本發(fā)明涉及液晶面板制作領(lǐng)域，特別是涉及一種供液系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在信息社會的當(dāng)代，作為可視信息傳輸媒介的顯示器的重要性在進(jìn)一步加強(qiáng)，為了在未來占據(jù)主導(dǎo)地位，顯示器正朝著更輕、更薄、更低能耗、更低成本以及更好圖像質(zhì)量的趨勢發(fā)展。

液晶面板行業(yè)，顯影液的顯影溫度對產(chǎn)品的特性規(guī)格至關(guān)重要，因此需要精確控制其制程溫度?，F(xiàn)有供液室中加熱絲為橫向排布，導(dǎo)致沒有加熱絲的供液室上部顯影液的溫度偏低。目前設(shè)計最主要的問題在于，設(shè)備在沒有清洗玻璃基板狀態(tài)下顯影液的液位較高，當(dāng)制程開始清洗玻璃基板時，供液室中顯影液的液位會因顯影液被打至清洗玻璃基板的清洗室內(nèi)而下降，而加熱絲的高度不能超過下降后的液位，否則會使加熱絲干燒而損壞，從而導(dǎo)供液室內(nèi)上下部藥液存在溫差。

因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，急需改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種改進(jìn)的供液系統(tǒng)。

為解決上述問題，本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下：

本發(fā)明提供一種供液系統(tǒng)，包括：供液室、供液管、補(bǔ)液室以及回流管；

供液室，用于儲存清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第一溫度的第一溫控組件；

供液管，用于連通供液室和清洗室，以使供液室通過該供液管向清洗室輸送清洗液；

補(bǔ)液室，用于儲存預(yù)加熱的清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第二溫度的第二溫控組件；該補(bǔ)液室通過傳輸通道與供液室連通，所述傳輸通道內(nèi)設(shè)置有第一開關(guān)，所述第一開關(guān)用于控制該補(bǔ)液室向供液室輸送具有第二溫度的清洗液，其中，第一溫度與第二溫度相當(dāng)；

回流管，用于連通補(bǔ)液室和清洗室，以使清洗室通過該回流管向補(bǔ)液室回流清洗液。

在一些實(shí)施例中，所述供液系統(tǒng)包括一箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)置有一分隔板，以將所述箱體分隔成所述供液室和所述補(bǔ)液室，所述傳輸通道設(shè)置在所述分隔板上。

在一些實(shí)施例中，所述供液箱內(nèi)設(shè)置有第一液位控制組件，以用于控制供液室內(nèi)清洗液的液位高度。

在一些實(shí)施例中，第一液位控制組件包括第一控制器和第一液位檢測器；

若第一液位檢測器檢測到供液室內(nèi)當(dāng)前液位低于第一液位，第一控制器則用于控制第一開關(guān)開啟，以使補(bǔ)液室向供液室輸送清洗液，直至第一液位檢測器檢測到當(dāng)前液位達(dá)到第二液位時，第一控制器用于控制第一開關(guān)關(guān)閉，以使補(bǔ)液室停止向供液室輸送清洗液；其中，第二液位高于第一液位，第一液位高于第一溫控組件最高點(diǎn)所在液面的液位。

在一些實(shí)施例中，第一開關(guān)為單向電磁閥控制開關(guān)。

在一些實(shí)施例中，所述供液室具有一側(cè)壁，所述側(cè)壁上開設(shè)有具有位置高度差的第一開口和第二開口；所述側(cè)壁上設(shè)置有循環(huán)管，所述循環(huán)管的一端通過第一開口與該供液室連通，所述循環(huán)管的另一端通過第二開口與該供液室連通；所述循環(huán)管內(nèi)設(shè)置有第二開關(guān)，所述第二開關(guān)用于控制該供液室內(nèi)的清洗液通過第一開口經(jīng)循環(huán)管后從第二開口輸送至供液室，或者控制該供液室內(nèi)的清洗液通過第二開口經(jīng)循環(huán)管后從第一開口輸送至供液室。

