專利名稱：具有柔性的介電層的等離子體尋址裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于攝象機(jī)、記錄器件、顯示屏、存儲器件以及由數(shù)據(jù)存儲元件構(gòu)成并采用可電離氣體對這種存儲元件尋址的其他系統(tǒng)中的介電層。
等離子體尋址裝置可應(yīng)用于多種場合，包括攝象機(jī)，記憶器件，以及平板顯示器等，包括平板液晶顯示器。在Buzak等人的名為“Addressing Structure Using Ionixzable Gaseous Medium”的美國專利4，896，149號和Buzak的名為“Apparatus and Method of Addressing Data Storage Elements”，的美國專利5，077，553號中描述了這種尋址裝置及存儲器件，上述兩項(xiàng)專利均已被轉(zhuǎn)讓給本申請的受讓人。
普通的一種等離子體尋址裝置包括一個顯示屏，它具有相互隔開、并且面對面定位的第一和第二玻璃基片。一個介電材料的層和一個例如液晶材料的層把上述第一和第二基片表面隔開。許多平行的導(dǎo)電體大體上沿著第一基片內(nèi)表面上的第一方向延伸，構(gòu)成用于接收數(shù)據(jù)驅(qū)動信號的列數(shù)據(jù)電極。許多刻入第二基片的內(nèi)表面內(nèi)的平行通道沿著該內(nèi)表面在大體上橫貫上述第一方向的第二方向上延伸。
在每個通道中充有可電離的氣體。電氣體由離裝置使氣體電離，這種裝置包括一個參考電極或是陽極，以及一個陰極，它們沿著各通道的長度方向延伸。選擇性地使各通道中的氣體電離，從而對與通道對齊地元件尋址。這種可地址的元件可以包括具有電光特性的一行顯示元件，例如定位在第一基片的內(nèi)表面與介電層之間的液晶材料層。
相鄰?fù)ǖ篱g的側(cè)壁限定了許多支撐結(jié)構(gòu)，其頂部表面(稱為“接合區(qū)”)支撐著介電材料層。介電材料層的作用是設(shè)在通道內(nèi)的可電離氣體與可尋址元件之間的一個隔離擋板。介電材料可防止可尋址材料流入通道，并且能阻止可電離的氣體污染可尋址材料。
通常是用玻璃原料沿著第一和第二基片以及介電層的邊界區(qū)域?qū)⑺鼈兒附釉谝黄稹＿@一熔接過程通常是在氮或氧環(huán)境中在高溫的爐中完成。在氧或氮環(huán)境中高溫如熱有助于除去記憶器件、顯示屏或其他等離子體尋址系統(tǒng)中的水蒸汽。水和其他揮發(fā)性物質(zhì)會縮短這種等離子體尋址系統(tǒng)的使用壽命。
為了保持所需的電氣和光學(xué)特性，介電層應(yīng)該很薄。可以構(gòu)成介電層的材料包括玻璃，云母或熱塑性塑料等等，各種材料都有明顯的局限性，并且經(jīng)檢驗(yàn)證明不能被滿意的用于某種用途。要把這類材料焊接到基片上也會面臨各種困難。
在等離子體尋址的顯示屏中通常采用一片很薄的玻璃片做介電層。一個例子是SchottRD263玻璃片，其深度(厚度)為0.05mm(2mil)，具有清晰的光學(xué)特性熱穩(wěn)定性，耐用性以及幾乎純凈的化學(xué)特性。在可用于此類顯示器中的介電層的各種材料中，這種玻璃薄片在電氣、物理及光學(xué)性能上被認(rèn)為具有最完美的結(jié)合。然而在把這種玻璃薄片與第一和第二玻璃基片相結(jié)合的工作中遇到了困難。
玻璃薄片非常脆，易碎，并且很難掌握。玻璃材料或其他物質(zhì)對玻璃薄片和接合的污染通常會導(dǎo)致玻璃薄片的與基片焊接的過程中發(fā)生碎裂。因此必須極為小心地避免污染物質(zhì)。云母薄片也會面臨這些相同的問題，并且其光學(xué)特性比玻璃片要差。
此外，可供使用的玻璃片和云母的產(chǎn)品在數(shù)量和尺寸上都是有限的。并且此類玻璃薄片和云母薄片都很昂貴。對例如大屏幕平板顯示器來說，沒有其所需的大塊的玻璃薄片。因此，由于缺少一種具有理想性能的大尺寸片狀介電材料，使得等離子體尋址的顯示屏的顯示區(qū)域尺寸受到限制。
