剝離液及利用該剝離液的顯示裝置制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及剝離液及利用該剝離液的顯示裝置制造方法，更具體地涉及光刻膠去除用剝離液及利用該剝離液的顯示裝置制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]最近，液晶顯示裝置，電泳顯示裝置等顯示裝置代替已有的顯像管正被廣泛使用。
[0003]所述顯示裝置包括相互對置的兩個基板和夾在兩個基板之間的液晶層或電泳層等圖像顯示層。在上述顯示裝置中，兩個基板相互對置并接合，兩個基板之間保持有間距使得在兩個基板之間具有圖像顯示層。
[0004]在所述圖像顯示層形成于由第一電極和第二電極定義的隧道狀空洞內(nèi)時，所述隧道狀空洞是通過利用剝離液剝離犧牲層而形成的。此時，所述犧牲層不能全面地與剝離液直接接觸，所以為了剝離所述犧牲層，需要剝離效果更好的剝離液。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠在短時間內(nèi)剝離光刻膠，且能夠減少線路及彩色濾光器等所遭受的損傷的剝離液。
[0006]本發(fā)明的另一目的在于，提供一種能夠在短時間內(nèi)剝離光刻膠，且能夠減少線路及彩色濾光器等所遭受的損傷的顯示裝置制造方法。
[0007]本發(fā)明第一實施例的剝離液包含非質(zhì)子性極性溶劑、胺類化合物及質(zhì)子性極性溶劑。
[0008]所述剝離液可以包含I?90重量部的所述非質(zhì)子性極性溶劑、I?10重量部的所述胺類化合物、以及I?30重量部的所述質(zhì)子性極性溶劑。
[0009]所述非質(zhì)子性極性溶劑可以包含由二甲亞砜(dimethyl sulfoxide)、N-甲基甲酸胺(N-methyl formamide ；NMF)、N-甲基-2-批咯燒酮(N-methyl-2-pyr;rolidone ；NMP)、N, N- 二甲基乙酸胺(N, N-dimethyl acetamide)、N, N- 二甲基甲酸胺(N, N-dimethyl formamide)、N, N-二甲基咪唑(N, N-dimethyl imidazole)、Y - 丁內(nèi)酉旨(Y-butyrolactone)、環(huán)丁諷(sulfolane)、四氫糖醇(Tetrahydrofurfuryl alcohol)、N, N-二甲基丙酰胺(N, N-dimethyl prop1namide)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
[0010]所述胺類化合物可以包含由1-(2-輕乙基)哌嗪(l-(2-hydroxyethyl)piperazine)、1-(2-氨乙基)哌嗪(1-(2-aminoethyl)piperazine)、1-(2-輕乙基)甲基哌嗪(1- (2-hydroxyethyl) methyl piperazine)、2_ 甲基哌嗪(2-methyl piperazine)、1-甲基哌嗪(1-methyl piperazine)以及 1-氨基-4-甲基哌嗪(l-amino-4-methylpiperazine)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
[0011]所述質(zhì)子性極性溶劑可以包含由乙二醇(ethylene glycol)、二乙二醇(diethylene glycol)、三乙二酉享(triethylene glycol)、四乙二酉享(tetraethyleneglycol)、乙二醇甲醚(ethylene glycol methyl ether)、乙二醇乙醚(ethylene glycolethyl ether)、乙二醇丁醚(ethylene glycol butyl ether)、二乙二醇甲醚(diethyleneglycol methyl ether)、二乙二醇乙醚(diethylene glycol ethyl ether)、二乙二醇丁醚(diethylene glycol butyl ether)、三乙二酉享甲醚(triethylene glycol methyl ether)、三乙二酉享乙醚(triethylene glycol ethyl ether)、三乙二酉享丁醚(triethylene glycolbutyl ether)、二丙二醇甲醚(dipropylene glycol methyl ether)以及二乙二醇二甲醚(diethylene glycol dimethyl ether)組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
[0012]所述光刻膠去除用剝離液還可以包含防腐蝕劑或表面親水劑。
[0013]本發(fā)明第一實施例的顯示裝置制造方法包括:在基板上形成第一電極的步驟；在所述第一電極上形成沿第一方向延伸的犧牲層的步驟；在所述犧牲層上沿與所述第一方向交叉的第二方向形成第二電極的步驟；以及利用剝離液剝離所述犧牲層，形成隧道狀空洞的步驟。
[0014]所述剝離液包含非質(zhì)子性極性溶劑、胺類化合物以及質(zhì)子性極性溶劑。
