本實用新型涉及顯示面板制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種熱盤及烘干裝置。

背景技術(shù)：

玻璃基板上的光刻技術(shù)為顯示面板加工過程中的關(guān)鍵技術(shù)，在光刻工藝過程中，玻璃基板在涂覆光刻膠前清洗完成后、涂覆光刻膠后或顯影并清洗完成后均需用到烘干裝置，此烘干裝置可干燥玻璃基板上的水分，固化光刻膠，以利于曝光和顯影過程的進行。為了保證光刻圖形的寬度和關(guān)鍵尺寸的均一性，光刻工藝對烘干裝置的烘干均勻性有較高的要求。

現(xiàn)有技術(shù)中的一種烘干裝置如圖1所示，參見圖1，烘干裝置包括殼體(圖中未示出)，殼體內(nèi)設(shè)有熱盤01，熱盤包括熱盤本體011以及鋪設(shè)于熱盤本體011下表面的加熱絲012，熱盤本體011的上表面用于承載玻璃基板，加熱絲012發(fā)出的熱量可通過熱盤本體011傳遞至熱盤本體011上的玻璃基板，以干燥玻璃基板，或固化玻璃基板上的光刻膠。

但是，由于加熱絲012與熱盤本體011下表面為線接觸，加熱絲012發(fā)出的熱量通常不能均勻地傳遞至熱盤本體011上，從而不能對熱盤本體011上的玻璃基板進行均勻加熱，進而難以保證光刻圖形寬度和關(guān)鍵尺寸的均一性。為了提高加熱絲012加熱溫度的均勻性，可以在熱盤本體011下表面均勻鋪設(shè)多個加熱絲單元，通過多個加熱絲單元同時加熱以提高加熱均勻性，但是，隨著加熱絲單元的數(shù)量增多，加熱絲012的制作成本以及設(shè)置難度也相應(yīng)增加。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的實施例提供一種熱盤及烘干裝置，能夠提高熱盤加熱溫度的均一性，保證光刻圖形寬度和關(guān)鍵尺寸的均一性，而且能夠減小加熱元件的制作成本，降低加熱元件的制作難度。

為達到上述目的，本實用新型的實施例提供了一種熱盤，包括熱盤本體以及設(shè)置于所述熱盤本體下方的加熱元件，所述熱盤本體與所述加熱元件之間設(shè)有熱傳遞材料，所述熱傳遞材料可將所述加熱元件發(fā)出的熱量沿橫向均勻分散后傳遞至所述熱盤本體。

可選的，所述熱傳遞材料為固體，且所述熱傳遞材料包括上下層疊設(shè)置的多個熱傳導(dǎo)層，多個所述熱傳導(dǎo)層中的至少一個所述熱傳導(dǎo)層的熱傳導(dǎo)率小于相鄰下方所述熱傳導(dǎo)層的熱傳導(dǎo)率。

可選的，所述熱傳遞材料包括密閉容器，所述密閉容器內(nèi)填充有液體材料。

可選的，所述密閉容器由玻璃材料制作。

可選的，所述液體材料的沸點大于150攝氏度。

可選的，所述液體材料的動力粘度小于100厘泊。

可選的，所述液體材料為乙二醇。

可選的，還包括環(huán)形管路，所述密閉容器串接于所述環(huán)形管路中，所述環(huán)形管路中還串接有循環(huán)驅(qū)動裝置，所述循環(huán)驅(qū)動裝置用于驅(qū)動所述密閉容器內(nèi)的液體材料沿所述環(huán)形管路循環(huán)流動。

可選的，所述加熱元件為鋪設(shè)于同一平面內(nèi)的電熱絲。

可選的，所述熱傳遞材料內(nèi)、靠近所述熱盤本體的位置設(shè)有溫度檢測單元，所述溫度檢測單元和所述加熱元件均連接于控制單元，所述控制單元可根據(jù)所述溫度檢測單元檢測得到的溫度值，控制所述加熱元件的加熱功率。

本實用新型實施例還提供了一種烘干裝置，包括殼體，所述殼體的側(cè)壁或頂壁上開設(shè)有玻璃板入口，所述玻璃板入口處設(shè)有門體，所述門體用于打開或關(guān)閉所述玻璃板入口，所述殼體內(nèi)的底部設(shè)有如上任一技術(shù)方案所述的熱盤。

本實用新型實施例提供的一種熱盤及烘干裝置，在熱盤本體與加熱元件之間設(shè)置熱傳遞材料，通過此熱傳遞材料可將加熱元件發(fā)出的熱量沿橫向均勻分散后傳遞至熱盤本體，由此提高了熱盤溫度的均一性，保證了光刻圖形寬度和關(guān)鍵尺寸的均一性。而且，采用一個加熱元件通過熱傳遞材料分散熱量后，即可達到多個加熱元件同時加熱的溫度均一性效果，因此可減少加熱元件的設(shè)置數(shù)量，減小了加熱元件的成本，降低了加熱元件的設(shè)置復(fù)雜度。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)熱盤的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型實施例熱盤的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型實施例熱盤中熱傳遞材料的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實用新型實施例熱盤中熱傳遞材料的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實用新型實施例熱盤的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。

