專(zhuān)利名稱(chēng)：圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管具有優(yōu)良的場(chǎng)致發(fā)射性能，具有高度的物理化學(xué)穩(wěn)定性，非常適合于作為新型平板顯示器件的冷陰極材料。碳納米管場(chǎng)致發(fā)射顯示器是一種主動(dòng)發(fā)光的平板顯示技術(shù)，具有全固體化、耐沖擊、高清晰度、高分辨率、響應(yīng)速度快、工作溫區(qū)范圍廣等特點(diǎn)，可以用來(lái)制作點(diǎn)陣式顯示器、數(shù)碼管等各種顯示裝置，特別適用于儀器儀表用顯示裝置和家電顯示裝置，將在計(jì)算機(jī)顯示器和壁掛電視領(lǐng)域占有很大的市場(chǎng)份額，業(yè)已成為了新一代國(guó)際平板顯示技術(shù)的發(fā)展方向。
為了降低總體器件成本，以便于和常規(guī)的集成驅(qū)動(dòng)電路相聯(lián)系，制作三極結(jié)構(gòu)的碳納米管場(chǎng)致發(fā)射顯示器已經(jīng)成為了一種必然的選擇。但是，由于柵極結(jié)構(gòu)的加入，使得整體器件的制作變得更加的復(fù)雜起來(lái)。出于進(jìn)一步降低柵極工作電壓的需要，就要盡可能縮減柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，但同時(shí)還要防止二者之間的電學(xué)擊穿現(xiàn)象的出現(xiàn)，因此，無(wú)論是對(duì)絕緣材料的絕緣等級(jí)上，還是對(duì)絕緣材料的材料屬性和制作工藝方面，都對(duì)絕緣材料提出了更高更嚴(yán)格的要求。再有，真空的絕緣性能是優(yōu)于絕緣材料的，在器件制作的時(shí)候可以充分的加以利用。柵極結(jié)構(gòu)和陰極結(jié)構(gòu)之間的電容效應(yīng)也是值得關(guān)注的一個(gè)問(wèn)題，很顯然，如果器件的電容效應(yīng)很大的話(huà)，那么器件的工作頻率也是很難得到提高的。因此，在實(shí)際器件的制作過(guò)程中，對(duì)于這些問(wèn)題都需要進(jìn)行仔細(xì)的思考，從而進(jìn)行高質(zhì)量的顯示器件制作。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場(chǎng)致發(fā)射顯示器件當(dāng)中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對(duì)碳納米管陰極具有良好控制作用的前提下，還需要盡可能的降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點(diǎn)和不足而提供一種成本低廉、制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線(xiàn)層、碳納米管以及圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)。
所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線(xiàn)層；柵極引線(xiàn)層上面印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上下表面均為平面，下表面覆蓋柵極引線(xiàn)層以及空余的絕緣層部分；提升層中存在圓型孔，圓型孔內(nèi)側(cè)壁垂直于陰極玻璃面板的圓筒面，圓型孔的底部暴露出柵極引線(xiàn)層；提升層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀依附于提升層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上；調(diào)控柵極一層的高度與提升層的高度相同；提升層中圓型孔的底部刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層呈現(xiàn)由兩個(gè)長(zhǎng)條形的柵極條構(gòu)成的叉角型形狀，柵極條的末端和調(diào)控柵極一層是連接在一起的；調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和柵極引線(xiàn)層是相互連通；調(diào)控柵極二層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)凹陷的圓臺(tái)型形狀，即陰極基底層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住調(diào)控柵極二層；陰極基底層的上下表面同時(shí)為圓面，上表面的圓面直徑要小于下表面的圓面直徑；陰極基底層的側(cè)面呈現(xiàn)向內(nèi)凹陷的斜向半圓型形狀，從陰極基底層的上表面開(kāi)始，直至到達(dá)陰極基底層的下表面結(jié)束；陰極基底層位于提升層的圓型孔當(dāng)中，周?chē)徽{(diào)控柵極一層所包圍著，但陰極基底層的上表面高度要高于調(diào)控柵極一層的高度；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿(mǎn)陰極基底層的上表面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上下表面均為平面，下表面和提升層的上表面相互接觸；間隔層的上表面高度要高于陰極基底層上表面的高度；間隔層中存在異型孔，異型孔中要完全暴露出陰極過(guò)渡層和陰極導(dǎo)電層；間隔層中異型孔的中間存在一個(gè)突出的環(huán)形平面，和陰極基底層的上表面是相連接且是相平齊的，從而將間隔層中異型孔的內(nèi)側(cè)壁分為上下兩部分；間隔層中異型孔的上部分內(nèi)側(cè)壁是一個(gè)略向上凸起的弧形面，從間隔層的上表面開(kāi)始，直至到達(dá)中間突出的環(huán)形平面結(jié)束；間隔層中異型孔的下部分內(nèi)側(cè)壁是一個(gè)略向內(nèi)凹陷的弧形面，從突出的環(huán)形平面開(kāi)始，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止；間隔層下表面的邊緣部分與提升層中圓型孔的邊緣部分相重合；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線(xiàn)層；陰極引線(xiàn)層越過(guò)間隔層異型孔內(nèi)側(cè)壁與陰極過(guò)渡層是相互連通的；陰極引線(xiàn)層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋住陰極引線(xiàn)層部分，包括異型孔內(nèi)側(cè)壁上的陰極引線(xiàn)層部分在內(nèi)；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線(xiàn)層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；調(diào)控柵極二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線(xiàn)層的走向和柵極引線(xiàn)層的走向相互垂直；陰極引線(xiàn)層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線(xiàn)層的制作在絕緣層上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成柵極引線(xiàn)層；4)提升層的制作在柵極引線(xiàn)層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)調(diào)控柵極一層的制作在提升層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極一層；6)調(diào)控柵極二層的制作在提升層圓型孔的底部制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