光照射裝置以及光照射方法
【專利摘要】提供一種光照射裝置以及光照射方法，在雙工作臺(tái)方式中使工作臺(tái)彼此不會(huì)干涉而能夠高效地進(jìn)行光照射處理。光照射裝置具備：載置第一工件，且能夠在第一待機(jī)位置與照射區(qū)域之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的第一工作臺(tái)；載置第二工件，且能夠在第二待機(jī)位置與照射區(qū)域之間進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)的第二工作臺(tái)；以及對(duì)第一工作臺(tái)以及第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制以便第一工件和第二工件交替地通過照射區(qū)域的控制部。此處，控制部以下述方式進(jìn)行控制：各工作臺(tái)在照射區(qū)域內(nèi)以比最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在照射區(qū)域外的歸路以最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在照射區(qū)域外的去路以使得工作臺(tái)間距離不會(huì)低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)。
【專利說明】
光照射裝置以及光照射方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及光照射裝置以及光照射方法，尤其涉及具備能夠在相同軸上往復(fù)移動(dòng)的兩個(gè)工件工作臺(tái)，并對(duì)該工件工作臺(tái)上的工件交替地照射光的光照射裝置以及光照射方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，關(guān)于以液晶面板為首的液晶顯示元件的取向膜、視場(chǎng)角補(bǔ)償薄膜的取向?qū)拥鹊娜∠蛱幚恚捎猛ㄟ^照射規(guī)定的波長(zhǎng)的偏振光來進(jìn)行取向的、被稱為光取向的技術(shù)。
[0003]在光取向中使用的光照射裝置具備:具有與光照射區(qū)域的寬度相當(dāng)?shù)拈L(zhǎng)度的棒狀的光源；以及使來自該光源的光偏振的偏振元件，對(duì)沿與光源的長(zhǎng)邊方向正交的方向被搬運(yùn)的工件照射偏振光。
[0004]作為這樣的光照射裝置，例如存在專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)。該技術(shù)采用雙工作臺(tái)方式，具備:能夠在設(shè)定于照射區(qū)域的一側(cè)的第一工件搭載位置與照射區(qū)域之間往復(fù)移動(dòng)的第一工作臺(tái)；以及能夠在設(shè)定于照射區(qū)域的另一側(cè)的第二工件搭載位置與照射區(qū)域之間往復(fù)移動(dòng)的第二工作臺(tái)。而且，通過使第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)交替地朝照射區(qū)域移動(dòng)，并對(duì)工作臺(tái)上的工件照射光，由此，與僅具備一方的工作臺(tái)的情況相比較生產(chǎn)間隔時(shí)間減少。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2014 - 174352號(hào)公報(bào)
[0006]在上述專利文獻(xiàn)I所記載的技術(shù)中，為了實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的生產(chǎn)間隔時(shí)間的縮短的目的，也可以形成為:與一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)(從照射區(qū)域朝工件搭載位置返回的移動(dòng))相連續(xù)，開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)(從工件搭載位置朝向照射區(qū)域的移動(dòng))。
[0007]然而，各工作臺(tái)在照射區(qū)域內(nèi)移動(dòng)的期間(照射偏振光的期間)、和在照射區(qū)域外移動(dòng)的期間工作臺(tái)的移動(dòng)速度不同。具體而言，各工作臺(tái)當(dāng)在照射區(qū)域外移動(dòng)而僅進(jìn)行工件的搬運(yùn)的情況下，能夠高速移動(dòng)，但當(dāng)在照射區(qū)域內(nèi)移動(dòng)的期間，存在為了獲得規(guī)定的曝光量而低速移動(dòng)的情況。
[0008]因此，僅僅使一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)開始的定時(shí)與另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)開始的定時(shí)同步的話，存在因上述的移動(dòng)速度差而在工作臺(tái)之間產(chǎn)生干涉的顧慮。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]因此，本發(fā)明的課題在于，在雙工作臺(tái)方式中，提供一種工作臺(tái)彼此不會(huì)干涉而能夠高效地進(jìn)行光照射處理的光照射裝置以及光照射方法。
[0010]為了解決上述課題，本發(fā)明所涉及的光照射裝置的一個(gè)方式為一種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以第一移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以比上述第一移動(dòng)速度高速的第二移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，當(dāng)工作臺(tái)間距離比預(yù)先設(shè)定的最接近距離長(zhǎng)時(shí)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)、當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)以上述第一移動(dòng)速度移動(dòng)，并且以下述方式進(jìn)行控制:在上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的、處于歸路移動(dòng)中的一方的工作臺(tái)至少處于上述照射區(qū)域的期間之前，另一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0011]這樣，采用具備載置工件的兩個(gè)工作臺(tái)，且對(duì)各工件交替地照射光的所謂雙工作臺(tái)方式。由此，在朝一方的工作臺(tái)照射光的期間，能夠進(jìn)行另一方的工作臺(tái)的工件更換作業(yè)等。因此，與工作臺(tái)僅為一個(gè)的情況相比較能夠減少生產(chǎn)間隔時(shí)間，能夠提高生產(chǎn)率。并且，由于使在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以使得工作臺(tái)間距離不會(huì)低于最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)，因此，即便當(dāng)在第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)之間存在移動(dòng)速度差的情況下，也能夠以不會(huì)發(fā)生工作臺(tái)之間的干涉且能夠高效地進(jìn)行光照射處理的方式使工作臺(tái)移動(dòng)。
[0012]并且，由于直至不發(fā)生工作臺(tái)之間的干涉的位置為止以較高的速度進(jìn)行去路移動(dòng)，之后使其追隨先行移動(dòng)的工作臺(tái)，因此能夠避免工作臺(tái)之間的干涉并且能夠使其盡早到達(dá)照射區(qū)域。因此，能夠在對(duì)一方的工件進(jìn)行光照射處理后立刻對(duì)另一方的工件進(jìn)行光照射處理，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)間隔時(shí)間的進(jìn)一步縮短。
[0013]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)追隨上述另一方的工作臺(tái)而移動(dòng)。
[0014]這樣，由于使在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以與另一方的工作臺(tái)相同的移動(dòng)速度移動(dòng)，因此，即便當(dāng)在第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)之間存在移動(dòng)速度差的情況下，也能夠可靠地防止工作臺(tái)之間的干涉。
[0015]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)方向上的后端部位置相比上述照射區(qū)域的靠上述一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)的端部位置而位于上述另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)時(shí)，使上述一方的工作臺(tái)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)直至到上述端部位置為止。
[0016]由此，若先行移動(dòng)的工作臺(tái)完全進(jìn)入照射區(qū)域內(nèi)，則在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)與工作臺(tái)間距離無關(guān)而直至照射區(qū)域的入口為止都能夠以較高的速度移動(dòng)。因此，也能夠形成為對(duì)兩個(gè)工件中的至少一方的工件始終進(jìn)行光照射處理的狀態(tài)，能夠?qū)崿F(xiàn)進(jìn)一步的生產(chǎn)間隔時(shí)間的縮短。
[0017]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。
[0018]由此，能夠在一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)后再開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，能夠避免兩個(gè)工作臺(tái)均進(jìn)行去路移動(dòng)的狀況。因此，能夠可靠地避免工作臺(tái)彼此的干涉。
[0019]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。
[0020]這樣，當(dāng)一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，因此能夠更高效地進(jìn)行針對(duì)兩個(gè)工件的光照射處理。