參照圖2，圖2為本實用新型實施例熱盤的一個具體實施例，本實施例的熱盤包括熱盤本體1以及設(shè)置于所述熱盤本體1下方的加熱元件2，所述熱盤本體1與所述加熱元件2之間設(shè)有熱傳遞材料3，所述熱傳遞材料3可將所述加熱元件2發(fā)出的熱量沿橫向均勻分散后傳遞至所述熱盤本體1。

本實用新型實施例提供的一種熱盤，在熱盤本體1與加熱元件2之間設(shè)置熱傳遞材料3，通過此熱傳遞材料3可將加熱元件2發(fā)出的熱量沿橫向均勻分散后傳遞至熱盤本體1，由此提高了熱盤溫度的均一性，保證了光刻圖形寬度和關(guān)鍵尺寸的均一性。而且，采用一個加熱元件2通過熱傳遞材料3分散熱量后，即可達到多個加熱元件2同時加熱的溫度均一性效果，因此可減少加熱元件2的設(shè)置數(shù)量，減小了加熱元件2的成本，降低了加熱元件2的設(shè)置復(fù)雜度。

在上述實施例中，熱盤本體1的材料可以為不銹鋼、鋁、銅等材料，在此不做具體限定，只要熱盤本體1能夠承載玻璃基板，且為熱的導(dǎo)體即可。

在圖2所示的實施例中，為了使熱傳遞材料3能夠沿橫向均勻分散加熱元件2產(chǎn)生的熱量，熱傳遞材料3可以包括以下實施例：

實施例一：如圖3所示，熱傳遞材料3為固體，且熱傳遞材料3包括上下層疊設(shè)置的多個熱傳導(dǎo)層31，多個熱傳導(dǎo)層31中的至少一個熱傳導(dǎo)層31的熱傳導(dǎo)率小于相鄰下方熱傳導(dǎo)層31的熱傳導(dǎo)率，由此可在此上下相鄰兩個熱傳導(dǎo)層31之間形成一個熱能聚集帶，使熱量有一定時間能夠進行橫向擴散，以實現(xiàn)溫度的橫向均勻化。此多層結(jié)構(gòu)可聚集多個類似的熱能聚集帶，以實現(xiàn)溫度的多次橫向分散，從而保證熱盤本體1的溫度均一性。

示例的，如圖4所示，熱傳遞材料3包括由下至上依次層疊設(shè)置的第一層l1、第二層l2和第三層l3，第一層l1由銅制作，第二層l2由鋁制作，第三層l3由銅制作，銅的熱傳導(dǎo)率為370，鋁的熱傳導(dǎo)率為230，370＞230，因此第二層l2的熱傳導(dǎo)率小于第一層l1的熱傳導(dǎo)率，加熱元件2產(chǎn)生熱量傳遞至第一層l1后，由于第二層l2的熱傳導(dǎo)率小于第一層l1的熱傳導(dǎo)率，熱量由第一層l1傳遞至第二層l2的速度較小，在第一層l1內(nèi)沿橫向擴散的速度較大，因此第一層l1的熱量有更多的時間進行橫向擴散，以實現(xiàn)橫向上的溫度均勻化，在橫向上均勻化之后可提高進入第二層l2的溫度均一性，從而提高由第二層l2進入第三層l3的溫度均一性，進而提高由第三層l3進入熱盤本體的溫度均一性。

需要說明的是，在本實用新型實施例中，僅以上述示例為例進行說明，上述示例并不對本實用新型實施例構(gòu)成限定。

在圖3所示的實施例中，熱傳導(dǎo)層31可以由金屬材料制作，也可以由非金屬材料制作，在此不做具體限定，只要此熱傳導(dǎo)層31為熱的導(dǎo)體即可。

實施例二：如圖5所示，熱傳遞材料3包括密閉容器32，密閉容器32內(nèi)填充有液體材料33，加熱元件2產(chǎn)生的熱量可傳遞至密閉容器32內(nèi)的液體材料33中，由于液體材料33內(nèi)部各部分在存在溫度差時，密度會產(chǎn)生差異，密度較小的部分與密度較大的部分相互擠壓，使液體材料33內(nèi)部的流動性增大，形成熱對流，在此熱對流的作用下，溫度將快速分散至液體材料33內(nèi)的各個區(qū)域，從而實現(xiàn)了溫度的均勻化。而且，由于熱對流速度通常遠遠大于熱傳導(dǎo)速度，液體材料33內(nèi)部溫度的分散速度遠遠大于液體材料33的溫度傳導(dǎo)至熱盤本體1的速度，因此液體材料33中的溫度在傳導(dǎo)至熱盤本體1之前，已快速實現(xiàn)了內(nèi)部的均勻化，因此通過此液體材料33可提高進入熱盤本體1的溫度均一性。

