2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-Q-甲基己基）-雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿 酷亞胺、N-(2-甲基己基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2,3-二駿酷亞胺、N-(3-甲基己基）-雙 環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (1- 了基戊基）-雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二 駿酷亞胺、N-(2-了基戊基）-雙環(huán)化2.1]庚-5-締-2,3-二駿酷亞胺、N-a-甲基 庚基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(2-甲基庚基）-雙環(huán)化2. 1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(3-甲基庚基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞 胺、N- (4-甲基庚基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (1-己基己基）-雙環(huán)
[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(2-己基己基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿 酷亞胺、N- (3-己基己基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (1-丙基戊基）-雙 環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (2-丙基戊基）-雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二 駿酷亞胺、N-a-甲基辛基）-雙環(huán)化2.1]庚-5-締-2,3-二駿酷亞胺、N-(2-甲基 辛基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(3-甲基辛基）-雙環(huán)化2. 1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(4-甲基辛基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞 胺、N-(1-己基庚基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(2-己基庚基）-雙環(huán) [2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (3-己基庚基）-雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿 酷亞胺、N-(4-己基庚基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2,3-二駿酷亞胺、N-a-丙基己基）-雙 環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (2-丙基己基）-雙環(huán)[2. 2. 1]庚-5-締-2, 3-二 駿酷亞胺、N-(3-丙基己基）-雙環(huán)化2.1]庚-5-締-2,3-二駿酷亞胺、N-a-甲基 壬基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(2-甲基壬基）-雙環(huán)化2. 1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(3-甲基壬基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞 胺、N- (4-甲基壬基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-巧-甲基壬基）-雙環(huán) [2. 2.U庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (1-己基辛基）-雙環(huán)化2.U庚-5-締-2, 3-二駿 酷亞胺、N-(2-己基辛基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-(3-己基辛基）-雙 環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N- (4-己基辛基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二 駿酷亞胺、N-Q-甲基癸基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-Q-甲基十二 烷基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2,3-二駿酷亞胺、N-Q-甲基^^一烷基）-雙環(huán)巧.2. 