每一承載桿10設(shè)有進(jìn)液管30及驅(qū)動(dòng)裝置20，清洗時(shí)，位于待清洗的基板60同一側(cè)的兩個(gè)承載桿10受對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)裝置20驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)，且旋轉(zhuǎn)方向相反，從而利用四個(gè)承載桿10上的毛刷40對(duì)待清洗的基板60兩側(cè)進(jìn)行對(duì)刷。

具體地，所述基板清洗設(shè)備還包括設(shè)于承載桿10上的軸承50，所述軸承50用于將承載桿10固定在濕制程機(jī)臺(tái)上。具體地，所述軸承50的數(shù)量為兩個(gè)，分別設(shè)于承載桿10兩端。

具體地，所述毛刷40通過粘貼的方式設(shè)于承載桿10的外表面。

具體地，所述承載桿10的材料為金屬或塑料。

進(jìn)一步地，當(dāng)所述承載桿10的材料為金屬時(shí)，優(yōu)選304不銹鋼、316不銹鋼，當(dāng)所述承載桿10的材料為塑料時(shí)，優(yōu)選聚丙烯(pp)、超高分子聚乙烯(upe)、聚氯乙烯(pve)。

具體地，所述驅(qū)動(dòng)裝置20為電動(dòng)機(jī)。

具體地，所述清洗液體為去離子水(deionizedwater，diw)、超純水(ultra-purewater，upw)、洗滌劑(detergent)、或三羥甲基氨基甲烷(tham)。

優(yōu)選地，所述出水口11均勻的設(shè)于所述承載桿10上。

具體地，所述出水口11的形狀及尺寸、以及出水口11的側(cè)壁與承載桿10外表面的角度可根據(jù)出水量及出水方向的實(shí)際需求進(jìn)行具體的設(shè)置。

具體地，請(qǐng)參閱圖3，在本發(fā)明的第一實(shí)施例中，所述出水口11為線狀出水口，所述線狀出水口的形狀可以但不限于為環(huán)狀、波浪狀、鋸齒狀、或斜線狀。

進(jìn)一步地，所述線狀出水口的寬度為0.01mm-15mm。

具體地，請(qǐng)參閱圖4，在本發(fā)明的第二實(shí)施例中，所述出水口11為孔狀出水口，所述孔狀出水口的形狀可以但不限于為圓形、矩形、三角形、五角形。

進(jìn)一步地，所述孔狀出水口的孔徑為0.01mm-15mm。

當(dāng)然，所述出水口11也可根據(jù)實(shí)際的應(yīng)用環(huán)境設(shè)計(jì)為在承載桿10上呈發(fā)散狀排列，這都不會(huì)影響本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)。

綜上所述，本發(fā)明的基板清洗設(shè)備，包括中空的承載桿、設(shè)于承載桿外表面上的毛刷、與承載桿一端連接的驅(qū)動(dòng)裝置、及與承載桿另一端旋轉(zhuǎn)連接的進(jìn)液管，所述承載桿上設(shè)有多個(gè)出水口，通過進(jìn)液管向承載桿內(nèi)部通入清洗液體，承載桿內(nèi)部的清洗液體從多個(gè)出水口噴出至承載桿外部，從而均勻地潤(rùn)濕毛刷且對(duì)毛刷進(jìn)行有效的清洗，去除毛刷內(nèi)部殘存的顆粒，避免在清洗基板時(shí)將毛刷內(nèi)部的顆粒帶到基板上及出現(xiàn)顆粒刮傷基板的問題，提高產(chǎn)品良率及產(chǎn)品品質(zhì)。

以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明后附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。