網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，具有鏡面降溫器、鏡面溫度傳感器以及鏡面溫度控制模塊。鏡面溫度傳感器與透光鏡組的鏡面直接接觸，而可直接感測(cè)透光鏡組鏡面的溫度。鏡面溫度控制模塊接收鏡面溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果，并輔以參考鏡面的導(dǎo)熱系數(shù)，藉以準(zhǔn)確判斷透光鏡組鏡面與形成有電路布線圖案的底片接觸處的溫度，當(dāng)透光鏡組鏡面與底片接觸處的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，代表置放于其上底片可能會(huì)發(fā)生熱變形，因此鏡面溫度控制模塊會(huì)徑自命令鏡面降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使透光鏡組鏡面的溫度降至默認(rèn)的合理值，俾降低用于曝光網(wǎng)板底片的熱變形幅度，使網(wǎng)板上曝光形成的電路布線圖案符合預(yù)期，且線條粗細(xì)均勻。
【專(zhuān)利說(shuō)明】網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種曝光機(jī)臺(tái)，特別是涉及一種用于網(wǎng)板曝光的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]網(wǎng)板是電路板圖形化的必要工具之一，網(wǎng)板是在曝光機(jī)臺(tái)的曝光顯影過(guò)程中而制成，首先，網(wǎng)板表面會(huì)先被涂上感光乳劑而構(gòu)成感光層，接著再將網(wǎng)板置放于形成有電路布線圖案的底片上方，而后曝光機(jī)臺(tái)的光源會(huì)經(jīng)由所述底片對(duì)網(wǎng)板提供紫外光線，以將底片的電路布線圖案映像到網(wǎng)板的感光層，此時(shí)，網(wǎng)板的感光層受到紫外光線曝照部分的化學(xué)性質(zhì)會(huì)產(chǎn)生變化，接著只要將網(wǎng)板感光層未受到紫外光線曝照的部分去除后，網(wǎng)板上就會(huì)形成對(duì)應(yīng)于底片的電路布線圖案，而供后續(xù)電路板圖形化的使用。
[0003]隨著電路板微型化的發(fā)展趨勢(shì)下，用于圖形化電路板的網(wǎng)板被要求的精度亦越來(lái)越高，網(wǎng)板上形成的電路布線圖案線條粗細(xì)不均勻，是一種不被允許的情況，因?yàn)榇朔N情況的發(fā)生，會(huì)對(duì)后續(xù)圖形化的電路板的電性功能造成無(wú)法預(yù)期的影響。曝光機(jī)光源所發(fā)出的紫外光線部分會(huì)在曝光的過(guò)程中轉(zhuǎn)化成熱能，使曝光環(huán)境中的溫度增高，造成底片在曝光過(guò)程中受熱變形，如此，就會(huì)造成網(wǎng)板上形成的電路布線圖案線條粗細(xì)不均勻，甚至使網(wǎng)板上形成的電路布線圖案非如預(yù)期。
[0004]因此，如何提供一種曝光機(jī)臺(tái)，以減少曝光過(guò)程中網(wǎng)板與底片的受熱變形程度，為所屬【技術(shù)領(lǐng)域】人士所迫切需要解決的問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的種種問(wèn)題，本實(shí)用新型的主要目的為提供一種網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，借著接觸式的鏡面溫度傳感器，對(duì)透光鏡組的鏡面進(jìn)行溫度的感測(cè)，以達(dá)到避免形成有電路布線圖案的底片發(fā)生形變的效果。
[0006]為達(dá)到上述目的以及其它目的，本實(shí)用新型提供一種網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，包括機(jī)臺(tái)腔體、機(jī)臺(tái)上蓋、真空幫浦以及鏡面溫度調(diào)整裝置。其中，機(jī)臺(tái)腔體設(shè)有透光鏡組以及光源，所述的透光鏡組具有出光鏡面以及迎光鏡面，出光鏡面用于置放形成有電路布線圖案的底片，而待曝光的網(wǎng)板則可置放于底片的上方，光源朝所述透光鏡組的方向發(fā)出紫外光線，所述紫外光線可經(jīng)由迎光鏡面進(jìn)入透光鏡組，并經(jīng)由出光鏡面離開(kāi)透光鏡組，俾可將底片的電路布線圖案映像于所述網(wǎng)板，而對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行曝光程序；機(jī)臺(tái)上蓋的一端樞接機(jī)臺(tái)腔體，機(jī)臺(tái)上蓋可樞轉(zhuǎn)而貼合機(jī)臺(tái)腔體，以形成收容網(wǎng)板與底片的曝光空間；真空幫浦具有吸氣埠用于抽除上述曝光空間中的氣體，以在曝光空間中形成負(fù)壓環(huán)境，而使機(jī)臺(tái)上蓋緊密貼合機(jī)臺(tái)腔體，進(jìn)而令曝光空間中的網(wǎng)板迫使曝光空間中的底片緊貼透光鏡組的出光鏡面，俾提高曝光空間中網(wǎng)板的曝光精度；鏡面溫度調(diào)整裝置具有鏡面溫度傳感器、鏡面溫度控制模塊以及鏡面降溫器。鏡面溫度傳感器接觸透光鏡組的鏡面，以感測(cè)透光鏡組鏡面的溫度；鏡面溫度控制模塊接收鏡面溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果，藉以判斷透光鏡組鏡面的溫度，當(dāng)透光鏡組鏡面的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，鏡面溫度控制模塊命令鏡面降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使透光鏡組鏡面的溫度降至默認(rèn)的合理值，俾降低用于曝光網(wǎng)板底片的熱變形幅度，使網(wǎng)板上曝光形成的電路布線圖案符合預(yù)期，且線條粗細(xì)均勻。
