專利名稱：氣密性容器和圖像顯示裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
已知一種圖像顯示裝置，其中，在后面板上配置有多個(gè)用于根據(jù)圖像信號發(fā)射電 子的電子發(fā)射器件，在面板上配置有用于通過響應(yīng)電子的照射而發(fā)光以顯示圖像的熒光 膜，并且，其內(nèi)部保持真空。在這類圖像顯示裝置中， 一般地，面板和后面板通過支承框相互 接合，從而形成外殼。在制造這類圖像顯示裝置的情況下，必須將外殼的內(nèi)部排氣，以便確 保真空。這種排氣過程，可以通過幾種方法來完成。作為這些方法之一，已知經(jīng)由設(shè)置在容 器表面上的通孔將容器的內(nèi)部排氣、然后借助蓋構(gòu)件將該通孔密封的方法。
在利用蓋構(gòu)件密封通孔的情況下，有必要圍繞通孔配置密封劑，以便獲得密封效 果。這里，已知有幾種配置密封劑的方法。當(dāng)將這些方法之一用于真空氣密性容器時(shí)，理想 地是選擇能夠防止密封劑流入通孔的方法。這是因?yàn)椋M管需要將密封劑加熱使之軟化或 者熔融以便在通孔周圍均勻地配置并形成密封劑，但是，這時(shí)擔(dān)心由于容器的內(nèi)部壓力和 外部壓力之差，密封劑會流入通孔。特別是，在制造圖像顯示裝置的外殼的情況下，流入通 孔內(nèi)部的密封劑成為弓I起放電現(xiàn)象的原因。 這里，在特開2003-192399號公報(bào)(下面稱之為專利文獻(xiàn)1)揭示了一種將蓋構(gòu)件
的與通孔對向的面形成錐形的技術(shù)。更具體地說，在專利文獻(xiàn)l中，隨著錐形面遠(yuǎn)離通孔的
周邊，在錐形面與形成有所述通孔的面的之間的距離變寬。因而，由于密封劑本身的重量，
熔融的密封劑變形，變形的密封劑向錐形部移動，從而抑制密封劑流入通孔。 美國專利U. S. Patent No. 6， 261， 145 (下面稱之為專利文獻(xiàn)2)揭示了一種技術(shù)，
該技術(shù)利用球形金屬帽或類似物封閉圓形通孔，從外部向通孔和金屬帽之間的接觸部分填
充密封劑，從而將通孔密封。更具體地說，在專利文獻(xiàn)2中，因?yàn)槊迸浜系藉F形通孔中，所
以，如果帽的內(nèi)部是真空的，則對所述帽施加朝向容器內(nèi)部的力。從而，由于帽易于與通孔
緊密接觸，所以密封劑難以流入該通孔。 在專利文獻(xiàn)1中，由于密封劑直接面對通孔，所以，當(dāng)其熔融時(shí)，密封劑流入通孔 的可能性很大。更具體地說，盡管絕大部分密封劑流入錐形部，但是，由于容器的內(nèi)部是真 空的，所以存在一部分密封劑流入通孔的可能性。在專利文獻(xiàn)2中，密封劑只涂布到帽的附 近。即，和專利文獻(xiàn)1不同，專利文獻(xiàn)2不包括任何推壓密封劑的工序。因此，由于在專利 文獻(xiàn)2中難以使密封劑均勻分布，所以，可能難以獲得足夠的密封性能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是，在包括利用蓋構(gòu)件密封通孔的工序的氣密性容器的制造方法 中，提供一種能夠確保密封性能并且抑制密封劑流入通孔的制造方法。進(jìn)而，本發(fā)明的目的 是提供一種采用氣密性容器的相關(guān)制造方法的圖像顯示裝置的制造方法。
本發(fā)明中的氣密性容器的制造方法包括(a)通過設(shè)置在容器上的通孔將容器內(nèi) 部排氣；(b)在內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器的外表面上配置板構(gòu)件，以便將該通孔封閉，所述板 構(gòu)件在其周邊具有在板厚度方向上貫穿所述板構(gòu)件的槽；以及(c)通過以經(jīng)由密封劑覆蓋 板構(gòu)件的方式配置蓋構(gòu)件，并且通過經(jīng)由密封劑將所配置的蓋構(gòu)件和容器的外表面接合， 對容器進(jìn)行密封，其中，密封工序包括在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得 密封劑經(jīng)由所述槽位于蓋構(gòu)件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。 本發(fā)明中的另外一種氣密性容器的制造方法包括(a)經(jīng)由設(shè)置在容器上的通孔 將容器內(nèi)部排氣；(b)在內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器的外表面上配置板構(gòu)件，以便將該通孔封 閉；以及(c)通過以經(jīng)由密封劑覆蓋板構(gòu)件的方式配置具有板部和側(cè)壁的蓋構(gòu)件，并且通 過經(jīng)由密封劑將所配置的蓋構(gòu)件和容器的外表面接合，對所述容器進(jìn)行密封，所述側(cè)壁沿 著所述板部的周邊設(shè)置并且在內(nèi)表面上具有沿著所述側(cè)壁的高度方向延伸的槽，其中，密 封工序包括在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得密封劑經(jīng)由所述槽位于蓋 構(gòu)件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。 