[0021]此外，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，還具備旋轉(zhuǎn)控制部，該旋轉(zhuǎn)控制部獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿態(tài)，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述旋轉(zhuǎn)控制部對(duì)上述旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制。
[0022]通過像這樣具備旋轉(zhuǎn)控制部，例如在對(duì)工件照射偏振光的情況下，能夠?qū)⒐ぜ姆较蛳鄬?duì)于偏振光的偏振光軸設(shè)置成規(guī)定的方向而進(jìn)行光照射處理。并且，通過在去路移動(dòng)中進(jìn)行工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)控制，能夠抑制生產(chǎn)間隔時(shí)間變長(zhǎng)。
[0023]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)由上述旋轉(zhuǎn)控制部控制的非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)的位置靠上述旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置。
[0024]由此，能夠在避免工作臺(tái)間的干涉的同時(shí)進(jìn)行去路移動(dòng)中的旋轉(zhuǎn)控制。
[0025]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述工作臺(tái)間距離是上述第一工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置與上述第二工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置之間的沿上述搬運(yùn)軸方向的距離。
[0026]這樣，由于各工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置彼此的距離設(shè)為工作臺(tái)間距離，因此，即便當(dāng)各工作臺(tái)的形狀或繞與工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)角度等產(chǎn)生差異的情況下，也能夠進(jìn)行避免了工作臺(tái)間的干涉的工作臺(tái)移動(dòng)控制。
[0027]此外，在上述的光照射裝置中，上述光可以是偏振光。這樣，也能夠應(yīng)用于對(duì)工件照射偏振光而進(jìn)行光取向處理的偏振光照射裝置。
[0028]并且，在上述的光照射裝置中，可以對(duì)上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動(dòng)和歸路移動(dòng)這雙方照射上述光。由此，能夠不浪費(fèi)能量地進(jìn)行光照射處理。
[0029]此外，本發(fā)明所涉及的光照射裝置的另一個(gè)方式為一種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域；以及旋轉(zhuǎn)控制部，獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿態(tài)，上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以比預(yù)先設(shè)定的最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，以工作臺(tái)間距離不低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)，上述旋轉(zhuǎn)控制部將上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間進(jìn)行去路移動(dòng)的區(qū)間設(shè)為能夠進(jìn)行上述旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作可能區(qū)間。
[0030]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)由上述旋轉(zhuǎn)控制部控制的非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)的位置靠上述旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置。
[0031]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，當(dāng)上述工作臺(tái)間距離比上述最接近距離長(zhǎng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)以上述另一方的工作臺(tái)的移動(dòng)速度移動(dòng)。
[0032]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)追隨上述另一方的工作臺(tái)而移動(dòng)。
[0033]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)方向上的后端部位置相比上述照射區(qū)域的靠上述一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)的端部位置而位于上述另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)直至到上述端部位置為止。
[0034]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。
[0035]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。
[0036]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述工作臺(tái)間距離是上述第一工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置與上述第二工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置之間的沿上述搬運(yùn)軸方向的距離。
[0037]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，上述光是偏振光。
[0038]并且，在上述的光照射裝置中，也可以形成為，對(duì)上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動(dòng)和歸路移動(dòng)這雙方照射上述光。
[0039]此外，本發(fā)明所涉及的光照射裝置的再一個(gè)方式為一種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，具備:第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。
[0040]此外，本發(fā)明所涉及的光照射方法的一個(gè)方式涉及對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光的光照射方法，其中，對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，此時(shí)，以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以第一移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以比上述第一移動(dòng)速度高速的第二移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，當(dāng)工作臺(tái)間距離比預(yù)先設(shè)定的最接近距離長(zhǎng)時(shí)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)、當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)以上述第一移動(dòng)速度移動(dòng)，并且以下述方式進(jìn)行控制:在上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的、處于歸路移動(dòng)中的一方的工作臺(tái)至少處于上述照射區(qū)域的期間之前，另一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0041]這樣，采用具備載置工件的兩個(gè)工作臺(tái)，且對(duì)各工件交替地照射光的所謂雙工作臺(tái)方式。由此，在朝一方的工作臺(tái)照射光的期間，能夠進(jìn)行另一方的工作臺(tái)的工件更換作業(yè)等。因此，與工作臺(tái)僅為一個(gè)的情況相比較能夠減少生產(chǎn)間隔時(shí)間，能夠提高生產(chǎn)率。并且，由于使在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以使得工作臺(tái)間距離不會(huì)低于最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)，因此，即便當(dāng)在第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)之間存在移動(dòng)速度差的情況下，也能夠以不會(huì)發(fā)生工作臺(tái)間的干涉且能夠高效地進(jìn)行光照射處理的方式使工作臺(tái)移動(dòng)。
[0042]此外，本發(fā)明所涉及的光照射方法的另一個(gè)方式涉及一種光照射方法，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，此時(shí)，以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以比預(yù)先設(shè)定的最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，以工作臺(tái)間距離不低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)，將上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間進(jìn)行去路移動(dòng)的區(qū)間作為能夠進(jìn)行上述旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作可能區(qū)間，獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿
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[0043]此外，本發(fā)明所涉及的光照射方法的再一個(gè)方式涉及一種光照射方法，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其中，對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，此時(shí)，以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以比預(yù)先設(shè)定的最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，以工作臺(tái)間距離不低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)，當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置，當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。