[0007]可選擇性地，前述光源可為UV燈管，而機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體的貼合處可布設(shè)橡膠皮，以增加曝光空間的氣密度，使外界氣體不易進(jìn)入曝光空間。鏡面溫度控制模塊可包含計(jì)時(shí)單元，俾于鏡面降溫器對(duì)透光鏡組鏡面的降溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而透光鏡組鏡面的溫度仍無(wú)法降到合理值時(shí)，鏡面溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息以提示異常。透光鏡組另可包含平行光鏡，俾使穿過(guò)的紫外光線朝正交于平行光鏡鏡面的方向行進(jìn)，藉以提高透光鏡組出光的平行度。真空幫浦具有排氣埠，當(dāng)曝光空間中的網(wǎng)板完成曝光后，排氣埠接通曝光空間以對(duì)曝光空間供氣而解除負(fù)壓狀態(tài)，俾加速解除機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體的緊密貼合。
[0008]可選擇性地，網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還包括設(shè)于機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)部的光閘門(mén)，光閘門(mén)位于曝光機(jī)臺(tái)光源出光面的上方位置，當(dāng)對(duì)所述網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)所述網(wǎng)板的曝光或所述光源所散發(fā)的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，光閘門(mén)會(huì)止擋光源的紫外光線行進(jìn)到透光鏡組，當(dāng)對(duì)所述網(wǎng)板的曝光時(shí)間已到以及光源所散發(fā)的光能量已達(dá)到預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，光閘門(mén)會(huì)解除對(duì)光源紫外光線行進(jìn)的止擋，俾適時(shí)對(duì)網(wǎng)板提供紫外光線。較佳地，光閘門(mén)可設(shè)置左、右兩遮光板以及遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)對(duì)所述網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)所述網(wǎng)板的曝光或所述光源所散發(fā)的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，分開(kāi)的左、右兩遮光板會(huì)藉由遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)靠近直到兩遮光板完成接合，藉以達(dá)成對(duì)光源紫外光線行進(jìn)的止擋。
[0009]可選擇性地，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可增設(shè)設(shè)于機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)部的濾光組件，具有光學(xué)濾鏡以及濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)。所述的光學(xué)濾鏡于光源對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第一階段曝光程序后，藉由濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)移入光源紫外光線的行進(jìn)路徑，以濾除光源所發(fā)出的部分波長(zhǎng)的紫外光線，保留對(duì)后續(xù)曝光有用的特定波長(zhǎng)的紫外光線，而對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第二階段的曝光程序，以?xún)?yōu)化網(wǎng)板的曝光效果。此外，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可增設(shè)設(shè)于機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)部的聚光鏡，以將曝光機(jī)臺(tái)光源的紫外光線集中，而均勻散布到透光鏡組迎光鏡面的各個(gè)區(qū)域。
[0010]可選擇性地，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可增設(shè)光源降溫設(shè)備、光源溫度傳感器以及光源溫度控制模塊。所述光源溫度傳感器用于感測(cè)曝光機(jī)臺(tái)光源的溫度，而光源溫度控制模塊用于接收光源溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果，藉以判斷光源當(dāng)下的溫度，當(dāng)光源當(dāng)下的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，光源溫度控制模塊會(huì)直接命令光源降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使光源的溫度降至默認(rèn)的合理值，如此，不但可以確保網(wǎng)板曝光的質(zhì)量，還可以有效增加光源的使用壽命。當(dāng)光源的溫度低于默認(rèn)的合理值時(shí)，光源溫度控制模塊會(huì)直接命令光源降溫設(shè)備停止運(yùn)轉(zhuǎn)，并對(duì)光源提供能量，以促使光源的溫度上升至默認(rèn)的合理值。
[0011]較佳地，上述光源溫度控制模塊還可包括計(jì)時(shí)單元，俾于光源的升溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而光源的溫度仍無(wú)法于升到預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，光源溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息以提示異常。所述的計(jì)時(shí)單元還可于光源降溫設(shè)備對(duì)光源的降溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而光源的溫度值仍無(wú)法于降到合理值時(shí)，光源溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
