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      設(shè)置有連接片的光學(xué)結(jié)構(gòu)和用于制造該光學(xué)結(jié)構(gòu)的方法_4

      文檔序號:9672460閱讀:來源:國知局
      響104進行,所述影響使透鏡12從其初始的位置Pl中運動到已調(diào)節(jié)的位置P2中。這例如能夠經(jīng)由激活位于連接片上的加熱元件進行,所述加熱元件引起連接片14的變形。其它的作用也是可以考慮的,例如對連接片作用的靜電力和經(jīng)由例如在圖64和81中示出的靜電驅(qū)動器產(chǎn)生的這種靜電力。此外可以考慮的是,外部的機械裝置對所述結(jié)構(gòu)起作用并且引起連接片14轉(zhuǎn)向從而引起固定在其上的透鏡12轉(zhuǎn)向。在調(diào)節(jié)期間,能夠一次或多次地在此期間檢查:是否已實現(xiàn)期望的取向。如果為了調(diào)節(jié)而使用環(huán)境溫度的變化,也就是說使用相應(yīng)構(gòu)成的連接片的與溫度相關(guān)的轉(zhuǎn)向的上述效果,那么在調(diào)節(jié)時充分利用之前確定的或者已知的在溫度和光學(xué)結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性之間的關(guān)聯(lián),以便關(guān)于預(yù)設(shè)的使用或者運行溫度確定最佳的調(diào)節(jié),針對所述使用或者運行溫度設(shè)置光學(xué)結(jié)構(gòu)。如果在調(diào)節(jié)時以其它方式引起連接片轉(zhuǎn)向,那么所述調(diào)節(jié)例如在運行溫度中或者在允許的運行溫度的區(qū)間中進行。
      [0224]在保留已調(diào)節(jié)的位置P2的條件下,在第四步驟中進行粘膠102的退火,這引起透鏡12和連接片14的固定,其中在已退火的粘膠102的地點處形成連接片14的新的固定點,所述固定點限定連接片14的新的運動形式。在固定之后透鏡12根據(jù)上述溫度相關(guān)性還通過連接片在新的固定點和透鏡12之間的區(qū)域中的變形還能夠是可運動的。該殘余的可運動性在調(diào)節(jié)時就應(yīng)已經(jīng)在上述調(diào)節(jié)步驟中一起考慮。如果根據(jù)上述實施例中的一個例如借助于局部地加熱連接片使連接片轉(zhuǎn)向,并且用于獲得最佳的調(diào)節(jié)或者定向的溫度是高的,那么根據(jù)殘余可運動性能夠是有利的是,在固定之前連接片仍少量地轉(zhuǎn)向超出最佳的轉(zhuǎn)向點,以便隨后在運行時避免對于在運行時精細調(diào)節(jié)透鏡所不需要的調(diào)溫。
      [0225]圖47b示出設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16由兩個部段16a和16b構(gòu)成。在部段16a上經(jīng)由連接片14a和14b設(shè)置有透鏡12。部段16a具有寬度R1,所述寬度小于用于承載的結(jié)構(gòu)的部段16b的寬度R2,所述部段關(guān)于第一部段16a向下取向。由此通過用于承載的結(jié)構(gòu)的第一部段16a限定的中間空間FFl因此大于通過第二部段16b限定的中間空間FF2。通過借助于進行調(diào)節(jié)的影響104和粘膠102的退火106和進行調(diào)節(jié)的影響104的去除來調(diào)節(jié)透鏡12相對于參考平面18的與初始位置Pl不同的新的位置P2,透鏡12包括已調(diào)節(jié)的位置P2作為新的初始位置。退火的粘膠102a和102b的地點限定連接片14的新的固定的錨固點。連接片14的熱學(xué)的或者通過其它的、例如靜電力產(chǎn)生的變形在這種情況下僅在透鏡12和通過退火的粘膠限定的固定點之間的區(qū)域L2中有效。
      [0226]連接片14的其余的擴展部LI例如僅不顯著地有助于透鏡12在空間中的定位。舊的懸掛點103a/103b通過透鏡12的新的懸掛點105a/105b替代。
