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      自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)以及設(shè)有該自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī)的制作方法

      文檔序號(hào):8998079閱讀:316來(lái)源:國(guó)知局
      自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)以及設(shè)有該自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī)的制作方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型涉及曝光技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)以及設(shè)有該對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī)。
      【背景技術(shù)】
      [0002]在曝光機(jī)對(duì)PCB板進(jìn)行曝光中,要保證曝光精度高,曝光得到的圖形更清晰和穩(wěn)定,其中對(duì)PCB板的定位要求更高,因此為保證PCB板的最佳位置,減少PCB板的位置誤差,曝光機(jī)中還專(zhuān)門(mén)設(shè)有用于調(diào)節(jié)PCB板的放置位置并減少該誤差的對(duì)位機(jī)構(gòu)。
      [0003]現(xiàn)有技術(shù)中,出現(xiàn)了很多用于調(diào)節(jié)PCB板位置誤差的對(duì)位機(jī)構(gòu),雖然從一定程度上解決了現(xiàn)有技術(shù)中沒(méi)有調(diào)節(jié)PCB板位置,使得曝光精度低、曝光顯示圖像差的問(wèn)題,由于對(duì)PCB板的調(diào)節(jié)是微調(diào),甚至需要精確到微米級(jí),現(xiàn)有的對(duì)位機(jī)構(gòu)還存在如下的問(wèn)題:(I)PCB板放置位置最主要是角度的誤差,現(xiàn)有的對(duì)位機(jī)構(gòu)角度調(diào)節(jié)精度低,無(wú)法精確調(diào)節(jié)PCB板存在的角度誤差,從而無(wú)法保證精度;(2)現(xiàn)有的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)由電機(jī)、軸、軸承一、軸承二和軸承套組成,來(lái)驅(qū)動(dòng)進(jìn)行X、Y以及轉(zhuǎn)動(dòng)方向的運(yùn)動(dòng),連接時(shí),軸一端與電機(jī)直接相連,存在一個(gè)間隙,軸另一端通過(guò)單獨(dú)的深溝球軸承進(jìn)行支撐,換向時(shí),先有一個(gè)間隙的移動(dòng)和徑向移動(dòng),穩(wěn)定性差,直接影響到調(diào)節(jié)的精度。
      【實(shí)用新型內(nèi)容】
      [0004]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,穩(wěn)定性好,調(diào)節(jié)精度高。
      [0005]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決:
      [0006]一種自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu),包括基座組件以及可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在基座組件上的對(duì)位支架,還包括調(diào)節(jié)對(duì)位支架相對(duì)基座組件轉(zhuǎn)動(dòng)的角度調(diào)節(jié)裝置,所述角度調(diào)節(jié)裝置設(shè)置在所述基座組件上,所述角度調(diào)節(jié)裝置包括與基座組件成滑動(dòng)配合連接的驅(qū)動(dòng)件、設(shè)置在驅(qū)動(dòng)件上的轉(zhuǎn)動(dòng)體一以及用于驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)件平移的第一驅(qū)動(dòng)裝置,所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一的外周面與所述對(duì)位支架一端的端面相接觸,所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)件前進(jìn)帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一的外周面與所述對(duì)位支架接觸時(shí)產(chǎn)生推壓力,所述推壓力作用在所述對(duì)位支架上,驅(qū)動(dòng)對(duì)位支架相對(duì)基座組件轉(zhuǎn)動(dòng)a的角度,所述a為(-1-1) °。
      [0007]優(yōu)選的,所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括驅(qū)動(dòng)器、與驅(qū)動(dòng)器輸出端相連的軸體結(jié)構(gòu)、設(shè)置在軸體結(jié)構(gòu)上的第一定位裝置、套設(shè)在軸體結(jié)構(gòu)上并與所述驅(qū)動(dòng)件頂壓連接的轉(zhuǎn)動(dòng)體二以及套設(shè)在軸體結(jié)構(gòu)上并與所述的驅(qū)動(dòng)件相連的第一平衡裝置,所述轉(zhuǎn)動(dòng)體二為至少一個(gè)。
      [0008]優(yōu)選的,所述軸體結(jié)構(gòu)包括第一軸段、第二軸段和第三軸段以及設(shè)置在第一軸段與第二軸段之間的凸臺(tái),所述第一軸段上與驅(qū)動(dòng)器輸出端相連的一端為外螺紋結(jié)構(gòu),所述第二軸段為偏心軸結(jié)構(gòu),所述軸體結(jié)構(gòu)為一體結(jié)構(gòu);所述驅(qū)動(dòng)器輸出端與第一軸段相連,所述第一定位裝置套設(shè)在第一軸段上,所述轉(zhuǎn)動(dòng)體二和第一平衡裝置套設(shè)在第二軸段上。
