精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置的制造方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種遮蔽(Shutter)裝置，特別涉及一種用于液晶顯示領(lǐng)域的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置。
【【背景技術(shù)】】
[0002]精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)TTP(Total Pi tch)機(jī)臺(tái)是薄膜晶體管液晶顯示器(Thin FilmTransistor-Liquid Crystal Display ,TFT-LCD)制程重要的光學(xué)量測(cè)機(jī)臺(tái)，主要用于TFT基板/CF(彩色濾光片基板)基板第一層圖案制作時(shí)曝光機(jī)曝光精度參數(shù)總間距(TotalPitch)的量測(cè)，其量測(cè)結(jié)果直接決定了后續(xù)圖像制程的曝光對(duì)位，以及最終對(duì)組貼合的精度。
[0003]Total Pitch量測(cè)的基本原理是激光的邁克爾遜干涉，通過干涉條紋強(qiáng)度計(jì)算距離。激光的穩(wěn)定性易受溫度影響，所以需要保證機(jī)臺(tái)和量測(cè)的玻璃均保持在恒溫狀態(tài)，一般是將機(jī)臺(tái)放置于恒溫室中，溫度保持為23±0.1°C。玻璃則是先進(jìn)入機(jī)臺(tái)外的冷卻緩沖機(jī)構(gòu)(Cooling Buffer)，定時(shí)恒溫后再透過機(jī)械手搬入機(jī)臺(tái)量測(cè)。
[0004]然而，恒溫室外界的無(wú)塵環(huán)境的溫度控制在23±0.5°C，在將玻璃搬送入恒溫室時(shí)，恒溫室與外界是相通的，而會(huì)造成恒溫室溫度的細(xì)小變化，會(huì)導(dǎo)致玻璃進(jìn)入機(jī)臺(tái)后在量測(cè)過程中因溫度變化產(chǎn)生熱脹冷縮效應(yīng)，影響Total Pitch的量測(cè)準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
[0005]由上可知，業(yè)界迫切需要一種運(yùn)送玻璃時(shí)確保恒溫室溫度保持固定的裝置，以提高量測(cè)的準(zhǔn)確性。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0006]本發(fā)明的個(gè)目的在于提供一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其透過熱風(fēng)噴頭產(chǎn)生熱風(fēng)氣流，阻隔了腔體內(nèi)外的熱交換，確保了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)所在的恒溫室的溫度恒定，防止基板產(chǎn)生溫度細(xì)微變化，保證了Total Pitch的量測(cè)準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
[0007]為解決上述問題，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，所述遮蔽裝置包括:遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進(jìn)行所述腔體的開/關(guān)動(dòng)作；以及至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開時(shí)噴出干潔氣體(Clean Dry Air，CDA)以防止所述腔體與腔體外界溫度交換。
[0008]在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述遮蔽門是平行所述腔體的壁面往下打開。
[0009]在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述干潔氣體形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流。
[0010]在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述至少二熱風(fēng)噴頭包括在所述遮蔽門左側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭，并包括在所述遮蔽門右側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭。在本實(shí)施例中，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭水平對(duì)應(yīng)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭。在另一實(shí)施例中，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭垂直的交錯(cuò)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭。
[0011]在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的遮蔽裝置中，所述精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置進(jìn)一步包括CDA氣源，并透過管路連接CDA氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭。在本實(shí)施例中，所述管路上設(shè)有溫度傳感器，以維持噴出CDA的溫度。
[0012]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置透過熱風(fēng)噴頭產(chǎn)生水平熱風(fēng)氣流，阻隔了腔體內(nèi)外的熱交換，確保了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)所在的腔體的溫度恒定，防止玻璃基板產(chǎn)生溫度細(xì)微變化，進(jìn)而保證了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)量測(cè)Total Pitch的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
