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      一種集成分光探測(cè)的衰減器的制造方法

      文檔序號(hào):8256201閱讀:347來(lái)源:國(guó)知局
      一種集成分光探測(cè)的衰減器的制造方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種衰減器。特別是涉及一種將衰減器和分光探測(cè)器集成為一體的集成分光探測(cè)的衰減器。
      【背景技術(shù)】
      [0002]現(xiàn)有的在衰減器的輸入端和(或)輸出端進(jìn)行分光探測(cè),具有兩種方案。一種是衰減器+耦合器分光+探測(cè)器方案,如圖9、圖10、圖11所示。此方案是在衰減器的輸入端和(或)輸出端接一個(gè)1x2的親合器(比如5:95分光的親合器),分出一小部分(比如5:95的分光親合器分出5%的光)光從親合器的一端輸出,然后再接一個(gè)探測(cè)器,對(duì)分出來(lái)的這一小部分光進(jìn)行探測(cè)。還有一種是衰減器+抽頭分光探測(cè)器(Tap PD)方案,如圖12、圖13、圖14所示。此方案是在衰減器的輸入端和(或)輸出端接一個(gè)抽頭分光探測(cè)器(Tapro),抽頭分光探測(cè)器的原理如圖15所示,它是利用分光片(或在透鏡上鍍分光膜)分出一部分光到探測(cè)芯片上,探測(cè)芯片對(duì)這部分光進(jìn)行探測(cè)。
      [0003]上述這兩種方案封裝尺寸都比較大,限制了衰減器的應(yīng)用范圍。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是,提供一種體積小,把衰減器和分光探測(cè)器集成到一起的集成分光探測(cè)的衰減器
      [0005]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種集成分光探測(cè)的衰減器,包括有分別設(shè)置在兩側(cè)的第一單芯光纖頭和第二單芯光纖頭,在所述的第一單芯光纖頭和第二單芯光纖頭之間的光路上設(shè)置有微光機(jī)電系統(tǒng)芯片,所述的第一單芯光纖頭的出射光端至微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的入射光端之間的光路上還依次設(shè)置有第一準(zhǔn)直透鏡和第一分光片,所述微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的出射光端至第二單芯光纖頭的入射光端之間的光路上設(shè)置有第四會(huì)聚透鏡,所述第一分光片反射光的光路上設(shè)置有用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第一探測(cè)芯片。
      [0006]在所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的入射光端還設(shè)置有第二會(huì)聚透鏡,在所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的出射光端還設(shè)置有第二準(zhǔn)直透鏡。
      [0007]在所述的第一分光片和用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第一探測(cè)芯片之間的光路上還設(shè)置有第一會(huì)聚透鏡或球透鏡。
      [0008]所述的第四會(huì)聚透鏡的入射光的光路上還設(shè)置有第二分光片,所述第二分光片的反射光路上設(shè)置有用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第二探測(cè)芯片。
      [0009]在所述的第二分光片和用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第二探測(cè)芯片之間的光路上還設(shè)置有第三會(huì)聚透鏡或球透鏡。
      [0010]在第一準(zhǔn)直透鏡的出射光端還設(shè)置有第一反射鏡,在第四會(huì)聚透鏡的入射光端還設(shè)置有第二反射鏡。
      [0011]—種集成分光探測(cè)的衰減器,包括有分別設(shè)置在兩側(cè)的第一單芯光纖頭和第二單芯光纖頭,在所述的第一單芯光纖頭和第二單芯光纖頭之間的光路上設(shè)置有微光機(jī)電系統(tǒng)芯片,所述的第一單芯光纖頭出射光端至所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片入射光端之間的光路上設(shè)置有第一準(zhǔn)直透鏡,所述微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的出射光端至第二單芯光纖頭之間的光路上設(shè)置有第二分光片和第四會(huì)聚透鏡,所述第二分光片的反射光路上設(shè)置有用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第二探測(cè)芯片。
      [0012]所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的入射光端還設(shè)置有第二會(huì)聚透鏡,所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片的出射光端還設(shè)置有第二準(zhǔn)直透鏡。
      [0013]在所述的第二分光片和用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第二探測(cè)芯片之間的光路上還設(shè)置有第三會(huì)聚透鏡或球透鏡。
      [0014]在所述的第一準(zhǔn)直透鏡的出射光端的光路上還設(shè)置有第一分光片,在所述第一分光片反射光的光路上設(shè)置有用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第一探測(cè)芯片。
      [0015]在所述的第一分光片和用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第一探測(cè)芯片之間的光路上還設(shè)置有第一會(huì)聚透鏡或球透鏡。
      [0016]在第一準(zhǔn)直透鏡的出射光端還設(shè)置有第一反射鏡,在第四會(huì)聚透鏡的入射光端還設(shè)置有第二反射鏡。
      [0017]本發(fā)明的一種集成分光探測(cè)的衰減器,將衰減器和分光探測(cè)器集成為一體,降低了尺寸,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,體積小,便于攜帶,使用方便,滿足了客戶小尺寸的需求。
      【附圖說(shuō)明】
      [0018]圖1是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0019]圖2是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0020]圖3是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0021]圖4是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第四實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0022]圖5是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第五實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0023]圖6是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第六實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0024]圖7是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第八實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0025]圖8是本發(fā)明集成分光探測(cè)的衰減器第九實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0026]圖9是現(xiàn)有技術(shù)衰減器+耦合器分光+探測(cè)器結(jié)構(gòu)中只在輸出端分光探測(cè)的示意圖;
      [0027]圖10是現(xiàn)有技術(shù)衰減器+耦合器分光+探測(cè)器結(jié)構(gòu)中只在輸入端分光探測(cè)的示意圖;
      [0028]圖11是現(xiàn)有技術(shù)衰減器+耦合器分光+探測(cè)器結(jié)構(gòu)中在輸入輸出端分光探測(cè)的示意圖;
      [0029]圖12是現(xiàn)有技術(shù)衰減器+抽頭分光探測(cè)器(Tap PD)結(jié)構(gòu)中在輸出端分光探測(cè)的示意圖;
      [0030]圖13是現(xiàn)有技術(shù)衰減器+抽頭分光探測(cè)器結(jié)構(gòu)中在輸入端分光探測(cè)的示意圖;
      [0031]圖14是現(xiàn)有技術(shù)衰減器+抽頭分光探測(cè)器結(jié)構(gòu)中在輸入輸出端分光探測(cè)的示意圖;
      [0032]圖15是現(xiàn)有技術(shù)抽頭分光探測(cè)器(Tap PD)的示意圖.
