光罩盒子外殼材料的固定方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種光罩盒子外殼材料的固定方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在芯片制造中，電路元件圖形都通過光刻工藝將掩膜版上的圖案在硅片上形成，因此掩膜版的質(zhì)量在光刻工藝中的地位非常重要。為了保護(hù)掩膜版通常會(huì)把它們裝在光罩盒子中。
[0003]在業(yè)界，光罩盒子通常分為兩種:傳統(tǒng)盒子和充氣盒子。掩膜版裝在傳統(tǒng)盒子里可以避免其表面擦傷、靜電放電、灰塵顆粒等問題。充氣盒子除了有傳統(tǒng)盒子的功能外還可以再其內(nèi)充入惰性氣體，可以有效減小掩膜板與空氣中的氨離子、酸離子接觸產(chǎn)生酸堿結(jié)晶的幾率，從而避免因掩膜板的結(jié)晶而造成對(duì)光刻工藝的嚴(yán)重影響，進(jìn)而影響硅片的良率。
[0004]請(qǐng)參考圖1和圖2，現(xiàn)有的光罩盒子包括:盒體10以及與盒體10相固定的外殼材料20，在進(jìn)行光刻工藝時(shí)，會(huì)將光罩盒子放置在設(shè)備機(jī)臺(tái)中，由設(shè)備機(jī)臺(tái)上的感應(yīng)器識(shí)別光罩盒子之后，再進(jìn)行光刻工藝，然而現(xiàn)有技術(shù)中所使用的外殼材料20十分脆弱，并且較薄，在與設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)生碰撞時(shí)，外殼材料20的下表面極易產(chǎn)生缺口 21，在產(chǎn)生缺口 21之后，設(shè)備機(jī)臺(tái)上的感應(yīng)器便無法感應(yīng)到光罩盒子是否已經(jīng)放置成功，因此，也就無法正常進(jìn)行光刻工藝。此時(shí)，存在缺口 21的光罩盒子不得不報(bào)廢。盡管廠商加厚外殼材料20，但時(shí)間稍久便還會(huì)出現(xiàn)缺口 21，依舊無法解決上述問題。
[0005]由于光罩盒子價(jià)格不菲，經(jīng)常更換光罩盒子極大的增加了生產(chǎn)成本，并且也降低了生產(chǎn)效率，因此，如何解決光罩盒子的使用壽命是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種光罩盒子外殼材料的固定方法，能夠避免外殼材料產(chǎn)生缺口，提聞光罩盒子的使用壽命。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種光罩盒子外殼材料的固定方法，包括:
[0008]提供一光罩盒子，所述光罩盒子設(shè)有外殼材料；
[0009]將一隔離片固定在所述外殼材料的下表面；其中，所述隔離片為L(zhǎng)型薄片狀，將所述隔離片的L型薄片一個(gè)面使用一鉚釘與所述外殼材料固定在一起，并使所述隔離片的L型薄片另一個(gè)面固定在所述外殼材料的下表面。
[0010]進(jìn)一步的，所述鉚釘?shù)牟馁|(zhì)為鋁銅合金、鋁硅合金、鋁鎂合金、鋁鋅合金、鋁錳合金、鋁鎳合金、鋁鐵合金、鋁鈦合金、鋁鉻合金或鋁鋰合金。
[0011]進(jìn)一步的，所述鉚釘?shù)淖畲髮挾确秶?.8mm?8.8mm。
[0012]進(jìn)一步的，所述隔離片的材質(zhì)為鋁銅合金、鋁硅合金、鋁鎂合金、鋁鋅合金、鋁錳合金、鋁鎳合金、鋁鐵合金、鋁鈦合金、鋁鉻合金或鋁鋰合金。
[0013]進(jìn)一步的，所述隔離片的高度范圍是12.7mm?14.7mm。
[0014]進(jìn)一步的，所述隔離片的厚度范圍是0.63mm?2.63mm。
[0015]進(jìn)一步的，所述隔離片的寬度范圍是4.04mm?6.04mm。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:將隔離片固定在外殼材料的下表面，可以避免外殼材料與設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)生碰撞，從而可以徹底避免外殼材料因碰撞而產(chǎn)生缺口，提聞光罩盒子的使用壽命，降低生廣成本，提聞生廣效率。
【附圖說明】
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中光罩盒子一部分的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為現(xiàn)有技術(shù)中光罩盒子外盒材料形成缺口的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本發(fā)明一實(shí)施例中光罩盒子外盒材料固定后的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0020]圖4為本發(fā)明一實(shí)施例中隔離片和鉚釘?shù)钠拭媸疽鈭D。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的光罩盒子外殼材料的固定方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0022]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。