在一些實(shí)施例中，所述第一溫控組件包括加熱絲，所述加熱絲包括多個彎折單元，所述多個彎折單元沿著所述供液室的底壁橫向分布且依次連接。

在一些實(shí)施例中，所述補(bǔ)液室內(nèi)設(shè)置有第二液位控制組件，以用于控制當(dāng)前補(bǔ)液室內(nèi)清洗液的液位高度。

在一些實(shí)施例中，所述補(bǔ)液室上設(shè)置有與其腔室連通的排液管，所述排液管上設(shè)置有第三開關(guān)，第三開關(guān)用于控制所述補(bǔ)液室內(nèi)的清洗液通過所述排液管排出至外界。

在一些實(shí)施例中，第二液位控制組件包括第二控制器和第二液位檢測器；

若第二液位檢測器檢測到補(bǔ)液室內(nèi)當(dāng)前液位高于第三液位，第二控制器則用于控制第三開關(guān)開啟，使所述補(bǔ)液室內(nèi)的清洗液通過所述排液管排出至外界，以保持補(bǔ)液室內(nèi)清洗液的液位不高于第三液位，直至第二液位檢測器檢測到當(dāng)前液位降低到第四液位時，第二控制器用于控制第三開關(guān)關(guān)閉，以使補(bǔ)液室停止向外界排放清洗液；其中，第三液位高于第四液位，第四液位高于第二溫控組件最高點(diǎn)所在液面的液位。

相較于現(xiàn)有的供液系統(tǒng)，本發(fā)明提供的供液系統(tǒng)包括：供液室、供液管、補(bǔ)液室以及回流管；供液室，用于儲存清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第一溫度的第一溫控組件；供液管，用于連通供液室和清洗室，以使供液室通過該供液管向清洗室輸送清洗液；補(bǔ)液室，用于儲存預(yù)加熱的清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第二溫度的第二溫控組件；該補(bǔ)液室通過傳輸通道與供液室連通，所述傳輸通道內(nèi)設(shè)置有第一開關(guān)，所述第一開關(guān)用于控制該補(bǔ)液室向供液室輸送具有第二溫度的清洗液，其中，第一溫度與第二溫度相當(dāng)；回流管，用于連通補(bǔ)液室和清洗室，以使清洗室通過該回流管向補(bǔ)液室回流清洗液。該方案保證供液室內(nèi)清洗液的溫度均勻，可精確控制液晶面板制程中清洗液的溫度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中供液系統(tǒng)的第一種平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中加熱絲的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中供液系統(tǒng)的第二種平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中供液系統(tǒng)的第三種平面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「側(cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。

在圖中，組件相似的模塊是以相同標(biāo)號表示。

此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個或者更多個該特征。在本發(fā)明的描述中，除非另有說明，“多個”的含義是兩個或兩個以上。另外，術(shù)語“包括”及其任何變形，意圖在于覆蓋不排他的包含。

參閱圖1，圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中供液系統(tǒng)的第一種立體組件示意圖。如圖1所示，本優(yōu)選實(shí)施例的供液系統(tǒng)，用于對清洗室100提供沖洗玻璃基板的清洗液，包括供液室11、供液管12、補(bǔ)液室13以及回流管14，其中：

供液室11用于儲存清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第一溫度的第一溫控組件111。

供液管12用于連通供液室11和清洗室100，以使供液室11通過該供液管12向清洗室100輸送清洗液。

補(bǔ)液室13用于儲存預(yù)加熱的清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第二溫度的第二溫控組件131；該補(bǔ)液室13通過傳輸通道15與供液室11連通，傳輸通道15內(nèi)設(shè)置有第一開關(guān)151，第一開關(guān)151用于控制該補(bǔ)液室13向供液室11輸送具有第二溫度的清洗液，其中，第一溫度與第二溫度相當(dāng)。

實(shí)際應(yīng)用中，該傳輸通道15的長度可設(shè)計為盡可能的短，以確保在補(bǔ)液室13向供液室11輸送清洗液的過程中，清洗液的溫度不會降低。