熱塑性塑料通常是擠壓(成形)的，它容易產(chǎn)生裂紋，容易擦傷，并且很難獲得足夠薄并且均勻的薄片。理想的情況是把介電層僅僅接合到接合區(qū)上，而使其不侵害到通道的側(cè)壁。由于熱塑性塑料都具有延展性并且熔點(diǎn)較低，熱塑料性塑料片趨向于使通道出現(xiàn)有害的畸形，而不能從一個接合區(qū)跨到另一個接合區(qū)且保持相對的平直和剛性。此外，許多熱塑性塑料不具備熱穩(wěn)定性，并且在高溫溶結(jié)處理期間會出現(xiàn)不能接受的變色現(xiàn)象。因此，至今為止，熱塑性塑料不能被用做等離子體尋址系統(tǒng)的介電層。
因此，本發(fā)明的目的之一是提供一種等離子體尋址裝置，它具有一個柔性的介電層，該介電層呈現(xiàn)出理想的機(jī)械，熱，光學(xué)及電氣特性。
本發(fā)明的另一目的是提供一種能被用于制適大面積顯示屏以及其他等離子體尋址系統(tǒng)的柔性的介電層，它可以制成相對較大的尺寸。
本發(fā)明進(jìn)一步的目的是提供一種柔性的介電層，其熱、光學(xué)和電氣特性均能比得上又薄又脆的玻璃片。
按照本發(fā)明，在等離子體尋址的裝置第一和第二基片的內(nèi)表面之間放置一個柔性的介電層。根據(jù)最佳實(shí)施例，本發(fā)明中所用的柔性介電層是由聚合物薄膜構(gòu)成的。適用的聚合物薄膜包括聚醚，聚(醚酮)，聚醚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞受-酰胺)，聚芳烴醚，以及它們的氟化衍生物，其中包括將在下文中詳細(xì)描述的氟化聚(苯撐醚酮)系列12F-PEK。
用于構(gòu)成柔性介電層的聚合物的理想特性包括對于電磁波頻譜中可見光范圍內(nèi)的光波具有低吸收性，以過高溫加熱處理后仍保持高的光學(xué)清晰度，以及高的熱穩(wěn)定性。對于光學(xué)傳導(dǎo)的清晰度外的其它特性來說，理想的特性還包括低的散射性，低的雙折射性，以及在高溫加熱處理和暴露在可見光或接近紫外線光譜的光線下之后應(yīng)具有低的變色性。另外，最佳的聚合物在制成薄層或薄膜后應(yīng)上具有高的介電穩(wěn)定性，高電阻性，并且能夠在高電壓下不以被擊穿。
本發(fā)明的聚合物材料介電層最外是由均勻的高分子量聚合物成分構(gòu)成。較低分子量的聚合物成分在高溫加熱時會出現(xiàn)不理想的變色。該聚合物材料最好是不含其他低分子量成分和雜質(zhì)。低分子量成分和雜質(zhì)可能會彌散到液晶材料或其他可尋址材料中，并且被認(rèn)為會導(dǎo)致不理想的傳導(dǎo)性能。對水的低吸收性和低阻擋性也是這種聚合物介電材料的理想特性。
在制成0.0125mm至0.075mm(0.5mil至3mil)的薄層或薄膜時，最佳的聚合物材料具有高的彈性模量，表現(xiàn)出良好的機(jī)械強(qiáng)度，具有基本上均勻一致的厚度，并且沒有孔或洞。此外還應(yīng)具有可與等離子體玻璃相匹配的熱膨脹系數(shù)。
在顯示屏和其他等離子體可尋址系統(tǒng)中，采用高溫處理進(jìn)行玻璃熔結(jié)而裝配成的聚合物薄膜能夠很容易地焊接到玻璃材料和玻璃基片層上。


圖1是配有有關(guān)的驅(qū)動電路的一個顯示板的正面視圖，其中采用了本發(fā)明的柔性介電層;
圖2是一個放大的局部立體視圖，圖中示出了從圖1左側(cè)視察到的按照本發(fā)明構(gòu)成的顯示板的層狀結(jié)構(gòu)組成;
圖3是沿著圖2中的3-3線方向的一個放大的截面圖，其中示出了柔性的介電層;
圖4是沿著圖2中4-4線方向的一個放大的截面圖，其中也示出了柔性的介電層。
參見圖1至4，等離子體尋址的平板顯示系統(tǒng)10包括一個具有顯示表面14的顯示板12，顯示表面14是在垂直和水平方向上相隔預(yù)定距離的具有標(biāo)稱相同的數(shù)據(jù)存儲或顯示元件16組成的一個矩形平面陣列。陣列中的每個顯示元件16代表了沿垂直列方向布置的列數(shù)據(jù)電極18和沿水平方向布置和延長通道20的重疊部分。在每行通道20中的顯示元件16代表著數(shù)據(jù)的一條線。
