、明晰地輔助說明本發(fā)明實施例的目的。
[0034]本發(fā)明提供的步進掃描光刻機控制方法，如圖2-7所示，根據(jù)步進掃描光刻機的工作步驟，將光刻機各個分系統(tǒng)分類，第一部分由第一控制單元20控制，第二部分由第二控制單元30控制，其中，所述第一控制單元20控制的分系統(tǒng)第一部分全程參與步進掃描光刻機的工作步驟，所述第二控制單元30控制的分系統(tǒng)第二部分分時段參與步進掃描光刻機的工作步驟，工作站或服務器10通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡40分別與所述第一控制單元20和第二控制單元30相連，所述第一控制單元20與第二控制單元30通過同步總線50和光纖接口60進行數(shù)據(jù)傳輸。本發(fā)明按照步進掃描光刻機的時間流程來劃分控制硬件，資源分配更加合理，提高了整機的控制效率；減少了分系統(tǒng)計算機的使用數(shù)量，降低了硬件成本，同時減少了控制硬件占用的空間；還充分利用了其計算資源，完成下層系統(tǒng)的控制算法。
[0035]較佳地，請重點參考圖2，步進掃描光刻機的工作步驟包括:
[0036]S1:硅片上片、掩模上版，其中，所述硅片上片用到傳輸分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)，所述掩模上版用到傳輸分系統(tǒng)和掩模臺分系統(tǒng)；
[0037]S2:調(diào)焦調(diào)平，用到調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)；
[0038]S3:對準，用到對準分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)；
[0039]S4:曝光，用到曝光分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)；
[0040]在SI至S4步驟中，環(huán)境控制分系統(tǒng)間歇性地對整個工作環(huán)境進行監(jiān)控。
[0041]較佳地，所述第一控制單元20用于控制所述工件臺分系統(tǒng)和掩模臺分系統(tǒng)，具體地，根據(jù)上述的步進掃描光刻機的工作步驟可知:工件臺分系統(tǒng)全程參與步進掃描光刻機的工作步驟，而掩模臺需與工件臺同步，故掩模臺分系統(tǒng)也屬于全程參與步進掃描光刻機的工作步驟的分系統(tǒng)；所述第二控制單元30用于控制所述調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)、對準分系統(tǒng)、曝光分系統(tǒng)、傳輸分系統(tǒng)以及環(huán)境控制分系統(tǒng)，由于調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)、對準分系統(tǒng)、曝光分系統(tǒng)和傳輸分系統(tǒng)均在某一小段時間內(nèi)參與步進掃描光刻機的工作步驟，因此這幾個分系統(tǒng)計算機存在分時復用的可能，也就是說，本發(fā)明按照步進掃描光刻機的時間流程來將各個分系統(tǒng)劃分為兩類，對兩類分系統(tǒng)分別進行控制，提高了整機的控制效率，并充分利用計算機的計算資源，減少了分系統(tǒng)計算機的使用數(shù)量，同時減少了控制硬件占用的空間。
[0042]另外，雖然所述環(huán)境控制分系統(tǒng)全程參與步進掃描光刻機的工作步驟，但由于其控制頻率較低，也可由第二控制單元30控制。
[0043]請重點參考圖3，本發(fā)明還提供了一種步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，包括作為主控制器的工作站或服務器10、全程參與步進掃描光刻機工作步驟的第一控制單元20和分時段參與步進掃描光刻機工作步驟的第二控制單元30，所述工作站或服務器10通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡40分別與所述第一控制單元20和第二控制單元30相連，所述第一控制單元20與第二控制單元30通過同步總線50和光纖接口 60進行數(shù)據(jù)傳輸，所述同步總線50用于底層同步，所述光纖接口 60用于數(shù)據(jù)交換。
[0044]較佳地，所述第一控制單元20用于控制所述工件臺分系統(tǒng)和掩模臺分系統(tǒng)，所述第二控制單元30用于控制所述調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)、對準分系統(tǒng)、曝光分系統(tǒng)、傳輸分系統(tǒng)以及環(huán)境控制分系統(tǒng)。