回流管14用于連通補(bǔ)液室13和清洗室100，以使清洗室100通過該回流管14向補(bǔ)液室13回流清洗液。

具體地，因回流的清洗液溫度會有所下降，本實(shí)施例中，將溫度下降的清洗液回流至補(bǔ)液室13內(nèi)，可避免對供液給清洗室100的供液室11內(nèi)的清洗液溫度的影響。

繼續(xù)參考圖1，在一些實(shí)施例中，第一溫控組件111包括加熱絲111，加熱絲111包括多個彎折單元1111，該多個彎折單元1111沿著供液室11的底壁112橫向分布且依次連接。具體實(shí)施過程中，該加熱絲111的整體的橫向長度l1比縱向長度l2短，以使供液室11內(nèi)清洗液受熱更加均勻，減少上下部溫差。

實(shí)際應(yīng)用中，該加熱絲111的形狀可以有多種，可參考圖2，該加熱絲111可為圖2所示任一結(jié)構(gòu)或者其他未示出的結(jié)構(gòu)。如圖所示，該彎折單元1111可以呈倒“v”形、“m”形。此外，該彎折單元1111還可以呈正“v”形、“w”形、或者螺旋狀等形狀，對此不做具體限定。

此外，該第一溫控組件111還可包括溫度檢測器、以及用于控制加熱絲加熱的控制器等。

同樣地，第二溫控組件131包括加熱絲131，加熱絲131包括多個彎折單元1311，該多個彎折單元1311沿著供液室13的底壁132橫向分布且依次連接。

此外，該第一溫控組件131還可包括溫度檢測器、以及用于控制加熱絲加熱的控制器。

在一些實(shí)施例中，為了減少供夜設(shè)備所占空間以及保持傳輸過程中清洗液溫度不會降低，可將該傳輸通道15設(shè)計為盡可能短。參考圖3，供液系統(tǒng)包括一箱體200，該箱體200內(nèi)設(shè)置有一分隔板210，以將箱體200分隔成供液室11和補(bǔ)液室13，該傳輸通道15設(shè)置在該分隔板210上。

參考圖4，以上述圖3所示供夜系統(tǒng)為例，該供液箱11內(nèi)設(shè)置有第一液位控制組件113，以用于控制供液室11內(nèi)清洗液的液位高度。

在一些實(shí)施例中，第一液位控制組件113包括第一控制器和第一液位檢測器。其中，第一控制器可為plc控制系統(tǒng)，第一液位檢測器可為浮力式液位感應(yīng)器。

繼續(xù)參考圖4，實(shí)際應(yīng)用中，當(dāng)?shù)谝灰何粰z測器檢測到供液室內(nèi)當(dāng)前液位低于第一液位p1時，第一控制器則控制第一開關(guān)151開啟，以使補(bǔ)液室13向供液室11輸送清洗液，直至第一液位檢測器檢測到當(dāng)前液位達(dá)到第二液位p2時，第一控制器控制第一開關(guān)151關(guān)閉，以使補(bǔ)液室13停止向供液室11輸送清洗液。其中，第二液位p2高于第一液位p1，第一液位p1高于第一溫控組件111最高點(diǎn)q1所在液面的液位。

在一些實(shí)施例中，第一開關(guān)151為單向電磁閥控制開關(guān)。

繼續(xù)參考圖4，在一些實(shí)施例中，供液室11具有一側(cè)壁114，該側(cè)壁114上開設(shè)有具有位置高度差的第一開口1141和第二開口1142。該側(cè)壁114上設(shè)置有循環(huán)管115，該循環(huán)管115的一端通過第一開口1141與該供液室11連通，該循環(huán)管115的另一端通過第二開口1142與該供液室11連通。循環(huán)管115內(nèi)設(shè)置有第二開關(guān)1151，第二開關(guān)1151用于控制該供液室11內(nèi)的清洗液通過第一開口1141經(jīng)循環(huán)管115后從第二開口1152輸送至供液室11，或者控制該供液室11內(nèi)的清洗液通過第二開口1152經(jīng)循環(huán)管115后從第一開口1151輸送至供液室11。