      [0009]優(yōu)選的,所述第一定位裝置包括定位座、套設(shè)在第一軸段上的限位件和鎖緊件,所述定位座套裝在所述鎖緊件上;所述限位件的橫截面為N邊形,其中N ^ 4,所述定位座上設(shè)有用于容納所述限位件并與所述限位件形狀相適配的置放腔。
      [0010]優(yōu)選的,所述定位座包括與驅(qū)動(dòng)器相連的連接部一、與連接部一相對(duì)設(shè)置的連接部二以及連接所述連接部一和連接部二的連接部三,所述定位座為一體結(jié)構(gòu),所述置放腔設(shè)置在所述連接部二的外端上。
      [0011]優(yōu)選的,所述第一驅(qū)動(dòng)裝置還包括至少兩對(duì)軸承組件,其中一對(duì)軸承組件套設(shè)在第二軸段上并位于所述限位件與凸臺(tái)之間,所述另一對(duì)軸承組件套設(shè)在所述的第三軸段上,所述軸承組件包括至少兩個(gè)軸承一。
      [0012]優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)件包括驅(qū)動(dòng)件本體、在所述驅(qū)動(dòng)件本體的一端設(shè)有與轉(zhuǎn)動(dòng)體二頂壓連接的推動(dòng)部一和在另一端的驅(qū)動(dòng)件本體上設(shè)有的軸一,所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一套裝在軸一上并能相對(duì)軸一轉(zhuǎn)動(dòng)。
      [0013]優(yōu)選的,第一平衡裝置包括套設(shè)在第二軸段上的轉(zhuǎn)動(dòng)件三、套裝在轉(zhuǎn)動(dòng)件三上的連接套、分別設(shè)置在連接套和驅(qū)動(dòng)件本體上的支撐柱一以及連接所述驅(qū)動(dòng)件與所述連接套的彈性件一,所述彈性件一的一端通過(guò)支撐柱一與驅(qū)動(dòng)件相連,另一端通過(guò)支撐柱一與連接套相連。
      [0014]優(yōu)選的,所述角度調(diào)節(jié)裝置還包括用于平衡所述對(duì)位支架和驅(qū)動(dòng)件的第二平衡裝置,所述第二平衡裝置包括分別設(shè)置在對(duì)位支架和驅(qū)動(dòng)件本體上的支撐柱二以及連接所述驅(qū)動(dòng)件與所述對(duì)位支架的彈性件二,所述彈性件二的一端通過(guò)支撐柱二與驅(qū)動(dòng)件相連,另一端通過(guò)支撐柱二與對(duì)位支架相連。
      [0015]一種曝光機(jī),包括曝光機(jī)主體、設(shè)置在曝光機(jī)主體內(nèi)的光源裝置以及控制系統(tǒng),還包括上述所述的自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu),所述自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)安裝在所述的曝光機(jī)主體上。
      [0016]本實(shí)用新型取得如下的有益效果:(I)本實(shí)用新型的對(duì)位機(jī)構(gòu),通過(guò)所述的角度調(diào)節(jié)裝置精確調(diào)整對(duì)位支架相對(duì)基座組件的角度,來(lái)保證PCB板安裝位置的精度,所述轉(zhuǎn)動(dòng)體一的外周面與所述對(duì)位支架一端的端面相接觸,為頂壓配合,直接將調(diào)節(jié)力度作用在對(duì)位支架上,來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)對(duì)位支架的角度位置的調(diào)節(jié),大大提高了調(diào)節(jié)的精度;(2)本實(shí)用新型的第一驅(qū)動(dòng)裝置包括的第一定位裝置一端與驅(qū)動(dòng)器連接,且與軸體結(jié)構(gòu)通過(guò)緊固件固定連接,消除了驅(qū)動(dòng)器與軸體結(jié)構(gòu)直接連接產(chǎn)生的間隙,使得驅(qū)動(dòng)器在驅(qū)動(dòng)軸體結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中更平穩(wěn),大大提高了調(diào)節(jié)的精度;(3)與所述驅(qū)動(dòng)件頂壓連接的轉(zhuǎn)動(dòng)體二為多個(gè),即多個(gè)點(diǎn)接觸,保證了驅(qū)動(dòng)的穩(wěn)定性,進(jìn)一步提高調(diào)節(jié)的精度;(4)套設(shè)在軸體結(jié)構(gòu)上的軸承組件,為至少兩個(gè)軸承一,且兩個(gè)軸承一的薄邊相連,不會(huì)產(chǎn)生徑向跳動(dòng),進(jìn)一步提高調(diào)節(jié)的精度。
      [0017]總之,本實(shí)用新型的對(duì)位機(jī)構(gòu),穩(wěn)定性好,調(diào)節(jié)精度高,設(shè)有該對(duì)位機(jī)構(gòu)的曝光機(jī),曝光更穩(wěn)定,曝光質(zhì)量好。
      [0018]本實(shí)用新型的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出,部分將從下面的描述中變得明顯,或通過(guò)本實(shí)用新型的實(shí)踐了解到。
      【附圖說(shuō)明】
      [0019]此處所說(shuō)明的附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解,構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分,本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型,并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