[0045]較佳地，請重點參考圖4，所述第一控制單元20包括工件臺/掩模臺CPU板，用于實現(xiàn)與工作站或服務器10的通訊，實現(xiàn)上層指令下發(fā)至內(nèi)部板卡、工件臺運動控制卡、掩模臺運動控制卡、對外數(shù)據(jù)控制卡、同步控制器、工件臺激光計數(shù)卡、掩模臺激光計數(shù)卡以及VME總線和自定義總線(SDB)，所述工件臺/掩模臺CPU板通過所述VME總線與所述工件臺運動控制卡、掩模臺運動控制卡、對外數(shù)據(jù)控制卡、同步控制器、工件臺激光計數(shù)卡以及掩模臺激光計數(shù)卡傳遞指令數(shù)據(jù)；所述同步控制器通過所述自定義總線與所述工件臺運動控制卡、掩模臺運動控制卡、對外數(shù)據(jù)控制卡、工件臺激光計數(shù)卡以及掩模臺激光計數(shù)卡建立同步控制信號，所述對外數(shù)據(jù)控制卡用于發(fā)送/接收數(shù)據(jù)給第一控制單元20，所述同步控制器用于和第二控制單元30的底層同步，實現(xiàn)具體的聯(lián)動曝光的各個過程。其中，VME總線傳遞一般的指令數(shù)據(jù)，自定義總線傳遞實時的控制數(shù)據(jù)。
[0046]較佳地，所述第一控制單元20還包括工件臺下層I/O控制板和掩模臺下層I/O控制板，所述工件臺運動控制卡與所述工件臺下層I/O控制板相連，所述掩模臺運動控制卡與所述掩模臺下層I/O控制板相連，所述對外數(shù)據(jù)控制卡和同步控制器分別通過高速串行鏈路與外部設備相連。
[0047]較佳地，請重點參考圖5，所述第二控制單元30包括CPU板、硅片傳輸運動控制卡、掩模傳輸運動控制卡、對準控制卡、同步控制器、調(diào)焦調(diào)平控制卡、環(huán)境控制卡、曝光控制卡以及VME總線和自定義總線，所述CPU板通過所述VME總線與所述硅片傳輸運動控制卡、掩模傳輸運動控制卡、對準控制卡、同步控制器、調(diào)焦調(diào)平控制卡、環(huán)境控制卡以及曝光控制卡傳遞指令數(shù)據(jù)；所述同步控制器通過所述自定義總線與所述硅片傳輸運動控制卡、掩模傳輸運動控制卡、對準控制卡、調(diào)焦調(diào)平控制卡、環(huán)境控制卡以及曝光控制卡建立同步控制信號，所述同步控制器用于和第一控制單元20的底層同步，實現(xiàn)具體的聯(lián)動曝光的各個過程。其中，VME總線傳遞一般的指令數(shù)據(jù)，自定義總線(SDB)傳遞實時的控制數(shù)據(jù)。
[0048]較佳地，所述第二控制單元30還包括硅片傳輸下層I/O控制板和掩模傳輸下層I/O控制板，所述硅片傳輸運動控制卡與所述硅片傳輸下層I/O控制板相連，所述掩模傳輸運動控制卡與所述掩模傳輸下層I/o控制板相連，所述對準控制卡、同步控制器、調(diào)焦調(diào)平控制卡以及曝光控制卡分別通過高速串行鏈路與外部設備相連。
[0049]具體地，本發(fā)明利用工作站或服務器10為主控制計算機，實現(xiàn)曝光過程指令的下發(fā)；利用工作站或服務器10為談判控制器，實現(xiàn)第一、第二控制單元20、30中計算機的談判，排列好動作序列；利用工作站或服務器10處理第二控制單元30的數(shù)據(jù)，如環(huán)境控制算法處理、硅片面型匹配算法處理等；利用第一控制單元20實現(xiàn)工件臺/掩模臺的控制，并提供第二控制單元30的同步總線及同步位置數(shù)據(jù)；利用第二控制單元30實現(xiàn)對除了第一控制單元20控制的分系統(tǒng)以外的其他分系統(tǒng)的控制。第二控制單元30控制的分系統(tǒng)是分時進行的，如在硅片傳輸過程中，同步控制器控制的是硅片傳輸控制卡，在對準過程中，同步控制器控制的是對準板卡。
[0050]請重點參考圖6和圖7，以步進掃描光刻機的一個工作周期為例，
[0051]準備階段:工作站或服務器10對第一控制單元20和第二控制單元30的流程進行談判，并將談判的結(jié)果用指令通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡40分別發(fā)送至第一控制單元20和第二控制單元30 ；
[0052]硅片上片、掩模上版階段:同步控制器通過同步總線和同步數(shù)據(jù)控制第一、第二控制單元20、30同步進入該階段，第一控制單元20控制工件臺運動控制卡或掩模臺運動控制卡從而控制工件臺/掩模臺運動，接收硅片/掩模板，第二控制單元30控制硅片傳輸和掩模傳輸；
[0053]調(diào)焦調(diào)平階段:同步控制器通過同步總線和同步數(shù)據(jù)控制第一、第二控制單元20,30同步進入該階段，第二控制單元30控制調(diào)焦調(diào)平控制卡進行調(diào)焦調(diào)平，第一控制單元20控