列電極18和通道20的寬度決定了顯示元件16的尺寸，顯示元件可以是矩形的。列電極18被淀積在第一非導(dǎo)電光透明基片22的一個主要表面上，而通道20則是被刻在第二非導(dǎo)電光透明基片24的一個主要表面之內(nèi)。用一個非導(dǎo)電的，光透明的柔性介電層26把第一和第二基片隔開，該介電層26由按照本發(fā)明的聚合物薄膜構(gòu)成。
顯示板12包括一個尋址裝置，該裝置包括一對大體上平行的電極裝置28和30，用柔性的介電層26和一層電光材材料32例如一種向列液晶材料把上述電極裝置28和30隔開。電極裝置28包括最好是玻璃的基片22，并且在其內(nèi)表面34上淀積列電極18，列電極18是透明的，并且形成條狀圖形。相鄰的一對列電極18被隔開一距離36，該距離限定了一行中的相鄰顯示元件16之間的水平間隔。
電極裝置30包括最好是玻璃的基片24，在其頂面37上的接合區(qū)38之間刻有多個溝道20。從頂面37或接合區(qū)38到基座或底面42所測得的溝道20的深度為40。每個溝道20具有沿其長度方向的一對內(nèi)側(cè)壁44和一對電極46和48。相鄰?fù)ǖ?0間的側(cè)壁44限定了許多支撐結(jié)構(gòu)50，它利用接合區(qū)38支撐介電層26。相鄰的溝道20被各個支撐結(jié)構(gòu)50頂部的寬度52隔開，該寬度52限定了一列中相鄰顯示元件16之間的垂直間隔。每個溝道20中都充有通常包括氦的可電離氣體。若要對與一個溝道20對齊的顯示元件16尋址，就采用氣體電離裝置或是一個包括電極46和48的裝置選擇地使該溝道20中的氣體電離。
列電極18從平行的輸出導(dǎo)線54上接收由一個數(shù)據(jù)驅(qū)動器或驅(qū)動電路58的差分輸出放大器56輸出的數(shù)據(jù)驅(qū)動信號。溝道20中的電極48接收出現(xiàn)在平行的輸出導(dǎo)線60上的數(shù)據(jù)選通信號，該選通信號是數(shù)據(jù)選通器或選通電路64的差分輸出放大器62的輸出。數(shù)據(jù)選通信號與參考電極46相配合，使溝道20中的氣體電離。為了使顯示表面14的整個區(qū)域中的圖象基本上同步，顯示系統(tǒng)10采用一個掃描控制電路66來協(xié)調(diào)數(shù)據(jù)驅(qū)動器58和數(shù)據(jù)選通器64的功能，從而以逐行掃描的方式一行接一行地對顯示板12的所有各列顯示元件16尋址。
包含在各溝道20中的可電離氣體起到一個電開關(guān)的作用。當(dāng)數(shù)據(jù)選通信號使氣體電離時，這些開關(guān)就被連接在參考電極46和48與液晶材料層32之間。在電極裝置28下方的溝道20內(nèi)包含的可電離氣體與柔性的介電層26相連通，提供一條從介電層26到參考電極46和48的電容性導(dǎo)電路徑。這一電容性導(dǎo)電路徑傳送列電極18上的數(shù)據(jù)驅(qū)動信號，去控制可尋址材料層32的光電特性。
柔性的介電層26在包含在溝道20中的可電離氣體與例如由向列液晶材料構(gòu)成的可尋址材料層32之間起到一個隔離屏障的作用。介電層26或其他類似屏障的存在可以防止可尋址材料流入溝道20，同時也可防止可電離氣體對可尋址的污染。
柔性的介電層最好是由一種聚合物構(gòu)成。合成聚合物的介電材料具有廣泛的應(yīng)用，例如可用做電容器的材料。聚合物容易被制成薄膜。公知的合成聚合物材料包括聚乙烯，聚1.1-二氟乙烯，聚對苯二甲酸乙二醇酯以及聚苯乙烯。本發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)了可用于顯示板12的幾種不同的聚合物材料，它們包括聚醚，聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，以及它們的氟化衍生物。