[0015]所述犧牲層可以由光刻膠形成。
[0016]所述顯示裝置制造方法還可以包括在所述基板上形成薄膜晶體管的步驟，還可以包括在所述基板上形成彩色濾光器的步驟。并且，還可以包括在所述基板上形成黑矩陣的步驟。并且，還可以包括在所述隧道狀空洞形成圖像顯示層的步驟。
[0017]所述剝離液可以包含I?90重量部的所述非質(zhì)子性極性溶劑、I?10重量部的所述胺類化合物、以及I?30重量部的所述質(zhì)子性極性溶劑。
[0018]所述非質(zhì)子性極性溶劑可以包含由二甲亞砜、N-甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、N，N- 二甲基乙酰胺、N，N- 二甲基甲酰胺、N，N- 二甲基咪唑、Y - 丁內(nèi)酯、環(huán)丁砜、四氫糠醇、N，N- 二甲基丙酰胺組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
[0019]所述胺類化合物可以包含由1-(2-羥乙基)哌嗪、1-(2-氨乙基)哌嗪、1-(2-羥乙基)甲基哌嗪、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪以及1-氨基-4-甲基哌嗪組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
[0020]所述質(zhì)子性極性溶劑可以包含由乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、三乙二醇丁醚、二丙二醇甲醚以及二乙二醇二甲醚組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。
[0021]所述剝離液還可以包含防腐蝕劑或表面親水劑。
[0022]利用本發(fā)明第一實施例的剝離液，能夠在短時間內(nèi)剝離光刻膠，能夠減少對線路及彩色濾光器等的損傷。
[0023]利用本發(fā)明第一實施例的顯示裝置制造方法，能夠在短時間內(nèi)剝離光刻膠，能夠減少對線路及彩色濾光器等的損傷。
【附圖說明】
[0024]圖1是本發(fā)明第一實施例的顯示裝置制造方法的流程圖；
[0025]圖2 (A)、圖3 (A)、圖4 (A)、圖5 (A)及圖6 (A)是依次表示本發(fā)明第一實施例的顯示裝置制造方法的俯視圖；
[0026]圖2(B)、圖3(B)、圖4(B)、圖5(B)及圖6 (B)是分別對應于圖2 (A)、圖3 (A)、圖4(A)、圖5㈧及圖6㈧的1-1’線的剖視圖；
[0027]圖2(C)、圖3(C)、圖4(C)、圖5(C)及圖6 (C)是分別對應于圖2 (A)、圖3 (A)、圖4(A)、圖5㈧及圖6(A)的11-11’線的剖視圖。
[0028]附圖標記說明
[0029]1000 基板；
[0030]1100 第一電極；
[0031]1200 絕緣膜；
[0032]1300 犧牲層；
[0033]1400 第二電極；
[0034]TSC隧道狀空洞；
[0035]DSP圖像顯示層。
【具體實施方式】
[0036]關(guān)于以上所述的本發(fā)明的目的、另一目的、技術(shù)特征及有益效果，可以通過與附圖相關(guān)的優(yōu)選實施例容易理解，但是本發(fā)明不限于在此說明的實施例，還可以通過其他方式具體化。另外，在此介紹的實施例是為了使公開的內(nèi)容徹底完整，并且向本領(lǐng)域技術(shù)人員充分傳達本發(fā)明的技術(shù)思想而提供的。
[0037]為了清楚地表示各層及區(qū)域，在附圖中放大表示了厚度。在整個說明書中，對類似部分標注了相同的附圖標記。層、膜、區(qū)域、板等的部分在其他部分“上”的表述不僅包括直接位于其他部分上的情況，還包括之間進一步具有其他部分的情況。
[0038]以下，對本發(fā)明第一實施例的剝離液進行說明。
[0039]本發(fā)明第一實施例的剝離液包含非質(zhì)子性極性溶劑、胺類化合物及質(zhì)子性極性溶劑。
[0040]所述剝離液可以包含I?90重量部的所述非質(zhì)子性極性溶劑、I?10重量部的所述胺類化合物及I?30重量部的所述質(zhì)子性極性溶劑。
[0041]本發(fā)明的非質(zhì)子性極性溶劑減弱形成有光刻膠的層和所述光刻膠之間的結(jié)合力，使得所述光刻膠能夠容易地從所述形成有光刻膠的層剝離。所述非質(zhì)子性極性溶劑只要是通常使用的溶劑就不做特別的限定，可以包含由二甲亞砜、N-甲基甲酰胺(NMF)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基咪唑、γ-丁內(nèi)酯、環(huán)丁砜、四氫糠醇(Tetrahydrofurfuryl alcohol)、N, N-二甲基丙酰胺組成的群中選擇的一種以上物質(zhì)。更優(yōu)選為所述非質(zhì)子性極性溶劑包含剝離力強的N，N-二甲基丙酰胺。
[0042]本發(fā)明第一實施例的剝離液包含剝離力強的所述非質(zhì)子性極性溶劑，因此能夠在短時間內(nèi)剝離光刻膠。
[0043]優(yōu)選為包含I?90重量部的所