      [0020]圖1本實(shí)用新型一種自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖一;
      [0021]圖2為本實(shí)用新型第一驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0022]圖3為本實(shí)用新型第一驅(qū)動(dòng)裝置的剖視圖;
      [0023]圖4為本實(shí)用新型第一定位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0024]圖5為本實(shí)用新型角度調(diào)節(jié)裝置的的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0025]圖6為本實(shí)用新型軸體結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0026]圖7為本實(shí)用新型定位座的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0027]圖8為本實(shí)用新型限位片的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0028]圖9為本實(shí)用新型軸承組件的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0029]圖10為本實(shí)用新型驅(qū)動(dòng)件的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0030]圖11為本實(shí)用新型第一滑動(dòng)組件的構(gòu)示意圖;
      [0031]圖12為本實(shí)用新型一種自動(dòng)對(duì)位機(jī)構(gòu)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖二 ;
      [0032]圖13為本實(shí)用新型導(dǎo)軌一的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0033]圖14為本實(shí)用新型滑塊一的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0034]圖15為本實(shí)用新型滑塊一與導(dǎo)軌一連接的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0035]圖16為本實(shí)用新型連接基板的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0036]圖17為本實(shí)用新型第二驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0037]圖18為本實(shí)用新型第三驅(qū)動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實(shí)施方式】
      [0038]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚,下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然,所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于所描述的本實(shí)用新型的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在無(wú)需創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
      [0039]在本實(shí)用新型的描述中,需要理解的是,術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“長(zhǎng)度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”、“順時(shí)針”、“逆時(shí)針”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
      [0040]此外,術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的,而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性或者隱含指明所指示的技術(shù)特征的數(shù)量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括一個(gè)或者更多個(gè)該特征。在本實(shí)用新型的描述中,“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上,除非另有明確具體的限定。
      [0041]在本實(shí)用新型中,除非另有明確的規(guī)定和限定,術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語(yǔ)應(yīng)做廣義理解,例如,可以是固定連接,也可以是可拆卸連接,或一體地連接;可以是機(jī)械連接,也可以是電連接;可以是直接相連,也可以通過(guò)中間媒介間接相連,可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。
      [0042]在本實(shí)用新型中,除非另有明確的規(guī)定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸,也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過(guò)它們之間的另外的特征接觸。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或僅僅表示第一特征水平高
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