      [0227]圖47c示出設(shè)備,其中在對于圖47b準(zhǔn)備的步驟中將粘膠102a和102b在連接片14a和14b以及用于承載的結(jié)構(gòu)之間設(shè)置在部段16b中。在此,用于承載的結(jié)構(gòu)的部段16b相對于連接片14a和14b構(gòu)成為是不可運動的,使得連接片14a和14b從而透鏡12能夠關(guān)于參考平面18調(diào)節(jié)。
      [0228]雖然在圖47中粘膠102構(gòu)成為是UV硬化的并且通過UV輻照進行退火106,但是也可以提供其它形式的粘接劑、例如可熱活化的粘接劑,所述粘接劑通過相應(yīng)的退火過程、例如熱過程退火。調(diào)節(jié)104例如能夠通過激活加熱元件52或者另一種外力來進行。如果借助于溫度來進行調(diào)節(jié),即要么通過環(huán)境溫度要么通過激活加熱元件,那么能夠通過粘膠將固定設(shè)計為,使得所述固定不僅補償總結(jié)構(gòu)的生產(chǎn)公差而且補償連接片的回變,所述回變當(dāng)撤除進行調(diào)節(jié)的溫度并且連接片回冷到常規(guī)的環(huán)境溫度上時可能出現(xiàn)。這種回變可能會導(dǎo)致透鏡重新移動離開其所尋求的理論位置。
      [0229]替選地,也能夠提出:調(diào)節(jié)通過靜電驅(qū)動器進行,所述靜電驅(qū)動器可將力作用到連接片上,使得達到透鏡的理論位置并且通過粘膠固定。替選地,也能夠使用外力、例如通過抓取器或者另一種外部設(shè)備以用于使透鏡轉(zhuǎn)向并且調(diào)節(jié)透鏡。
      [0230]在上文中所描述的且通過新的固定點105產(chǎn)生的后續(xù)在運行時有效的連接片長度縮短到長度L2上,不僅能夠在提供連接片期間而且能夠因相應(yīng)地設(shè)計連接片材料的尺寸而被考慮,使得:連接片例如設(shè)計得更長,由此彎曲線導(dǎo)致較高的振幅;或者選擇產(chǎn)生較強的行程的材料,使得所確定的特征線保持在光學(xué)結(jié)構(gòu)的移動和透鏡的光學(xué)特性的移動之間。
      [0231]圖48示出設(shè)備30,其中在連接片14a至d上設(shè)置有可通過UV輻射硬化的粘膠102a 至 do
      [0232]圖49示出設(shè)備10,其中具有凹凸的橫截面的連接片14a和14b具有彎曲的幾何形狀。該橫截面不僅實現(xiàn)了透鏡12的靜止位置的穩(wěn)定而且實現(xiàn)了對透鏡12的運動的限定,所述透鏡經(jīng)由單層片的連接片設(shè)置在用于承載的結(jié)構(gòu)16上。
      [0233]圖50示出類似于圖1和2的設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16包括具有寬度Rl的部段16a和具有寬度R2的另一部段16b,并且連接片14a和14b在部段16a中設(shè)置在用于承載的結(jié)構(gòu)16上。在連接片14a或14b和用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16b之間的空間構(gòu)成用于實現(xiàn)設(shè)置可退火的粘膠102以固定新的初始位置。
      [0234]51a示出類似于圖26的設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16b沿著朝向參考平面18的方向?qū)B接片14a和14b以及用于承載的結(jié)構(gòu)16之間的空間限界,所述空間構(gòu)成用于實現(xiàn)可退火的粘膠102的設(shè)置以固定新的初始位置。
      [0235]51b示出類似于圖27的設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16b沿著朝向參考平面18的方向?qū)B接片14a和14b以及用于承載的結(jié)構(gòu)16之間的空間限界,所述空間構(gòu)成用于實現(xiàn)可退火的粘膠102的設(shè)置以固定新的初始位置。
