對(duì)位機(jī)構(gòu)以及設(shè)有該對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及曝光技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種能進(jìn)行自動(dòng)對(duì)位的對(duì)位機(jī)構(gòu)以及設(shè)有該對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在曝光機(jī)對(duì)PCB板進(jìn)行曝光中，要保證曝光精度高，曝光得到的圖形更清晰和穩(wěn)定，其中對(duì)PCB板的定位要求更高，因此為保證PCB板的最佳位置，減少PCB板的位置誤差，曝光機(jī)中還專門設(shè)有用于調(diào)節(jié)PCB板的放置位置并減少該誤差的對(duì)位機(jī)構(gòu)。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，出現(xiàn)了很多用于調(diào)節(jié)PCB板位置誤差的對(duì)位機(jī)構(gòu)，雖然從一定程度上解決了現(xiàn)有技術(shù)中沒有調(diào)節(jié)PCB板位置，使得曝光精度低、曝光顯示圖像差的問題，由于對(duì)PCB板的調(diào)節(jié)是微調(diào)，甚至需要精確到微米級(jí)，現(xiàn)有的對(duì)位機(jī)構(gòu)還存在如下的問題:(I)PCB板放置位置最主要是角度的誤差，現(xiàn)有的對(duì)位機(jī)構(gòu)角度調(diào)節(jié)精度低，一般都是通過傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，需要跟轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)配合進(jìn)行傳動(dòng)，，在進(jìn)給速度、加速度、快速定位精度等方面很難有突破性的提高，中間轉(zhuǎn)換的機(jī)構(gòu)會(huì)對(duì)傳遞結(jié)果造成一定的誤差，無法精確調(diào)節(jié)PCB板存在的角度誤差，從而無法保證精度；(2)現(xiàn)有的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由電機(jī)、軸、軸承一、軸承二和軸承套組成，來驅(qū)動(dòng)進(jìn)行X、Y以及轉(zhuǎn)動(dòng)方向的運(yùn)動(dòng)，連接時(shí)，軸一端與電機(jī)直接相連，存在一個(gè)間隙，軸另一端通過單獨(dú)的深溝球軸承進(jìn)行支撐，換向時(shí)，先有一個(gè)間隙的移動(dòng)和徑向移動(dòng)，穩(wěn)定性差，直接影響到調(diào)節(jié)的精度。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種對(duì)位機(jī)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單，穩(wěn)定性好，調(diào)節(jié)精度高。
[0005]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型通過下述技術(shù)方案得以解決:
[0006]一種對(duì)位機(jī)構(gòu)，包括基座組件以及可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在基座組件上的對(duì)位支架、調(diào)節(jié)對(duì)位支架相對(duì)基座組件轉(zhuǎn)動(dòng)的角度調(diào)節(jié)裝置，所述角度調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述基座組件上，所述角度調(diào)節(jié)裝置包括推動(dòng)裝置和用于驅(qū)動(dòng)所述推動(dòng)裝置平移的第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括直線電機(jī)組件和光柵組件，所述光柵組件包括光柵尺、安裝支架和光柵尺讀數(shù)頭，所述光柵尺讀數(shù)頭與推動(dòng)裝置相連并與推動(dòng)裝置移動(dòng)方向平行設(shè)置，所述安裝支架與基座組件相連，所述光柵尺設(shè)置在所述的安裝支架上。