[0044]發(fā)明效果
[0045]在本發(fā)明的光照射裝置中，在雙工作臺(tái)方式中，能夠使進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以使得與另一方的工作臺(tái)之間的工作臺(tái)間距離不會(huì)低于最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)。因此，即便當(dāng)在第一工作臺(tái)與第二工作臺(tái)之間存在移動(dòng)速度差的情況下，工作臺(tái)彼此也不會(huì)干涉，能夠高效地進(jìn)行光照射處理。
【附圖說明】
[0046]圖1是示出本實(shí)施方式的偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0047]圖2是對(duì)各工作臺(tái)的移動(dòng)區(qū)間進(jìn)行說明的圖。
[0048]圖3是對(duì)工作臺(tái)間距離進(jìn)行說明的圖。
[0049]圖4是對(duì)工作臺(tái)間距離進(jìn)行說明的圖。
[0050]圖5是示出第一實(shí)施方式的工作臺(tái)速度控制處理順序的流程圖。
[0051]圖6是對(duì)第一實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0052]圖7是對(duì)第一實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0053]圖8是對(duì)第一實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0054]圖9是對(duì)第一實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0055]圖10是對(duì)第一實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0056]圖11是示出第二實(shí)施方式的工作臺(tái)速度控制處理順序的流程圖。
[0057]圖12是對(duì)第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0058]圖13是對(duì)第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0059]圖14是對(duì)第二實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0060]圖15是對(duì)第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0061]圖16是對(duì)第三實(shí)施方式的動(dòng)作進(jìn)行說明的圖。
[0062]標(biāo)號(hào)說明
[0063]10A、10B…光照射部;11…放電燈;12…反射鏡;13…偏振單兀;14…燈罩;15…照射區(qū)域;20…搬運(yùn)部;21A…第一工作臺(tái);21B…第二工作臺(tái);22…引導(dǎo)件;23A、23B…電磁鐵；24A、24B…Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)；30...控制部；31…線位移傳感器；100…偏振光照射裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0064]以下，基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0065](第一實(shí)施方式)
[0066]圖1是示出本實(shí)施方式的偏振光照射裝置的概略結(jié)構(gòu)圖。
[0067]偏振光照射裝置100具備光照射部1A以及1B和搬運(yùn)工件W的搬運(yùn)部20。這里，工件W是形成有光取向膜的、例如整形為液晶面板的大小的矩形狀的基板。
[0068]偏振光照射裝置100 —邊從光照射部1A以及1B照射規(guī)定的波長(zhǎng)的偏振光(偏振的光)一邊利用搬運(yùn)部20使工件W直線移動(dòng)，對(duì)工件W的光取向膜照射上述偏振光而進(jìn)行光取向處理。
[0069]光照射部1A以及1B分別具備:線狀的光源即燈11 ;以及對(duì)燈11的光進(jìn)行反射的反射鏡12。并且，光照射部1A以及1B分別具備配置在其光射出側(cè)的偏振單元13。此夕卜，光射出部1A以及1B分別具備收納燈11、反射鏡12以及偏振單元13的燈罩14。
[0070]光照射部1A以及光照射部1B以使燈11的長(zhǎng)邊方向與正交于工件W的搬運(yùn)方向(X方向)的方向(Y方向)一致的狀態(tài)沿著工件W的搬運(yùn)方向(X方向)并排設(shè)置。
[0071]以下，對(duì)光照射部1A以及1B的具體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。
[0072]燈11是長(zhǎng)條狀的燈，其發(fā)光部具有與工件W的正交于搬運(yùn)方向的方向的寬度對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度。該燈11例如為高壓水銀燈或?qū)λy添加了其他金屬的金屬鹵化物燈等，放射波長(zhǎng)200nm?400nm的紫外光。
[0073]作為光取向膜的材料，公知有借助波長(zhǎng)254nm的光取向的材料，借助波長(zhǎng)313nm的光取向的材料，借助波長(zhǎng)365nm的光取向的材料等，光源的種類根據(jù)所需要的波長(zhǎng)適當(dāng)選擇。
[0074]此外，作為光源，還能夠使用將放射紫外光的LED或LD呈直線狀地排列配置而成的線狀光源。在該情況下，將LED或LD排列配置的方向相當(dāng)于燈的長(zhǎng)邊方向。
[0075]反射鏡12將來自燈11的放射光朝規(guī)定的方向反射，是其剖面呈橢圓形或者拋物線狀的檐溝狀聚光鏡。反射鏡12以其長(zhǎng)邊方向與燈11的長(zhǎng)邊方向一致的方式配置。
[0076]燈罩14在其底面具有供來自燈11的放射光以及由反射鏡12反射的反射光通過的光射出口。偏振單元13安裝于燈罩14的光射出口，使通過該光射出口的光偏振。
[0077]偏振單元13具有將多個(gè)偏振器沿?zé)?1的長(zhǎng)邊方向排列配置而成的結(jié)構(gòu)。上述多個(gè)偏振器例如由框架等支承。
[0078]偏振器例如是線柵型偏振元件，偏振器的個(gè)數(shù)根據(jù)要照射偏振光的區(qū)域的大小適當(dāng)選擇。此外，各偏振器分別以透射軸朝向同一方向的方式配置。
[0079]搬運(yùn)部20具備分別保持工件W的第一工作臺(tái)2IA以及第二工作臺(tái)21B。上述兩個(gè)工作臺(tái)21A、21B是借助真空吸附等的方法對(duì)工件W進(jìn)行吸附保持的平板狀的工作臺(tái)。此夕卜，在本實(shí)施方式中，將各工作臺(tái)21A、21B以及工件W形成為矩形狀，但并不限定于此，能夠形成為任意的形狀。并且，并不限于利用平板狀的工作臺(tái)吸附保持工件W的結(jié)構(gòu)，也可以是利用多個(gè)銷來吸附保持工件W的結(jié)構(gòu)。
[0080]并且，搬運(yùn)部20具備:沿著工作臺(tái)2IA以及2IB的移動(dòng)方向延伸的兩條引導(dǎo)件22 ;以及作為一個(gè)例子而構(gòu)成工作臺(tái)21A以及21B的移動(dòng)機(jī)構(gòu)的電磁鐵23A以及23B。此處，作為上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如采用線性馬達(dá)工作臺(tái)。線性馬達(dá)工作臺(tái)是如下的機(jī)構(gòu):在呈棋盤網(wǎng)格狀地設(shè)置有強(qiáng)磁性體的凸極的平面狀的臺(tái)板上使移動(dòng)體(工作臺(tái)21A、21B)借助氣體浮起，對(duì)該移動(dòng)體施加磁力，并使移動(dòng)體與臺(tái)板的凸極之間的磁力變化，由此使該移動(dòng)體移動(dòng)。此夕卜，作為上述移動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如也能夠采用使用了滾珠絲杠的機(jī)構(gòu)。
[0081]這樣，工作臺(tái)21A以及21B構(gòu)成為能夠沿著共用的搬運(yùn)軸即引導(dǎo)件22往復(fù)移動(dòng)。
[0082]此外，搬運(yùn)部20具備使工作臺(tái)2IA以及2IB分別能夠沿Θ方向(繞Z軸)旋轉(zhuǎn)的Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)24A以及24B。S卩，工作臺(tái)21A以及21B分別以能夠沿Θ方向旋轉(zhuǎn)的方式安裝在固定基座25A以及25B上，且其旋轉(zhuǎn)角度由Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)24A以及24B調(diào)整。
[0083]工作臺(tái)2IA以及2IB的移動(dòng)路徑設(shè)計(jì)成通過光照射部1A以及1B的正下方。搬運(yùn)部20構(gòu)成為將工件W朝由光照射部1A以及1B照射偏振光的照射區(qū)域搬運(yùn)，并使其通過該照射區(qū)域。此外，搬運(yùn)部20構(gòu)成為在工件W完全通過照射區(qū)域后使該工件W折返并使其再次通過該照射區(qū)域。在該去路移動(dòng)和歸路移動(dòng)這雙方，工件W的光取向膜被實(shí)施光取向處理。
[0084]圖2是對(duì)工作臺(tái)2IA以及2IB的移動(dòng)區(qū)間進(jìn)行說明的圖。
[0085]第一工作臺(tái)21A能夠在從設(shè)定于偏振光的照射區(qū)域15的一側(cè)的工件搭載位置即基板搭載位置(第一待機(jī)位置)Pll直至設(shè)定于照射區(qū)域15的另一側(cè)的折返位置P12為止的區(qū)間往復(fù)移動(dòng)。并且，第二工作臺(tái)21B能夠在從夾著照射區(qū)域15設(shè)定于基板搭載位置Pll的相反側(cè)的工件搭載位置即基板搭載位置(第二待機(jī)位置)P21直至夾著照射區(qū)域15設(shè)定于折返位置P12的相反側(cè)的折返位置P22為止的區(qū)間往復(fù)移動(dòng)。
[0086]這里，對(duì)于第一工作臺(tái)21A，將從基板搭載位置Pll朝向折返位置P12的移動(dòng)稱為去路移動(dòng)。同樣，對(duì)于第二工作臺(tái)，也將從基板搭載位置P21朝向折返位置P22的移動(dòng)稱為去路移動(dòng)。并且，基板搭載位置是進(jìn)行載置于工作臺(tái)上的基板(工件W)的更換作業(yè)以及對(duì)準(zhǔn)作業(yè)的位置，折返位置是設(shè)定于照射區(qū)域15與另一方的工作臺(tái)的基板搭載位置之間的、工作臺(tái)從去路移動(dòng)切換至歸路移動(dòng)的切換位置。