      [0236]52a示出類似于圖26的設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16b沿著朝向共同運動的透鏡75的方向?qū)B接片14a和14b以及用于承載的結(jié)構(gòu)16之間的空間限界,所述空間構(gòu)成用于實現(xiàn)可退火的粘膠102的設(shè)置以固定新的初始位置。
      [0237]52b示出類似于圖27的設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16b沿著朝向共同運動的透鏡75的方向?qū)B接片14a和14b以及用于承載的結(jié)構(gòu)16之間的空間限界,所述空間構(gòu)成用于實現(xiàn)可退火的粘膠102的設(shè)置以固定新的初始位置。
      [0238]圖53示出類似于圖29的設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16在這兩個透鏡堆76a和76b之間的區(qū)域中包括部段16b,所述部段具有寬度R2,所述寬度大于用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16a和部段16c的寬度Rl。在具有寬度R2的部段16b上能夠沿著朝向這兩個透鏡堆76a和76b的方向分別設(shè)置粘膠102,使得這兩個透鏡堆76a和76b能夠借助于用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16b調(diào)節(jié)。
      [0239]圖54a示出設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16包括具有寬度Rl的部段16a和具有寬度R2的部段16b,并且寬度R2大于寬度Rl。在用于承載的結(jié)構(gòu)16的上側(cè)或者下側(cè)上經(jīng)由連接片14a和14b設(shè)置有可運動的透鏡12,所述上側(cè)或者下側(cè)在用于承載的結(jié)構(gòu)16處具有寬度Rl。在結(jié)構(gòu)16的相對置的上側(cè)或者下側(cè)上,在部段16b的中間空間F2中在其它的層81a和81b上方設(shè)置有不運動的透鏡79a,其中不運動的透鏡79a和其它的層81a和81b與用于承載的結(jié)構(gòu)16 —件式地構(gòu)成。
      [0240]圖54b示出設(shè)備,所述設(shè)備由兩個單元56a和56b構(gòu)成,其中所述單元56a和56b中的每一個以圖54a中的設(shè)備的意圖形成。這兩個單元直接彼此相鄰地設(shè)置并且單元的彼此鄰接的材料層與可運動的透鏡12a和12b、用于承載的結(jié)構(gòu)16、玻璃鏡片86以及不運動的透鏡79a和79b分別在變化之上一件式地構(gòu)成。
      [0241]圖54c示出類似于圖54b的設(shè)備,其中單元56a和56b彼此相鄰地設(shè)置在連續(xù)地構(gòu)成的玻璃晶片86上。因此僅玻璃晶片86 —件式地構(gòu)成。
      [0242]圖55a示出類似于圖54a中的設(shè)備的設(shè)備,其中在設(shè)置在不運動的透鏡的半部79b上的層81c和81d上設(shè)置有用于承載的結(jié)構(gòu)的另一部段16c,在所述部段的端部上設(shè)置有第二玻璃晶片86b。
      [0243]圖55b示出圖55a中的設(shè)備,其中透鏡12兩層地構(gòu)造。
      [0244]在具有運動的和不運動的透鏡的設(shè)備中能夠使用單層或者多層的運動的或不運動的透鏡。同樣可行的是,也使用多個玻璃晶片86,以便實施沿著光軸的任意的特性。
      [0245]圖56a不出設(shè)備,其中用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16a和16b由不同的材料構(gòu)成。部段16a設(shè)置在玻璃晶片86a上,其中在部段16a的與玻璃晶片86a相對置的端部上設(shè)置有連接片14a和14b。玻璃晶片86的背離透鏡12的主側(cè)包括不可運動的透鏡79與設(shè)置在其上的層81a和81b,其中不運動的透鏡79和層81a和81b —件式地形成。在層81a和81b上設(shè)置有用于承載的結(jié)構(gòu)的部段16b,所述部段由與部段16a不同的材料形成。在部段16b的背離不運動的透鏡79的端部上設(shè)置有第二玻璃晶片86b。