本發(fā)明的再一種氣密性容器的制造方法包括(a)經(jīng)由設(shè)置在容器上的通孔，將 容器內(nèi)部排氣；(b)準(zhǔn)備疊層體，在所述疊層體中，將板構(gòu)件和蓋構(gòu)件以在所述板構(gòu)件與所 述蓋構(gòu)件之間夾有密封劑的狀態(tài)層疊起來；以及(c)通過將疊層體向內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容 器的外表面上推壓以便通孔被板構(gòu)件覆蓋，并且通過經(jīng)由密封劑將蓋構(gòu)件和容器的外表面 接合，對所述容器進(jìn)行密封，其中，所述蓋構(gòu)件具有板部和側(cè)壁，所述側(cè)壁沿著板部的周邊 延伸并且在其內(nèi)表面上具有沿側(cè)壁的高度方向延伸的槽，并且其中，所述密封工序包括在 疊層體中，在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得密封劑經(jīng)由所述槽位于蓋構(gòu) 件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。 在本發(fā)明中，圖像顯示裝置的制造方法包括利用上面描述的氣密性容器的制造 方法，制造內(nèi)部已經(jīng)被抽真空的外殼。 根據(jù)本發(fā)明，在包括利用蓋構(gòu)件密封通孔的工序的氣密性容器的制造方法中，可
以提供一種氣密性容器的制造方法，所述氣密性容器的制造方法能夠有效地確保密封性能
并且可以抑制密封劑流入通孔。進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種圖像顯示裝置的制造方
法，所述圖像顯示裝置的制造方法采用上面描述的氣密性容器的制造方法。 通過下面參照附圖對示范性的實(shí)施形式的描述，本發(fā)明的進(jìn)一步的特征將會變得
更加清楚。


圖1A、1B、1C、1D、1E、1E' 、1F、1G、1D〃 、1E〃 、1F〃和1G〃是表示第一種實(shí)施形式 的密封工序的概略步驟圖。 圖2是第一種實(shí)施形式中的板構(gòu)件的平面圖。 圖3A和3B是第一種實(shí)施形式中的蓋構(gòu)件的平面圖和剖視圖。 圖4A、4B和4C是第一種實(shí)施形式中的改型的板構(gòu)件的平面圖和剖視圖。 圖5A、5B、5C、5D、5D' 、5E、5C〃 、5D〃和5E〃是表示第二種實(shí)施形式的密封工序
的概略步驟圖。 圖6A、6B和6C是第二種實(shí)施形式中的板構(gòu)件和蓋構(gòu)件的平面圖和剖視圖。
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圖7是表示第一種實(shí)施形式的圖示。 圖8A和8B是第二種實(shí)施形式中的板構(gòu)件和蓋構(gòu)件的平面圖和剖視圖。 圖9是表示第二種實(shí)施形式的圖示。 圖10A和10B是第二種實(shí)施形式中的板構(gòu)件和蓋構(gòu)件的平面圖和剖視圖。 圖11A、11B、11C、11D和IIE是表示第三種實(shí)施形式的概略的步驟圖。 圖12表示第三種實(shí)施形式的圖示。 圖13是表示第四種實(shí)施形式的圖示。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的氣密性容器的制造方法可以廣泛應(yīng)用于內(nèi)部被排氣而抽成真空的氣密 性容器的制造方法。特別是，本發(fā)明可以優(yōu)選地應(yīng)用于制造內(nèi)部被排氣以抽成真空的平板 圖像顯示裝置的外殼的制造方法。
(第一種實(shí)施形式) 下面將參照圖1A至1G〃描述本發(fā)明的第一種實(shí)施形式。這里，圖1A至1G〃表示 密封工序的概略的步驟圖，所述密封工序可以特別優(yōu)選地應(yīng)用于在氣密性容器的通孔位于 外殼的上表面上的狀態(tài)下將通孔密封的情況。順便提及，圖1D〃 、1E〃 、1F〃 、1G〃是分別沿 著圖1D的1D〃 -1D"線、圖1E的1E〃 -1E"線、圖1F的1F〃 -1F"線、圖1G的1G 〃 -1G" 線的剖視圖(即，向上的圖示)。進(jìn)而，圖1D、1E、1F和1G分別是沿著圖1D〃的1D-1D線、 圖1E〃的1E-1E線、圖1F〃的1F-1F線、圖1G〃的1G-1G線的剖視圖。進(jìn)而，圖1E'是沿 著圖1E〃的IE' -1E'線的剖視圖。
(步驟Sl) 最初，經(jīng)由設(shè)置在容器1的表面上的通孔5將容器1的內(nèi)部S排氣。容器1可以 具有所希望的材料和結(jié)構(gòu)。在平板圖像顯示裝置的情況下，容器l的一部分通常用玻璃制 造。在本實(shí)施形式中，如圖1A所示，容器1由面板2、后面板3和支承框4構(gòu)成，利用諸如玻 璃料或類似物等適當(dāng)?shù)氖侄?，將它們相互接合，以便形成氣密性容器。在后面?上設(shè)置大 量的電子發(fā)射體(圖中未示出)，用于根據(jù)圖像信號發(fā)射電子。在面板2上設(shè)置熒光膜(圖 中未示出)，所述熒光膜在受到電子照射時(shí)發(fā)光并因而顯示圖像。另外，在后面板3上設(shè)置 大致為圓形開口的通孔5。考慮到容器1中所希望的真空度、所希望的排氣時(shí)間等因素，適 當(dāng)?shù)卦O(shè)定通孔5的位置和尺寸。在本實(shí)施形式中，只設(shè)置一個(gè)通孔5，然而，也可以設(shè)置多個(gè) 通孔。為了改進(jìn)與后面描述的密封劑12的粘著力和潤濕性，可以利用超聲波清洗工藝對容 器1的外表面6上的通孔5的周邊部進(jìn)行表面處理，或者也可以沉積金屬薄膜。