1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-Q-甲基十二烷基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷 亞胺、N-Q-甲基十S烷基）-雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-Q-甲基十四 烷基）-雙環(huán)化2.1]庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-Q-甲基十五烷基）-雙環(huán)巧.2.1] 庚-5-締-2, 3-二駿酷亞胺、N-苯基-四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締-4, 5-二駿酷 亞胺、N-化4-二甲氧基苯基）-四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締-4, 5-二駿酷亞胺等。 需要說明的是，該些單體可W分別單獨使用，也可W將2種W上組合使用。
[0041] 另一方面，在上述式（2)中，R2為碳原子數(shù)1~3的2價亞烷基，作為碳原子數(shù)1~ 3的2價亞烷基，可列舉；亞甲基、亞己基、亞丙基及亞異丙基。該些中，由于聚合活性良好， 因此優(yōu)選亞甲基及亞己基。
[0042] 另外，在上述式（2)中，R3為碳原子數(shù)1~10的1價烷基、或碳原子數(shù)1~10的 1價面代烷基。作為碳原子數(shù)1~10的1價烷基，可列舉例如：甲基、己基、丙基、異丙基、了 基、仲了基、叔了基、己基及環(huán)己基等。作為碳原子數(shù)1~10的1價面代烷基，可列舉例如： 氣甲基、氯甲基、漠甲基、二氣甲基、二氯甲基、二氣甲基、S氣甲基、S氯甲基、2, 2,2-S氣 己基、五氣己基、走氣丙基、全氣了基及全氣戊基等。該些中，由于在極性溶劑中的溶解性優(yōu) 異，因此，作為RM尤選為甲基或己基。
[0043] 需要說明的是，上述式（1)、（2)所示的單體可化圍過例如使對應(yīng)的胺和5-降冰片 締-2, 3-二駿酸酢進行酷亞胺化反應(yīng)來得到。另外，得到的單體可W通過用公知的方法分 離、純化酷胺化反應(yīng)的反應(yīng)液而有效地分離。
[0044] 作為具有醋基的環(huán)狀締姪，可列舉例如；2-己酷氧基雙環(huán)化2.U庚-5-締、2-己 酷氧基甲基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-甲氧基幾基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-己氧基幾基 雙環(huán)巧.2. 1]庚-5-締、2-丙氧基幾基雙環(huán)巧.2. 1]庚-5-締、2- 了氧基幾基雙環(huán)巧.2. 1] 庚-5-締、2-環(huán)己氧基幾基雙環(huán)化2.1]庚-5-締、2-甲基-2-甲氧基幾基雙環(huán)巧.2.1] 庚-5-締、2-甲基-2-己氧基幾基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-丙氧基幾基雙環(huán) [2.2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-了氧基幾基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-環(huán)己氧基 幾基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-(2, 2, 2-S氣己氧基幾基）雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-甲 基-2-(2, 2, 2-S氣己氧基幾基）雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-甲氧基幾基S環(huán)[5. 2. 1. 02'6] 癸-8-締、2-己氧基幾基S環(huán)[5.2. 1.02'6]癸-8-締、2-丙氧基幾基S環(huán)[5.2. 1.02'6] 癸-8-締、4-己酷氧基四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-甲氧基幾基四環(huán) [6. 2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-己氧基幾基四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-丙 氧基幾基四環(huán)[6.2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、4-了氧基幾基四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7]十二 碳-9-締、4-甲基-4-甲氧基幾基四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-甲基-4-己氧 基幾基四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、4-甲基-4-丙氧基幾基四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7] 十二碳-9-締、4-甲基-4- 了氧基幾基四環(huán)[6. 2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4-(2, 2, 2-二 氣己氧基幾基）四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、4-甲基-4-(2,2,2-S氣己氧基幾 基）四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締等。
