一種液滴陣列產(chǎn)生器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于儀器儀表領(lǐng)域，尤其涉及一種液滴陣列產(chǎn)生器。
【背景技術(shù)】
[0002] 目前，越來(lái)越多的領(lǐng)域需要提供微米級(jí)直徑、尺寸穩(wěn)定、出射頻率較高，且具有一 定初速度的液滴陣列產(chǎn)生器作為系統(tǒng)的前端輸入裝置，例如在極紫外光源中進(jìn)行碎肩收 集。極紫外光源激發(fā)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的碎肩，若無(wú)可靠的碎肩收集裝置，勢(shì)必會(huì)對(duì)光源后 續(xù)的極紫外光收集系統(tǒng)帶來(lái)嚴(yán)重的污染甚至損壞，輕則降低極紫外光收集系統(tǒng)收集效率， 重則破壞其光收集能力。因此必須使用有效的碎肩收集裝置對(duì)系統(tǒng)中的極紫外光收集系統(tǒng) 進(jìn)行保護(hù)。由此，對(duì)碎肩收集裝置的研究不斷涌現(xiàn)。
[0003] 在光源系統(tǒng)中，有效的碎肩收集裝置需要滿足兩個(gè)方面的要求：
[0004] 1、有較高的碎肩收集效率；
[0005] 2、有較好的光源光譜透過(guò)率。
[0006] 基于以上需求，在碎肩收集裝置中，專利號(hào)為US007355190B2的專利" Debr i s Mitigation Device"中介紹了使用福射狀的葉片進(jìn)行碎肩收集的方法。該專利中碎肩收集 裝置在光源光斑向外的軸線上預(yù)留孔，使能量密度較大的近軸光很容易通過(guò)。在軸外采用 一圈輻射狀的碳基葉片對(duì)碎肩進(jìn)行阻擋及降溫。由光源產(chǎn)生的的碎肩在傳播路徑上受到輻 射狀的葉形金屬箱片阻擋，一部分速度降為零落下，另一部分黏貼在金屬箱片上。雖然該方 法可以有效的收集碎肩，其不足在于，輻射狀的碳基葉片數(shù)量較少時(shí)，碎肩阻擋效果較差， 輻射狀的碳基葉片數(shù)量較多時(shí)，箱片對(duì)極紫外光的吸收較為嚴(yán)重，不利于極紫外光透過(guò)。
[0007] 為了得到較高的光透過(guò)率，專利號(hào)WO 2011/110383 Al的專利"Radiation Source, Lithographic Apparatus and Device Manufacturing Method"的碎肩阻擋裝置中 去掉了碳基葉片，采用對(duì)EUV光吸收較小的氫氣作為緩沖氣體阻擋碎肩，如圖I所示。該專 利中將碎肩收集器外壁1設(shè)計(jì)為口徑逐步收縮的圓錐形狀，以碎肩收集器的物理形狀限制 碎肩量，同時(shí)通過(guò)合理的氣體流場(chǎng)2設(shè)計(jì)使用緩沖氣體氫氣對(duì)碎肩3進(jìn)行收集。該方法可 以有效提高通光率，但是碎肩收集效率較低。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0008] (一）要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0009] 本實(shí)用新型的目的在于提供一種液滴陣列產(chǎn)生器，能產(chǎn)生高輸出頻率、高初速度、 尺寸穩(wěn)定的微米級(jí)液滴陣列，以進(jìn)行碎肩收集，并能同時(shí)具有較高的碎肩收集效率及有較 好的光源光譜透過(guò)率。
[0010] (二）技術(shù)方案
[0011] 本實(shí)用新型提供一種液滴陣列產(chǎn)生器，包括：
[0012] 轉(zhuǎn)鼓，用于接收液料，轉(zhuǎn)鼓為一端開(kāi)口的圓筒狀結(jié)構(gòu)，且在貼近其底面的側(cè)壁上開(kāi) 有一個(gè)小孔；
[0013] 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)于轉(zhuǎn)鼓之下，用于帶動(dòng)轉(zhuǎn)鼓繞其中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0014] 外殼，為一端開(kāi)口的圓筒狀結(jié)構(gòu)，同軸套設(shè)于轉(zhuǎn)鼓的外側(cè)，且在側(cè)壁上開(kāi)有一個(gè)條 帶狀開(kāi)口，條帶狀開(kāi)口與轉(zhuǎn)鼓側(cè)壁上的小孔在同一水平位置上。
[0015] 進(jìn)一步，液滴陣列產(chǎn)生器還包括液料提供裝置，用于存儲(chǔ)液料并向轉(zhuǎn)鼓提供液料。
[0016] 進(jìn)一步，液料提供裝置包括：
[0017] 儲(chǔ)料箱，用于存儲(chǔ)液料；