[0012]可選擇性地，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可增設(shè)真空度偵測(cè)器以及真空度控制模塊。真空度偵測(cè)器用于偵測(cè)機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體貼合時(shí)所形成的曝光空間的真空度(即負(fù)壓程度)，而真空度控制模塊用于接收真空度偵測(cè)器的偵測(cè)結(jié)果，藉以判斷曝光空間的真空度是否低于預(yù)設(shè)的合理值，若是，真空度控制模塊命令真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)，促使曝光空間的真空度提升到預(yù)設(shè)的合理值。較佳地，真空度控制模塊還可于真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而曝光空間的真空度仍無(wú)法提升到合理值時(shí)，真空度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
[0013]可選擇性地，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可增設(shè)壓力傳感器以及幫浦控制模塊。所述的壓力傳感器用于感測(cè)真空幫浦吸氣埠的氣壓，幫浦控制模塊接收壓力傳感器的感測(cè)結(jié)果，藉以判斷真空幫浦吸氣埠的氣壓是否低于預(yù)設(shè)的合理值，若是，則幫浦控制模塊命令真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)，促使真空幫浦吸氣埠的氣壓符合預(yù)設(shè)的合理值。較佳地，幫浦控制模塊還可于真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而真空幫浦吸氣埠的氣壓仍無(wú)法符合預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，幫浦控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息以提示異常。
[0014]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型所提供的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，透過(guò)與透光鏡組鏡面直接接觸的鏡面溫度傳感器，而可準(zhǔn)確判斷透光鏡組鏡面與底片接觸部位的溫度，俾可在透光鏡組鏡面的溫度異常時(shí)實(shí)時(shí)因應(yīng)處理，舉例而言，當(dāng)透光鏡組鏡面與底片接觸部位的溫度過(guò)高時(shí)，機(jī)臺(tái)本體中的鏡面降溫設(shè)備會(huì)進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)，促使透光鏡組鏡面的溫度降至默認(rèn)的合理值，如此可有效降低底片的受熱變形程度，使網(wǎng)板上曝光后形成的電路布線圖案符合預(yù)期，且線條粗細(xì)均勻。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的組立圖。
[0016]圖2顯示為圖1所示網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的截面圖。
[0017]圖3顯示為圖2中符號(hào)B所指區(qū)域的放大圖。
[0018]圖4顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的部分構(gòu)件組立圖。
[0019]圖5顯示為圖4所示的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)部分構(gòu)件的分解圖。
[0020]圖6顯示為圖5所示的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)部分構(gòu)件中濾光組件的組立圖。
[0021]圖7顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)光閘門(mén)止擋光源的紫外光線行進(jìn)的示意圖。
[0022]圖8顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第一階段曝光程序的紫外光線行進(jìn)圖。
[0023]圖9顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第二階段曝光程序的紫外光線行進(jìn)圖。
[0024]圖10顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的氣路圖。
[0025]組件標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0026]I網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)
[0027]11機(jī)臺(tái)腔體
[0028]111透光鏡組
[0029]1111平行光鏡
[0030]112 光源[0031]113光閘門(mén)
[0032]1131、1132 遮光板
[0033]1133遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0034]114聚光鏡
[0035]12濾光組件
[0036]121光學(xué)濾鏡
[0037]122濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0038]13機(jī)臺(tái)上蓋
[0039]14真空幫浦
[0040]141 吸氣埠
[0041]142排氣埠
[0042]15鏡面溫度傳感器
【具體實(shí)施方式】
[0043]以下內(nèi)容將搭配圖式，藉由特定的具體實(shí)施例說(shuō)明本實(shí)用新型之技術(shù)內(nèi)容，熟悉此技術(shù)之人士可由本說(shuō)明書(shū)所揭示之內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型之其他優(yōu)點(diǎn)與功效。本實(shí)用新型亦可藉由其他不同的具體實(shí)施例加以施行或應(yīng)用。本說(shuō)明書(shū)中的各項(xiàng)細(xì)節(jié)亦可基于不同觀點(diǎn)與應(yīng)用，在不背離本實(shí)用新型之精神下，進(jìn)行各種修飾與變更。尤其是，于圖式中各個(gè)組件的比例關(guān)系及相對(duì)位置僅具示范性用途，并非代表本實(shí)用新型實(shí)施的實(shí)際狀況。