[0045] 作為具有氯基的環(huán)狀締姪，可列舉例如；4-氯基四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二 碳-9-締、4-甲基-4-氯基四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締、4, 5-二氯基四環(huán) [6. 2. 1. 13'6.02'7]十二碳-9-締、2-氯基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-甲基-2-氯基雙環(huán) [2. 2. 1]庚-5-締、2, 3-二氯基雙環(huán)化2. 1]庚-5-締等。
[0046] 作為具有酸酢基的環(huán)狀締姪，可列舉例如；四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二 碳-9-締-4, 5-二駿酸酢、雙環(huán)化2. 1]庚-5-締-2, 3-二駿酸酢、2-駿基甲基-2-哲基幾 基雙環(huán)化2.1]庚-5-締酢等。
[0047] 作為具有面原子的環(huán)狀締姪，可列舉例如；2-氯雙環(huán)巧.2. 1]庚-5-締、2-氯甲基 雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、2-(氯苯基）雙環(huán)化2. 1]庚-5-締、4-氯四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7] 十二碳-9-締、4-甲基-4-氯四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-9-締等。
[0048] 該些單體化1)可W分別單獨使用，也可W將2種W上組合使用。
[0049]作為不具有極性基團的環(huán)狀締姪單體化2)，可列舉；雙環(huán)化2. 1]庚-2-締（也稱 為"降冰片締")、5-己基-雙環(huán)巧.2. 1]庚-2-締、5- 了基-雙環(huán)巧.2. 1]庚-2-締、5-己 叉-雙環(huán)化2. 1]庚-2-締、5-甲叉-雙環(huán)化2. 1]庚-2-締、5-己締基-雙環(huán)化2. 1] 庚-2-締、S環(huán)[5. 2. 1. 02'6]癸-3, 8-二締（慣用名；雙環(huán)戊二締）、四環(huán)[10. 2. 1. 02'11. 04'9] 十五碳-4,6,8，13-四締、四環(huán)化2.1.13' 6.02'7]十二碳-4-締（也稱為"四環(huán)十二碳締")、 9-甲基-四環(huán)[6. 2. 1. 13'6. 02'7]十二碳-4-締、9-己基-四環(huán)[6. 2. 1. 13'6. 02'7]十二 碳-4-締、9-甲叉-四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-4-締、9-己叉-四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7] 十二碳-4-締、9-己締基-四環(huán)化2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-4-締、9-丙締基-四環(huán) [6. 2. 1.I3'6. 02'7]十二碳-4-締、五環(huán)化 2. 1.I3'9. 02' 04'8]十五碳-5, 12-二締、環(huán)了 締、環(huán)戊締、環(huán)戊二締、環(huán)己締、環(huán)庚締、環(huán)辛締、環(huán)辛二締、巧、3a，5, 6, 7a-四氨-4, 7-亞甲 基-1H-巧、9-苯基-四環(huán)化2. 1. 13'6.02'7]十二碳-4-締、四環(huán)化2. 1.02'1°.03'8]十四 碳-3, 5, 7, 12-四締、五環(huán)化2. 1.I3'9. 02'w. 04'8]十五碳-12-締等。該些單體化2)可W分 別單獨使用，也可W將2種W上組合使用。
[0化0] 作為環(huán)狀締姪W外的單體化3)的具體例，可列舉；己締；丙締、1-了締、1-戊締、 1-己締、3-甲基-1- 了締、3-甲基-1-戊締、3-己基-1-戊締、4-甲基-1-戊締、4-甲 基-1-己締、4, 4-二甲基-1-己締、4, 4-二甲基-1-戊締、4-己基-1-己締、3-己基-1-己 締、1-辛締、1-癸締、1-十二碳締、1-十四碳締、1-十六碳締、1-十八碳締、1-二十碳締 等碳原子數(shù)2~20的a-締姪；1, 4-己二締、1, 5-己二締、4-甲基-1, 4-己二締、5-甲 基-1，4-己二締、1，7-辛二締等非共輛二締、W及它們的衍生物；等等。該些中，優(yōu)選a-締 姪。該些單體化3)可W分別單獨使用，也可W將2種W上組合使用。