      [0246]圖56b示出圖56a中的設(shè)備,其中連接片14a和14b以及用于承載的結(jié)構(gòu)16的部段16a與透鏡12 —件式地構(gòu)成。
      [0247]根據(jù)期望的功能、例如機械的或者熱學(xué)的特性,光學(xué)的總結(jié)構(gòu)的每個部段由不同的材料形成。在材料的相同或不同的部段之間能夠集成玻璃晶片,所述玻璃晶片要么具有用于穩(wěn)定的特性要么能夠構(gòu)成為光學(xué)結(jié)構(gòu)、例如透鏡的載體。
      [0248]為了實施關(guān)于連接片或者光學(xué)結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)向的大的動力,可以提出:對連接片的上述熱學(xué)上的可影響性的使用擴展外力,其中所述熱學(xué)上的可影響性也經(jīng)由所描述的加熱元件利用,其中所述外力對連接片作用并且使這些連接片從其位置中運動出來。該力例如能夠通過靜電驅(qū)動器中的靜電場產(chǎn)生,如下文中的實施例所示出的那樣。除了機械的保持器或者抓取器也可以提出純靜電的轉(zhuǎn)向裝置,而不利用或者存在轉(zhuǎn)向裝置的上述溫度相關(guān)性。在此,靜電驅(qū)動器能夠以不同的方式方法構(gòu)成。下述實施例中的一些提出:就用于承載的結(jié)構(gòu)的相應(yīng)成形的部段或者部分彎曲的模制構(gòu)件而言對用于承載的結(jié)構(gòu)擴展電極載體,在所述模制構(gòu)件或者相應(yīng)成形的部段上能夠設(shè)置有電極。同樣,靜電驅(qū)動器能夠經(jīng)由連接片的特殊的成形借助于懸臂式電極構(gòu)成,如進一步在下文中所描述的實施例中的這種情況。
      [0249]上述實施例因此可與下述實施例中的方面組合,據(jù)此使用靜電驅(qū)動器,以便在運行時執(zhí)行光學(xué)結(jié)構(gòu)和連接片的定位。但是下述實施例也能夠脫離于上述實施例的溫度補償效果來使用。
      [0250]圖57a示出類似圖1的設(shè)備120和設(shè)置在其上的模制構(gòu)件,其中第二電極126a和126b和第一電極122a和122b彼此設(shè)置為,使得它們至少部分地重疊并且至少通過絕緣層128彼此間隔。第一電極122a和122b和第二電極126a和126b形成靜電驅(qū)動器132a和132b0
      [0251]模制構(gòu)件124大約在中央具有直徑D3,在所述直徑中空出模制構(gòu)件124的材料、電極126和絕緣層128,并且所述直徑大約與透鏡12的光軸28定心地設(shè)置。模制構(gòu)件124此外包括兩個朝向用于承載的結(jié)構(gòu)16的表面、即在模制構(gòu)件124的寬度XFl上的FFl和具有寬度XF2的連續(xù)彎曲的表面FF2。表面FFl與表面FTl相對置地設(shè)置并且寬度XFl基本上對應(yīng)于寬度XTl。表面FFl平坦地構(gòu)成,而表面FF2連續(xù)彎曲地成形。模制構(gòu)件124的表面FF3在當(dāng)前的實施例中在寬度XF3的擴展上平坦地構(gòu)成。兩個第二電極126a和126b設(shè)置在平坦的表面FFl和彎曲的表面FF2上并且至少部分地由絕緣層128覆蓋。
      [0252]靜電驅(qū)動器允許在電極之間施加電場從而允許將力施加到電極122和126上。由此不僅可在初始的調(diào)節(jié)期間而且可在進行的運行期間實現(xiàn)光學(xué)結(jié)構(gòu)的移動或者傾斜。在運行進行時,由此動態(tài)地聚焦透鏡是可行的,所述透鏡通過連接片14補充對透鏡12的熱致變化的補償或者僅實現(xiàn)所述補償——在沒有熱平衡的情況下。例如能夠通過連接片和透鏡的材料實現(xiàn)關(guān)于限定的物鏡間距對于變化的環(huán)境溫度而言保持不變的焦點位置。變化的物鏡間距能夠借助于靜電驅(qū)動器聚焦。