選擇容器1的排氣單元，以便使容器1的內(nèi)部變成所希望的真空度。如果能夠利用 排氣單元經(jīng)由通孔5將容器1的內(nèi)部排氣并從而能夠執(zhí)行后面描述的工序，則對于排氣單 元沒有特定的限制。在整個(gè)容器1被置于真空排氣室內(nèi)的狀態(tài)下執(zhí)行排氣工序的情況下， 由于后面描述的各個(gè)構(gòu)件(板構(gòu)件8、蓋構(gòu)件13等)的移動機(jī)構(gòu)(后面描述的例子中的旋 轉(zhuǎn)/垂直移動機(jī)構(gòu)20和23)也能夠設(shè)置在同一室內(nèi)，所以這種情況是優(yōu)選的。
(步驟S2) 如圖1B所示，將板構(gòu)件8配置在內(nèi)部S已經(jīng)被排氣的容器1的外表面6上，以便將 通孔5封閉。更具體地說，將板構(gòu)件8配置成使得該板構(gòu)件8與通孔5的周邊9接觸(參照圖1A)，并且通孔5被板構(gòu)件8覆蓋。這里，圖2是板構(gòu)件8的平面圖(即，從容器的外表面 6側(cè)觀察板構(gòu)件8的圖示)。如圖2所示，在板厚度方向上貫穿板構(gòu)件8的多個(gè)槽100以所 希望的間隔設(shè)置在板構(gòu)件8的周邊上。在本實(shí)施形式中，板構(gòu)件8是圓形構(gòu)件，其直徑大于 通孔5的直徑，槽100以一定的角度間隔(例如，90°的節(jié)距)配置。這里，當(dāng)從通孔5的 中心觀察時(shí)，每個(gè)槽100都位于通孔5的周邊的外側(cè)。圖1B至1G的每一個(gè)都是通過將包 括槽100在內(nèi)的板構(gòu)件8的部分適當(dāng)?shù)厍袛喽@得的剖視圖。總之，如果設(shè)置槽100的話， 則通過利用槽100作為起點(diǎn)，密封劑主動地流入，借此，可以均勻地利用密封劑12填充所希 望的位置。進(jìn)而，能夠?qū)鍢?gòu)件8和蓋構(gòu)件13相對地定位到?jīng)]有槽100的位置。優(yōu)選地， 將板構(gòu)件8和通孔5幾乎同心地配置。板構(gòu)件8的接觸面10與容器1的外表面6接觸，以 便防止密封劑12流入通孔5。從而，優(yōu)選地，將接觸面10的外形和表面粗糙度確定為使得 當(dāng)以覆蓋容器1的通孔5的方式配置板構(gòu)件8時(shí)，容器1的外表面6與板構(gòu)件8之間的間 隙(滲漏通道)變得緊密。考慮到密封劑12的密封性能和變形特性，適當(dāng)?shù)卮_定板構(gòu)件8 的厚度。在本實(shí)施形式中，還可以利用如后面第二種實(shí)施形式中所述的具有突起結(jié)構(gòu)(圖 5B中的突起部18)的板構(gòu)件。
(步驟S3) 如圖1C所示，密封劑12設(shè)置在板構(gòu)件8上的與板構(gòu)件8和通孔5之間的接觸面 10相反的表面11 (參照圖1B)。提供足夠量的密封劑12，以便密封劑12變得比板構(gòu)件8更 厚。如果能夠獲得所希望的密封性能和粘著特性，則對密封劑12的材料沒有特定的限制。 在本實(shí)施形式中，由于以在平板圖像顯示裝置中使用的由玻璃制的容器1作為對象，考慮 到高密封性能或加熱時(shí)的應(yīng)力，使用玻璃料或者如In或InSn等In合金。
(步驟4) 如圖ID所示，將蓋構(gòu)件13配置在密封劑12上。作為配置的結(jié)果，以覆蓋板構(gòu)件 8的方式配置蓋構(gòu)件13。這里，圖3A是蓋構(gòu)件13的平面圖(S卩，從容器的外表面6側(cè)觀察 蓋構(gòu)件13的圖示)，圖3B是沿著圖3A中的3B-3B線的剖視圖。蓋構(gòu)件13包括板部131和 圓筒形側(cè)壁132，所述側(cè)壁132沿著板部131的周邊配置。這里，優(yōu)選地，根據(jù)密封劑12的 密封特性，采用具有比板構(gòu)件8的面積大的平面面積的蓋構(gòu)件13，從而可以在板構(gòu)件8的周 圍獲得足夠的密封寬度。 接著，如圖1E、1F和1G所示，借助蓋構(gòu)件13將密封劑12在豎直向下的方向(即， 空白箭頭指示的方向)上推壓，使密封劑12變形，以便沿著板構(gòu)件8的周邊用密封劑12填 充蓋構(gòu)件13與容器1的外表面6之間的空間14。更具體地說，如圖1E所示，如果密封劑 12被蓋構(gòu)件13推壓，同時(shí)密封劑12變形，則一部分密封劑12移動到板構(gòu)件8的側(cè)方并從 槽100的部分流向容器側(cè)。進(jìn)而，密封劑12的一部分沿著蓋構(gòu)件13傾斜地?cái)U(kuò)展。如圖1F 和1G所示，如果密封劑12被蓋構(gòu)件13進(jìn)一步推壓，則分別從相鄰的槽IOO流出的密封劑 12相互連接到一起，借此，密封劑12變成一個(gè)完整的圓。從而，空間14完全被密封劑12填 充，密封劑12的寬度擴(kuò)展到接近等于蓋構(gòu)件13的寬度的寬度。之后，將密封劑12加熱，然 后冷卻使之硬化。如圖1E'所示，在沒有槽100的部分，借助板構(gòu)件8防止密封劑12向容 器的外表面6變形(流入)。之后，如上面所述，從多個(gè)槽100填充的密封劑12與從各個(gè)相 鄰的槽IOO填充的密封劑12連接到一起，借此，整個(gè)密封劑12變成完整的圓。