[0051]該些單體化1)~化如中，從使本發(fā)明的效果更顯著的觀點出發(fā)，優(yōu)選具有質(zhì)子性 極性基團W外的極性基團的環(huán)狀締姪單體化1)，特別優(yōu)選具有N-取代酷亞胺基的環(huán)狀締 姪。
[0052]環(huán)狀締姪聚合物（A1)中的能夠共聚的單體化）的單元的含有比例相對于全部單 體單元優(yōu)選為10~90摩爾％。如果能夠共聚的單體化）的單元的含有比例過少，則可能 導(dǎo)致環(huán)狀締姪聚合物（A1)在極性溶劑中的溶解性不足，如果過多，則存在下述隱患；在本 發(fā)明的樹脂組合物中添加了福射敏感性化合物時福射敏感性不充分、或在顯影時產(chǎn)生溶解 殘渣。
[0053] 需要說明的是，在本發(fā)明中，也可W通過利用公知的改性劑在不具有質(zhì)子性極性 基團的環(huán)狀締姪類聚合物中導(dǎo)入質(zhì)子性極性基團，來得到環(huán)狀締姪聚合物（A1)。不具有質(zhì) 子性極性基團的聚合物可W通過任意地組合上述單體化1)及化2)中的至少一種和根據(jù)需 要的單體化3)并進行聚合來得到。
[0054] 需要說明的是，本發(fā)明中使用的環(huán)狀締姪聚合物（A1)可W是使上述單體進行開 環(huán)聚合而得到的開環(huán)聚合物，或者，也可W是使上述單體進行加聚而得到的加聚物，但從本 發(fā)明的效果更為顯著的方面考慮，優(yōu)選為開環(huán)聚合物。
[0化5]開環(huán)聚合物可W通過使具有質(zhì)子性極性基團的環(huán)狀締姪單體（a)及根據(jù)需要而 使用的能夠共聚的單體化）在易位反應(yīng)催化劑的存在下進行開環(huán)易位聚合來制造。作為制 造方法，可采用例如在國際公開第2010/110323號的[0039]~[0079]記載的方法等。另 一方面，加聚物可W通過使用公知的加聚催化劑、例如由鐵、錯或饑化合物和有機侶化合物 構(gòu)成的催化劑，使具有質(zhì)子性極性基團的環(huán)狀締姪單體（a)及根據(jù)需要而使用的能夠共聚 的單體化）進行聚合而得到。
[0化6] 另外，在本發(fā)明中使用的環(huán)狀締姪聚合物（A1)為開環(huán)聚合物的情況下，優(yōu)選進一 步進行加氨反應(yīng)，得到主鏈中所含的碳-碳雙鍵經(jīng)加氨而得到的加氨物。環(huán)狀締姪聚合物 (A1)為加氨物的情況下，發(fā)生了氨化的碳-碳雙鍵的比例（加氨率）通常為50%W上，從 耐熱性的觀點出發(fā)，優(yōu)選為70%W上，更優(yōu)選為90%W上，進一步優(yōu)選為95%W上。
[0057]另外，本發(fā)明中使用的丙締酸樹脂（A2)沒有特殊限定，優(yōu)選為W選自下組中至少 1種為必要成分的均聚物或共聚物；具有丙締酷基的駿酸、具有丙締酷基的駿酸酢、或含環(huán) 氧基的丙締酸醋化合物及含氧雜環(huán)了基的丙締酸醋化合物。
[005引作為具有丙締酷基的駿酸的具體例，可列舉；（甲基）丙締酸[表示丙締酸和/或 甲基丙締酸。W下，（甲基）丙締酸甲醋等也同樣。]、己豆酸、馬來酸、富馬酸、巧康酸、中 康酸、戊締二酸、鄰苯二甲酸單（2-((甲基）丙締酷氧基）己基）醋、N-(駿基苯基）馬來 酷亞胺、N-(駿基苯基）（甲基）丙締酷胺等。作為具有丙締酷基的駿酸酢的具體例，可列 舉馬來酸酢、巧康酸酢等。
[0059] 作為含環(huán)氧基的丙締酸醋化合物的具體例，可列舉；丙締酸縮水甘油醋、甲基 丙締酸縮水甘油醋、a-己基丙締酸縮水甘油醋、a-正丙基丙締酸縮水甘油醋、a-正 了基丙締酸縮水甘油醋、丙締酸-3, 4-環(huán)氧基了醋、甲基丙締酸-3, 4-環(huán)氧基了醋、丙締 酸-6, 7-環(huán)氧基庚醋、甲基丙締酸-6, 7-環(huán)氧基庚醋、a-己基丙締酸-6, 7-環(huán)氧基庚醋、 丙締酸-3, 4-環(huán)氧基環(huán)己基甲醋、甲基丙締酸-3, 4-環(huán)氧基環(huán)己基甲醋等。
[0060] 作為含氧雜環(huán)了基的丙締酸醋化合物的具體例，可列舉；（甲基）丙締酸（3-甲基 氧雜環(huán)了燒-3-基）甲基、（甲基）丙締酸（3-己基氧雜環(huán)了燒-3-基）甲基、（甲基）丙締 酸（3-甲基氧雜環(huán)了燒-3-基）己基、（甲基）丙締酸（3-己基氧雜環(huán)了燒-3-基）己基、 (甲基）丙締酸（3-氯甲基氧雜環(huán)了燒-3-基）甲基、（甲基）丙締酸（氧雜環(huán)了燒-2-基） 甲基、（甲基）丙締酸（2-甲基氧雜環(huán)了燒-2-基）甲基、（甲基）丙締酸（2-己基氧雜環(huán)了 燒-2-基）甲基、（1-甲基-1-氧雜環(huán)了基-2-苯基）-3-(甲基）丙締酸醋、（1-甲基-1-氧 雜環(huán)了基）-2-S氣甲基-3-(甲基）丙締酸醋、及（1-甲基-1-氧雜環(huán)了基）-4-S氣甲 基-2-(甲基）丙締酸醋等。該些中，優(yōu)選（甲基）丙締酸、馬來酸酢、（甲基）丙締酸縮水 甘油醋、甲基丙締酸-6, 7-環(huán)氧基庚醋等。
[0061] 丙締酸樹脂（A2)可W是選自不飽和駿酸、不飽和駿酸酢及含環(huán)氧基的不飽和化 合物中的至少一種與其它丙締酸醋類單體或丙締酸醋W外的能夠共聚的單體的共聚物。
[0062] 作為其它丙締酸醋類單體，可列舉；（甲基）丙締酸甲醋、（甲基）丙締酸己醋、（