[0013]為讓本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂，下文特舉優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下:
【【附圖說明】】
[0014]圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置的正視示意圖；
[0015]圖2為圖1的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖；
[0016]圖3為本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖。
【【具體實(shí)施方式】】
[0017]以下各實(shí)施例的說明是參考附加的圖式，用以例示本發(fā)明可用以實(shí)施的特定實(shí)施例。本發(fā)明所提到的方向用語(yǔ)，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「內(nèi)」、「外」、「?jìng)?cè)面」等，僅是參考附加圖式的方向。因此，使用的方向用語(yǔ)是用以說明及理解本發(fā)明，而非用以限制本發(fā)明。
[0018]在圖中，結(jié)構(gòu)相似的單元是以相同標(biāo)號(hào)表示。
[0019]參照?qǐng)D1及圖2，圖1為本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置的正視示意圖，圖2為圖1的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖。
[0020]如圖1所示，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置10用于隔絕腔體20內(nèi)外溫度交換，其中精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)(圖未示)設(shè)置于腔體20內(nèi)，精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)用于量測(cè)TFT基板/CF(彩色濾光片基板)基板(圖未示)第一層圖案制作時(shí)曝光機(jī)曝光精度參數(shù)總間距(Total Pitch)。
[0021]本實(shí)施例的遮蔽裝置10包括遮蔽門(Shutter)120、至少二熱風(fēng)噴頭140、干潔氣體(CDA)氣源160及管路170。如圖所示，遮蔽門120設(shè)置于腔體20上，用于進(jìn)行所述腔體20的開/關(guān)動(dòng)作。在此實(shí)施例中，遮蔽門120是平行所述腔體20的壁面22往下打開，再往上關(guān)閉，如雙箭頭所示。如圖2所示，當(dāng)欲進(jìn)行Total Pitch量測(cè)時(shí)，遮蔽門120會(huì)下降而打開腔體20，此時(shí)機(jī)械手(圖未示)會(huì)將TFT基板/CF基板送入腔體內(nèi)的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)，待放置完成后，如圖1所示，遮蔽門120再上升關(guān)閉腔體20。
[0022]如圖2所示，至少二熱風(fēng)噴頭140設(shè)置于腔體20之壁面22并位于所述遮蔽門120的左右兩側(cè)。具體而言，熱風(fēng)噴頭140用于當(dāng)所述遮蔽門120打開時(shí)噴出如箭頭所示之干潔氣體(Clean Dry Air，⑶A)以防止所述腔體20與腔體外界溫度交換，并起到阻擋灰塵粒子的作用。進(jìn)一步而言，所述CDA形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流30，而形成一道氣墻，阻隔腔體20與外界的熱交換。
[0023]如圖2所示，所述至少二熱風(fēng)噴頭140包括在所述遮蔽門120左側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭141、142、143，并包括在所述遮蔽門12右側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭144、145、146。在此實(shí)施例中，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭141、142、143水平對(duì)應(yīng)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭144、145、146。
[0024]參照?qǐng)D3，圖3為本發(fā)明另一優(yōu)選實(shí)施例的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置在打開腔體的正視示意圖。在此另一實(shí)施例中，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭141、142、143垂直的交錯(cuò)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭144、145、146。值得注意的是，本發(fā)明并不限制熱風(fēng)噴頭的數(shù)量及排列方式，其他如四個(gè)、五個(gè)、六個(gè)等熱風(fēng)噴頭及其他的排列方式，都在本發(fā)明的范圍中。
[0025]如圖1所示，所述⑶A氣源160透過管路連接⑶A氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭140。在本實(shí)施例中，所述管路170上設(shè)有溫度傳感器172，以維持噴出CDA的溫度。舉例來說，CDA氣源160送到熱風(fēng)噴頭140前，可通過溫度控制系統(tǒng)(未圖示)進(jìn)行溫度控制。舉例來說，可透過預(yù)加熱裝置(未圖示)的預(yù)加熱形成溫度保持在23°C的CDA，使得從熱風(fēng)噴頭140吹出時(shí)形成溫度均勻的的熱風(fēng)氣流30。