但是，并不總是要求將密封劑12變形成這種狀態(tài)。例如，如果確保預(yù)定的密封寬度的話，則不要求密封劑12擴(kuò)展到和蓋構(gòu)件13的寬度相同的寬度。進(jìn)而，在圖中，盡管密 封劑12殘留在板構(gòu)件8與蓋構(gòu)件13之間，但是，整個(gè)密封劑12可以移動到蓋構(gòu)件13與容 器1的外表面6之間的空間14。 在利用蓋構(gòu)件13推壓密封劑12的情況下，優(yōu)選根據(jù)密封劑12的特性將密封劑12 加熱到使密封劑12熔融的溫度。由此，提高密封劑12的變形性能。在本實(shí)施形式中，由于 將整個(gè)容器l置于真空排氣室內(nèi)，所以，不能期待在加熱時(shí)產(chǎn)生對流，因而，可以認(rèn)為加熱 效率會惡化。因此，為了縮短在將密封劑12加熱到熔融溫度的情況下的加熱時(shí)間，在使密 封劑12變形的工序之前，可以在密封劑12不被熔融的范圍內(nèi)對板構(gòu)件8和蓋構(gòu)件13中的 至少一個(gè)加熱。將熱從板構(gòu)件8或者蓋構(gòu)件13傳導(dǎo)到密封劑12，可以獲得加熱密封劑12 的效果。優(yōu)選地，將加熱溫度設(shè)定為使得板構(gòu)件8或者蓋構(gòu)件13不會被溫度的突然變化所 破壞。 可以適當(dāng)?shù)剡x擇施加負(fù)荷(推壓力)的方法。例如，可以列舉出利用彈簧的方法、 機(jī)械地施加推壓力的方法、或者設(shè)置重物的方法等。在本實(shí)施形式中，盡管為了保持蓋構(gòu)件 13的位置而施加的負(fù)荷和為了使密封劑12變形而施加的負(fù)荷是用相同的負(fù)荷實(shí)現(xiàn)的，但 是，也可以采用不同的方式。對于在這種情況下的負(fù)荷，需要充分?jǐn)D壓密封劑12的力，以使 密封劑12至少保持氣密性。如圖1E所示，當(dāng)使密封劑12變形時(shí)，可以使蓋構(gòu)件13圍繞作 為旋轉(zhuǎn)中心的平行于推壓密封劑12的方向的軸線(例如，蓋構(gòu)件13的中心軸線C)旋轉(zhuǎn)， 同時(shí)，用蓋構(gòu)件13推壓密封劑12。這樣，密封劑12更有效地變形，從而用密封劑12均勻地 填充空間14。 根據(jù)本實(shí)施形式，在板構(gòu)件8被蓋構(gòu)件13推壓時(shí)，密封劑12變形，然后將密封劑 12硬化，借此，完成密封和接合。即，當(dāng)密封劑12被熔融并變形時(shí)，板構(gòu)件8將通孔5封閉， 同時(shí)，被向下朝著通孔5推壓。從而，提高板構(gòu)件8的接觸面10與容器1的外表面6之間的 密封性能，從而熔融的密封劑12變得難以流入通孔5。因此，在平板圖像顯示裝置中，當(dāng)施 加用于顯示圖像的高電壓時(shí)，可以容易地防止由流入容器內(nèi)的密封劑12導(dǎo)致的放電現(xiàn)象。 進(jìn)而，根據(jù)密封劑12的材料，存在密封劑12產(chǎn)生氣體的情況。但是，在本實(shí)施形式中，由于 密封劑12很少會流入容器l，所以，幾乎不發(fā)生由所產(chǎn)生的氣體引起的對電子發(fā)射器的負(fù) 面影響。 進(jìn)而，在本實(shí)施形式中，可以期望獲得兩種密封效果，S卩，由設(shè)置在容器的外表面6 與蓋構(gòu)件13之間的密封劑12產(chǎn)生的密封效果和由于板構(gòu)件8以封閉通孔5的方式設(shè)置所 產(chǎn)生的密封效果。因此，密封性能本身得到改進(jìn)，而且也容易防止有缺陷的氣密性。
進(jìn)而，在本實(shí)施形式中，板構(gòu)件8的厚度限定了密封劑12的厚度的最小值。從而， 即使加壓負(fù)荷稍大，也可以防止密封劑12的變形到小于板構(gòu)件8的厚度的水平，這一事實(shí) 導(dǎo)致氣密性的可靠性的提高。但是，為了防止容器1、板構(gòu)件8和蓋構(gòu)件13的破損，過分地 增加加壓負(fù)荷是不理想的。 在本實(shí)施形式中，蓋構(gòu)件13具有用于將板構(gòu)件8容納于其內(nèi)的凹入部分。但是， 本發(fā)明并不局限于此。如圖4A至4C所示，即使在蓋構(gòu)件13為平坦?fàn)畹那闆r下，如果在板 構(gòu)件8的周邊設(shè)置槽(凹槽)，當(dāng)密封劑12變形時(shí)，密封劑12也會主動地從作為起點(diǎn)的槽 向容器的外表面流動。從而，可以制造密封劑12的不均勻性很小且因此具有高氣密性的容 器。順便提及，圖4A是蓋構(gòu)件的平面圖，圖4B是沿著圖4A的4B-4B線的剖視圖，圖4C是沿著圖4A的4C-4C線的剖視圖。