[0087]例如，第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)區(qū)間(Pll?P12)的X方向距離LI與第二工作臺(tái)21B的移動(dòng)區(qū)間(P21?P22)的X方向距離L2設(shè)定為大致相等。并且，在第一工作臺(tái)21A的基板搭載位置與照射區(qū)域15之間確保有即便第二工作臺(tái)21B因Θ方向的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而成為任意姿態(tài)也能夠通過照射區(qū)域15的量以上的空間。同樣，在第二工作臺(tái)21B的基板搭載位置與照射區(qū)域15之間確保有即便第一工作臺(tái)21A因Θ方向的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而成為任意姿態(tài)也能夠通過照射區(qū)域15的量以上的空間。
[0088]各工作臺(tái)21A以及21B的基本動(dòng)作如下。
[0089]第一工作臺(tái)21A在基板搭載位置Pll進(jìn)行工件W的更換作業(yè)以及對(duì)準(zhǔn)作業(yè)，在對(duì)準(zhǔn)結(jié)束后，借助Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)24A進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。由此，使工件W的方向相對(duì)于偏振光的偏振光軸成為規(guī)定的方向。
[0090]隨后，第一工作臺(tái)21A開始朝向照射區(qū)域15進(jìn)行去路移動(dòng)。而且，若通過照射區(qū)域15而到達(dá)折返位置P12，則開始進(jìn)行歸路移動(dòng)，返回至基板搭載位置PU。在該基板搭載位置PU，再次進(jìn)行工件W的更換作業(yè)以及對(duì)準(zhǔn)作業(yè)，在對(duì)準(zhǔn)結(jié)束后，第一工作臺(tái)21A再次開始朝向照射區(qū)域15進(jìn)行去路移動(dòng)。反復(fù)進(jìn)行該動(dòng)作。
[0091]第二工作臺(tái)2IB也同樣，在基板搭載位置P21進(jìn)行工件W的更換作業(yè)以及對(duì)準(zhǔn)作業(yè)，在對(duì)準(zhǔn)結(jié)束后，借助Θ移動(dòng)機(jī)構(gòu)24B進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而后開始朝向照射區(qū)域15進(jìn)行去路移動(dòng)。此時(shí)的第二工作臺(tái)21B的旋轉(zhuǎn)角度有時(shí)與第一工作臺(tái)21A的旋轉(zhuǎn)角度不同。而且，第二工作臺(tái)21B若通過照射區(qū)域15而到達(dá)折返位置P22則開始進(jìn)行歸路移動(dòng)，返回至基板搭載位置P21。反復(fù)進(jìn)行該動(dòng)作。
[0092]并且，對(duì)于各工作臺(tái)21A以及21B，作為通常動(dòng)作，從基板搭載位置朝向照射區(qū)域15的去路移動(dòng)中、以及從照射區(qū)域15朝基板搭載位置返回的歸路移動(dòng)中的移動(dòng)速度被設(shè)定為速度較高的第一移動(dòng)速度(最大移動(dòng)速度)VI，除此以外的區(qū)域(照射區(qū)域15內(nèi)以及照射區(qū)域15與折返位置之間)的移動(dòng)速度被設(shè)定為比第一移動(dòng)速度Vl低速的第二移動(dòng)速度V2。
[0093]控制部30對(duì)工作臺(tái)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)即搬運(yùn)部20(參照?qǐng)D1)的各部分進(jìn)行控制以便實(shí)現(xiàn)上述的工作臺(tái)動(dòng)作。此時(shí)，控制部30從與搬運(yùn)軸平行配置的線位移傳感器31取得各工作臺(tái)21A以及21B的位置信息，根據(jù)所取得的位置信息計(jì)算各工作臺(tái)21A以及21B的速度信息。而且，控制部30基于所取得的位置信息以及計(jì)算出的速度信息，計(jì)算各工作臺(tái)21A以及21B的目標(biāo)移動(dòng)位置以及目標(biāo)移動(dòng)速度，并將其朝搬運(yùn)部20的各部分輸出。
[0094]并且，控制部30對(duì)各工作臺(tái)21A以及21B的移動(dòng)速度進(jìn)行控制，以便當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)21A和第二工作臺(tái)21B如上述那樣在共用的搬運(yùn)軸上反復(fù)往復(fù)移動(dòng)的期間二者不會(huì)干涉。
[0095]具體而言，在一方的工作臺(tái)進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，僅允許另一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)而禁止去路移動(dòng)。并且，對(duì)進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)的移動(dòng)速度進(jìn)行控制，以便在一方的工作臺(tái)進(jìn)行歸路移動(dòng)、另一方的工作臺(tái)在照射區(qū)域外進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，X方向上的工作臺(tái)間距離(后述的La)不會(huì)相比預(yù)先設(shè)定的最接近距離(后述的L0)而更接近。
[0096]這里，最接近距離LO是如下程度的富余距離:即便假設(shè)先行移動(dòng)的工作臺(tái)緊急停止的情況下，也能夠在工作臺(tái)間不發(fā)生干涉地使后續(xù)的工作臺(tái)停止。該最接近距離LO例如能夠基于最大移動(dòng)速度即第一移動(dòng)速度Vl設(shè)定。
[0097]各工作臺(tái)21A以及21B如上所述構(gòu)成為能夠沿Θ方向旋轉(zhuǎn)。因此，上述工作臺(tái)間距離La如圖3所示設(shè)為第一工作臺(tái)21A的去路方向(圖3的右方向)上的最前端位置P13與第二工作臺(tái)21B的去路方向(圖3的左方向)上的最前端位置P23之間的沿X方向的距離。
[0098]并且，各工作臺(tái)21A以及21B能夠獨(dú)立地控制Θ方向的旋轉(zhuǎn)角度，如圖4所示，存在第一工作臺(tái)21A與第二工作臺(tái)21B的旋轉(zhuǎn)方向不同的情況。即便在這種情況下，也將第一工作臺(tái)21A的去路方向的最前端位置P14與第二工作臺(tái)21B的去路方向的最前端位置P24之間的距離設(shè)為上述工作臺(tái)間距離La。
[0099]圖5是示出由控制部30執(zhí)行的工作臺(tái)速度控制處理順序的流程圖。該圖5所示的處理是控制部30在對(duì)第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)速度進(jìn)行控制的情況下執(zhí)行的處理。此外，關(guān)于對(duì)第二工作臺(tái)21B的移動(dòng)速度進(jìn)行控制的處理，只要將以下說明中的“第一工作臺(tái)”替換為“第二工作臺(tái)”、將“第二工作臺(tái)”替換為“第一工作臺(tái)”即可，因此在此省略說明。
[0100]首先，在步驟SI中，控制部30判定第一工作臺(tái)21A是否處于歸路移動(dòng)中。這里，控制部30根據(jù)第一工作臺(tái)21A的位置信息判定第一工作臺(tái)21A的位置以及移動(dòng)方向，判定第一工作臺(tái)21A是否處于歸路移動(dòng)中。
[0101]而且，當(dāng)在該步驟SI中判定為第一工作臺(tái)21A處于歸路移動(dòng)中的情況下，過渡至步驟S2。另一方面，當(dāng)判定為第一工作臺(tái)21A并不處于歸路移動(dòng)中，即處于去路移動(dòng)中、或者處于在基板搭載位置停止的期間中的情況下，過渡至步驟S3。
[0102]在步驟S2中，控制部30以使得第一工作臺(tái)21A進(jìn)行通常動(dòng)作的方式設(shè)定目標(biāo)移動(dòng)速度，并將其朝第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出。S卩，在第一工作臺(tái)21A處于朝向照射區(qū)域15的去路移動(dòng)中、或者從照射區(qū)域15朝基板搭載位置返回的歸路移動(dòng)中的情況下，將目標(biāo)移動(dòng)速度設(shè)定為第一移動(dòng)速度VI，當(dāng)處于除此以外的區(qū)域的情況下，將目標(biāo)移動(dòng)速度設(shè)定為第二移動(dòng)速度V2。而且，將所設(shè)定的目標(biāo)移動(dòng)速度朝第一工作臺(tái)2IA的移動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出。
[0103]在步驟S3中，控制部30判定第二工作臺(tái)21B是否處于去路移動(dòng)中。這里，控制部30根據(jù)第二工作臺(tái)21B的位置信息判定第二工作臺(tái)21B的移動(dòng)方向，判定第二工作臺(tái)21B是否正進(jìn)行去路移動(dòng)。而且，當(dāng)判定為第二工作臺(tái)21B正進(jìn)行去路移動(dòng)的情況下，過渡至步驟S4，當(dāng)判定為第二工作臺(tái)21B正進(jìn)行歸路移動(dòng)的情況下，過渡至步驟S5。
[0104]在步驟S4中，控制部30使第一工作臺(tái)2IA在基板搭載位置待機(jī)。S卩，控制部30將第一工作臺(tái)21的目標(biāo)移動(dòng)速度設(shè)定為O以便使第一工作臺(tái)21A停止，并將其朝第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出，而后過渡至后述的步驟S9。
[0105]在步驟S5中，控制部30判定第一工作臺(tái)21A的至少一部分是否存在于照射區(qū)域15內(nèi)。而且，當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)21A存在于照射區(qū)域15內(nèi)的情況下過渡至步驟S2，當(dāng)存在于照射區(qū)域15外的情況下過渡至步驟S6。
[0106]在步驟S6中，控制部30判定第一工作臺(tái)21A與第二工作臺(tái)21B之間的工作臺(tái)間距離La是否比最接近距離LO長(zhǎng)。這里，工作臺(tái)間距離La如上所述是第一工作臺(tái)21A的去路方向上的最前端位置與第二工作臺(tái)21B的去路方向上的最前端位置之間的沿X方向的距離。各工作臺(tái)的去路方向上的最前端位置通過基于工作臺(tái)的位置、工作臺(tái)尺寸、以及工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行計(jì)算而求出。
