一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)，該真空反應(yīng)腔包括反應(yīng)腔體、承載基板、以及觀測窗；該觀測窗包括用于觀測操作的透明觀測玻璃以及用于擴(kuò)大透明觀測玻璃的觀測視角的視角擴(kuò)大部件。本發(fā)明還提供一種真空機(jī)臺(tái)，本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)易于觀測操作，從而提高了生產(chǎn)效率，避免的產(chǎn)能浪費(fèi)。
【專利說明】一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)。

【背景技術(shù)】
[0002]目前的液晶顯示面板的陣列基板的制造過程中，主要會(huì)用到三種真空機(jī)臺(tái)，如成膜部分的 PVD(Physical Vapor Deposit1n,物理氣相沉積)、CVD(Chemical VaporDeposit1n,化學(xué)氣相沉積)，刻蝕部分的干法刻蝕設(shè)備(Dry Etch)。
[0003]受成膜條件的影響，上述真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔通常會(huì)維持在高溫及高真空狀態(tài)；如生產(chǎn)過程中真空機(jī)臺(tái)出現(xiàn)異常，需要工作人員觀測真空反應(yīng)腔內(nèi)的腔體情況及腔體內(nèi)的基板情況時(shí)，工作人員要對真空機(jī)臺(tái)進(jìn)行停機(jī)降溫操作，然后打開真空反應(yīng)腔的腔體才能進(jìn)行觀測操作。這個(gè)過程耗時(shí)較長，且觀測完畢后還需要進(jìn)行升溫抽真空等一系列復(fù)機(jī)動(dòng)作，從而影響生產(chǎn)效率，造成不必要的產(chǎn)能浪費(fèi)。
[0004]故，有必要提供一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)，以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種易于觀測操作的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)；以解決現(xiàn)有的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)效率低下且產(chǎn)能浪費(fèi)比較嚴(yán)重的技術(shù)問題。
[0006]為解決上述問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例提供一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其包括:
[0008]反應(yīng)腔體，包括由四側(cè)壁、一頂壁以及一底壁構(gòu)成的一容納空間；
[0009]承載基板，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述底壁的中部，用于承載待處理基板；以及
[0010]觀測窗，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上，用于觀測所述反應(yīng)腔體內(nèi)的所述容納空間；
[0011]其中所述觀測窗包括用于觀測操作的透明觀測玻璃，以及用于擴(kuò)大所述透明觀測玻璃的觀測視角的視角擴(kuò)大部件。
[0012]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔中，所述真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗和第二觀測窗，所述第一觀測窗和所述第二觀測窗分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的相對的兩個(gè)側(cè)壁上。
[0013]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔中，所述真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗、第二觀測窗以及第三觀測窗，所述第一觀測窗、所述第二觀測窗以及所述第三觀測窗分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的三個(gè)側(cè)壁上。
[0014]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔中，所述視角擴(kuò)大部件包括第一凸透鏡以及第二凸透鏡，所述第一凸透鏡和第二凸透鏡的主光軸重合，第一凸透鏡的右焦點(diǎn)和第二凸透鏡的左焦點(diǎn)重合。
[0015]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔中，所述視角擴(kuò)大部件可相對所述透明觀測玻璃前后移動(dòng)。
[0016]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔中，所述視角擴(kuò)大部件可拆卸的設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上。
[0017]本發(fā)明實(shí)施例還提供一種真空機(jī)臺(tái)，其包括真空反應(yīng)腔以及反應(yīng)操作裝置；其中所述真空反應(yīng)腔包括:
[0018]反應(yīng)腔體，包括由四側(cè)壁、一頂壁以及一底壁構(gòu)成的一容納空間；
[0019]承載基板，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述底壁的中部，用于承載待處理基板；以及
[0020]觀測窗，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上，用于觀測所述反應(yīng)腔體內(nèi)的所述容納空間；
[0021]其中所述觀測窗包括用于觀測操作的透明觀測玻璃，以及用于擴(kuò)大所述透明觀測玻璃的觀測視角的視角擴(kuò)大部件。
[0022]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)中，所述真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗、第二觀測窗以及第三觀測窗，所述第一觀測窗、所述第二觀測窗以及所述第三觀測窗分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的三個(gè)側(cè)壁上。
[0023]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)中，所述視角擴(kuò)大部件包括第一凸透鏡以及第二凸透鏡，所述第一凸透鏡和第二凸透鏡的主光軸重合，第一凸透鏡的右焦點(diǎn)和第二凸透鏡的左焦點(diǎn)重合。
[0024]在本發(fā)明所述的真空機(jī)臺(tái)中，所述視角擴(kuò)大部件可拆卸的設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上；所述視角擴(kuò)大部件可相對所述透明觀測玻璃前后移動(dòng)。
