光學(xué)部件、光學(xué)部件的制造方法、電子設(shè)備和移動(dòng)體的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)部件、光學(xué)部件的制造方法、具有光學(xué)部件的電子設(shè)備和移動(dòng)體。
【背景技術(shù)】
[0002]在使用掩模在基板上成膜出規(guī)定形狀的膜的情況下，使掩模與基板的距離盡可能接近，由此，能夠以膜的端部相對(duì)于基板面成為垂直面的方式形成膜，能夠較大地得到以規(guī)定的厚度構(gòu)成的膜區(qū)域，因而被認(rèn)為是理想的(例如參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)平10-145166號(hào)公報(bào)
[0004]但是，在基板上的膜中存在成膜時(shí)所產(chǎn)生的應(yīng)力(殘留應(yīng)力)，如果膜的端部為垂直面，則應(yīng)力在膜的端部被急劇釋放。因此，在膜的端部附近，容易產(chǎn)生膜從基板面剝離的缺損。尤其對(duì)于光學(xué)部件而言，在剝離的部分(缺損部分)中，會(huì)發(fā)生光學(xué)信號(hào)的漫反射等，可能導(dǎo)致光學(xué)特性下降。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題的至少一部分而完成的，可以作為以下的方式或應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0006][應(yīng)用例I]本應(yīng)用例的光學(xué)部件的特征在于，具有光學(xué)用的基板以及設(shè)置在所述基板上的膜，所述膜具有第I區(qū)域和第2區(qū)域，其中，所述第2區(qū)域圍著所述第I區(qū)域并且從所述第I區(qū)域起連續(xù)地延伸，在所述第2區(qū)域中，所述膜的厚度隨著從所述第2區(qū)域的外周緣朝向所述第2區(qū)域與所述第I區(qū)域的邊界而增加。
[0007]根據(jù)本應(yīng)用例，設(shè)置在基板上的膜具有第2區(qū)域，在第2區(qū)域中，膜的厚度隨著從第2區(qū)域的外周緣朝向第2區(qū)域與第I區(qū)域的邊界而增加。借助該第2區(qū)域，膜的成膜時(shí)的應(yīng)力等殘留應(yīng)力被緩慢地釋放，因此，難以產(chǎn)生膜的剝離等缺損，能夠確保發(fā)揮光學(xué)性能(光學(xué)特性)的規(guī)定膜厚的區(qū)域。
[0008][應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所述的光學(xué)部件中，優(yōu)選的是，與所述第2區(qū)域相比，在所述第I區(qū)域中，所述膜的上表面與所述基板的上表面的平行度較高。
[0009]根據(jù)本應(yīng)用例，與第2區(qū)域相比，在第I區(qū)域中，膜的上表面與基板的上表面的平行度較高，因此能夠使光學(xué)信號(hào)穩(wěn)定，得到良好的光學(xué)特性。
[0010][應(yīng)用例3]本應(yīng)用例的光學(xué)部件的制造方法的特征在于，包含如下工序:準(zhǔn)備工序，準(zhǔn)備光學(xué)用的基板；配置工序，以如下方式配置具有貫通孔的掩模部件:在所述基板的上方配置所述貫通孔，并且，從形成所述貫通孔的開(kāi)口延伸的遮擋部分與所述基板重疊，而且，所述基板的與所述遮擋部分相對(duì)的相對(duì)面和所述遮擋部分的距離處于大于0.1mm且Imm以下的范圍內(nèi)；以及成膜工序，使光學(xué)用的膜材料穿過(guò)所述貫通孔而附著在所述基板的包含所述相對(duì)面的面上，在基板上成膜出光學(xué)膜。
[0011]根據(jù)本應(yīng)用例，通過(guò)將掩模部件與基板面的距離設(shè)在大于0.1mm且Imm以下的范圍內(nèi)，能夠在基板面上成膜出的光學(xué)膜的外周緣，有效地形成厚度平緩地變化的所謂滲出區(qū)域，并能夠確保發(fā)揮光學(xué)性能(光學(xué)特性)的規(guī)定膜厚的區(qū)域。
[0012][應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所述的光學(xué)部件的制造方法中，優(yōu)選的是，在所述配置工序之后，具有在所述基板上配置有所述掩模部件的狀態(tài)下對(duì)所述基板進(jìn)行清洗的清洗工序。
[0013][應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例所述的光學(xué)部件的制造方法中，優(yōu)選的是，所述清洗工序設(shè)置在所述配置工序與所述成膜工序之間以及所述成膜工序之后中的至少一方。
[0014]根據(jù)上述應(yīng)用例，在基板上配置有掩模部件的狀態(tài)下清洗基板，因此，不需要基板的拆裝作業(yè)，生產(chǎn)率提高，并能夠防止污物等異物附著到基板上。
[0015][應(yīng)用例6]本應(yīng)用例的電子設(shè)備的特征在于，該電子設(shè)備具有上述應(yīng)用例所述的光學(xué)部件。
[0016]根據(jù)本應(yīng)用例，由于具有使膜的成膜時(shí)的應(yīng)力等殘留應(yīng)力緩慢地釋放、且確保光學(xué)性能(光學(xué)特性)的光學(xué)部件，因此，能夠提供可穩(wěn)定地獲得期望的特性的電子設(shè)備。
