制工件臺運動控制卡或掩模臺運動控制卡從而控制工件臺/掩模臺運動，配合第二控制單元30動作；
[0054]對準階段:同步控制器通過同步總線和同步數(shù)據(jù)控制第一、第二控制單元20、30同步進入該階段，第二控制單元30控制對準控制卡進行對準，第一控制單元20控制工件臺運動控制卡或掩模臺運動控制卡從而控制工件臺/掩模臺運動，配合第二控制單元30動作；
[0055]曝光階段:同步控制器通過同步總線和同步數(shù)據(jù)控制第一、第二控制單元20、30同步進入該階段，第二控制單元30控制曝光控制卡進行曝光，第一控制單元20控制工件臺運動控制卡或掩模臺運動控制卡從而控制工件臺/掩模臺運動，配合第二控制單元30動作；
[0056]曝光完畢:同步控制器通過同步總線和同步數(shù)據(jù)控制第一、第二控制單元20、30同步進入該階段，硅片/掩模卸載。
[0057]換句話說，在一次曝光過程中，同步控制器根據(jù)談判結(jié)果，順序調(diào)用傳輸、調(diào)焦調(diào)平、對準、曝光分系統(tǒng)中的板卡，充分利用了主控制計算機的計算能力，減少分系統(tǒng)計算機的使用數(shù)量，提高整機的控制效率，降低硬件成本。
[0058]綜上所述，本發(fā)明提供的步進掃描光刻機控制方法與系統(tǒng)，其方法為:根據(jù)步進掃描光刻機的工作步驟，將光刻機各個分系統(tǒng)分類，第一部分由第一控制單元20控制，第二部分由第二控制單元30控制，其中，所述第一控制單元20控制的分系統(tǒng)第一部分全程參與步進掃描光刻機的工作步驟，所述第二控制單元30控制的分系統(tǒng)第二部分分時段參與步進掃描光刻機的工作步驟，工作站或服務(wù)器10通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)40分別與所述第一控制單元20和第二控制單元30相連，所述第一控制單元20與第二控制單元30通過同步總線50和光纖接口 60進行數(shù)據(jù)傳輸。本發(fā)明通過將各分系統(tǒng)分類控制，充分利用了主控制計算機的計算能力，減少了分系統(tǒng)計算機的使用數(shù)量，提高了整機的控制效率，降低了硬件成本。
[0059]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種步進掃描光刻機控制方法，其特征在于，根據(jù)步進掃描光刻機的工作步驟，將光刻機各個分系統(tǒng)分類，第一部分由第一控制單元控制，第二部分由第二控制單元控制，其中，所述第一控制單元控制的分系統(tǒng)第一部分全程參與步進掃描光刻機的工作步驟，所述第二控制單元控制的分系統(tǒng)第二部分分時段參與步進掃描光刻機的工作步驟，工作站或服務(wù)器通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)分別與所述第一控制單元和第二控制單元相連，所述第一控制單元與第二控制單元通過同步總線和光纖接口進行數(shù)據(jù)傳輸。
2.如權(quán)利要求1所述的步進掃描光刻機控制方法，其特征在于，步進掃描光刻機的工作步驟包括: 51:硅片上片、掩模上版，其中，用傳輸分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)進行所述硅片上片，用傳輸分系統(tǒng)和掩模臺分系統(tǒng)進行掩模上版； 52:用調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)進行調(diào)焦調(diào)平； 53:用對準分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)進行對準； 54:用曝光分系統(tǒng)和工件臺分系統(tǒng)進行曝光； 在SI至S4步驟中，環(huán)境控制分系統(tǒng)對整個工作環(huán)境進行監(jiān)控。
3.如權(quán)利要求2所述的步進掃描光刻機控制方法，其特征在于，所述第一控制單元用于控制所述工件臺分系統(tǒng)和掩模臺分系統(tǒng)，所述第二控制單元用于控制所述調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)、對準分系統(tǒng)、曝光分系統(tǒng)、傳輸分系統(tǒng)以及環(huán)境控制分系統(tǒng)。