[0107]而且，在工作臺(tái)間距離La比最接近距離LO長(zhǎng)的情況下，判斷為使第一工作臺(tái)21A進(jìn)行通常動(dòng)作而過渡至步驟S2，當(dāng)工作臺(tái)間距離La達(dá)到最近接距離LO的情況下過渡至步驟S7。
[0108]在步驟S7中，控制部30計(jì)算直至第一工作臺(tái)21A到達(dá)照射區(qū)域15為止的距離(照射區(qū)域到達(dá)距離Lb)，并對(duì)該照射區(qū)域到達(dá)距離Lb與最接近距離LO進(jìn)行比較。這里，照射區(qū)域到達(dá)距離Lb如圖6所示是從第一工作臺(tái)21A的去路方向上的最前端位置到照射區(qū)域15的靠第一工作臺(tái)21A的基板搭載位置側(cè)的端部位置為止的距離。對(duì)于該照射區(qū)域到達(dá)距離Lb，當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)21A的最前端位置位于相比照射區(qū)域15的入口(圖6的左端部位置)靠后退側(cè)(圖6的左側(cè))的位置時(shí)，設(shè)為L(zhǎng)b > 0，當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)21A的最前端位置位于相比照射區(qū)域15的入口靠前進(jìn)側(cè)(圖6的右側(cè))的位置時(shí)，設(shè)為L(zhǎng)b = O0
[0109]而且，當(dāng)照射區(qū)域到達(dá)距離Lb為最接近距離LO以上時(shí)過渡至步驟S8，當(dāng)照射區(qū)域到達(dá)距離Lb比最接近距離LO短時(shí)過渡至步驟S2。
[0110]在步驟S8中，控制部30將第一工作臺(tái)2IA的目標(biāo)移動(dòng)速度設(shè)定為第二工作臺(tái)2IB的移動(dòng)速度，以便使第一工作臺(tái)21A追隨第二工作臺(tái)21B，并將其朝第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)機(jī)構(gòu)輸出。
[0111]在步驟S9中，控制部30判定是否結(jié)束第一工作臺(tái)21A的驅(qū)動(dòng)控制，在判定為繼續(xù)進(jìn)行控制的情況下返回步驟SI，在判定為結(jié)束控制的情況下結(jié)束工作臺(tái)速度控制處理。
[0112]以下，參照?qǐng)D6?圖10對(duì)本實(shí)施方式的動(dòng)作詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0113]在偏振光照射裝置100中，如圖6所示，在使第一工作臺(tái)21A在基板搭載位置Pll停止的狀態(tài)下，進(jìn)行第一工作臺(tái)21A上的基板的更換作業(yè)以及該基板的對(duì)準(zhǔn)作業(yè)。而且，當(dāng)對(duì)準(zhǔn)作業(yè)結(jié)束時(shí)，成為開始第一工作臺(tái)21A的去路移動(dòng)的準(zhǔn)備完成的狀態(tài)(圖5的步驟SI中為否)。
[0114]此時(shí)，如圖6所示，當(dāng)?shù)诙ぷ髋_(tái)21B正進(jìn)行去路移動(dòng)的情況下(步驟S3中為是)，第一工作臺(tái)21A并不開始去路移動(dòng)，而是在基板搭載位置待機(jī)(步驟S4)。之后，若第二工作臺(tái)21B到達(dá)折返位置而開始?xì)w路移動(dòng)，則第一工作臺(tái)21A開始進(jìn)行去路移動(dòng)。S卩，第一工作臺(tái)21A與第二工作臺(tái)21B開始進(jìn)行歸路移動(dòng)的定時(shí)同步而開始進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0115]另一方面，當(dāng)成為開始第一工作臺(tái)21A的去路移動(dòng)的準(zhǔn)備完成的狀態(tài)時(shí)，當(dāng)?shù)诙ぷ髋_(tái)21B開始進(jìn)行歸路移動(dòng)的情況下(步驟S3中為否)，第一工作臺(tái)21A保持原樣地開始進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0116]開始進(jìn)行該去路移動(dòng)時(shí)的第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)速度基于工作臺(tái)間距離La以及照射區(qū)域到達(dá)距離Lb決定。例如，如圖7所示，當(dāng)工作臺(tái)間距離La比預(yù)先設(shè)定的最接近距離LO長(zhǎng)的情況下(步驟S6中為是)，第一工作臺(tái)21A進(jìn)行通常動(dòng)作(步驟S2)。S卩，第一工作臺(tái)21A以比較高速的第一移動(dòng)速度Vl開始進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0117]第二工作臺(tái)21B在歸路中直至完全通過照射區(qū)域15為止，以比較低速的第二移動(dòng)速度V2移動(dòng)。因此，若第一工作臺(tái)21A以第一移動(dòng)速度Vl開始進(jìn)行去路移動(dòng)，則第一工作臺(tái)2IA逐漸追上第二工作臺(tái)21B。
[0118]而且，如圖8所示，若在第二工作臺(tái)21B的后端部(去路方向的最前端位置)進(jìn)入照射區(qū)域15內(nèi)之前，工作臺(tái)間距離La達(dá)到最接近距離LO (步驟S6中為否，步驟S7中為是)，則第一工作臺(tái)21A的移動(dòng)速度減速至第二移動(dòng)速度V2(步驟S8)。由此，第一工作臺(tái)21A在將工作臺(tái)間距離La保持為最接近距離LO的狀態(tài)下追隨第二工作臺(tái)21B。
[0119]之后，如圖9所示，若第二工作臺(tái)21B的后端部(去路方向的最前端位置)進(jìn)入照射區(qū)域15內(nèi)，照射區(qū)域到達(dá)距離Lb變得比最接近距離LO短(步驟S7中為否)，則第一工作臺(tái)21A的動(dòng)作從第二工作臺(tái)2IB的追隨動(dòng)作切換至通常動(dòng)作(步驟S2)。S卩，第一工作臺(tái)2IA的移動(dòng)速度加速以便成為第一移動(dòng)速度VI。
[0120]此時(shí)，由于第二工作臺(tái)21B正在照射區(qū)域15內(nèi)以速度較低的第二移動(dòng)速度V2移動(dòng)，因此通過第一工作臺(tái)21A切換至通常動(dòng)作而兩者接近，工作臺(tái)間距離La如圖10所示變得比最接近距離LO短。
[0121]然而，第一工作臺(tái)21A若到達(dá)照射區(qū)域15 (步驟S5中為是)，則使移動(dòng)速度減速至第二移動(dòng)速度V2(步驟S2)。因此，第一工作臺(tái)21A與第二工作臺(tái)21B均以第二移動(dòng)速度V2移動(dòng)，不會(huì)發(fā)生兩者的干涉。
[0122]之后，第二工作臺(tái)21B若完全通過照射區(qū)域15則加速至第一移動(dòng)速度Vl而朝基板搭載位置返回。此時(shí)，第一工作臺(tái)21A繼續(xù)以第二移動(dòng)速度V2在照射區(qū)域15內(nèi)移動(dòng)。第一工作臺(tái)21A之后若到達(dá)折返位置則過渡至歸路移動(dòng)，在歸路中，直至返回基板搭載位置為止，與第二工作臺(tái)21B的位置無關(guān)而進(jìn)行通常動(dòng)作。
[0123]這樣，本實(shí)施方式的偏振光照射裝置采用如下的所謂雙工作臺(tái)方式:具備能夠在相同軸上往復(fù)移動(dòng)的兩個(gè)工件工作臺(tái)(第一工作臺(tái)21A以及第二工作臺(tái)21B)，并對(duì)該工件工作臺(tái)上的基板(工件W)交替地照射偏振光。由此，在朝一方的工作臺(tái)的偏振光的照射中，能夠進(jìn)行另一方的工作臺(tái)的基板更換作業(yè)。因此，與工件工作臺(tái)僅為一個(gè)的情況相比較，能夠減少生廣間隔時(shí)間，能夠提尚生廣率。
[0124]并且，當(dāng)一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，禁止另一方的工作臺(tái)開始去路移動(dòng)，與一方的工作臺(tái)到達(dá)折返位置而開始進(jìn)行歸路移動(dòng)的定時(shí)同步地開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，因此，能夠避免兩個(gè)工作臺(tái)均進(jìn)行去路移動(dòng)的狀況，能夠可靠地避免工作臺(tái)彼此的干涉。并且，由于能夠以與一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)相連續(xù)的方式開始另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，因此能夠進(jìn)一步縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間。
[0125]而且，此時(shí)，考慮到會(huì)在第一工作臺(tái)21A與第二工作臺(tái)21B之間存在移動(dòng)速度差，根據(jù)正進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)的位置、移動(dòng)速度而對(duì)正在照射區(qū)域15外進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)的移動(dòng)速度進(jìn)行控制。即，當(dāng)工作臺(tái)間距離La比預(yù)先設(shè)定的最接近距離LO長(zhǎng)時(shí)，以使得正進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)以第一移動(dòng)速度(最大移動(dòng)速度)V1移動(dòng)的方式進(jìn)行控制，當(dāng)工作臺(tái)間距離La為最接近距離LO以下時(shí)，以使得正進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)與正進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)以相同的移動(dòng)速度移動(dòng)的方式進(jìn)行控制。
[0126]由此，開始進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)直至工作臺(tái)間距離La達(dá)到最接近距離LO為止以比較高的速度的第一移動(dòng)速度Vl移動(dòng)，若追上正在照射區(qū)域15內(nèi)以比較低的速度的第二移動(dòng)速度V2進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)而工作臺(tái)間距離La變?yōu)樽罱咏嚯xL0，則將移動(dòng)速度切換至第二移動(dòng)速度V2并進(jìn)行移動(dòng)。而且，之后，正進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)將工作臺(tái)間距離La維持在最接近距離LO而追隨正進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)。這樣，開始進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)能夠以使得工作臺(tái)間距離La不會(huì)低于最接近距離LO的方式高速地追隨正進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)。因此，在正進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)剛剛通過照射區(qū)域之后(根據(jù)最接近距離L0，正進(jìn)行歸路移動(dòng)的工作臺(tái)正通過照射區(qū)域的時(shí)候)，能夠使正進(jìn)行去路移動(dòng)的工作臺(tái)進(jìn)入照射區(qū)域。因此，工作臺(tái)彼此不會(huì)干涉，能夠高效地進(jìn)行光取向處理。