[0025]相較于現(xiàn)有的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)，本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)通過在反應(yīng)腔體的側(cè)壁上設(shè)置具有視角擴(kuò)大部件的觀測窗，便于對真空反應(yīng)腔進(jìn)行觀測操作，提高了真空機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)效率，避免了真空機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能浪費(fèi)；解決了現(xiàn)有的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)效率低下且產(chǎn)能浪費(fèi)比較嚴(yán)重的技術(shù)問題。
[0026]為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下:

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔的優(yōu)選實(shí)施例的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為沿圖1的A-A’截面線的截面圖；
[0029]圖3為本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔的優(yōu)選實(shí)施例的觀測窗的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0030]以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。
[0031]在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。
[0032]請參照圖1和圖2，圖1為本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔的優(yōu)選實(shí)施例的俯視結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為沿圖1的A-A’截面線的截面圖。本優(yōu)選實(shí)施例的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔10包括反應(yīng)腔體11、承載基板12以及觀測窗。反應(yīng)腔體11包括由四側(cè)壁111、一頂壁112以及一底壁113構(gòu)成的一容納空間114 ;承載基板12設(shè)置在反應(yīng)腔體11的底壁113的中部，用于承載待處理基板；觀測窗設(shè)置在反應(yīng)腔體11的側(cè)壁111上，用于觀測反應(yīng)腔體11內(nèi)的容納空間114中的情況，如待處理基板上的真空處理情況等。
[0033]在本優(yōu)選實(shí)施例中，該真空反應(yīng)腔10包括一個(gè)第一觀測窗131、一個(gè)第二觀測窗132以及兩個(gè)第三觀測窗133，其中第一觀測窗131設(shè)置在反應(yīng)腔體11的左側(cè)壁上，第二觀測窗132設(shè)置在反應(yīng)腔體11的右側(cè)壁上，第三觀測窗133設(shè)置在反應(yīng)腔體11的前側(cè)壁上。真空機(jī)臺(tái)的反應(yīng)操作裝置一般設(shè)置在反應(yīng)腔體11的后側(cè)壁上。這樣操作人員可以多視角、多位置的對承載基板12上的待處理基板以及容納空間114的其他位置進(jìn)行觀測操作，并且也可多個(gè)操作人員同時(shí)通過不同的觀測窗進(jìn)行觀測操作，以及時(shí)發(fā)現(xiàn)反應(yīng)腔體11的容納空間114內(nèi)的所有操作問題；并充分利用的反應(yīng)腔體11外部的所有可利用空間。
[0034]當(dāng)然這里也可在真空反應(yīng)腔10上僅設(shè)置第一觀測窗131以及第二觀測窗132，第一觀測窗131和第二觀測窗132分別設(shè)置在反應(yīng)腔體11的相對的兩個(gè)側(cè)壁上，通過第一觀測窗131和第二觀測窗132即可對容納空間114進(jìn)行無死角觀測。
[0035]在本優(yōu)選實(shí)施例的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔10內(nèi)，每個(gè)觀測窗(如第一觀測窗131以及第二觀測窗132等)包括透明觀測玻璃134以及視角擴(kuò)大部件135。透明觀測玻璃134用于操作人員進(jìn)行觀測操作，視角擴(kuò)大部件135用于擴(kuò)大透明觀測玻璃134的觀測視角。如圖3所示，圖3為本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔的優(yōu)選實(shí)施例的觀測窗的結(jié)構(gòu)示意圖。本優(yōu)選實(shí)施例的視角擴(kuò)大部件135包括第一凸透鏡1351和第二凸透鏡1352，第一凸透鏡1351和第二凸透鏡1352的主光軸重合于線C,第一凸透鏡1351的右焦點(diǎn)和第二凸透鏡1352的左焦點(diǎn)重合于B點(diǎn)。
[0036]通過上述的視角擴(kuò)大部件135中的第一凸透鏡1351和第二凸透鏡1352的組合可有效的擴(kuò)大每個(gè)觀測窗的觀測視角，使得觀測操作更為清晰。
[0037]優(yōu)選的，本優(yōu)選實(shí)施例的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔10的觀測窗的視角擴(kuò)大部件135可相對觀測窗的透明觀測玻璃134前后移動(dòng)，這樣可進(jìn)一步對觀測窗的觀測范圍進(jìn)行調(diào)整，避免觀測死角的產(chǎn)生。
[0038]優(yōu)選的，本優(yōu)選實(shí)施例的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔10的觀測窗的視角擴(kuò)大部件135可拆卸的設(shè)置在反應(yīng)腔體11的側(cè)壁111上，以節(jié)約真空機(jī)臺(tái)以及反應(yīng)腔體11的制作成本。
[0039]因此本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔通過在反應(yīng)腔體的側(cè)壁上設(shè)置具有視角擴(kuò)大部件的觀測窗，便于對真空反應(yīng)腔進(jìn)行觀測操作，提高了真空機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)效率，避免了真空機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能浪費(fèi)。
[0040]本發(fā)明還提供一種真空機(jī)臺(tái)，該真空機(jī)臺(tái)包括真空反應(yīng)腔以及反應(yīng)操作裝置，該反應(yīng)操作裝置用于開啟或關(guān)閉真空反應(yīng)腔，以及對真空反應(yīng)腔進(jìn)行通氣操作、抽真空操作等反應(yīng)操作。