(第二種實(shí)施形式) 本實(shí)施形式與第一種實(shí)施形式的不同點(diǎn)在于，通過使由板構(gòu)件、密封劑和蓋構(gòu)件 構(gòu)成的疊層體從通孔的下側(cè)與通孔接觸，將通孔密封。并且，本實(shí)施形式與第一種實(shí)施形式 的不同點(diǎn)還在于，槽不形成在板構(gòu)件上，而是形成在蓋構(gòu)件上，本實(shí)施形式的其它方面與第 一種實(shí)施形式的相同。從而，在下面的描述中，主要描述與第一種實(shí)施形式的不同點(diǎn)。艮P， 對于在下面不描述的內(nèi)容，應(yīng)當(dāng)參照第一種實(shí)施形式中的描述。 下面參照圖5A至5E〃描述本發(fā)明的第二種實(shí)施形式。這里，圖5A至5E〃是表示 在氣密性容器的通孔朝著豎直向下的方向開放的狀態(tài)下將通孔密封時(shí)特別優(yōu)選地采用的 密封工序的概略步驟圖。順便提及，圖5C〃 、5D〃和5E〃分別是沿著圖5C的5C〃 -5C"線、 圖5D中的5D〃 -5D"線和圖5E中的5E〃 -5E"線的剖視圖。進(jìn)而，圖5C、5D和5E分別是 沿著圖5C〃中的5C-5C線、圖5D〃中的5D-5D線、圖5E〃中的5E-5E線的剖視圖。進(jìn)而，圖 5D'是沿著圖5D〃中的5D' -5D'線的剖視圖。此外，圖6A至6C是只放大地表示本實(shí)施 形式中的板構(gòu)件和蓋構(gòu)件的圖示。圖6A是板構(gòu)件和蓋構(gòu)件的平面圖，圖6B是沿著圖6A的 6B-6B線的剖視圖，圖6C是沿著圖6A的6C-6C線的剖視圖。
(步驟S51) 如圖5A所示，經(jīng)由設(shè)置在容器1的表面上的通孔5a對容器1的內(nèi)部排氣。該步
驟和第一種實(shí)施形式中的步驟一樣。
(步驟S52) 如圖5B所示，準(zhǔn)備疊層體16，在該疊層體16中，在板構(gòu)件8a和蓋構(gòu)件13之間夾 著密封劑12將板構(gòu)件8a和蓋構(gòu)件13層疊起來。蓋構(gòu)件13是圓形構(gòu)件，在其中心具有凹 入部，通過該凹入部可以進(jìn)行板構(gòu)件8a和蓋構(gòu)件13相對定位。進(jìn)而，蓋構(gòu)件13包括板部 131和沿著板部131的周邊設(shè)置的圓筒狀的側(cè)壁132，并且在側(cè)壁132的內(nèi)表面上具有沿著 側(cè)壁132的高度方向延伸的槽100(圖6A和6B)。多個(gè)槽100以一定的角度間距(例如， 90°的節(jié)距)設(shè)置在蓋構(gòu)件13的側(cè)壁132上。圖5C〃 -5E"分別是通過適當(dāng)?shù)厍袛喟?槽100在內(nèi)的部分而獲得的剖視圖?？傊?，如果設(shè)置槽IOO，則密封劑以槽100作為起點(diǎn)主 動地流入，借此，可以均勻地將密封劑填充到所希望的位置。 在本實(shí)施形式中，采用具有能夠插入通孔5a內(nèi)的圓筒狀或者半球狀突起18的板 構(gòu)件8a。如將在后面描述的那樣，當(dāng)使板構(gòu)件8a與容器1的外表面6接觸時(shí)，突起18被插 入通孔5a。 S卩，當(dāng)使板構(gòu)件8a與通孔5a接觸時(shí)，突起18起著導(dǎo)向件的作用。從而，優(yōu)選 地，突起18具有自然地插入通孔5a的尺寸(直徑)?？傊?，可以采用和第一種實(shí)施形式相 同的密封劑12。在形成疊層體16之前的先前的步驟中，可以在密封劑12不熔融的范圍內(nèi) 將板構(gòu)件8a和蓋構(gòu)件13中的至少一個(gè)加熱。
(步驟S53) 如圖5C所示，疊層體16設(shè)置在內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器1的外表面6上，以便板構(gòu) 件8a沿著通孔5a的周邊9 (參照圖5A)與外表面6接觸，并且通孔5a被板構(gòu)件8a封閉。 如上所述，在通孔5a在豎直向下的方向上開放的狀態(tài)下進(jìn)行上述操作。由于突起18被插 入到通孔5a中，所以容易進(jìn)行定位。這時(shí)，根據(jù)密封劑12的特性，可以將密封劑12加熱到 該密封劑12不熔融的程度。
(步驟S54) 如圖5D所示，密封劑12被蓋構(gòu)件13在豎直向上的方向(即，用空白箭頭表示的 方向)上推壓?？梢院偷谝环N實(shí)施形式一樣適當(dāng)?shù)剡x擇施加負(fù)荷的方式。在保持這種狀態(tài) 的同時(shí)，將密封劑12加熱到密封劑12熔融的溫度。然后使熔融的密封劑12變形，使得蓋 構(gòu)件13與容器1的外表面6之間的空間14沿著板構(gòu)件8a的外周部分15被密封劑12填 充。即，將密封劑變形使之經(jīng)由槽100位于蓋構(gòu)件13與容器1的外表面6之間。更具體地 說，如圖5D所示，當(dāng)密封劑12被蓋構(gòu)件13推壓時(shí)，密封劑12的一部分向板構(gòu)件8a的橫向 方向移動，同時(shí)，密封劑12變形。進(jìn)而，密封劑12的另一部分被蓋構(gòu)件13拖拽，因此向橫 向方向延伸。在這種變形中，從多個(gè)槽100向容器的外部填充密封劑12，被填充的密封劑 12與來自于相鄰的槽100的密封劑連接，從而整個(gè)密封劑12變成完整的圓。