[0017][應(yīng)用例7]本應(yīng)用例的移動(dòng)體的特征在于，該移動(dòng)體具有上述應(yīng)用例所述的光學(xué)部件。
[0018]根據(jù)本應(yīng)用例，由于具有使膜的成膜時(shí)的應(yīng)力等殘留應(yīng)力緩慢地釋放、且確保光學(xué)性能(光學(xué)特性)的光學(xué)部件，因此，能夠提供可穩(wěn)定地獲得期望的特性的移動(dòng)體。
【附圖說(shuō)明】
[0019]圖1示出了本發(fā)明的光學(xué)部件的一個(gè)實(shí)施方式的光學(xué)多層膜濾光片的結(jié)構(gòu)，圖1的(a)是俯視圖，圖1的(b)是剖視圖，圖1的(c)是圖1的(b)中示出的Q的局部放大圖。
[0020]圖2是光學(xué)膜成膜的工序流程圖。
[0021]圖3是示出在光學(xué)膜成膜中使用的基板安裝件的分解立體圖。
[0022]圖4示出了基板安裝件上的基板的安裝狀態(tài)，圖4的(a)是示出使用實(shí)施方式的基板安裝件的例子的剖視圖，圖4的(b)是示出使用變形例的基板安裝件的例子的剖視圖。
[0023]圖5示出了本實(shí)施方式的光學(xué)多層膜濾光片，圖5的(a)是示出將光學(xué)用的基板安裝到了基板安裝件上的狀態(tài)的剖視圖，圖5的(b)是成膜出的光學(xué)多層膜濾光片的俯視圖，圖5的(c)是圖5的(b)的剖視圖。
[0024]圖6示出了利用比較例的以往的基板安裝件成膜出的光學(xué)多層膜濾光片，圖6的
(a)是示出基板安裝件上的基板的安裝狀態(tài)的剖視圖，圖6的(b)是成膜出的光學(xué)多層膜濾光片的俯視圖。
[0025]圖7是作為是示出作為電子設(shè)備的一例的移動(dòng)電話的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0026]圖8是作為是示出作為電子設(shè)備的一例的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0027]圖9是作為是示出作為移動(dòng)體的一例的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0028]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0029]2:作為光學(xué)膜的無(wú)機(jī)薄膜；2b:第I區(qū)域的無(wú)機(jī)薄膜的上表面；10:作為光學(xué)部件的光學(xué)多層膜濾光片；11:作為光學(xué)用基板的玻璃基板；lla:玻璃基板的外周端；llb:玻璃基板的相對(duì)面；12:第I區(qū)域；14:邊界；15:第2區(qū)域；16:外周緣；20:掩模板；21:掩模窗；23:導(dǎo)孔；24:固定孔；25:遮擋部分；30:間隔件；31:窗部；33:導(dǎo)孔；34:固定孔；35:導(dǎo)板；36:引導(dǎo)部；37:窗部；38:底部；40:導(dǎo)板；41:窗部；43:導(dǎo)銷；44:固定孔；50:蓋；53:導(dǎo)孔；54:固定孔;250、250a:光學(xué)基板安裝件；506:作為移動(dòng)體的汽車；1200:作為電子設(shè)備的移動(dòng)電話；1300:作為電子設(shè)備的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0030][實(shí)施方式]
[0031]以下，按照附圖，對(duì)作為本發(fā)明的光學(xué)部件的一例的光學(xué)多層膜濾光片進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。不過(guò)，本發(fā)明不受這些例子的任何限定。此外，對(duì)于在各個(gè)說(shuō)明中具有相同的結(jié)構(gòu)和功能的部分，標(biāo)注相同的標(biāo)號(hào)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。
[0032]本實(shí)施方式是應(yīng)用于具有如下光學(xué)特性的光學(xué)多層膜濾光片(UV-1R截止濾光片)的一例:其使可見(jiàn)波段的光通過(guò)，而截止規(guī)定波長(zhǎng)以下的紫外波段和規(guī)定波長(zhǎng)以上的紅外波段的光。此外，作為本發(fā)明的光學(xué)部件，可舉出光學(xué)低通濾光片等，能夠應(yīng)用本發(fā)明。
[0033](光學(xué)多層膜濾光片的結(jié)構(gòu))
[0034]首先，使用圖1，對(duì)作為光學(xué)部件的一例的光學(xué)多層膜濾光片的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示意性示出本發(fā)明的光學(xué)部件的一個(gè)實(shí)施方式的光學(xué)多層膜濾光片的結(jié)構(gòu)的圖，圖1的(a)是俯視圖，圖1的(b)是圖1的(a)的剖視圖，圖1的(C)是圖1的(b)中示出的Q的局部放大圖。
[0035]光學(xué)多層膜濾光片10構(gòu)成為具有:作為使光透過(guò)的光學(xué)用基板的玻璃基板11 ;以及位于玻璃基板11的上表面的、作為多