聚芳烴醚可被制成具有所需熱和化學(xué)穩(wěn)定性的介電薄膜。一種優(yōu)選的聚合物種類是氟化的聚(苯撐醚酮)，并且特別是氟化聚(苯撐醚酮)系列的“12F-PEK”，它們是雙酚AF和1，1，1，3，3，3，-六氟-2，2-雙[4-(4-鹵代苯甲酰)苯基]丙烷的聚合反應(yīng)產(chǎn)物。在Cassidg等人名為“Low Dieleetric Fluorinated Poly(phenglene Ether Ketone)Film and Coating”的美國專利4，902，769號中說明了12F-PEK聚合物的化學(xué)式及其制造方法，該文獻(xiàn)可在本文中作為參考。
用于介電層26的優(yōu)選聚合物可以被制成大約0.0125mm至0.075mm的極薄的膜?？梢圆捎酶鞣N能制成具有均勻厚度且基本上沒有孔或洞的連續(xù)薄膜通用方法來制成所需的薄膜。此類方法包括噴涂，涂料，或是鑄塑。通過把溶解在一種適當(dāng)?shù)馁|(zhì)量溶劑中的薄膜成形聚合物展開的方法，很容易鑄造出具有0.0125mm至0.075mm基本均勻厚度范圍的薄膜。
把經(jīng)過提純的聚合物樣品溶解在一種適當(dāng)?shù)母哔|(zhì)量溶劑中，得到一種重量一體積比(w/v)約為2-10%的溶液。將所得的溶液過濾，并且在特定尺寸干凈玻璃澆注盤上將其展開成基本均勻的厚度。借助于展開以及對溶液濃度進(jìn)行控制，很容易控制所得薄膜的厚度。玻璃盤和所得的鑄塑聚合物片的尺寸可以超過目前用在等離子體尋址裝置中的那種0.05mm厚的玻璃片。玻璃澆注盤最好是用非離子清洗劑，超聲攪動及二次蒸餾水清洗過的或是用其他合適的常規(guī)清洗方式。然后把薄膜置于清潔的經(jīng)過過濾的空氣環(huán)境中使其緩慢干燥，經(jīng)歷大約24小時后還可以用較高的溫度進(jìn)行短時的干燥處理。溶液在干燥過程初期階段緩慢地蒸發(fā)，可避免形成不應(yīng)有的泡沫。用消電離的水浸泡干燥后的薄膜，就可以使其脫離澆注盤。
按照本發(fā)明的一個實(shí)施例的介電層26，把大約5.0克干燥的、經(jīng)過提純的12F-PEK溶解在大約100ml高質(zhì)量甲苯中，得到大約5%(w/v)的溶液。其他可用的溶劑包括甲基乙基酮，氯仿，以及甲撐氯化物。把所得溶液過濾到置于水平面上的一個15cm乘30cm的清潔、干燥的玻璃澆注盤上，并用清潔的玻璃棒將其展開變薄。把薄膜蓋在清潔環(huán)境中緩慢地干燥大約24小時。把干燥后的薄膜浸入消電離的水，使其脫離。結(jié)果得到的薄膜具有大約0.025mm的基本上均勻的深度，并且沒有不可接受的洞或其他孔。
12F-PEK聚合物呈現(xiàn)出可接受的熱穩(wěn)定性。最佳的聚合物材料被認(rèn)為應(yīng)具有大約450℃或更高的TGA(熱解重量分析)比率(即在以20℃/分鐘的速率加熱到450℃的重量損失小于10%)，并且應(yīng)能承受高溫加熱處理。12F-PEK聚合物系列在氧或氮中的TGA范圍大約是485℃至550℃。在高溫熔接操作期間把大約0.025mm厚的一片12F-PEK薄膜用玻璃原料焊接到玻璃基片上，并且在435℃下經(jīng)過60分鐘后沒有明顯的破裂或變色的跡象。也可以在不用玻璃原料的情況下把大約0.025mm厚的12-F-PEK薄膜滿意地焊接到玻璃基片上。由12F-PEK系列構(gòu)成的薄膜在電磁頻譜的可見光范圍內(nèi)在光學(xué)上具有合格的不失真性和透明度。對于幾乎所有波長在400毫微米至750毫微米之間的光來說，一片0.025mm薄膜的傳輸效率大于85%。在氮環(huán)境中以375℃熔接之后，0.025mm12-F-PEK薄膜的對于相同波長的光的傳輸效率大于75%。與在空氣中進(jìn)行高溫操作的情況相比，薄膜在氮環(huán)境中進(jìn)行高溫操作后出現(xiàn)的變色現(xiàn)象較光少。