[0041]該真空反應(yīng)腔包括由四側(cè)壁、一頂壁以及一底壁構(gòu)成的一容納空間；承載基板設(shè)置在反應(yīng)腔體的底壁的中部，用于承載待處理基板；觀測窗分別設(shè)置在反應(yīng)腔體的側(cè)壁上，用于觀測反應(yīng)腔體內(nèi)的容納空間；其中觀測窗包括用于觀測操作的透明觀測玻璃，以及用于擴(kuò)大透明觀測玻璃的觀測視角的視角擴(kuò)大部件。
[0042]優(yōu)選的，真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗、第二觀測窗以及第三觀測窗，第一觀測窗、第二觀測窗以及第三觀測窗分別設(shè)置在反應(yīng)腔體的三個(gè)側(cè)壁上。
[0043]優(yōu)選的，視角擴(kuò)大部件包括第一凸透鏡以及第二凸透鏡，第一凸透鏡和第二凸透鏡的主光軸重合，第一凸透鏡的右焦點(diǎn)和第二凸透鏡的左焦點(diǎn)重合。
[0044]優(yōu)選的，視角擴(kuò)大部件可拆卸的設(shè)置在反應(yīng)腔體的側(cè)壁上，視角擴(kuò)大部件可相對透明觀測玻璃前后移動(dòng)。
[0045]本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的具體使用原理與上述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔的優(yōu)選實(shí)施例中描述的使用原理相同或相似，具體請參見上述真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔的優(yōu)選實(shí)施例中的相關(guān)描述。
[0046]本發(fā)明的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)通過在反應(yīng)腔體的側(cè)壁上設(shè)置具有視角擴(kuò)大部件的觀測窗，便于對真空反應(yīng)腔進(jìn)行觀測操作，減少了停機(jī)觀測操作的次數(shù)，從而提高了真空機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)效率，避免了真空機(jī)臺(tái)的產(chǎn)能浪費(fèi)；解決了現(xiàn)有的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔及真空機(jī)臺(tái)的生產(chǎn)效率低下且產(chǎn)能浪費(fèi)比較嚴(yán)重的技術(shù)問題。
[0047]綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其特征在于，包括: 反應(yīng)腔體，包括由四側(cè)壁、一頂壁以及一底壁構(gòu)成的一容納空間； 承載基板，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述底壁的中部，用于承載待處理基板；以及 觀測窗，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上，用于觀測所述反應(yīng)腔體內(nèi)的所述容納空間； 其中所述觀測窗包括用于觀測操作的透明觀測玻璃，以及用于擴(kuò)大所述透明觀測玻璃的觀測視角的視角擴(kuò)大部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其特征在于，所述真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗和第二觀測窗，所述第一觀測窗和所述第二觀測窗分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的相對的兩個(gè)側(cè)壁上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其特征在于，所述真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗、第二觀測窗以及第三觀測窗，所述第一觀測窗、所述第二觀測窗以及所述第三觀測窗分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的三個(gè)側(cè)壁上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其特征在于，所述視角擴(kuò)大部件包括第一凸透鏡以及第二凸透鏡，所述第一凸透鏡和第二凸透鏡的主光軸重合，第一凸透鏡的右焦點(diǎn)和第二凸透鏡的左焦點(diǎn)重合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其特征在于，所述視角擴(kuò)大部件可相對所述透明觀測玻璃前后移動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空機(jī)臺(tái)的真空反應(yīng)腔，其特征在于，所述視角擴(kuò)大部件可拆卸的設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上。
7.一種真空機(jī)臺(tái)，其特征在于，包括真空反應(yīng)腔以及反應(yīng)操作裝置；其中所述真空反應(yīng)腔包括: 反應(yīng)腔體，包括由四側(cè)壁、一頂壁以及一底壁構(gòu)成的一容納空間； 承載基板，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述底壁的中部，用于承載待處理基板；以及 觀測窗，設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上，用于觀測所述反應(yīng)腔體內(nèi)的所述容納空間； 其中所述觀測窗包括用于觀測操作的透明觀測玻璃，以及用于擴(kuò)大所述透明觀測玻璃的觀測視角的視角擴(kuò)大部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述真空反應(yīng)腔包括第一觀測窗、第二觀測窗以及第三觀測窗，所述第一觀測窗、所述第二觀測窗以及所述第三觀測窗分別設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的三個(gè)側(cè)壁上。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述視角擴(kuò)大部件包括第一凸透鏡以及第二凸透鏡，所述第一凸透鏡和第二凸透鏡的主光軸重合，第一凸透鏡的右焦點(diǎn)和第二凸透鏡的左焦點(diǎn)重合。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述視角擴(kuò)大部件可拆卸的設(shè)置在所述反應(yīng)腔體的所述側(cè)壁上；所述視角擴(kuò)大部件可相對所述透明觀測玻璃前后移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK104375292SQ201410662413
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年11月19日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月19日
【發(fā)明者】劉思洋 申請人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司