尤其是能夠設(shè)置有或者至少可連接有控制裝置(未示出),所述控制裝置要么控制靜電驅(qū)動器,例如根據(jù)通過溫度感應(yīng)器所檢測到的溫度來控制,以便克服光學(xué)結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性因熱而引起的變化的作用,要么例如根據(jù)與光學(xué)結(jié)構(gòu)的光學(xué)特性相關(guān)的信號的評估、例如根據(jù)在成像平面中所獲得的圖像的銳度的評估來進行調(diào)節(jié),所述銳度至少部分地通過光學(xué)結(jié)構(gòu)例、如透鏡系統(tǒng)限定,所述透鏡系統(tǒng)包括懸掛在連接片上的透鏡。
      [0253]圖57a的設(shè)備例如能夠如在下文中所描述的那樣制造。
      [0254]圖57b示出在未接合的狀態(tài)中的具有用于承載的結(jié)構(gòu)16和設(shè)置在其上的部件以及模制構(gòu)件124和設(shè)置在其上的部件的設(shè)備120。電極122a和126a以及電極122b和126b構(gòu)成用于,在用于承載的結(jié)構(gòu)16和模制構(gòu)件124接合之后分別關(guān)于連接片14a或14b作用為靜電驅(qū)動器132a或132b。
      [0255]圖57c示出在表面FTl和FFl之間的可退火的粘膠134a和134b的設(shè)置,經(jīng)由所述粘膠將模制構(gòu)件124接合到用于承載的結(jié)構(gòu)16上。
      [0256]如果第一電極122設(shè)置在連接片上并且靜電驅(qū)動器132用于將連接片14轉(zhuǎn)向從而將透鏡12轉(zhuǎn)向,那么這能夠借助非常大的動力發(fā)生,這實現(xiàn)了透鏡12關(guān)于參考平面和可能的待聚焦的物鏡間距的快速的聚焦,使得光學(xué)的總結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)更快的圖像序列,在所述總結(jié)構(gòu)中可能使用透鏡12。
      [0257]圖58示出類似于圖57b的設(shè)備,其中絕緣層128設(shè)置在第一電極122a和122b上。原則上,絕緣層128也能夠定位在第一電極122和第二電極126之間,使得所述絕緣層既不牢固地設(shè)置在相應(yīng)的第一電極122a/122b上也不牢固地設(shè)置第二電極126a/b上,所述絕緣層例如能夠作為單獨的層在接合期間插入到用于承載的結(jié)構(gòu)16和模制構(gòu)件124之間。在用于承載的結(jié)構(gòu)16的表面FTl和模制構(gòu)件124的平坦的表面FFl之間的區(qū)域中,僅設(shè)置有相應(yīng)的第一和第二電極122a/122b、第二電極126a/126b、絕緣層128以及粘膠134a/134b。在該區(qū)域中第一電極122a和122b之間的間距最小并且從用于承載的結(jié)構(gòu)16起沿著朝向透鏡12的方向連續(xù)地增加。
      [0258]圖59示出設(shè)備120的一部分,其中在第一電極122和第二電極126之間施加電壓U。電壓U引起在這兩個電極之間構(gòu)成電場136從而引起在這兩個電極之間的吸引力。通過將模制構(gòu)件124設(shè)置在用于承載的結(jié)構(gòu)16上,第二電極126關(guān)于用于承載的結(jié)構(gòu)16不可運動地設(shè)置。電場136的吸引力引起透鏡12和連接片14從其以虛線表示的初始位置中沿著朝向第二電極126的方向運動。
      [0259]根據(jù)電場的極性,也能夠在這兩個電極之間產(chǎn)生斥力,這引起連接片14和透鏡12遠離第二電極126的運動。
      [0260]圖60a示出圖20中的設(shè)備30的單元56的俯視圖,其中第一電極122a至d設(shè)置在連接片上并且延伸到用于承載的結(jié)構(gòu)16的表面FTl上。光軸28位于透鏡12的中央中。圖60b示出模制構(gòu)件124的俯視圖,在所述模制構(gòu)件上以虛線示出的方式設(shè)置有第二電極126a至d,所述第二電極由面狀地設(shè)置的絕緣層128覆蓋。模制構(gòu)件在中央具有圓形的留空部,所述留空部具有直徑D3,所述留空部在模制構(gòu)件124接合到用于承載的結(jié)構(gòu)16上之后實現(xiàn)了沿著透鏡12的光軸28的不受阻礙的光穿過。