[0044]本實(shí)用新型提供一種網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，用于通過(guò)形成有電路布線圖案的底片對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行曝光程序，主要可實(shí)時(shí)感測(cè)以及調(diào)降透光鏡組與底片接觸處過(guò)高的溫度，藉以減少曝光過(guò)程中對(duì)網(wǎng)板映像底片的受熱變形程度，使網(wǎng)板曝光后所形成的電路布線圖案符合預(yù)期。
[0045]請(qǐng)參閱圖1至圖7顯示為本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)構(gòu)件的示意圖。如圖1至圖7所示，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)I包括有機(jī)臺(tái)腔體11、鏡面溫度調(diào)整裝置、機(jī)臺(tái)上蓋13以及真空幫浦14。于本實(shí)用新型中，機(jī)臺(tái)腔體11的內(nèi)部設(shè)有透光鏡組111以及光源112，所述的透光鏡組111具有射出紫外光線的出光鏡面以及接受紫外光線的迎光鏡面。所述光源112例如為UV燈管，可向透光鏡組111的迎光鏡面發(fā)出紫外光線，以對(duì)置放于出光鏡面上形成有電路布線圖案的底片提供紫外光線，俾將底片的電路布線圖案映像于上方的網(wǎng)板而進(jìn)行曝光程序。
[0046]機(jī)臺(tái)腔體11內(nèi)部還可加設(shè)具有凸起表面的聚光鏡114，以將光源112的紫外光線集中均勻分布到透光鏡組111迎光鏡面的各區(qū)域，進(jìn)而使網(wǎng)板上各映像區(qū)域的曝光均勻。透光鏡組111可包含平行光鏡1111，俾使通過(guò)的紫外光線朝正交于平行光鏡1111鏡面的方向行進(jìn)，藉以提高所述透光鏡組111出光的平行度。
[0047]為提升網(wǎng)板的曝光質(zhì)量，使網(wǎng)板上形成的電路布線圖案符合預(yù)期，且線條粗細(xì)均勻，在網(wǎng)板的曝光過(guò)程中，要分階段對(duì)網(wǎng)板提供特定波長(zhǎng)的紫外光線，對(duì)此，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的內(nèi)部還可增設(shè)濾光組件，藉以在特定的曝光階段中，濾除光源所發(fā)出的部分波長(zhǎng)的紫外光線，如圖6所示，濾光組件12具有光學(xué)濾鏡121以及濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)122，所述光學(xué)濾鏡121于光源12對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第一階段曝光程序(關(guān)于第一階段曝光程序，請(qǐng)參照?qǐng)D8的例示，于此階段的曝光程序，光源112所發(fā)出的波長(zhǎng)為λ 1、λ 2、λ 3的各種紫外光線均會(huì)穿過(guò)平行光鏡1111，而對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行初步的曝光)后，可藉由濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)122移入光源紫外光線的行進(jìn)路徑，藉以濾除光源112所發(fā)出的部分波長(zhǎng)的紫外光線，保留對(duì)后續(xù)曝光有用的特定波長(zhǎng)的紫外光線，而對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第二階段的曝光程序(關(guān)于第二階段曝光程序，請(qǐng)參照?qǐng)D9，于此階段的曝光程序中，光源112所發(fā)出的波長(zhǎng)為λ?、λ2、λ 3的紫外光線，僅有波長(zhǎng)為λ I的紫外光線可穿過(guò)光學(xué)濾鏡121，以對(duì)網(wǎng)板進(jìn)行第二階段的曝光，而達(dá)成質(zhì)優(yōu)的曝光效果)。
[0048]如圖5所示，機(jī)臺(tái)腔體11內(nèi)部光源112出光面的上方位置設(shè)置有光閘門(mén)113，當(dāng)對(duì)網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)網(wǎng)板的曝光或光源所散發(fā)的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，光閘門(mén)113會(huì)止擋光源112的紫外光線行進(jìn)到透光鏡組111。當(dāng)對(duì)網(wǎng)板的曝光時(shí)間已到且光源112所散發(fā)的光能量已達(dá)預(yù)設(shè)可對(duì)網(wǎng)板曝光的強(qiáng)度時(shí)，光閘門(mén)113會(huì)解除對(duì)光源112紫外光線行進(jìn)的止擋，以對(duì)網(wǎng)板提供紫外光線而進(jìn)行曝光程序。
[0049]于圖5中所示的實(shí)施例，光閘門(mén)可包含左、右兩遮光板1131、1132以及遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)1133，當(dāng)對(duì)網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)網(wǎng)板的曝光或光源所發(fā)出的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)的曝光強(qiáng)度時(shí)，左、右兩遮光板1131、1132會(huì)藉由遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)1133相對(duì)移動(dòng)靠近，直到兩遮光板1131、1132完成接合(請(qǐng)參照?qǐng)D7)，藉以達(dá)成對(duì)光源紫外光線行進(jìn)的止擋。