[0007]優(yōu)選的，所述推動(dòng)裝置包括推板結(jié)構(gòu)、配合推板結(jié)構(gòu)相對(duì)基座組件滑動(dòng)的第四滑動(dòng)組件、設(shè)置在推板結(jié)構(gòu)一端上的轉(zhuǎn)動(dòng)體一，所述推板結(jié)構(gòu)一側(cè)與直線電機(jī)組件相連，另一側(cè)與光柵組件相連，所述推板結(jié)構(gòu)包括推板結(jié)構(gòu)本體、在所述推板結(jié)構(gòu)本體的前端上設(shè)有的軸一，所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一套裝在軸一上并能相對(duì)軸一轉(zhuǎn)動(dòng)；所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一的外周面與所述對(duì)位支架一端的端面相接觸，所述直線電機(jī)組件驅(qū)動(dòng)所述推板結(jié)構(gòu)前進(jìn)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一的外周面與所述對(duì)位支架接觸時(shí)產(chǎn)生推壓力，所述推壓力作用在所述對(duì)位支架上，驅(qū)動(dòng)對(duì)位支架相對(duì)基座組件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0008]優(yōu)選的，所述第四滑動(dòng)組件包括設(shè)置在所述基座組件上的導(dǎo)軌四和與導(dǎo)軌四相配合的滑塊四，所述導(dǎo)軌四包括上導(dǎo)軌四本體、下導(dǎo)軌四本體以及在上導(dǎo)軌四本體和下導(dǎo)軌四本體連接后兩側(cè)分別形成的導(dǎo)槽四，所述滑塊四包括滑塊四本體和在滑塊四本體上設(shè)有的與導(dǎo)槽四相配合的導(dǎo)向塊四以及在導(dǎo)向塊四上方設(shè)有的用于容納上導(dǎo)軌四本體的腔體。
[0009]優(yōu)選的，所述角度調(diào)節(jié)裝置還包括用于平衡所述對(duì)位支架和推板結(jié)構(gòu)的第一平衡裝置，所述第一平衡裝置包括分別設(shè)置在對(duì)位支架和推板結(jié)構(gòu)上的支撐柱一以及連接所述推板結(jié)構(gòu)與所述對(duì)位支架的彈性件一，所述彈性件一的一端通過支撐柱一與推板結(jié)構(gòu)相連，另一端通過支撐柱一與對(duì)位支架相連。
[0010]優(yōu)選的，還包括驅(qū)動(dòng)所述基座組件和對(duì)位支架一并沿Y方向移動(dòng)的第一移動(dòng)裝置和一并沿X方向移動(dòng)的第二移動(dòng)裝置以及連接第一移動(dòng)裝置和第二移動(dòng)裝置的連接基板，所述第一移動(dòng)裝置與所述基座組件相連，所述連接基板設(shè)置在所述第一移動(dòng)裝置上方，所述第二移動(dòng)裝置設(shè)置在所述連接基板上方。
[0011]優(yōu)選的，所述第一移動(dòng)裝置包括至少兩對(duì)第一滑動(dòng)組件以及驅(qū)動(dòng)所述基座組件和對(duì)位支架一并沿Y方向移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一滑動(dòng)組件包括與基座組件相連的滑塊一、與滑塊一相配合的并連接在所述連接基板底部的導(dǎo)軌一，所述導(dǎo)軌一包括兩個(gè)導(dǎo)槽一，所述滑塊一設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)向塊一，滑動(dòng)時(shí)，通過兩個(gè)導(dǎo)向塊一嵌入到導(dǎo)槽一。
[0012]優(yōu)選的，所述連接基板包括連接基板本體以及自連接基板本體的側(cè)部延伸的連接部四；所述第二移動(dòng)裝置包括至少一對(duì)設(shè)置在連接基板本體上的第二滑動(dòng)組件和至少兩對(duì)設(shè)置在連接部四上的第三滑動(dòng)組件以及驅(qū)動(dòng)所述基座組件和對(duì)位支架一并沿X方向移動(dòng)的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述第二滑動(dòng)組件和第三滑動(dòng)組件呈平行設(shè)置，所述第二滑動(dòng)組件包括至少一個(gè)與連接基板本體相連的滑塊二和與滑塊二相配合的導(dǎo)軌二，所述第三滑動(dòng)組件包括與連接部四相連的滑塊三和與滑塊三相配合的導(dǎo)軌三。
[0013]優(yōu)選的，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)器、與驅(qū)動(dòng)器輸出端相連的軸體結(jié)構(gòu)、設(shè)置在軸體結(jié)構(gòu)上的第一定位裝置、推動(dòng)件、套設(shè)在軸體結(jié)構(gòu)上并與所述推動(dòng)件頂壓連接的至少一個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)體二以及套設(shè)在軸體結(jié)構(gòu)上并與所述的推動(dòng)件相連的第二平衡裝置和至少兩組軸承組件。
[0014]優(yōu)選的，所述軸體結(jié)構(gòu)包括第一軸段、第二軸段和第三軸段以及設(shè)置在第一軸段與第二軸段之間的凸臺(tái)，所述第一軸段上與驅(qū)動(dòng)器輸出端相連的一端為外螺紋結(jié)構(gòu)，所述第二軸段為偏心軸結(jié)構(gòu)，所述軸體結(jié)構(gòu)為一體結(jié)構(gòu)；所述驅(qū)動(dòng)器輸出端與第一軸段相連，所述第一定位裝置套設(shè)在第一軸段上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)體二和第二平衡裝置套設(shè)在第二軸段上。