實(shí)際應(yīng)用中，該循環(huán)管115的設(shè)計可作為供液室11的內(nèi)循環(huán)裝置，以使供液室11內(nèi)清洗液充分流動，避免供液室11內(nèi)清洗液存有的局部溫差。其中，該第二開關(guān)1151可以為抽水機(jī)(即泵)。

繼續(xù)參考圖4，在一些實(shí)施例中，該補(bǔ)液室13內(nèi)設(shè)置有第二液位控制組件133，以用于控制當(dāng)前補(bǔ)液室13內(nèi)清洗液的液位高度。

具體地，補(bǔ)液室13上設(shè)置有與其腔室連通的排液管16，該排液管16上設(shè)置有第三開關(guān)161，第三開關(guān)161用于控制補(bǔ)液室13內(nèi)的清洗液通過排液管16排出至外界。實(shí)際應(yīng)用中，該第三開關(guān)161可以為電磁閥控制開關(guān)。

在一些實(shí)施例中，第二液位控制組件133包括第二控制器和第二液位檢測器。同樣地，第二控制器可為plc控制系統(tǒng)，第二液位檢測器可為浮力式液位感應(yīng)器。

如圖4所示，實(shí)際應(yīng)用中，當(dāng)?shù)诙何粰z測器檢測到補(bǔ)液室11內(nèi)當(dāng)前液位高于第三液位p3時，第二控制器則控制第三開關(guān)161開啟，使補(bǔ)液室13內(nèi)的清洗液通過排液管16排出至外界，以保持補(bǔ)液室13內(nèi)清洗液的液位不高于第三液位p3，直至第二液位檢測器檢測到當(dāng)前液位降低到第四液位p4時，第二控制器則控制第三開關(guān)161關(guān)閉，以使補(bǔ)液室13停止向外界排放清洗液。其中，第三液位p3高于第四液位p4，第四液位p2高于第二溫控組件131最高點(diǎn)q2所在液面的液位。

實(shí)際應(yīng)用中，第三液位p3可為安全液位，當(dāng)回流的清洗液過多而導(dǎo)致部液室13內(nèi)清洗液的液位高于安全液位時，補(bǔ)液室13內(nèi)的清洗液則會溢出。因此，當(dāng)液位高于第三液位p3時，第二控制器可控制第三開關(guān)161開啟，使補(bǔ)液室13內(nèi)的清洗液通過排液管16排出至外界。

如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例中，廠務(wù)供液管17設(shè)計為與補(bǔ)液室13連通，使廠務(wù)供液管17直接供液給補(bǔ)液室13，以避免直接影響供液室11內(nèi)清洗液的溫度，從而避免因清洗液溫度變化影響清洗室100內(nèi)正在清洗的玻璃基板的特性規(guī)格。

由上可知，本發(fā)明實(shí)施例提供的供液系統(tǒng)，包括供液室、供液管、補(bǔ)液室以及回流管；供液室，用于儲存清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第一溫度的第一溫控組件；供液管，用于連通供液室和清洗室，以使供液室通過該供液管向清洗室輸送清洗液；補(bǔ)液室，用于儲存預(yù)加熱的清洗液，其內(nèi)設(shè)置有用于控制清洗液穩(wěn)定在第二溫度的第二溫控組件；該補(bǔ)液室通過傳輸通道與供液室連通，所述傳輸通道內(nèi)設(shè)置有第一開關(guān)，所述第一開關(guān)用于控制該補(bǔ)液室向供液室輸送具有第二溫度的清洗液，其中，第一溫度與第二溫度相當(dāng)；回流管，用于連通補(bǔ)液室和清洗室，以使清洗室通過該回流管向補(bǔ)液室回流清洗液。該方案保證供液室內(nèi)清洗液的溫度均勻，可精確控制液晶面板制程中清洗液的溫度，提升產(chǎn)品良率。

綜上所述，雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。