[0050]為確保光源所散發(fā)的光能量符合預(yù)設(shè)對(duì)網(wǎng)板曝光的強(qiáng)度，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可設(shè)置光源降溫設(shè)備、光源溫度傳感器以及光源溫度控制模塊，光源溫度傳感器感測(cè)光源的溫度，光源溫度控制模塊接收光源溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果藉以判斷光源的溫度。當(dāng)光源的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，代表光源所散發(fā)的光能量大于預(yù)設(shè)對(duì)網(wǎng)板曝光的強(qiáng)度，此時(shí)，光源溫度控制模塊會(huì)徑自命令光源降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使光源的溫度降至默認(rèn)的合理值，亦即，使光源所散發(fā)的光能量符合預(yù)設(shè)對(duì)網(wǎng)板曝光的強(qiáng)度，以確保后續(xù)對(duì)網(wǎng)板的曝光質(zhì)量。
[0051]惟，當(dāng)光源的溫度低于默認(rèn) 的合理值時(shí)，代表光源所散發(fā)的光能量尚未達(dá)到預(yù)設(shè)的曝光強(qiáng)度，此時(shí)，光源溫度控制模塊命令光源降溫設(shè)備停止運(yùn)轉(zhuǎn)，并對(duì)光源提供能量，以促使光源的溫度上升至默認(rèn)的合理值，即促使光源所散發(fā)的光能量達(dá)到預(yù)設(shè)的強(qiáng)度。
[0052]另外，應(yīng)說(shuō)明的是，網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)在運(yùn)行一段時(shí)間后，光源降溫設(shè)備與光源都有可能會(huì)發(fā)生損壞或老化而無(wú)法達(dá)成預(yù)期功效，對(duì)此，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可在光源溫度控制模塊內(nèi)增設(shè)計(jì)時(shí)單元，俾于光源的升溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而光源的溫度仍無(wú)法于上升到預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，代表光源可能已經(jīng)發(fā)生損壞或老化，此時(shí)，光源溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出例如聲音、亮光或數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的警示信息以提示異常。前述光源溫度控制模塊所增設(shè)的計(jì)時(shí)單元，還可于光源降溫設(shè)備對(duì)光源的降溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而光源的溫度值仍無(wú)法于降到合理值時(shí)，代表光源降溫設(shè)備可能已經(jīng)發(fā)生損壞或老化，此時(shí)，所述光源溫度控制模塊亦會(huì)立即停止機(jī)臺(tái)本體的運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
[0053]所述的機(jī)臺(tái)上蓋13透過(guò)樞接軸與機(jī)臺(tái)腔體11連接，可藉由樞接軸而在機(jī)臺(tái)腔體11上樞轉(zhuǎn)。機(jī)臺(tái)上蓋13可朝接近機(jī)臺(tái)腔體11的方向樞轉(zhuǎn)(即進(jìn)行蓋上動(dòng)作)，直到與機(jī)臺(tái)腔體11貼合，以形成收容網(wǎng)板與底片的曝光空間，并使曝光空間中的網(wǎng)板緊抵底片，以減少網(wǎng)板與底片間的間隙，而避免底片在網(wǎng)板上的電路布線圖案映像失真。當(dāng)機(jī)臺(tái)上蓋13朝背離機(jī)臺(tái)腔體11的方向樞轉(zhuǎn)時(shí)(即進(jìn)行掀起動(dòng)作)，網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的曝光空間就會(huì)逐漸開(kāi)放，此時(shí)就可將待曝光的網(wǎng)板置放到透光鏡組111的出光鏡面上方的底片，等待接受后續(xù)由光源112所發(fā)出的紫外光線以進(jìn)行曝光顯影，惟，此時(shí)亦可將曝光空間中已完成曝光的網(wǎng)板自曝光空間中移出，以供置入下一階段曝光的網(wǎng)板。
[0054]真空幫浦14還具有與真空氣路連接的吸氣埠，藉由真空氣路抽除上述曝光空間中的氣體，以使上述曝光空間中呈現(xiàn)負(fù)壓狀態(tài)(即真空狀態(tài))，而讓機(jī)臺(tái)上蓋13緊密貼合機(jī)臺(tái)腔體11，令曝光空間中的網(wǎng)板迫使曝光空間中的底片緊貼透光鏡組111的出光鏡面，以降低底片電路布線圖案在網(wǎng)板映像的偏差，俾提高網(wǎng)板的曝光精度。請(qǐng)一并參照?qǐng)D10，圖10中符號(hào)I所示的箭頭指向，即真空幫浦14抽除曝光空間氣體時(shí)真空氣路中氣體的流向，此時(shí)，圖10所示的氣閥A與氣閥B是處于開(kāi)啟狀態(tài)，而氣閥C是處于關(guān)閉狀態(tài)。機(jī)臺(tái)上蓋13與機(jī)臺(tái)腔體11的貼合處可布設(shè)橡膠皮或其它具有氣密性的彈性材料，俾減少機(jī)臺(tái)上蓋13與機(jī)臺(tái)腔體11間的縫隙，進(jìn)而提高機(jī)臺(tái)上蓋13與機(jī)臺(tái)腔體11間的氣密度，使外界氣體無(wú)法在網(wǎng)板的曝光過(guò)程中進(jìn)入曝光空間。