[0015]優(yōu)選的，所述第一定位裝置包括定位座、套設(shè)在第一軸段上的限位件和鎖緊件，所述定位座套裝在所述鎖緊件上；所述限位件的橫截面為N邊形，其中N多，所述定位座上設(shè)有用于容納所述限位件并與所述限位件形狀相適配的置放腔；所述定位座包括與驅(qū)動(dòng)器相連的連接部一、與連接部一相對(duì)設(shè)置的連接部二以及連接所述連接部一和連接部二的連接部三，所述定位座為一體結(jié)構(gòu)，所述置放腔設(shè)置在所述連接部二的外端上。
[0016]一種曝光機(jī)，包括曝光機(jī)主體、設(shè)置在曝光機(jī)主體內(nèi)的光源裝置以及控制系統(tǒng)，其特征在于:還包括如權(quán)利要求-所述的自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)，所述自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)安裝在所述的曝光機(jī)主體上。
[0017]本實(shí)用新型取得如下的有益效果:(I)本實(shí)用新型的對(duì)位機(jī)構(gòu)，通過所述的角度調(diào)節(jié)裝置精確調(diào)整對(duì)位支架相對(duì)基座組件的角度，來保證PCB板安裝位置的精度，通過直線電機(jī)組件來驅(qū)動(dòng)推板結(jié)構(gòu)通過第四滑動(dòng)組件相對(duì)基座組件進(jìn)行滑動(dòng)，一側(cè)還與光柵組件相連，通過光柵尺來精確測(cè)定數(shù)據(jù)，來實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)對(duì)位支架相對(duì)基座組件進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，直線電機(jī)將電能直接轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)機(jī)械能，不需要任何中間轉(zhuǎn)換機(jī)構(gòu)的傳動(dòng)裝置，傳動(dòng)剛度高、定位精度高、易調(diào)節(jié)，取消了由于絲杠等機(jī)械機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的傳動(dòng)間隙和誤差，且避免了啟動(dòng)、變速和換向時(shí)因中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)的彈性變形、摩擦磨損和反向間隙造成的運(yùn)動(dòng)滯后現(xiàn)象，來實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)位支架的角度位置的調(diào)節(jié)，大大提高了調(diào)節(jié)的精度；(2)本實(shí)用新型的第二驅(qū)動(dòng)裝置包括的第一定位裝置一端與驅(qū)動(dòng)器連接，且與軸體結(jié)構(gòu)通過緊固件固定連接，消除了驅(qū)動(dòng)器與軸體結(jié)構(gòu)直接連接產(chǎn)生的間隙，使得驅(qū)動(dòng)器在驅(qū)動(dòng)軸體結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)過程中更平穩(wěn)，大大提高了調(diào)節(jié)的精度；(3)與所述推推動(dòng)件頂壓連接的轉(zhuǎn)動(dòng)體二為多個(gè)，即多個(gè)點(diǎn)接觸，保證了驅(qū)動(dòng)的穩(wěn)定性，進(jìn)一步提高調(diào)節(jié)的精度；(4)套設(shè)在軸體結(jié)構(gòu)上的軸承組件，為至少兩個(gè)軸承一，且兩個(gè)軸承一的薄邊相連，不會(huì)產(chǎn)生徑向跳動(dòng)，進(jìn)一步提高調(diào)節(jié)的精度。
[0018]總之，本實(shí)用新型的對(duì)位機(jī)構(gòu)，穩(wěn)定性好，調(diào)節(jié)精度高，設(shè)有該對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī)，曝光更穩(wěn)定，曝光質(zhì)量好。
[0019]本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。
【附圖說明】
[0020]此處所說明的附圖用來提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分，本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0021]圖1本實(shí)用新