在上述實施例中，密閉容器32可以由不銹鋼制作，也可以由玻璃材料制作，在此不做具體限定。但是，相比于不銹鋼，玻璃材料的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不易與密閉容器32內(nèi)的液體材料33產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，壽命較長，因此優(yōu)選密閉容器32由玻璃材料制作。

在圖5所示的實施例中，若液體材料33的沸點較小，在加熱的過程中，此液體材料33將會產(chǎn)生汽化，從而增大密閉容器32內(nèi)部的壓強，最終導(dǎo)致密閉容器32爆炸。為了避免上述問題，優(yōu)選液體材料33的沸點大于150攝氏度，液體材料33在此沸點范圍內(nèi)，可保證在加熱的過程中液體材料33的相態(tài)穩(wěn)定，避免密閉容器32因內(nèi)部壓強過大而產(chǎn)生爆炸。

在圖5所示的實施例中，為了避免液體材料33內(nèi)部的粘度對熱對流產(chǎn)生的阻力較大，優(yōu)選的，液體材料33的動力粘度小于100厘泊，液體材料33在此動力粘度范圍內(nèi)，粘度較小，對熱對流產(chǎn)生的阻力較小，利于實現(xiàn)液體材料33內(nèi)溫度的快速均勻化。

具體的，液體材料33可以為乙二醇，乙二醇為常用材料，容易實現(xiàn)，且粘度低，有利于實現(xiàn)溫度的快速均勻化，沸點高，相態(tài)穩(wěn)定性較好。

進一步的，為了增大液體材料33內(nèi)部的流動性，優(yōu)選的，如圖5所示，還包括環(huán)形管路5，密閉容器32串接于環(huán)形管路5中，環(huán)形管路5中還串接有循環(huán)驅(qū)動裝置6，循環(huán)驅(qū)動裝置6用于驅(qū)動密閉容器32內(nèi)的液體材料33沿環(huán)形管路5循環(huán)流動，由此通過循環(huán)驅(qū)動裝置6的外力作用增大了液體材料33的流動性，可進一步提高液體材料33內(nèi)的熱對流速度，縮短液體材料33實現(xiàn)溫度均勻化的時間。

其中，循環(huán)驅(qū)動裝置6可以為循環(huán)泵，循環(huán)泵為常用的液體循環(huán)驅(qū)動裝置，容易實現(xiàn)。

在圖2所示的實施例中，加熱元件2可以呈棒狀，也可以呈絲狀，在此不做具體限定。但是，為了提高加熱元件2對熱傳遞材料3的加熱溫度均一性，優(yōu)選的，加熱元件2為鋪設(shè)于同一平面內(nèi)的電熱絲，電熱絲便于網(wǎng)狀布置，成本較低，且鋪設(shè)于平面內(nèi)的電熱絲，可將熱量分散傳遞至熱傳遞材料3的整個橫向平面內(nèi)，加熱溫度的均一性更優(yōu)。

為了對熱盤的加熱溫度進行控制，優(yōu)選的，如圖2或圖5所示，熱傳遞材料3內(nèi)、靠近熱盤本體1的位置設(shè)有溫度檢測單元4，溫度檢測單元4和加熱元件2均連接于控制單元(圖中未示出)，控制單元可根據(jù)溫度檢測單元4檢測得到的溫度值，控制加熱元件2的加熱功率，由此通過溫度檢測單元4、加熱元件2和控制單元組成的檢測控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了熱盤加熱溫度的控制。由于熱傳遞材料3靠近熱盤本體1的一側(cè)溫度均一性較高，因此僅需在熱傳遞材料3內(nèi)靠近熱盤本體1的位置設(shè)置一個溫度檢測單元4即可檢測到可靠的加熱溫度值，而在如圖1所示的現(xiàn)有技術(shù)中，由于加熱溫度均一性較低，因此需設(shè)置多個溫度檢測單元02同時檢測并進行數(shù)據(jù)處理后才能得到可靠的加熱溫度值，由此將溫度檢測單元設(shè)置于熱傳遞材料3內(nèi)靠近熱盤本體1的位置，可減少溫度檢測單元4的設(shè)置數(shù)量，降低溫度控制復(fù)雜度，節(jié)省成本。

本實用新型實施例還提供了一種烘干裝置，包括殼體，所述殼體的側(cè)壁或頂壁上開設(shè)有玻璃板入口，所述玻璃板入口處設(shè)有門體，所述門體用于打開或關(guān)閉所述玻璃板入口，所述殼體內(nèi)的底部設(shè)有如上任一技術(shù)方案所述的熱盤。

由于在本實施例的烘干裝置中使用的熱盤與上述熱盤的各實施例中提供的熱盤相同，因此二者能夠解決相同的技術(shù)問題，并達到相同的預(yù)期效果。

關(guān)于本實用新型實施例烘干裝置的其他構(gòu)成等已為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知，在此不再詳細說明。

在本說明書的描述中，具體特征、結(jié)構(gòu)或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

以上所述，僅為本實用新型的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準(zhǔn)。