如圖5E所示， 當(dāng)密封劑12被蓋構(gòu)件13進(jìn)一步推壓時(shí)，空間14被密封劑12完全填充，密封劑12的寬度 擴(kuò)展到接近等于蓋構(gòu)件13的寬度。圖5D'是通過適當(dāng)?shù)厍袛嗖话ú?00在內(nèi)的部分而 獲得的剖視圖。如圖5D'所示，這防止了在不包括槽100在內(nèi)的部分處密封劑12被板構(gòu)件 8a向容器的外表面6變形(流動)。之后，如上面所述，從多個(gè)槽IOO向容器的外部流動的 密封劑與來自于相鄰的槽100的密封劑連接，借此整個(gè)密封劑12變成完整的圓。之后，將 密封劑12加熱，然后冷卻使之硬化。如前面剛剛描述的那樣，在本實(shí)施形式中，疊層體被推 壓，以便板構(gòu)件將通孔封閉，經(jīng)由密封劑將蓋構(gòu)件和容器的外表面接合，借此，將容器1密 封。進(jìn)而，密封工序包括在由蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件的同時(shí)使密封劑變形之后、將密封劑硬化的 工序，這與第一種實(shí)施形式中基本上是一樣的。 在本實(shí)施形式中，可以在通孔在豎直向下的方向上開放的狀態(tài)下將通孔密封，并 且可以獲得和第一種實(shí)施形式相同的效果。即，熔融的密封劑12幾乎不流入通孔5a。因此， 在平板圖像顯示裝置中，可以容易地防止由流入該裝置內(nèi)的密封劑12引起的放電現(xiàn)象。幾 乎不發(fā)生由氣體引起的對電子發(fā)射器等的負(fù)面影響。進(jìn)而，密封性能本身得到改進(jìn)，可以容 易地防止有缺陷的氣密性。即使當(dāng)加壓負(fù)荷稍大，也可以防止密封劑12變形成具有等于或 者小于板構(gòu)件8a的厚度的厚度，從而，提高了氣密性的可靠性。進(jìn)而，在本實(shí)施形式中，不 要求依次設(shè)置板構(gòu)件8a、密封劑12和蓋構(gòu)件13的工序，可以單獨(dú)地進(jìn)行形成疊層體16的 工序。從而，可以獲得使密封工序合理化的效果。 順便提及，在本實(shí)施形式中，使由板構(gòu)件、密封劑和蓋構(gòu)件構(gòu)成的疊層體從下側(cè)與 氣密性容器接觸。但是，本發(fā)明并不局限于此。即，也可以使疊層體從上側(cè)與氣密性容器接 觸。順便提及，如在第一種實(shí)施形式中描述的那樣，在將密封劑12變形的情況下，在本實(shí)施 形式中也可以利用蓋構(gòu)件13推壓密封劑12，同時(shí)，圍繞與推壓密封劑12的方向平行的軸線 旋轉(zhuǎn)蓋構(gòu)件13。進(jìn)而，在進(jìn)行使密封劑變形的工序之前，可以在密封劑12不被熔融的范圍 內(nèi)加熱板構(gòu)件8a和蓋構(gòu)件13中的至少一種。
下面，將列舉實(shí)施例詳細(xì)描述本發(fā)明。
(實(shí)施例1) 這是一個(gè)利用圖1說明的第一種實(shí)施形式制造氣密性容器的實(shí)施例。下面，參照 圖7說明本實(shí)施例。 在本實(shí)施例中，將容器1容納在真空排氣室31內(nèi)，然后利用包含有渦輪分子泵和 干式渦旋泵的排氣單元22將該真空排氣室31排氣，以便抽成真空。進(jìn)而，將用作加熱單元
10的加熱器19a和19b設(shè)置在真空排氣室31內(nèi)，在容器1的上表面上設(shè)置直徑3mm的通孔5。
圖8A和8B是板構(gòu)件8和蓋構(gòu)件13的圖示。更具體地說，圖8A是板構(gòu)件和蓋構(gòu) 件的平面圖，圖8B是沿著圖8A的8B-8B線的剖視圖。 作為板構(gòu)件8，準(zhǔn)備直徑5mm和厚度0. 3 y m的鈉鈣玻璃。在板構(gòu)件8的周邊設(shè)置 四個(gè)槽100，每個(gè)槽100具有大約2mm的長度和寬度。作為密封劑12，準(zhǔn)備玻璃料，所述玻 璃料通過預(yù)先焙燒而被熔融以具有7mm的直徑和0. 4mm的厚度，并且已經(jīng)除去了糊劑成分。 作為蓋構(gòu)件13，準(zhǔn)備直徑為8mm、厚度lmm的鈉鈣玻璃。這里，在蓋構(gòu)件13的中央部設(shè)置直 徑7. 5mm、深度0. 5mm的凹部(凹槽)。作為施加負(fù)荷用的重物21，準(zhǔn)備根據(jù)SUS340 (Steel Use Stainless 340)制成的150g的重物。之后，將這些構(gòu)件安裝到旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu) 20上，所述運(yùn)動機(jī)構(gòu)20對于每一個(gè)構(gòu)件能夠單獨(dú)地進(jìn)行豎直運(yùn)動和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，并將安裝好 的構(gòu)件配置在真空排氣室31內(nèi)。
工序(a) 使排氣單元22動作，經(jīng)由通孔5將真空排氣室31的內(nèi)部排氣，使容器1內(nèi)部的真 空度降低到等于或者小于IX 10—3Pa的水平。與排氣工序相對應(yīng)，使加熱器19a和19b動作， 將配置在真空排氣室31內(nèi)的各個(gè)構(gòu)件加熱到35(TC，這一溫度等于或者小于作為密封劑12
的玻璃料的軟化溫度。
工序(b)