極二層；7)陰極基底層的制作在調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；8)陰極過(guò)渡層的制作在陰極基底層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；9)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過(guò)渡層上面制出金屬層，刻蝕成陰極導(dǎo)電層；10)間隔層的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；11)陰極引線(xiàn)層的制作在間隔層上表面上制備出金屬層，刻蝕后形成陰極引線(xiàn)層；12)陰極覆蓋層的制作在陰極引線(xiàn)層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；13)圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；15)陽(yáng)極玻璃面板的制作對(duì)整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；16)陽(yáng)極導(dǎo)電層的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定；20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟17具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟18具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟20具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制作在了陰極導(dǎo)電層的上方。增加了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都能夠參與電子發(fā)射，極大的提高了器件的陽(yáng)極工作電流，有助于提高器件的顯示亮度。由于陰極基底層的旁側(cè)為空置部分，間隔層異型孔中的下部分也為空置部分，這樣就形成了柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的真空絕緣層，在能夠進(jìn)一步縮短二者之間距離的同時(shí)也有助于提高二者之間的絕緣性能，有利于降低器件的柵極工作電壓。
其次，在所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制作在了碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的下方。位于周?chē)尸F(xiàn)圓環(huán)型形狀的調(diào)控柵極一層能夠?qū)吘壊糠值奶技{米管陰極進(jìn)行強(qiáng)有力的控制，而位于中間部分的調(diào)控柵極二層則對(duì)調(diào)控柵極一層起到一種輔助作用，既能夠令陰極導(dǎo)電層中間部分的碳納米管陰極發(fā)射出大量的電子，同時(shí)還能夠和調(diào)控柵極一層產(chǎn)生合場(chǎng)強(qiáng)，來(lái)進(jìn)一步增強(qiáng)碳納米管陰極表面頂端的電場(chǎng)強(qiáng)度。由于柵極電極以及引線(xiàn)層和陰極引線(xiàn)層的距離較遠(yuǎn)，這有利于減小柵極-陰極之間的電容效應(yīng)。
此外，在所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)中，并沒(méi)有采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒(méi)有采用特殊的器件制作工藝，這在很大程度上就進(jìn)一步降低了整體平板顯示器件的制作成本，簡(jiǎn)化了器件的制作過(guò)程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的調(diào)控柵極二層的俯視示意圖；圖4給出了帶有圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明，但并不局限于這些實(shí)施例。
所述的一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[14]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[19]構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]以及制在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[17]；在陰極玻璃面板上有柵極引線(xiàn)層[3]、碳納米管[13]以及圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑[20]附屬元件。
所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線(xiàn)層[3]、提升層[4]、調(diào)控柵極一層[5]、調(diào)控柵極二層[6]、陰極基底層[7]、陰極過(guò)渡層[8]、陰極導(dǎo)電層[9]、間隔層[10]、陰極引線(xiàn)層[11]、陰極覆蓋層[12]和碳納米管[13]部分。
所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線(xiàn)層；柵極引線(xiàn)層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住柵極引線(xiàn)層以及空余的絕緣層部分；提升層中存在圓型孔，圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面，圓型孔的底部要暴露出柵極引線(xiàn)層；提升層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀依附于提升層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上；調(diào)控柵極一層的高度與提升層的高度相同；提升層中圓型孔的底部的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層呈現(xiàn)由兩個(gè)長(zhǎng)條形的柵極條構(gòu)成的叉角型形狀，柵極條的末端和調(diào)控柵極一層是連接在一起的；調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和柵極引線(xiàn)層都是相互連通的；調(diào)控柵極二層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)凹陷的圓臺(tái)型形狀，即陰極基底層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住調(diào)控柵極二層；陰極基底層的上下表面同時(shí)為圓面，上表面的圓面直徑要小于下表面的圓面直徑；陰極基底層的側(cè)面呈現(xiàn)向內(nèi)凹陷的斜向半圓型形狀，從陰極基底層的上表面開(kāi)始，直至到達(dá)陰極基底層的下表面結(jié)束；陰極基底層位于提升層的圓型孔當(dāng)中，周?chē)徽{(diào)控柵極一層所包圍著，但陰極基底層的上表面高度要高于調(diào)控柵極一層的高度；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿(mǎn)陰極基底層的上表面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層的上下表面均為平面，下表面和提升層的上表面相互接觸；間隔層的上表面高度要高于陰極基底層上表面的高度；間隔層中存在異型孔，異型孔中要完全暴露出陰極過(guò)渡層和陰極導(dǎo)電層；間隔層中異型孔的中間存在一個(gè)突出的環(huán)形平面，和陰極基底層的上表面