4.一種步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，包括工作站或服務(wù)器、全程參與步進掃描光刻機工作步驟的第一控制單元和分時段參與步進掃描光刻機工作步驟的第二控制單元，所述工作站或服務(wù)器通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)分別與所述第一控制單元和第二控制單元相連，所述第一控制單元與第二控制單元通過同步總線和光纖接口進行數(shù)據(jù)傳輸。
5.如權(quán)利要求4所述的步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制單元用于控制所述工件臺分系統(tǒng)和掩模臺分系統(tǒng)，所述第二控制單元用于控制所述調(diào)焦調(diào)平分系統(tǒng)、對準分系統(tǒng)、曝光分系統(tǒng)、傳輸分系統(tǒng)以及環(huán)境控制分系統(tǒng)。
6.如權(quán)利要求5所述的步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制單元包括工件臺/掩模臺CPU板、工件臺運動控制卡、掩模臺運動控制卡、對外數(shù)據(jù)控制卡、同步控制器、工件臺激光計數(shù)卡、掩模臺激光計數(shù)卡以及VME總線和自定義總線，所述工件臺/掩模臺CPU板通過所述VME總線與所述工件臺運動控制卡、掩模臺運動控制卡、對外數(shù)據(jù)控制卡、同步控制器、工件臺激光計數(shù)卡以及掩模臺激光計數(shù)卡傳遞指令數(shù)據(jù)；所述同步控制器通過所述自定義總線與所述工件臺運動控制卡、掩模臺運動控制卡、對外數(shù)據(jù)控制卡、工件臺激光計數(shù)卡以及掩模臺激光計數(shù)卡建立同步控制信號。
7.如權(quán)利要求6所述的步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第一控制單元還包括工件臺下層I/o控制板和掩模臺下層I/O控制板，所述工件臺運動控制卡與所述工件臺下層I/o控制板相連,所述掩模臺運動控制卡與所述掩模臺下層I/O控制板相連,所述對外數(shù)據(jù)控制卡和同步控制器分別通過高速串行鏈路與外部設(shè)備相連。
8.如權(quán)利要求5所述的步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二控制單元包括CPU板、硅片傳輸運動控制卡、掩模傳輸運動控制卡、對準控制卡、同步控制器、調(diào)焦調(diào)平控制卡、環(huán)境控制卡、曝光控制卡以及VME總線和自定義總線,所述CPU板通過所述VME總線與所述硅片傳輸運動控制卡、掩模傳輸運動控制卡、對準控制卡、同步控制器、調(diào)焦調(diào)平控制卡、環(huán)境控制卡以及曝光控制卡傳遞指令數(shù)據(jù)；所述同步控制器通過所述自定義總線與所述硅片傳輸運動控制卡、掩模傳輸運動控制卡、對準控制卡、調(diào)焦調(diào)平控制卡、環(huán)境控制卡以及曝光控制卡建立同步控制信號。
9.如權(quán)利要求8所述的步進掃描光刻機控制系統(tǒng)，其特征在于，所述第二控制單元還包括娃片傳輸下層I/o控制板和掩模傳輸下層I/O控制板,所述娃片傳輸運動控制卡與所述硅片傳輸下層I/O控制板相連，所述掩模傳輸運動控制卡與所述掩模傳輸下層I/O控制板相連，所述對準控制卡、同步控制器、調(diào)焦調(diào)平控制卡以及曝光控制卡分別通過高速串行鏈路與外部設(shè)備相連。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種步進掃描光刻機控制方法與系統(tǒng)，其方法為：根據(jù)步進掃描光刻機的工作步驟，將光刻機各個分系統(tǒng)分類，第一部分由第一控制單元控制，第二部分由第二控制單元控制，其中，所述第一控制單元控制的分系統(tǒng)第一部分全程參與步進掃描光刻機的工作步驟，所述第二控制單元控制的分系統(tǒng)第二部分分時段參與步進掃描光刻機的工作步驟，工作站或服務(wù)器通過以太網(wǎng)網(wǎng)絡(luò)分別與所述第一控制單元和第二控制單元相連，所述第一控制單元與第二控制單元通過同步總線和光纖接口進行數(shù)據(jù)傳輸。本發(fā)明通過將各分系統(tǒng)分類控制，充分利用了主控制計算機的計算能力，減少了分系統(tǒng)計算機的使用數(shù)量，提高了整機的控制效率，降低了硬件成本。
【IPC分類】G05B19-418, G03F7-20
【公開號】CN104698765
【申請?zhí)枴緾N201310670336
【發(fā)明人】謝仁飚, 聶仕華
【申請人】上海微電子裝備有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2013年12月10日