利用旋轉(zhuǎn)


工序(c) 利用旋轉(zhuǎn) 工序(d) 利用旋轉(zhuǎn)
豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)20，將板構(gòu)件8配置在緊靠通孔5上方的位置。 豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)20，將密封劑12配置在緊靠板構(gòu)件8上方的位置。
豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)20，將蓋構(gòu)件13配置在緊靠密封劑12上方的位置。之 后，利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)20，將施加負(fù)荷用的重物21旋轉(zhuǎn)移動到緊靠蓋構(gòu)件13上方的 位置。利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)20，以lmm/min速度緩慢地使施加負(fù)荷用的重物21下降， 以便負(fù)荷不會快速地增加，然后，將施加負(fù)荷用的重物21安裝到蓋構(gòu)件13上。
工序(e) 實(shí)施加熱工序，以便達(dá)到玻璃料的軟化溫度。 之后，將施加負(fù)荷用的重物21在安裝于蓋構(gòu)件13上的情況下冷卻到室溫，然后， 凈化真空排氣室31的內(nèi)部，將制造的容器1從真空排氣室31中取出。 如上面剛剛描述的那樣，制成通孔被密封劑密封且內(nèi)部被排氣抽成真空的真空氣 密性容器。具有0. 2mm厚度的玻璃料緊密地形成在蓋構(gòu)件13與容器1的外表面6之間。 由于在板構(gòu)件8上設(shè)置有槽IOO，所以，可以控制密封劑12的流動。因此，可以制造在圓周 方向上沒有不均勻性的均勻的密封形態(tài)，可以提高氣密性的可靠性。在本實(shí)施例中，在工序 (e)中，利用在工序(d)中安裝到蓋構(gòu)件13上的施加負(fù)荷用的重物21，在起著密封劑作用 的玻璃料被熔融并被擠壓的同時(shí)，將板構(gòu)件8持續(xù)地向通孔5的周邊推壓。因此，沒有看到 密封劑12流入通孔5內(nèi)。另夕卜，由于板構(gòu)件8和通孔5的周邊，以及蓋構(gòu)件13和通孔5的 周邊兩個(gè)位置被密封，所以，可以獲得具有足夠的氣密性的真空氣密性容器。
(實(shí)施例2) 這是利用圖5A至5E〃所示的第二種實(shí)施形式制造氣密性容器的實(shí)施例。下面，參照圖9、10A和10B描述本實(shí)施例。 在本實(shí)施例中，將容器1容納到真空排氣室31內(nèi)，然后利用具有渦輪分子泵和干 式渦旋泵的排氣單元22將該真空排氣室31排氣抽成真空。進(jìn)而，將用作加熱單元的加熱 器19a和19b設(shè)置在真空排氣室31內(nèi)。容器1具有兩個(gè)相互對向配置的基板，在一個(gè)基板 的內(nèi)表面上形成表面導(dǎo)電的電子發(fā)射器件(未示出)，在另外一個(gè)基板的內(nèi)表面上形成陽 極和發(fā)光構(gòu)件(未示出)。進(jìn)而，容器1在其下表面上具有直徑為4mm的通孔5a。
圖10A和10B是板構(gòu)件8和蓋構(gòu)件13的圖示。更具體地說，圖10A是板構(gòu)件和蓋 構(gòu)件的平面圖，圖10B是沿著圖10A的10B-10B線的剖視圖。作為蓋構(gòu)件13，準(zhǔn)備直徑為 10mm、厚度為0. 5mm的非堿性玻璃。這里，在蓋構(gòu)件13的中央設(shè)置直徑為7. 5mm、深度0. 5mm 的凹入部(凹槽)。在蓋構(gòu)件13的側(cè)壁132上設(shè)置四個(gè)槽100，每個(gè)槽具有約2mm的長度 和寬度。進(jìn)而，在蓋構(gòu)件13上設(shè)置被成形為直徑7mm、厚度0.4mm的由In(銦)構(gòu)成的密封 劑12。將直徑為5mm、厚度為0. 3mm、且在其中央具有直徑lmm且高度2mm的突起18的由非 堿性玻璃制成的板構(gòu)件8a安裝到密封劑12上。這樣，準(zhǔn)備好疊層體16。因?yàn)樵诏B層體16 的蓋構(gòu)件13上設(shè)置有凹入部(凹槽)，所以，可以進(jìn)行板構(gòu)件8a和密封劑12的定位。旋轉(zhuǎn) /垂直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23裝配有工作臺24，所述工作臺24能夠借助彈簧常數(shù)約為1N/mm的彈簧 構(gòu)件25在豎直方向上施加推壓壓力以便進(jìn)行工作。將設(shè)置在工作臺24上的疊層體16配 置在真空排氣室31內(nèi)。
工序(a) 最初，利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23，將疊層體16退避到不被加熱器19a和19b加 熱的位置。接著，使排氣單元22動作，經(jīng)由通孔5a將真空排氣室31的內(nèi)部排氣，將容器l 內(nèi)的真空度降低到等于或小于1X10—4Pa的水平。使加熱器19a和19b與排氣工序相對應(yīng) 地動作，利用加熱器19a和19b在35(TC將容器1加熱一小時(shí)，以便排除容器1內(nèi)的吸附氣 體。之后，將加熱器19a和19b和容器1自然冷卻到IO(TC的溫度。