是相連接且是相平齊的，從而將間隔層中異型孔的內(nèi)側(cè)壁分為上下兩部分；間隔層中異型孔的上部分內(nèi)側(cè)壁是一個(gè)略向上凸起的弧形面，從間隔層的上表面開(kāi)始，直至到達(dá)中間突出的環(huán)形平面結(jié)束；間隔層中異型孔的下部分內(nèi)側(cè)壁是一個(gè)略向內(nèi)凹陷的弧形面，從突出的環(huán)形平面開(kāi)始，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止；間隔層下表面的邊緣部分與提升層中圓型孔的邊緣部分相重合；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線(xiàn)層；陰極引線(xiàn)層越過(guò)間隔層異型孔內(nèi)側(cè)壁與陰極過(guò)渡層是相互連通的；陰極引線(xiàn)層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋住陰極引線(xiàn)層部分，包括異型孔內(nèi)側(cè)壁上的陰極引線(xiàn)層部分在內(nèi)；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線(xiàn)層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；調(diào)控柵極二層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線(xiàn)層的走向和柵極引線(xiàn)層的走向是相互垂直的；陰極引線(xiàn)層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極過(guò)渡層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下
1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線(xiàn)層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線(xiàn)層；4)提升層[4]的制作在柵極引線(xiàn)層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)調(diào)控柵極一層[5]的制作在提升層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極一層；6)調(diào)控柵極二層[6]的制作在提升層圓型孔的底部制備出一個(gè)金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極二層；7)陰極基底層[7]的制作在調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；8)陰極過(guò)渡層[8]的制作在陰極基底層的上面制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬鈷層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)間隔層[10]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；11)陰極引線(xiàn)層[11]的制作在間隔層上表面上制備出一個(gè)金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線(xiàn)層；12)陰極覆蓋層[12]的制作在陰極引線(xiàn)層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；
13)圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；15)碳納米管的后處理對(duì)碳納米管進(jìn)行后處理，改善場(chǎng)致發(fā)射特性；16)陽(yáng)極玻璃面板[14]的制作對(duì)整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽(yáng)極玻璃面板；17)陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；18)絕緣漿料層[16]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；19)熒光粉層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；20)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝配到一起，并將消氣劑[20]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點(diǎn)玻璃粉，用夾子固定；21)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟18具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過(guò)烘烤(烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟19具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘)。
所述步驟21具體為對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽(yáng)極玻璃面板[14]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[19]構(gòu)成的密封真空腔；在陽(yáng)極玻璃面板上有陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[17]；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[18]以及消氣劑[20]附屬元件；其特征在于在陰極玻璃面板上有柵極引線(xiàn)層[3]、碳納米管[13]以及圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線(xiàn)層；柵極引線(xiàn)層上面的印刷的絕緣漿料層形成提升層；提升層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住柵極引線(xiàn)層以及空余的絕緣層部分；提升層中存在圓型孔，圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面，圓型孔的底部要暴露出柵極引線(xiàn)層；提升層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀依附于提升層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上；調(diào)控柵極一層的高度與提升層的高度相同；提升層中圓型孔的底部的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層呈現(xiàn)由兩個(gè)長(zhǎng)條形的柵極條構(gòu)成的叉角型形狀，柵極條的末端和調(diào)控柵極一層是連接在一起的；調(diào)控柵極一層、調(diào)控柵極二層和柵極引線(xiàn)層都是相互連通的；調(diào)控柵極二層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極基底層；陰極基底層呈現(xiàn)凹陷的圓臺(tái)型形狀，即陰極基底層的上下表面均為平面，下表面要覆蓋住調(diào)控柵極二層；陰極基底層的上下表面同時(shí)為圓面，上表面的圓面直徑要小于下表面的圓面直徑；陰極基底層的側(cè)面呈現(xiàn)向內(nèi)凹陷的斜向半圓型形狀，從陰極基底層的上表面開(kāi)始，直至到達(dá)陰極基底層的下表面結(jié)束；陰極基底層位于提升層的圓型孔當(dāng)中，周?chē)徽{(diào)控柵極一層所包圍著