0.025mm的12F-PEK薄膜具有大約為2.4(在10GHz下)的合格的介電常數(shù)，并且在承受每平厘米大約155伏的電壓(約為每平方英寸1000伏)時沒有明顯的擊穿現(xiàn)象。這種薄膜還具有至少約為1014歐姆-cm的合格高電阻特性。
12F-PEK聚合物系列容易溶解在大多數(shù)的普通有機(jī)溶劑中，并且容易(通過溶液澆注)形成薄膜。這一聚合物系列在澆注成薄膜時還具有顯著的化學(xué)隋性。一片0.025mm的12F-PEK薄膜顯示出沒有明顯的水溶性，并且與液晶材料沒有明顯的反應(yīng)性。已知的12F-PEK的氦滲透性系數(shù)在35℃下大約為31.8×1011cm3/(cm2ScmHg)，12-F PE薄膜的抗拉強(qiáng)度約為3600kg/cm2(約為每平方英寸10600磅(“psi”))以及彈性模數(shù)約為5.5×109N/m2(每平方米牛頓)。
商用的聚酰亞胺，特別是芳烴聚酰亞胺也具有適合用做平板顯示器12中的介電層26的合格的熱和電氣穩(wěn)定性。許多聚酰亞胺薄膜同時也具備合格的化學(xué)隋性。作為一個種類，聚酰亞胺聚合物通常具有450℃以上的TGA。這種聚酰亞胺聚合物在室溫下可以延長大約70%或更多而不會破裂，并且在室溫下的抗拉強(qiáng)度可以超過6800kg/cm2(約為20.000psi)，其介電常數(shù)為3.0或以上。
由地處Wilmington，Delaware的Du Pont公司銷售的一種名為KaptonTM的聚酰亞胺薄膜是1，2，4，5-苯四酸酐與4，4′-二氨基-苯基醚(雙(4-氨基苯基)醚)發(fā)生反應(yīng)的聚合物產(chǎn)品。由KaptonTM制成的0.025mm薄膜與液晶材料沒有明顯的反應(yīng)，并且對氦，空氣和水蒸汽具有合格的不滲透性能。0.025mm的KaptonTM薄膜在高溫熔拉透性期間可能用玻璃原料滿意地焊接到等離子體尋址顯示器的玻璃基片上，并且在435℃下經(jīng)過60分鐘后沒有明顯的破裂跡象。
0.025mm的KaptonTM薄膜具有約為3.1或更高(在10GHz下)的合格的介電常數(shù)，并且在承受每平方厘米大約155伏(約為每平方英寸1.000伏)電壓沒有明顯的擊穿現(xiàn)象。該薄膜還具有至少約為1014歐姆-cm的高電阻性。盡管KaptonTM薄膜具備了許多理想的特性，但是由于它具有琥珀的顏色，并且整個可見光譜中不都是透明的，因此其不是用做柔性介電層26的理想材料。
用于等離子體尋址的顯示器12的介電層26的最佳材料在光學(xué)上是基本清晰的，并且在被制成薄層或膜時不發(fā)生畸變。最佳的材料在電磁射線頻譜的可見光范圍(相當(dāng)于波長范圍在大約400毫微米至750毫微米的光)內(nèi)對光的吸收很小，并且其對入射光典型地具有80%或以上的傳輸效率，這種材料的薄膜顯示很小的雙折射率，并且對光沒有明顯的散射。最佳的材料是暴露于波長大于400毫微米的光線中之后很少或沒有變色現(xiàn)象。
在制成大約0.0125mm至0.075范圍的薄膜時，介電層26的厚度是基本均勻的，并且沒有孔或洞。最佳的聚合物薄膜的厚度變化范圍不超過其總的平均深度的10%。
此外，在制成薄層或膜時，被用做介電層26的最佳材料具有良好的機(jī)械特性，其特征是具有高的彈性模數(shù)和高的抗拉強(qiáng)度。理想的材料還應(yīng)具備可與等離子體玻璃相比的熱膨脹系數(shù)。
用在柔性介電層26中的最佳材料具有良好的介電性。對于0.0125mm至0.075mm的薄膜來說，介電層26的介電常數(shù)約為2或更高。在這實(shí)際中，若是介電常數(shù)能達(dá)到10以上則更為理想。還應(yīng)具有大于1014歐姆-cm的高電阻性和承受155伏的抗擊穿性。
另外，作為一種薄層或膜，用在柔性介電層26中的最佳材料能被用做一個校正層，用于使接觸該介電層的液晶層的分子方向?qū)R。