[0127]并且，由于將第一工作臺(tái)21A的去路移動(dòng)方向上的前端位置與第二工作臺(tái)21B的去路移動(dòng)方向上的前端位置之間的距離設(shè)為工作臺(tái)間距離La，因此，即便在各工作臺(tái)如圖3或圖4所示那樣分別在Θ方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的情況下，也能夠適當(dāng)?shù)乇苊夤ぷ髋_(tái)彼此的干涉。而且，此時(shí)，由于基于工作臺(tái)的位置、大小、Θ方向的旋轉(zhuǎn)角度計(jì)算該工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置，因此能夠適當(dāng)?shù)赜?jì)算出工作臺(tái)間距離La。
[0128](第二實(shí)施方式)
[0129]接下來，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0130]在上述的第一實(shí)施方式中，在一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，禁止開始進(jìn)行另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)，與此相對(duì)，在該第二實(shí)施方式中，允許開始進(jìn)行該另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。
[0131]圖11是示出第二實(shí)施方式的控制部30所執(zhí)行的工作臺(tái)速度控制處理順序的流程圖。該圖11所示的處理除了將上述的圖5的步驟S4替換為步驟Sll之外都進(jìn)行與圖5同樣的處理。因此，對(duì)進(jìn)行與圖5同樣的處理的部分標(biāo)注相同的步驟編號(hào)，在此以處理的不同部分為中心進(jìn)行說明。
[0132]在步驟Sll中，控制部30首先設(shè)定第一工作臺(tái)21A的目標(biāo)停止位置。目標(biāo)停止位置是從第二工作臺(tái)21B的折返位置P22朝第一工作臺(tái)21A的基板搭載位置側(cè)離開規(guī)定距離(例如最接近距離L0)的位置。
[0133]接下來，控制部30判定第一工作臺(tái)21A的位置是否相比目標(biāo)停止位置靠該第一工作臺(tái)21A的基板搭載位置側(cè)。而且，當(dāng)判定為相比目標(biāo)停止位置靠基板搭載位置側(cè)的情況下，使第一工作臺(tái)21A朝向目標(biāo)停止位置移動(dòng)。此時(shí)的移動(dòng)速度設(shè)為第一移動(dòng)速度VI。另一方面，當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)21A到達(dá)目標(biāo)停止位置的情況下，使第一工作臺(tái)21A在目標(biāo)停止位置停止。
[0134]S卩，在本實(shí)施方式中，如圖12所示，即便當(dāng)?shù)诙ぷ髋_(tái)21B正進(jìn)行去路移動(dòng)的情況下，若第一工作臺(tái)21A已在基板搭載位置完成對(duì)準(zhǔn)處理，則能夠以第一移動(dòng)速度Vl開始進(jìn)行去路移動(dòng)。但是，此時(shí)的第一工作臺(tái)21A的去路移動(dòng)的許可區(qū)間設(shè)為直至從第二工作臺(tái)21B的折返位置P22離開最接近距離LO的目標(biāo)停止位置P15為止的區(qū)間。
[0135]而且，在第一工作臺(tái)21A到達(dá)目標(biāo)停止位置P15前，若第二工作臺(tái)21B開始進(jìn)行歸路移動(dòng)，則進(jìn)行與上述的第一實(shí)施方式同樣的動(dòng)作。另一方面，如圖13所示，當(dāng)即便第一工作臺(tái)21A到達(dá)目標(biāo)停止位置P15第二工作臺(tái)21B仍正進(jìn)行去路移動(dòng)的情況下，第一工作臺(tái)21A在目標(biāo)停止位置P15停止，并待機(jī)直至第二工作臺(tái)21B開始進(jìn)行歸路移動(dòng)。
[0136]之后，如圖14所示，若第二工作臺(tái)2IB到達(dá)折返位置P22而開始進(jìn)行歸路移動(dòng)(步驟S3中為否)，則第一工作臺(tái)2IA開始追隨第二工作臺(tái)2IB (步驟S6中為否，步驟S8中為是)。即，第一工作臺(tái)2IA以與第二工作臺(tái)2IB相同的移動(dòng)速度(第二移動(dòng)速度V2)開始移動(dòng)。以下的動(dòng)作與上述的第一實(shí)施方式相同。
[0137]這樣，在本實(shí)施方式中，即便當(dāng)一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的情況下，也能夠開始進(jìn)行另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。因此，能夠更高效地進(jìn)行針對(duì)兩個(gè)工件W的光取向處理。特別是在第一移動(dòng)速度Vl與第二移動(dòng)速度V2之間的速度差比較小的情況下、基板搭載位置相對(duì)于照射區(qū)域設(shè)定在比較遠(yuǎn)的位置的情況下等，在一方的工作臺(tái)的光照射中另一方的工作臺(tái)開始去路移動(dòng)的做法，在該光照射中另一方的工作臺(tái)難以追上一方的工作臺(tái)的情況下是有效的。
[0138]并且，當(dāng)一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的情況下，將另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)許可區(qū)間設(shè)為直至從另一方的工作臺(tái)的折返位置朝上述一方的工作臺(tái)的基板搭載位置側(cè)離開規(guī)定距離的位置為止。因此，能夠可靠地防止與正進(jìn)行去路移動(dòng)的另一方的工作臺(tái)之間的干涉。
[0139](第三實(shí)施方式)
[0140]接下來，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0141]在上述的第一以及第二實(shí)施方式中，在基板搭載位置進(jìn)行工作臺(tái)的Θ方向的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，在該旋轉(zhuǎn)動(dòng)作結(jié)束后開始進(jìn)行去路移動(dòng)，與此相對(duì)，該第三實(shí)施方式形成為一邊進(jìn)行Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作一邊進(jìn)行去路移動(dòng)。
[0142]在本實(shí)施方式中，第一工作臺(tái)2IA以及第二工作臺(tái)2IB的Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作在進(jìn)入照射區(qū)域15前的去路移動(dòng)中、且在能夠確保最接近距離LO以上的工作臺(tái)間距離La的位置實(shí)施。此外，Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作所需要的時(shí)間比工作臺(tái)從基板搭載位置移動(dòng)至照射區(qū)域15所需的時(shí)間短。
[0143]例如，若在基板搭載位置結(jié)束了朝第一工作臺(tái)21A的基板搭載，則該第一工作臺(tái)21A —邊進(jìn)行Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作一邊開始進(jìn)行去路移動(dòng)。此時(shí)，如圖15所示，當(dāng)?shù)诙ぷ髋_(tái)21B處于去路移動(dòng)中的情況下，從基板搭載位置至目標(biāo)停止位置P15為止的區(qū)間成為Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作可能區(qū)間。這里，目標(biāo)停止位置P15是從第二工作臺(tái)21B的折返位置P22朝第一工作臺(tái)21A的基板搭載位置側(cè)離開規(guī)定距離(例如，最接近距離L0)的位置。
[0144]當(dāng)在第二工作臺(tái)21B到達(dá)折返位置P22前第一工作臺(tái)21A到達(dá)目標(biāo)停止位置P15的情況下，第一工作臺(tái)21A在目標(biāo)停止位置P15停止而進(jìn)行Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。
[0145]這里，第一工作臺(tái)21A是否到達(dá)目標(biāo)停止位置P15根據(jù)第一工作臺(tái)21A的頂點(diǎn)通過Θ旋轉(zhuǎn)而最接近第二工作臺(tái)21B的位置是否到達(dá)目標(biāo)停止位置P15來判斷。S卩，當(dāng)圖15的雙點(diǎn)劃線所示的圓的去路方向前端部到達(dá)目標(biāo)停止位置P15時(shí)，判斷為第一工作臺(tái)21A到達(dá)目標(biāo)停止位置P15。
[0146]另一方面，當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_(tái)21A的基板搭載結(jié)束而開始進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，當(dāng)?shù)诙ぷ髋_(tái)21B處于歸路移動(dòng)中的情況下，如圖16所示，直至從第二工作臺(tái)21B的后端位置(去路方向的最前端位置)朝第一工作臺(tái)21A的基板搭載位置側(cè)離開最接近距離LO的位置為止的區(qū)間成為第一工作臺(tái)21A的Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作可能區(qū)間。
[0147]在該情況下，第一工作臺(tái)21A直至工作臺(tái)間距離La變?yōu)樽罱咏嚯xLO為止一邊以通常的移動(dòng)速度即第一移動(dòng)速度Vl進(jìn)行去路移動(dòng)一邊進(jìn)行θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。而且，若工作臺(tái)間距離La變?yōu)樽罱咏嚯xL0，則一邊以與第二工作臺(tái)21B相同的第二移動(dòng)速度V2在保持最接近距離LO的狀態(tài)下進(jìn)行去路移動(dòng)一邊進(jìn)行Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作。此處，工作臺(tái)間距離La的計(jì)算起點(diǎn)與上述同樣是第一工作臺(tái)21A的頂點(diǎn)通過Θ旋轉(zhuǎn)而最接近第二工作臺(tái)21B的位置。