，但陰極基底層的上表面高度要高于調(diào)控柵極一層的高度；陰極基底層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過(guò)渡層；陰極過(guò)渡層布滿(mǎn)陰極基底層的上表面；陰極過(guò)渡層上面的刻蝕后金屬層形成陰極導(dǎo)電層；提升層上面的印刷的絕緣漿料層形成間隔層；間隔層上下表面均為平面，下表面和提升層的上表面相互接觸；間隔層上表面高度要高于陰極基底層上表面的高度；間隔層中存在異型孔，異型孔中要完全暴露出陰極過(guò)渡層和陰極導(dǎo)電層；間隔層中異型孔的中間存在一個(gè)突出的環(huán)形平面，和陰極基底層的上表面是相連接且是相平齊的，將間隔層中異型孔的內(nèi)側(cè)壁分為上下兩部分；間隔層中異型孔的上部分內(nèi)側(cè)壁是一個(gè)略向上凸起的弧形面，從間隔層的上表面開(kāi)始，直至到達(dá)中間突出的環(huán)形平面結(jié)束；間隔層中異型孔的下部分內(nèi)側(cè)壁是一個(gè)略向內(nèi)凹陷的弧形面，從突出的環(huán)形平面開(kāi)始，直至到達(dá)間隔層的下表面位置為止；間隔層下表面邊緣部分與提升層中圓型孔的邊緣部分相重合；間隔層上表面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線(xiàn)層；陰極引線(xiàn)層越過(guò)間隔層異型孔內(nèi)側(cè)壁與陰極過(guò)渡層是相互連通的；陰極引線(xiàn)層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；陰極覆蓋層要覆蓋住陰極引線(xiàn)層部分，包括異型孔內(nèi)側(cè)壁上的陰極引線(xiàn)層部分在內(nèi)；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線(xiàn)層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；調(diào)控柵極二層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極引線(xiàn)層的走向和柵極引線(xiàn)層的走向相互垂直；陰極引線(xiàn)層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛；陰極過(guò)渡層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對(duì)整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線(xiàn)層[3]的制作在絕緣層上制出金屬層，刻蝕成柵極引線(xiàn)層；4)提升層[4]的制作在柵極引線(xiàn)層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成提升層；5)調(diào)控柵極一層[5]的制作在提升層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極一層；6)調(diào)控柵極二層[6]的制作在提升層圓型孔的底部制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極二層；7)陰極基底層[7]的制作在調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極基底層；8)陰極過(guò)渡層[8]的制作在陰極基底層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極過(guò)渡層；9)陰極導(dǎo)電層[9]的制作在陰極過(guò)渡層的上面制備出一個(gè)金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；10)間隔層[10]的制作在提升層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成間隔層；11)陰極引線(xiàn)層[11]的制作在間隔層上制出金屬層，刻成陰極引線(xiàn)層；12)陰極覆蓋層[12]的制作在陰極引線(xiàn)層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；13)圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對(duì)圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；14)碳納米管[13]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；15)陽(yáng)極玻璃面板[14]的制作對(duì)平板玻璃劃割，制出陽(yáng)極玻璃面板；16)陽(yáng)極導(dǎo)電層[15]的制作在陽(yáng)極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽(yáng)極導(dǎo)電層；17)絕緣漿料層[16]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；18)熒光粉層[17]的制作在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；19)器件裝配將陰極玻璃面板、陽(yáng)極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[18]和四周玻璃圍框[19]裝到一起，將消氣劑[20]放入到空腔中，用低熔點(diǎn)玻璃粉固；20)成品制作對(duì)已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟17為在陽(yáng)極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，經(jīng)過(guò)烘烤，烘烤溫度150℃，保持時(shí)間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時(shí)間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟18具體為在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時(shí)間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20為對(duì)已裝好的器件進(jìn)行封裝工藝將樣品器件放入烘箱中烘烤；放入燒結(jié)爐中燒結(jié)；在排氣臺(tái)上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對(duì)器件內(nèi)部消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽(yáng)極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽(yáng)極玻璃面板上的陽(yáng)極導(dǎo)電層以及制備在陽(yáng)極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽(yáng)極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線(xiàn)層、碳納米管以及圓環(huán)叉角型下柵控陰結(jié)構(gòu)；能夠降低柵極的工作電壓，提高碳納米管陰極的電子發(fā)射效率，具有制作過(guò)程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡(jiǎn)單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)H01J31/15GK101071745SQ20071005463
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請(qǐng)人:中原工學(xué)院