[0055]為有效掌握上述收容網(wǎng)板與底片曝光空間的真空程度(即負(fù)壓程度)，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可增設(shè)真空度偵測(cè)器以及真空度控制模塊，真空度偵測(cè)器用于偵測(cè)由機(jī)臺(tái)上蓋所形成的曝光空間的真空度，真空度控制模塊可接收真空度偵測(cè)器的偵測(cè)結(jié)果，藉以判斷前述曝光空間的真空度是否低于預(yù)設(shè)的合理值，若是，真空度控制模塊命令真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)，促使曝光空間的真空度提升到預(yù)設(shè)的合理值。當(dāng)真空度控制模塊判斷前述曝光空間的真空度符合預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，真空幫浦仍持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)但不對(duì)曝光空間抽氣，圖10中符號(hào)3所示的箭頭指向，即真空幫浦14持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)但不對(duì)曝光空間抽氣時(shí)真空氣路中氣體的流向，而組件符號(hào)141、142所指分別為真空幫浦14的吸氣埠與排氣埠，此時(shí)，圖10所示的氣閥A、B、C均處于關(guān)閉狀態(tài)。
[0056]惟，隨著網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的運(yùn)行時(shí)間增加，機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體貼合時(shí)彼此間的氣密度可能會(huì)逐漸破壞，對(duì)此，本實(shí)用新型的真空度控制模塊可增設(shè)計(jì)時(shí)單元，俾于真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而曝光空間的真空度仍無(wú)法提升到合理值時(shí)，代表機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體彼此間貼合時(shí)的氣密度可能已經(jīng)發(fā)生破壞，此時(shí)，所述真空度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出例如聲音、亮光或數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的警示信息以提示異常。
[0057]此外，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)還可為真空幫浦增設(shè)壓力傳感器以及幫浦控制模塊，所述壓力傳感器用于感測(cè)真空幫浦之吸氣埠的氣壓，幫浦控制模塊接收壓力傳感器的感測(cè)結(jié)果，藉以判斷真空幫浦吸氣埠的氣壓是否低于預(yù)設(shè)的合理值，若是，幫浦控制模塊命令真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)，促使真空幫浦吸氣埠的氣壓符合預(yù)設(shè)的合理值。幫浦控制模塊還可增設(shè)計(jì)時(shí)單元，俾于真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)。當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而真空幫浦吸氣埠的氣壓仍無(wú)法符合預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，代表真空幫浦可能已發(fā)生損壞需要修復(fù)或更換，此時(shí)，幫浦控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息以警示真空幫浦異
堂
巾O
[0058]由于網(wǎng)板曝光機(jī)光源所發(fā)出的紫外光線部分會(huì)在透光鏡組上轉(zhuǎn)化成熱能，造成上方的底片受熱變形，如此，將使網(wǎng)板曝光后所形成的電路布線圖案非如預(yù)期。對(duì)此，本實(shí)用新型的網(wǎng)板曝光機(jī)提供有鏡面溫度調(diào)整裝置，所述的鏡面溫度調(diào)整裝置包含鏡面溫度控制模塊、鏡面溫度傳感器以及鏡面降溫器。鏡面溫度傳感器可選用接觸式感溫組件，如圖3所示，鏡面溫度傳感器15與透光鏡組111的鏡面直接接觸，而可直接感測(cè)透光鏡組111鏡面的溫度，不受外界環(huán)境因素的影響。鏡面降溫器例如風(fēng)扇或是其他形式的空氣對(duì)流組件。鏡面溫度控制模塊用于接收鏡面溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果，并輔以透光鏡組鏡面的導(dǎo)熱系數(shù)作為參考，以準(zhǔn)確判斷透光鏡組鏡面與底片接觸部位的溫度，當(dāng)判斷的結(jié)果呈現(xiàn)透光鏡組鏡面與底片接觸部位的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，代表底片容易發(fā)生熱變形進(jìn)而改變其上的電路布線圖案，此時(shí)，鏡面溫度控制模塊會(huì)立即命令鏡面降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使透光鏡組鏡面的溫度降至默認(rèn)的合理值，而降少底片熱變形的幅度，如此亦可提高網(wǎng)板的曝光精度。
[0059]所述的鏡面溫度控制模塊內(nèi)也可包含有計(jì)時(shí)單元，俾于鏡面降溫器對(duì)透光鏡組鏡面的降溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而透光鏡組鏡面的溫度仍無(wú)法降到合理值時(shí)，代表底片的熱變形程度已經(jīng)無(wú)法掌控，此時(shí)，鏡面溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出例如聲音、亮光或數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)的警示信息以提示透光鏡組鏡面降溫異
堂
巾O
[0060]在完成網(wǎng)板的曝光后，要將網(wǎng)板自網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)中取出，必須先對(duì)機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體間的曝光空間充氣，以解除曝光空間的負(fù)壓環(huán)境，于本實(shí)用新型中圖10所示的氣路圖中，利用真空幫浦14的排氣埠142，對(duì)機(jī)臺(tái)上蓋與機(jī)臺(tái)腔體間的曝光空間充氣，以加速上述曝光空間負(fù)壓環(huán)境的解除，圖10中符號(hào)2所示的箭頭指向，即真空幫浦14對(duì)曝光空間排氣時(shí)真空氣路中氣體的流向，此時(shí)，圖10所示的氣閥A與氣閥B處于開(kāi)啟狀態(tài)，而氣閥C是處于關(guān)閉狀態(tài)。