[0148]第一工作臺(tái)21A的Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作結(jié)束后的動(dòng)作與上述的第一以及第二實(shí)施形態(tài)同樣。
[0149]這樣，在本實(shí)施方式中，由于一邊進(jìn)行去路移動(dòng)一邊進(jìn)行Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，因此能夠進(jìn)一步縮短生產(chǎn)間隔時(shí)間。并且，能夠在兩個(gè)工作臺(tái)不會(huì)接近至低于最接近距離LO的位置進(jìn)行Θ旋轉(zhuǎn)動(dòng)作，因此能夠可靠地防止在工作臺(tái)間發(fā)生干涉。
[0150](變形例)
[0151]在上述各實(shí)施方式中，對(duì)如下情況進(jìn)行了說明:當(dāng)一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)、另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，在一方的工作臺(tái)追上另一方的工作臺(tái)而工作臺(tái)間距離La達(dá)到最接近距離LO后，使一方的工作臺(tái)追隨另一方的工作臺(tái)(使其以與另一方的工作臺(tái)相同的速度移動(dòng))，但是，并不限定于此。例如，也可以在剛剛開始進(jìn)行一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)之后就使其追隨另一方的工作臺(tái)。由此，根據(jù)先行的另一方的工作臺(tái)的移動(dòng)速度而對(duì)一方的工作臺(tái)的移動(dòng)速度進(jìn)行控制，即便當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)的移動(dòng)速度根據(jù)移動(dòng)區(qū)間的不同而不同的情況下，也能夠可靠地防止在工作臺(tái)間發(fā)生干涉。但是，在以生產(chǎn)間隔時(shí)間的進(jìn)一步縮短為目的的情況下，優(yōu)選像上述的各實(shí)施方式那樣，直至工作臺(tái)間距離La變?yōu)樽罱咏嚯xLO為止，使后續(xù)的工作臺(tái)以最大移動(dòng)速度(第一移動(dòng)速度VI)移動(dòng)。
[0152]并且，在上述各實(shí)施方式中，對(duì)將工作臺(tái)間距離La設(shè)為一方的工作臺(tái)的去路方向上的最前端位置與另一方的工作臺(tái)的去路方向上的最前端位置之間的距離的情況進(jìn)行了說明，但在工作臺(tái)上的工件W(基板)的尺寸比工作臺(tái)尺寸大的情況下，工作臺(tái)間距離La成為工件間距離。在這種情況下，將工件W的去路方向上的最前端位置作為工件間距離的計(jì)算基點(diǎn)。
[0153]此外，在上述各實(shí)施方式中，也可以將工作臺(tái)間距離La設(shè)為一方的工作臺(tái)的去路方向上的邊與另一方的工作臺(tái)的去路方向上的邊之間的沿X方向的距離(在X方向上最接近的部分的距離)。
[0154]并且，在上述各實(shí)施方式中，對(duì)使用由線位移傳感器計(jì)測(cè)到的計(jì)測(cè)結(jié)果而取得各工作臺(tái)的位置以及移動(dòng)速度的情況進(jìn)行了說明，但是，也可以使用線位移傳感器以外的構(gòu)件取得各工作臺(tái)的位置以及移動(dòng)速度。
[0155]此外，在上述各實(shí)施方式中，對(duì)將本發(fā)明應(yīng)用于偏振光照射裝置的情況進(jìn)行了說明，但是并不限定于此。例如，只要是具有如下結(jié)構(gòu)的光照射裝置，就能夠通過應(yīng)用本發(fā)明而得到與上述各實(shí)施方式同樣的效果:兩個(gè)工作臺(tái)具有能夠沿著相同軸往復(fù)移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，并將兩個(gè)工作臺(tái)分別從夾著光照射區(qū)域設(shè)定在相同軸上的待機(jī)位置交替地朝光照射區(qū)域搬運(yùn)。作為這樣的光照射裝置，例如存在DI (直接像:直接描畫)曝光裝置、利用紫外線進(jìn)行熱固化處理的紫外線照射裝置等。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其特征在于，具備: 第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)； 第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及 控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域， 上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以第一移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以比上述第一移動(dòng)速度高速的第二移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，當(dāng)工作臺(tái)間距離比預(yù)先設(shè)定的最接近距離長(zhǎng)時(shí)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)、當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)以上述第一移動(dòng)速度移動(dòng)， 并且以下述方式進(jìn)行控制:在上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的、處于歸路移動(dòng)中的一方的工作臺(tái)至少處于上述照射區(qū)域的期間之前，另一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行去路移動(dòng)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)追隨上述另一方的工作臺(tái)而移動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光照射裝置，其特征在于， 上述控制部以下述方式進(jìn)行控制: 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)， 當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)方向上的后端部位置相比上述照射區(qū)域的靠上述一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)的端部位置而位于上述另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)時(shí)，使上述一方的工作臺(tái)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)直至到上述端部位置為止。4.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求1?3中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置， 當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。6.根據(jù)權(quán)利要求1?5中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 還具備旋轉(zhuǎn)控制部，該旋轉(zhuǎn)控制部獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿態(tài)， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述旋轉(zhuǎn)控制部對(duì)上述旋轉(zhuǎn)進(jìn)行控制。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)由上述旋轉(zhuǎn)控制部控制的非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置， 當(dāng)上述非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)的位置靠上述旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置。8.根據(jù)權(quán)利要求1?7中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 上述工作臺(tái)間距離是上述第一工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置與上述第二工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置之間的沿上述搬運(yùn)軸方向的距離。9.根據(jù)權(quán)利要求1?8中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 上述光是偏振光。10.根據(jù)權(quán)利要求1?9中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 對(duì)上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動(dòng)和歸路移動(dòng)這雙方照射上述光。11.一種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其特征在于，具備: 第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)； 第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及 控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域；以及 旋轉(zhuǎn)控制部，獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿態(tài)， 上述控制部以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以比預(yù)先設(shè)定的最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，以工作臺(tái)間距離不低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)， 上述旋轉(zhuǎn)控制部將上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間進(jìn)行去路移動(dòng)的區(qū)間設(shè)為能夠進(jìn)行上述旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作可能區(qū)間。