[0026]另外，本發(fā)明的遮蔽裝置還可包括⑶A流量控制系統(tǒng)(圖未示)，⑶A流量控制系統(tǒng)連接CDA氣源160，可調(diào)節(jié)CDA送出的流量，使得玻璃送入時(shí)的穩(wěn)定性不受影響。
[0027]綜上所述，本發(fā)明的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置10透過熱風(fēng)噴頭140產(chǎn)生水平熱風(fēng)氣流30，阻隔了腔體20內(nèi)外的熱交換，確保了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)所在的腔體20的溫度恒定，防止玻璃基板產(chǎn)生溫度細(xì)微變化，進(jìn)而保證了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)量測(cè)Total Pitch的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
[0028]盡管已經(jīng)相對(duì)于一個(gè)或多個(gè)實(shí)現(xiàn)方式示出并描述了本發(fā)明，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員基于對(duì)本說明書和附圖的閱讀和理解將會(huì)想到等價(jià)變型和修改。本發(fā)明包括所有這樣的修改和變型，并且僅由所附權(quán)利要求的范圍限制。特別地關(guān)于由上述組件執(zhí)行的各種功能，用于描述這樣的組件的術(shù)語(yǔ)旨在對(duì)應(yīng)于執(zhí)行所述組件的指定功能(例如其在功能上是等價(jià)的)的任意組件(除非另外指示)，即使在結(jié)構(gòu)上與執(zhí)行本文所示的本說明書的示范性實(shí)現(xiàn)方式中的功能的公開結(jié)構(gòu)不等同。此外，盡管本說明書的特定特征已經(jīng)相對(duì)于若干實(shí)現(xiàn)方式中的僅一個(gè)被公開，但是這種特征可以與如可以對(duì)給定或特定應(yīng)用而言是期望和有利的其他實(shí)現(xiàn)方式的一個(gè)或多個(gè)其他特征組合。而且，就術(shù)語(yǔ)“包括”、“具有”、“含有”或其變形被用在【具體實(shí)施方式】或權(quán)利要求中而言，這樣的術(shù)語(yǔ)旨在以與術(shù)語(yǔ)“包含”相似的方式包括。
[0029]雖然本發(fā)明已以優(yōu)選實(shí)施例揭露如上，但上述優(yōu)選實(shí)施例幷非用以限制本發(fā)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求界定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，其特征在于，所述遮蔽裝置包括: 遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進(jìn)行所述腔體的開/關(guān)動(dòng)作；以及 至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開時(shí)噴出干潔氣體以防止所述腔體與腔體外界溫度交換。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述遮蔽門是平行所述腔體的壁面往下打開。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述干潔氣體形成溫度均勻的水平的熱風(fēng)氣流。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述至少二熱風(fēng)噴頭包括在所述遮蔽門左側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭，并包括在所述遮蔽門右側(cè)的三個(gè)垂直排列的熱風(fēng)噴頭。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭水平對(duì)應(yīng)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述左側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭垂直的交錯(cuò)所述右側(cè)的三個(gè)熱風(fēng)噴頭。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置進(jìn)一步包括CDA氣源，并透過管路連接CDA氣源與所述至少二熱風(fēng)噴頭。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，其特征在于，所述管路上設(shè)有溫度傳感器，以維持噴出CDA的溫度。
【專利摘要】本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例提供了一種精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)的遮蔽裝置，用于隔絕腔體內(nèi)外溫度交換，所述遮蔽裝置包括：遮蔽門，設(shè)置于腔體上，用于進(jìn)行所述腔體的開/關(guān)動(dòng)作；以及至少二熱風(fēng)噴頭，設(shè)置于腔體之壁面并位于所述遮蔽門的左右兩側(cè)，用于當(dāng)所述遮蔽門打開時(shí)噴出干潔氣體以防止所述腔體與腔體外界溫度交換，保證了精密測(cè)長(zhǎng)機(jī)量測(cè)總間距的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，并起到阻擋灰塵粒子的作用。
【IPC分類】G02F1/13
【公開號(hào)】CN105549239
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201610121207
【發(fā)明人】楊二, 馬海買提, 陳中明
【申請(qǐng)人】武漢華星光電技術(shù)有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請(qǐng)日】2016年3月3日