[0061]綜上所述，本實(shí)用新型網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)的各實(shí)施例中分別具有以下技術(shù)特點(diǎn):
[0062]1.藉由與透光鏡組鏡面直接接觸的鏡面溫度傳感器，而判斷透光鏡組鏡面與底片接觸部位的溫度，俾可準(zhǔn)確掌握底片的熱變形程度，以供實(shí)時(shí)因應(yīng)處理，而避免底片的熱變形程度過(guò)大影響到網(wǎng)板的曝光精度。
[0063]2.在透光鏡組中加設(shè)平行光鏡，俾使通過(guò)的紫外光線朝正交于平行光鏡鏡面的方向行進(jìn)，藉以提高透光鏡組出光的平行度。
[0064]3.利用真空幫浦的排氣，以加速曝光空間中負(fù)壓狀態(tài)的解除，而得以快速自曝光空間中取出完成曝光的網(wǎng)板，或?qū)⒋毓獾木W(wǎng)板置入曝光空間中，藉以減少曝光程序所需求的時(shí)間。
[0065]4.對(duì)光源提供光閘門(mén)，于對(duì)網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)網(wǎng)板的曝光或光源所散發(fā)的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，光閘門(mén)可止擋光源的紫外光線行進(jìn)到透光鏡組，藉以適時(shí)對(duì)網(wǎng)板提供曝光用的紫外光線。
[0066]上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬【技術(shù)領(lǐng)域】中具有通常知識(shí)者在未脫離本實(shí)用新型所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本實(shí)用新型的權(quán)利要求所涵蓋。
【權(quán)利要求】
1.一種網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，包括: 機(jī)臺(tái)腔體，設(shè)有透光鏡組以及光源，所述透光鏡組具有出光鏡面以及迎光鏡面，所述出光鏡面用于置放形成有電路布線圖案的底片，而待曝光的網(wǎng)板則可置放于所述底片的上方，所述光源朝所述透光鏡組的方向發(fā)出紫外光線，所述紫外光線可經(jīng)由所述迎光鏡面進(jìn)入所述透光鏡組，并經(jīng)由所述出光鏡面離開(kāi)所述透光鏡組，俾可將所述底片的電路布線圖案映像于所述網(wǎng)板，而對(duì)所述網(wǎng)板進(jìn)行曝光程序； 機(jī)臺(tái)上蓋，一端樞接所述機(jī)臺(tái)腔體，所述機(jī)臺(tái)上蓋可樞轉(zhuǎn)而貼合所述機(jī)臺(tái)腔體，以形成收容所述網(wǎng)板與所述底片的曝光空間； 真空幫浦，具有吸氣埠用于抽除上述曝光空間中的氣體，以使所述機(jī)臺(tái)上蓋緊密貼合所述機(jī)臺(tái)腔體，進(jìn)而令所述曝光空間中的網(wǎng)板迫使所述曝光空間中的底片緊貼所述透光鏡組的出光鏡面，俾提高所述曝光空間中網(wǎng)板的曝光精度；以及 鏡面溫度調(diào)整裝置，具有鏡面降溫器、鏡面溫度傳感器以及鏡面溫度控制模塊，所述鏡面溫度傳感器接觸所述透光鏡組的鏡面以感測(cè)溫度，所述鏡面溫度控制模塊接收所述鏡面溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果藉以判斷所述透光鏡組鏡面的溫度，當(dāng)所述透光鏡組鏡面的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，所述鏡面溫度控制模塊命令所述鏡面降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使所述透光鏡組鏡面的溫度降至默認(rèn)的合理值。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述鏡面溫度控制模塊還包括計(jì)時(shí)單元，俾于所述鏡面降溫器對(duì)所述透光鏡組鏡面的降溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而所述透光鏡組鏡面的溫度仍無(wú)法降到合理值時(shí)，所述鏡面溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述光源為UV燈管；以及所述機(jī)臺(tái)上蓋與所述機(jī)臺(tái)腔體的貼合處有橡膠皮的布設(shè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括設(shè)于所述機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)部的光閘門(mén)，所述光閘門(mén)位于所述光源出光面的上方位置，當(dāng)對(duì)所述網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)所述網(wǎng)板的曝光或所述光源所散發(fā)的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，所述光閘門(mén)會(huì)止擋所述光源的紫外光線行進(jìn)到所述透光鏡組，當(dāng)對(duì)所述網(wǎng)板的曝光時(shí)間已到以及所述光源所散發(fā)的光能量符合預(yù)設(shè)的強(qiáng)度時(shí)，所述光閘門(mén)會(huì)解除對(duì)所述光源紫外光線行進(jìn)的止擋。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述光閘門(mén)包含左、右兩遮光板以及遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)，當(dāng)對(duì)所述網(wǎng)板的曝光時(shí)間未到、停止對(duì)所述網(wǎng)板的曝光或所述光源所散發(fā)的光能量未達(dá)或超過(guò)預(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，分開(kāi)的左、右兩遮光板會(huì)透過(guò)所述遮光板移動(dòng)機(jī)構(gòu)相對(duì)移動(dòng)靠近直到所述兩遮光板完成接合，藉以達(dá)成對(duì)所述光源紫外光線行進(jìn)的止擋。