      [0261]圖61a示出類似于圖58的設(shè)備,其中光學(xué)結(jié)構(gòu)包括具有多個并排的透鏡142、144和146的光學(xué)陣列138來替代透鏡12,其中所述并排的透鏡直接彼此連接并且包括共同的直徑D4以及共同地經(jīng)由連接片14固定在用于承載的結(jié)構(gòu)16上。透鏡142、144和146是類似于圖24中的透鏡陣列68的光學(xué)結(jié)構(gòu)。透鏡142、144和146在此能夠包括透明的、反射性的或者吸收性的區(qū)域。
      [0262]圖61b示出替選于圖61a的一個替選的實施方式,其中光學(xué)陣列138的透鏡142和146包括由透鏡構(gòu)成的部分。
      [0263]圖61c示出模制構(gòu)件124,在所述模制構(gòu)件的表面FFl和FF2上設(shè)置有第二電極126a和126b并且其直徑D3小于圖61a和61b中的光學(xué)陣列138的直徑D4。直徑D3和D4能夠彼此無關(guān)地確定尺寸,它們尤其能夠彼此不同。
      [0264]根據(jù)替選的實施例,光學(xué)陣列能夠包括任意數(shù)量的透鏡或者由透鏡構(gòu)成的部分,其中相應(yīng)的單獨部件能夠個體地形成。
      [0265]圖62a示出兩個并排的單元56a和56b的橫截面,所述單元具有各一個可運動的透鏡12a和12b,其連接片14a至d類似于圖58中的設(shè)備120借助第一電極122a至d和絕緣層128覆蓋并且用于承載的結(jié)構(gòu)16包括槽148a和148b。
      [0266]圖62b示出未接合的模制構(gòu)件124的橫截面,所述模制構(gòu)件構(gòu)成用于接合到圖62a的這兩個單元56a和56b上并且所述模制構(gòu)件包括兩個具有直徑D3的留空部,所述留空部在接合狀態(tài)中分別近似圍繞透鏡12a和12b的光軸28a和28b同心地定位。模制構(gòu)件124包括彈簧152a和152b,所述彈簧構(gòu)成用于設(shè)置在圖62a的槽148a和148b上。
      [0267]圖62c示出在圖62b中的模制構(gòu)件124和圖62a中的用于承載的結(jié)構(gòu)16的接合狀態(tài)中的設(shè)備130,其中彈簧152a至b引入到槽148a至b中,在所述槽148a至b和彈簧152a至b之間引入粘膠134a至d,并且槽148a至b、彈簧152a至b和粘膠134a至d形成接合區(qū)154a至d。
      [0268]圖63a示出在兩側(cè)彎曲的模制構(gòu)件156的橫截面,所述模制構(gòu)件關(guān)于對稱軸158對稱地構(gòu)造并且模制構(gòu)件156的每個半部可作為圖58中的模制構(gòu)件124示出,其中模制構(gòu)件156的這兩個半部的表面FF3a和FF3b彼此設(shè)置為是全等的。在兩側(cè)彎曲的模制構(gòu)件156因此包括平坦的第二表面FFlb和彎曲的第二表面FF2b,在所述平坦的第二表面和彎曲的第二表面上設(shè)置有其它的第二電極126c和126d從而模制構(gòu)件156構(gòu)成用于成為兩個靜電驅(qū)動器132a和132b或者132c和132d的部分。
      [0269]替選的實施例包括在兩側(cè)彎曲的模制構(gòu)件,其表面彼此不具有對稱性。特別地,當(dāng)用于承載的結(jié)構(gòu)的部段沿著光軸彼此不同時,在兩側(cè)彎曲的模制構(gòu)件的尺寸和成形彼此無關(guān)地形成。
      [0270]圖63b示出設(shè)備,其中兩個類似于圖58b的設(shè)備經(jīng)由在兩側(cè)彎曲的模制構(gòu)件156彼此接合,使得透鏡12a和12b的光軸基本上一致并且用于承載的結(jié)構(gòu)16a和16b的面FTla和FTlb朝向彼此設(shè)置并且模制構(gòu)件156是四個靜電驅(qū)動器132a
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