      [0033]圖中
      [0034]1:第一單芯光纖頭2:第一準(zhǔn)直透鏡
      [0035]3:第一分光片4:第一會(huì)聚透鏡或球透鏡
      [0036]5:第一探測(cè)芯片6:第二會(huì)聚透鏡
      [0037]7:微光機(jī)電系統(tǒng)芯片8:第二準(zhǔn)直透鏡
      [0038]9:第二分光片10:第三會(huì)聚透鏡或球透鏡
      [0039]11:第二探測(cè)芯片12:第四會(huì)聚透鏡
      [0040]13:第二單芯光纖頭14:第一反射鏡
      [0041]15:第二反射鏡101:光纖
      [0042]102:衰減器103:1 X 2耦合器
      [0043]104:探測(cè)器105:抽頭分光探測(cè)器(Tap PD)
      [0044]106:雙芯光纖頭107:透鏡
      [0045]108:分光片109:透鏡
      [0046]110:探測(cè)芯片
      【具體實(shí)施方式】
      [0047]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的一種集成分光探測(cè)的衰減器做出詳細(xì)說(shuō)明。
      [0048]本發(fā)明的一種集成分光探測(cè)的衰減器,采用在一對(duì)準(zhǔn)直透鏡中放置分光片和微光機(jī)電系統(tǒng)芯片實(shí)現(xiàn)分光和衰減,準(zhǔn)直透鏡出射的光經(jīng)分光片分光后,再經(jīng)會(huì)聚透鏡聚焦入射到探測(cè)芯片上進(jìn)行分光探測(cè)。
      [0049]如圖1所示,本發(fā)明的一種集成分光探測(cè)的衰減器,包括有分別設(shè)置在兩側(cè)的第一單芯光纖頭I和第二單芯光纖頭13,在所述的第一單芯光纖頭I和第二單芯光纖頭13之間的光路上設(shè)置有微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7,所述的第一單芯光纖頭I的出射光端至微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7的入射光端之間的光路上還依次設(shè)置有第一準(zhǔn)直透鏡2和第一分光片3,所述微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7的出射光端至第二單芯光纖頭13的入射光端之間的光路上設(shè)置有第四會(huì)聚透鏡12,所述第一分光片3反射光的光路上設(shè)置有用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第一探測(cè)芯片5。在所述的第一分光片3和用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第一探測(cè)芯片5之間的光路上還可以設(shè)置有第一會(huì)聚透鏡或球透鏡4。當(dāng)在所述的第一分光片3和第一探測(cè)芯片5之間也不設(shè)置第一會(huì)聚透鏡或球透鏡4,這時(shí)第一探測(cè)芯片5的尺寸會(huì)大一些。在所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7的入射光端還設(shè)置有第二會(huì)聚透鏡6,在所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7的出射光端還設(shè)置有第二準(zhǔn)直透鏡8。這樣可以減小微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7尺寸;也可以不在微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7前后放置第二會(huì)聚透鏡6和第二準(zhǔn)直透鏡8,這時(shí)微光機(jī)電系統(tǒng)芯片7尺寸會(huì)大一些。所述的微光機(jī)電系統(tǒng)芯片是shutter型擋光芯片,擋光片在外界電路的驅(qū)動(dòng)下進(jìn)行擋光,實(shí)現(xiàn)對(duì)光的衰減。
      [0050]如圖3所示,所述的第四會(huì)聚透鏡12的入射光的光路上還設(shè)置有第二分光片9,所述第二分光片9的反射光路上設(shè)置有用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第二探測(cè)芯片11。在所述的第二分光片9和用于將光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)輸出的第二探測(cè)芯片11之間的光路上還可以設(shè)置有第三會(huì)聚透鏡或球透鏡10。
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