[0023]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0024]請(qǐng)參考圖3和圖4，在本實(shí)施例中，提出了一種光罩盒子外殼材料的固定方法，包括:
[0025]提供一光罩盒子100,所述光罩盒子100設(shè)有外殼材料200 ;所述外殼材料200的材質(zhì)較為脆弱，在所述光刻盒子100放置在設(shè)備機(jī)臺(tái)上時(shí)，十分容易因?yàn)榕鲎捕a(chǎn)生缺口 ；
[0026]將一隔離片310固定在所述外殼材料200的下表面；所述隔離片310為L(zhǎng)型薄片狀，將所述隔離片310的L型薄片一個(gè)面使用一鉚釘320與所述外殼材料200固定在一起，并使所述隔離片310的L型薄片另一個(gè)面固定在所述外殼材料200的下表面。
[0027]在本實(shí)施例中，所述鉚釘320的材質(zhì)為鋁銅合金、鋁硅合金、鋁鎂合金、鋁鋅合金、鋁錳合金、鋁鎳合金、鋁鐵合金、鋁鈦合金、鋁鉻合金或鋁鋰合金等；所述鉚釘320的最大寬度LI范圍是6.8mm?8.8mm,例如是7.8mm。
[0028]所述隔離片310的材質(zhì)為鋁銅合金、鋁硅合金、鋁鎂合金、鋁鋅合金、鋁錳合金、鋁鎳合金、鋁鐵合金、鋁鈦合金、鋁鉻合金或鋁鋰合金等；所述隔離片310的高度H范圍是12.7mm?14.7mm,例如是13.7mm ;所述隔離片310的厚度Wl范圍是0.63mm?2.63mm,例如是1.63mm ;所述隔離片310的寬度W2范圍是4.04mm?6.04mm,例如是5.04mm。
[0029]在本實(shí)施例中，隔離片310使用鋁合金材質(zhì)替代塑料材質(zhì)以實(shí)現(xiàn)耐磨耐磕碰性；用鉚釘320連接來實(shí)現(xiàn)隔離片310與光罩盒體100的永久固定；考慮到使用螺絲固定易松動(dòng)，使用膠水固定易脫落，而且所選固定材質(zhì)本身也不能產(chǎn)生灰塵顆粒，因此采用鉚釘320固定才是最佳方案。
[0030]綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的光罩盒子外殼材料的固定方法中，將隔離片固定在外殼材料的下表面，可以避免外殼材料與設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)生碰撞，從而可以徹底避免外殼材料因碰撞而廣生缺口，提聞光罩盒子的使用壽命，降低生廣成本，提聞生廣效率。
[0031]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光罩盒子外殼材料的固定方法，包括: 提供一光罩盒子，所述光罩盒子設(shè)有外殼材料； 將一隔離片固定在所述外殼材料的下表面；其中，所述隔離片為L(zhǎng)型薄片狀，將所述隔離片的L型薄片一個(gè)面使用一鉚釘與所述外殼材料固定在一起，并使所述隔離片的L型薄片另一個(gè)面固定在所述外殼材料的下表面。
2.如權(quán)利要求1所述的光罩盒子外殼材料的固定方法，其特征在于，所述鉚釘?shù)牟馁|(zhì)為鋁銅合金、鋁硅合金、鋁鎂合金、鋁鋅合金、鋁錳合金、鋁鎳合金、鋁鐵合金、鋁鈦合金、鋁鉻合金或鋁鋰合金。
3.如權(quán)利要求2所述的光罩盒子外殼材料的固定方法，其特征在于，所述鉚釘?shù)淖畲髮挾确秶?.8mm?8.8mm。
4.如權(quán)利要求1所述的光罩盒子外殼材料的固定方法，其特征在于，所述隔離片的材質(zhì)為銀銅合金、銀娃合金、銀鎂合金、銀鋅合金、銀猛合金、銀鎳合金、銀鐵合金、銀鈦合金、鋁鉻合金或鋁鋰合金。
5.如權(quán)利要求4所述的光罩盒子外殼材料的固定方法，其特征在于，所述隔離片的高度范圍是12.7mm?14.7_。
6.如權(quán)利要求4所述的光罩盒子外殼材料的固定方法，其特征在于，所述隔離片的厚度范圍是0.63mm?2.63_。
7.如權(quán)利要求4所述的光罩盒子外殼材料的固定方法，其特征在于，所述隔離片的寬度范圍是4.04mm?6.04mm。
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種光罩盒子外殼材料的固定方法，包括：提供一光罩盒子，所述光罩盒子設(shè)有外殼材料；將一隔離片固定在所述外殼材料的下表面；其中，所述隔離片為L(zhǎng)型薄片狀；將隔離片固定在外殼材料的下表面，可以避免外殼材料與設(shè)備機(jī)臺(tái)發(fā)生碰撞，從而可以徹底避免外殼材料因碰撞而產(chǎn)生缺口，提高光罩盒子的使用壽命，降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
【IPC分類】G03F1-66
【公開號(hào)】CN104570591
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310524340
【發(fā)明人】沈波, 吳根興
【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2013年10月29日