在最佳實(shí)施例中，柔性介電層26包括一個聚合物薄膜，它的主要性質(zhì)有高的光學(xué)清晰度，并在高溫加熱操作后保持高的光學(xué)清晰度，以及高的熱穩(wěn)定性。顯而易見，對于熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明基本原則的條件下可以把很多種不同的聚合物納入本發(fā)明的范圍內(nèi)。因此，本發(fā)明的范圍應(yīng)由附加的權(quán)利要求來確定。
權(quán)利要求
1.一種等離子體尋址裝置，其特征是包括數(shù)據(jù)電極和具有第一主要表面和第二主要表面的柔性介電層，其中的柔性介電層的第一主要表面與上述數(shù)據(jù)電極相連通；一種與柔性介電層的第二主要表面和參考電極連通的可電離氣體介質(zhì)；以及與可電離氣體介質(zhì)連通的電離電極，用于選擇性地使可電離氣體電離，從而在數(shù)據(jù)電極與參考電極之間實(shí)現(xiàn)可中斷的電氣連接。
2.如權(quán)利要求1的等離子體尋址裝置，其特征是在數(shù)據(jù)電極與柔性介電層的第一主要表面之間設(shè)有一層具有光電特性的材料，從而使該光電材料層的特性響應(yīng)于出現(xiàn)在數(shù)據(jù)電極上的數(shù)據(jù)信號而發(fā)生變化。
3.如權(quán)利要求1的等離子體尋址裝置，其特征是上述柔性介電層由一個對可見光波長范圍內(nèi)的光波長范圍內(nèi)的光具有80%以上的傳輸效率的聚合物薄膜構(gòu)成。
4.如權(quán)利要求1的等離子體尋址裝置，其特征是柔性介電層是一種聚合物薄膜構(gòu)成，在高達(dá)400℃的溫度下經(jīng)過60分鐘后，該薄膜對可見光波長范圍內(nèi)的光具有大于70%的傳輸效率。
5.如權(quán)利要求4的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜包括聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，或是它們的一種氟化衍生物。
6.如權(quán)利要求4的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜選自由聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，或是它們的一種氟化衍生物構(gòu)成的組。
7.如權(quán)利要求3的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜包括一種聚酰亞胺或是其氟化衍生物。
8.如權(quán)利要求3的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜包括一種聚芳烴醚是其氟化衍生物。
9.如權(quán)利要求1的等離子體尋址裝置，其特征是柔性介電層是由一種包括12F-PEK的聚合物薄膜構(gòu)成。
10.如權(quán)利要求1的等離體尋址裝置，其特征是柔性介電層由一種厚度基本均勻的聚合物薄膜構(gòu)成，在高達(dá)435℃的溫度下經(jīng)歷60分鐘后，其介電常數(shù)大于2.0，抗拉強(qiáng)度大于2，400kg/cm2，彈性模量大于1.0×109N/m2，TGA高于450℃，能與玻璃焊接并保持其基本的光學(xué)清晰度，對可見光波長范圍內(nèi)的光具大于80%的傳輸效率，電阻值為1013至1015歐姆-cm，并具有能承受155伏電壓而不出現(xiàn)明顯擊穿現(xiàn)象的能力。
11.如權(quán)利要求3的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜包括一種聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，或是它們的一種氟化衍生物。