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)由上述旋轉(zhuǎn)控制部控制的非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置， 當(dāng)上述非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述旋轉(zhuǎn)允許位置設(shè)定于相比該非旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的工作臺(tái)的位置靠上述旋轉(zhuǎn)控制對(duì)象的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置。13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)， 當(dāng)上述工作臺(tái)間距離比上述最接近距離長(zhǎng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)以上述另一方的工作臺(tái)的移動(dòng)速度移動(dòng)。14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)追隨上述另一方的工作臺(tái)而移動(dòng)。15.根據(jù)權(quán)利要求11?14中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)在上述照射區(qū)域外正進(jìn)行去路移動(dòng)、且另一方的工作臺(tái)正進(jìn)行歸路移動(dòng)時(shí)， 當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)的歸路移動(dòng)方向上的后端部位置相比上述照射區(qū)域的靠上述一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)的端部位置而位于上述另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)時(shí)，上述控制部使上述一方的工作臺(tái)以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)直至到上述端部位置為止。16.根據(jù)權(quán)利要求11?15中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部禁止另一方的工作臺(tái)的去路移動(dòng)。17.根據(jù)權(quán)利要求11?15中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置， 當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。18.根據(jù)權(quán)利要求11?17中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 上述工作臺(tái)間距離是上述第一工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置與上述第二工作臺(tái)的去路移動(dòng)方向上的前端位置之間的沿上述搬運(yùn)軸方向的距離。19.根據(jù)權(quán)利要求11?18中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 上述光是偏振光。20.根據(jù)權(quán)利要求11?19中任一項(xiàng)所述的光照射裝置，其特征在于， 對(duì)上述第一工件以及上述第二工件，在去路移動(dòng)和歸路移動(dòng)這雙方照射上述光。21.—種光照射裝置，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其特征在于，具備: 第一工作臺(tái)，載置第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)； 第二工作臺(tái)，載置第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)；以及 控制部，對(duì)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)的移動(dòng)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便上述第一工件和上述第二工件交替地通過上述照射區(qū)域， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置， 當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述控制部使上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。22.—種光照射方法，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其特征在于， 對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上將從設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)， 此時(shí)， 以下述方式進(jìn)行控制:上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以第一移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以比上述第一移動(dòng)速度高速的第二移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，當(dāng)工作臺(tái)間距離比預(yù)先設(shè)定的最接近距離長(zhǎng)時(shí)以上述第二移動(dòng)速度移動(dòng)、當(dāng)上述工作臺(tái)間距離為上述最接近距離以下時(shí)以上述第一移動(dòng)速度移動(dòng)，并且以下述方式進(jìn)行控制:在上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的、處于歸路移動(dòng)中的一方的工作臺(tái)至少處于上述照射區(qū)域的期間之前，另一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行去路移動(dòng)。23.—種光照射方法，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其特征在于， 對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)， 此時(shí)， 以下述方式進(jìn)行控制: 上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以比預(yù)先設(shè)定的最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，以工作臺(tái)間距離不低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)， 將上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在從各自的待機(jī)位置直至到達(dá)上述照射區(qū)域前的旋轉(zhuǎn)允許位置為止的區(qū)間進(jìn)行去路移動(dòng)的區(qū)間作為能夠進(jìn)行上述旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作可能區(qū)間，獨(dú)立地控制上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)繞相對(duì)于工作臺(tái)面正交的軸的旋轉(zhuǎn)，使該工作臺(tái)的姿態(tài)成為光照射時(shí)的姿態(tài)。24.—種光照射方法，對(duì)通過預(yù)先設(shè)定的照射區(qū)域的工件照射光，其特征在于， 對(duì)第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)獨(dú)立地進(jìn)行控制，以便第一工件和第二工件交替地通過上述照射區(qū)域，其中，上述第一工作臺(tái)載置上述第一工件，且能夠在通過上述照射區(qū)域的搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的一側(cè)的第一待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第一待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，上述第二工作臺(tái)載置上述第二工件，且能夠在上述搬運(yùn)軸上，將在設(shè)定于上述照射區(qū)域的另一側(cè)的第二待機(jī)位置與上述照射區(qū)域之間從上述第二待機(jī)位置朝向上述照射區(qū)域的移動(dòng)作為去路移動(dòng)而進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)， 此時(shí)， 以下述方式進(jìn)行控制: 上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)在上述照射區(qū)域內(nèi)以比預(yù)先設(shè)定的最大移動(dòng)速度慢的移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的歸路以上述最大移動(dòng)速度移動(dòng)，在上述照射區(qū)域外的去路，以工作臺(tái)間距離不低于預(yù)先設(shè)定的最接近距離的移動(dòng)速度移動(dòng)， 當(dāng)上述第一工作臺(tái)以及上述第二工作臺(tái)中的一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)的期間，上述另一方的工作臺(tái)開始朝向目標(biāo)停止位置進(jìn)行去路移動(dòng)，其中，上述目標(biāo)停止位置設(shè)定于相對(duì)于上述一方的工作臺(tái)的從去路移動(dòng)朝歸路移動(dòng)切換的折返位置而靠另一方的工作臺(tái)的待機(jī)位置側(cè)上述最接近距離的位置， 當(dāng)上述另一方的工作臺(tái)到達(dá)上述目標(biāo)停止位置時(shí)，當(dāng)上述一方的工作臺(tái)正進(jìn)行去路移動(dòng)時(shí)，直至上述一方的工作臺(tái)開始進(jìn)行歸路移動(dòng)為止，上述另一方的工作臺(tái)在上述目標(biāo)停止位置停止。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK105867029SQ201510958689
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2015年12月18日
【發(fā)明人】木村淳治, 石井正, 石井一正
【申請(qǐng)人】?jī)?yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社