[0018] 進(jìn)料導(dǎo)管，用于將儲(chǔ)料箱中的液料導(dǎo)入到轉(zhuǎn)鼓中。
[0019] 進(jìn)一步，轉(zhuǎn)鼓接收液料的位置位于轉(zhuǎn)鼓底面上與條帶狀開(kāi)口最遠(yuǎn)的位置。
[0020] 進(jìn)一步，液料為液態(tài)金屬。
[0021] 進(jìn)一步，轉(zhuǎn)鼓側(cè)壁上的小孔為毫米量級(jí)的小孔。
[0022] 進(jìn)一步，液料在所述轉(zhuǎn)鼓內(nèi)被加速，形成液滴，其中，所述轉(zhuǎn)鼓的轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)鼓的直 徑滿足下列公式：
[0024] 其中，P為液料密度，d為轉(zhuǎn)鼓直徑，V為轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速，σ為液料表面張力。
[0025] (三）有益效果
[0026] 1、本實(shí)用新型提供的液滴陣列產(chǎn)生器能產(chǎn)生出微米量級(jí)金屬液滴組成的離散結(jié) 構(gòu)，對(duì)碎肩進(jìn)行收集，這種離散結(jié)構(gòu)相比碳基葉片的連續(xù)結(jié)構(gòu)具有更好的透光效率。
[0027] 2、本實(shí)用新型采用陣列式結(jié)構(gòu)，在碎肩收集過(guò)程中實(shí)現(xiàn)對(duì)碎肩的逐級(jí)緩沖，通過(guò) 調(diào)節(jié)液滴陣列密度實(shí)現(xiàn)對(duì)不同污染程度的碎肩的收集。
[0028] 3、普通粘附型碎肩收集裝置使用一段時(shí)間后需要更換葉片，以保證收集效果。本 實(shí)用新型采用金屬液滴完成碎肩收集，液滴產(chǎn)生器并不參與收集過(guò)程，在使用過(guò)程中能夠 無(wú)需更換裝置本身。
[0029] 4、本實(shí)用新型在外殼條帶狀開(kāi)口范圍外的金屬液滴出射后被外殼阻擋，使得碎肩 收集介質(zhì)一金屬液滴可以回收再利用，節(jié)約時(shí)間、經(jīng)濟(jì)成本。
【附圖說(shuō)明】
[0030] 圖1為現(xiàn)有技術(shù)中碎肩收集器的示意圖。
[0031] 圖2和圖3為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供的液滴陣列產(chǎn)生器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032] 圖4為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例產(chǎn)生的液滴陣列用于收集碎肩的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0033] 本實(shí)用新型提供一種液滴陣列產(chǎn)生器，包括轉(zhuǎn)鼓、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及外殼，其中，轉(zhuǎn) 鼓用于接收液料，轉(zhuǎn)鼓為一端開(kāi)口的圓筒狀結(jié)構(gòu)，且在貼近其底面的側(cè)壁上開(kāi)有一個(gè)小孔； 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于轉(zhuǎn)鼓之下，用于帶動(dòng)轉(zhuǎn)鼓繞其中心軸轉(zhuǎn)動(dòng)；外殼為一端開(kāi)口的圓筒狀結(jié) 構(gòu)，同軸套設(shè)于轉(zhuǎn)鼓的外側(cè)，且在側(cè)壁上開(kāi)有一個(gè)條帶狀開(kāi)口，條帶狀開(kāi)口與轉(zhuǎn)鼓側(cè)壁上的 小孔在同一水平位置上。
[0034] 優(yōu)選地，液滴陣列產(chǎn)生器還包括液料提供裝置，用于存儲(chǔ)液料并向轉(zhuǎn)鼓提供液料。
[0035] -種實(shí)施方式時(shí)，液料提供裝置包括儲(chǔ)料箱及進(jìn)料導(dǎo)管，其中，儲(chǔ)料箱用于存儲(chǔ)液 料，進(jìn)料導(dǎo)管用于將儲(chǔ)料箱中的液料導(dǎo)入到轉(zhuǎn)鼓中。
[0036] 為了使液料在轉(zhuǎn)鼓內(nèi)有足夠的加速時(shí)間，轉(zhuǎn)鼓接收液料的位置位于轉(zhuǎn)鼓底面上與 條帶狀開(kāi)口最遠(yuǎn)的位置。
[0037] 根據(jù)液滴直徑與液滴材料、轉(zhuǎn)鼓底面直徑和轉(zhuǎn)鼓轉(zhuǎn)速有關(guān)，為產(chǎn)生出微米級(jí)液滴， 使液料為液態(tài)金屬，