12.如權(quán)利要求3的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜選自由聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，(聚酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，或是它的的一種氟化衍生物構(gòu)成的一組。
13.如權(quán)利要求3的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜由一種聚酰亞胺或是其氟化衍生物構(gòu)成，在高達(dá)400℃的溫度下經(jīng)歷60分鐘之后，該薄膜對于可見光波長范圍內(nèi)的光具有大于70%的傳輸效率。
14.如權(quán)利要求3的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜由一種聚芳烴醚或是其氟化衍生物構(gòu)成，在高達(dá)400℃的溫度下經(jīng)歷60分鐘之后，該薄膜對可見光波長范圍內(nèi)的光具有大于70%的傳輸效率。
15.如權(quán)利要求4的等離子體尋址裝置，其特征是上述聚合物薄膜能被直接焊接到玻璃上。
16.如權(quán)利要求2的等離子體尋址裝置，其特征是柔性介電層包括一種聚合物薄膜，該薄膜能校正電材料層中的分子的方向。
17.一種等離子尋址裝置，其特征包括一個用于傳送可變數(shù)據(jù)信號的數(shù)據(jù)電極，和一個具有第一主要表面和第二主要表面的柔軟的介電材料層，其中的第一主要表面與數(shù)據(jù)電極連通;一種可電離氣體介質(zhì)與柔軟的介電材料層的第二主要表面和一個參考電極相連通;一個電離電極與可電離氣體介質(zhì)相連通，用于選擇地使可電離氣體介質(zhì)電離，從而在數(shù)據(jù)電極與參考電極之間實(shí)現(xiàn)可中斷的電連接;以及設(shè)在數(shù)據(jù)電極與柔性的介電材料層第一主要表面之間的一層具有光電特性的材料，從而使光電材料層的特性響應(yīng)于出現(xiàn)在數(shù)據(jù)電極上的信號而發(fā)生變化。
18.如權(quán)利要求17的等離子體尋址裝置，其特征是本柔性的介電材料層是由一種聚合物薄膜構(gòu)成，該薄膜對于可見光波長范圍內(nèi)的光線具有大于80%的傳輸效率。
19.如權(quán)利要求17的等離子體尋址裝置，其特征是柔性的介電材料層一種聚合物薄膜構(gòu)成，在高達(dá)400℃的溫度下經(jīng)歷60分鐘后，該薄膜對可見光波長范圍的光具有大于70%的傳輸效率。
20.如權(quán)利要求18的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜包括一種聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，或是它們的一種氟化衍生物。
21.如權(quán)利要求18的等離子體尋址裝置，其特征是聚合物薄膜是選自由聚(醚酮)，聚酰亞胺，聚酰胺，聚(酰亞胺-酰胺)，聚芳烴醚，或是它們的一種氟化衍生物構(gòu)成的一個組。
全文摘要
一種具有數(shù)據(jù)存儲元件(16)的等離子體尋址裝置，它使用一種可電離氣體把數(shù)據(jù)存入和讀出存儲元件。該存儲元件由在第一基片(22)上的共同方向上延伸的多個列電極(18)與在第二基片(24)上的共同方向上延伸的多個通道(20)的重疊區(qū)域所限定。一層柔軟的介電材料(26)把第一和第二基片隔開，兩個基片面對面地配置，并且在橫跨列電極的通道方向上留有間隙。每個通道中充有一種可電離氣體，并且包括相互電絕緣的兩個電極(46和48)?？呻婋x氣體起到一個電開關(guān)的作用。
文檔編號G02F1/133GK1098536SQ9410329
公開日1995年2月8日 申請日期1994年3月8日 優(yōu)先權(quán)日1993年3月8日
發(fā)明者W·W·施坦 申請人:特克特朗尼克公司