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括設(shè)于所述機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)部的濾光組件，具有光學(xué)濾鏡以及濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述光學(xué)濾鏡于所述光源對(duì)所述網(wǎng)板進(jìn)行第一階段曝光程序后，藉由所述濾鏡移動(dòng)機(jī)構(gòu)移入所述光源紫外光線的行進(jìn)路徑，以濾除所述光源所發(fā)出的部分波長(zhǎng)的紫外光線，而對(duì)所述網(wǎng)板進(jìn)行第二階段的曝光程序。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，還包括設(shè)于所述機(jī)臺(tái)腔體內(nèi)部具有凸起表面的聚光鏡，用于將所述光源的紫外光線集中，而均勻散布到所述透光鏡組迎光鏡面的各個(gè)區(qū)域。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述透光鏡組包含有平行光鏡，俾使穿過(guò)的紫外光線朝正交于平行光鏡鏡面的方向行進(jìn)，藉以提高所述透光鏡組出光的平行度。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，還包括光源降溫設(shè)備、光源溫度傳感器以及光源溫度控制模塊，所述光源溫度傳感器感測(cè)所述光源的溫度，所述光源溫度控制模塊接收所述光源溫度傳感器的感測(cè)結(jié)果藉以判斷所述光源的溫度，當(dāng)所述光源的溫度高于默認(rèn)的合理值時(shí)，所述光源溫度控制模塊命令所述光源降溫設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)，促使所述光源的溫度降至默認(rèn)的合理值，當(dāng)所述光源的溫度低于默認(rèn)的合理值時(shí)，所述光源溫度控制模塊命令所述光源降溫設(shè)備停止運(yùn)轉(zhuǎn)，并對(duì)所述光源提供能量，以促使所述光源的溫度升至默認(rèn)的合理值。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述光源溫度控制模塊還包括計(jì)時(shí)單元，俾于所述光源的升溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而所述光源的溫度仍無(wú)法于升到預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，所述光源溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述光源溫度控制模塊還包括計(jì)時(shí)單元，俾于所述光源降溫設(shè)備對(duì)所述光源的降溫過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而所述光源的溫度值仍無(wú)法于降到合理值時(shí)，所述光源溫度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，還包括真空度偵測(cè)器以及真空度控制模塊，所述真空度偵測(cè)器用于偵測(cè)所述機(jī)臺(tái)上蓋與所述機(jī)臺(tái)腔體貼合時(shí)所形成的曝光空間的真空度，所述真空度控制模塊接收所述真空度偵測(cè)器的偵測(cè)結(jié)果，藉以判斷所述曝光空間的真空度是否低于預(yù)設(shè)的合理值，若是，所述真空度控制模塊命令所述真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)，促使所述曝光空間的真空度提升到預(yù)設(shè)的合理值。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述真空度控制模塊還包括計(jì)時(shí)單元，俾于所述真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而所述曝光空間的真空度仍無(wú)法提升到合理值時(shí)，所述真空度控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，還包括壓力傳感器以及幫浦控制模塊，所述壓力傳感器用于感測(cè)所述真空幫浦吸氣埠的氣壓，所述幫浦控制模塊接收所述壓力傳感器的感測(cè)結(jié)果，藉以判斷所述真空幫浦吸氣埠的氣壓是否低于預(yù)設(shè)的合理值，若是，所述幫浦控制模塊命令所述真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)，促使所述真空幫浦吸氣埠的氣壓符合預(yù)設(shè)的合理值。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，所述幫浦控制模塊還包括計(jì)時(shí)單元，俾于所述真空幫浦運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中進(jìn)行計(jì)時(shí)，當(dāng)計(jì)時(shí)的時(shí)間超出預(yù)設(shè)時(shí)間，而所述真空幫浦吸氣埠的氣壓仍無(wú)法符合預(yù)設(shè)的合理值時(shí)，所述幫浦控制模塊命令機(jī)臺(tái)本體停止運(yùn)行，并對(duì)外發(fā)出警示信息。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的網(wǎng)板曝光機(jī)臺(tái)，其特征在于，當(dāng)所述曝光空間中的網(wǎng)板完成曝光后，所述真空幫浦的排氣埠接通所述曝光空間以對(duì)所述曝光空間供氣，俾加速解除所述機(jī)臺(tái)上蓋與所述機(jī)臺(tái)腔體的緊密貼合。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK203786463SQ201420109578
【公開(kāi)日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年3月12日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月12日
【發(fā)明者】詹文清, 羅志雄 申請(qǐng)人:旺昌機(jī)械工業(yè)(昆山)有限公司