工序(b) 利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23，將疊層體16移動到緊靠通孔5a的下方的位置。接 著，在連續(xù)將真空排氣室31的內(nèi)部排氣的同時(shí)，利用加熱器19a和19b進(jìn)行再次加熱工序。 因此，分別將容器1、包括彈簧構(gòu)件25的工作臺24、和疊層體16加熱到等于或低于In的熔 融溫度的IO(TC，以便和容器1具有相同的溫度。
工序(c) 在板構(gòu)件8a的突起18被插入到通孔5a內(nèi)的狀態(tài)下，利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu) 23，將由工作臺24保持的疊層體16緩慢地向上移動，直到板構(gòu)件8a與通孔5a的周邊接觸 為止。接著，以lmm/sec的速度將旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23向上移動5mm，使得板構(gòu)件8a被 彈簧構(gòu)件25推壓。
工序(d) 利用加熱器19a和19b以3°C /min的速率，將容器1和各個(gè)構(gòu)件的溫度上升到等 于或高于In的熔融溫度的160°C 。并且，當(dāng)In被熔融時(shí)，由于各個(gè)構(gòu)件被彈簧構(gòu)件25連續(xù) 地向通孔5a推壓，所以，隨著In的熔融，密封劑12變形，從而將通孔5a密封。
然后，在疊層體16被彈簧構(gòu)件25推壓的同時(shí)，將溫度降低到室溫。然后，凈化真 空排氣室31的內(nèi)部，將制造的容器1從真空排氣室31中取出。
12
如上所述，在所制造的氣密性容器中，在蓋構(gòu)件13和容器1的外表面6之間緊密 地形成厚度0. 2mm的In。由于在蓋構(gòu)件13上設(shè)置有槽100，所以，可以控制密封劑12的流 動。因此，能夠制造在周向方向上沒有不均勻性的均勻密封形態(tài)，可以提高氣密性的可靠 性。進(jìn)而，由于在工序(c)和(d)中連續(xù)地被彈簧構(gòu)件推壓，所以，在作為密封劑12的In 在工序(d)中被熔融和變形的同時(shí)，板構(gòu)件8a被連續(xù)地向通孔5a的周邊推壓。結(jié)果，能夠 防止密封劑12流入通孔5a。另外，由于板構(gòu)件8a和通孔5a的周邊、以及蓋構(gòu)件13和通孔 5a的周邊兩個(gè)部位被密封，所以，能夠獲得具有足夠的氣密性的真空氣密性的容器。
按照這種方式，可以獲得其內(nèi)部已經(jīng)抽成真空、其內(nèi)部具有表面導(dǎo)電的電子發(fā)射 器件的成像裝置。盡管在成像裝置的陽極和陰極之間施加15kV的電壓24小時(shí)，但是，在成 像裝置的區(qū)域及其周圍的區(qū)域中沒有產(chǎn)生任何放電，并且確認(rèn)為可以穩(wěn)定地施加電子加速 電壓。(實(shí)施例3) 這是利用實(shí)施形式2制造氣密性容器的實(shí)施例。下面參照圖5A至5E〃 、10A、10B、 11A至11E和12說明本實(shí)施例。 在本實(shí)施例中，容器1在其下表面具有直徑2mm的通孔，并且，在其內(nèi)部具有支承 構(gòu)件(用于經(jīng)受大氣壓的間隔件)26，以便即使從容器的外部向開口部的周邊局部地施加 負(fù)荷也不會被破壞。起著排氣管的作用并具有比通孔的孔徑大的孔徑的凸緣30，在其內(nèi)部 具有根據(jù)直線操縱器進(jìn)行動作的旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23、彈簧構(gòu)件25和連接到彈簧構(gòu)件上 的內(nèi)部加熱器19c。如果利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)將加熱器向容器側(cè)推壓，可以根據(jù)推壓程 度施加負(fù)荷。另外，具有渦輪分子泵和干式渦旋泵的排氣單元22被連接到凸緣30上，以便 能夠?qū)?nèi)部排氣，抽成真空。 圖10A和10B分別表示板構(gòu)件8a和蓋構(gòu)件13。在直徑5mm且高度0. 5mm的盤狀 板上具有直徑1.9mm且高度0. 5mm的突起的板構(gòu)件8a，由Asahi Glass Co. ，Ltd(旭硝子株 式會社)生產(chǎn)的PD-200制成。密封劑12由成形為直徑4mm且厚度1. 5mm的In和Ag的合 金形成。蓋構(gòu)件13具有直徑8mm且厚度lmm的圓形形狀，并由PD-200制成。這里，在蓋構(gòu) 件13的中央設(shè)置有直徑7. 5mm且深度0. 5mm的凹入部(凹槽)。在蓋構(gòu)件13的側(cè)壁132 上設(shè)置有分別具有大約2mm的長度和寬度的尺寸的四個(gè)槽100。然后，將板構(gòu)件8a、密封劑 12和蓋構(gòu)件13依次相互層疊，以便形成疊層體，將所形成的疊層體配置在排氣管內(nèi)。由于 在疊層體16的蓋構(gòu)件13上設(shè)置有凹入部(凹槽)，所以，能夠進(jìn)行板構(gòu)件8a和密封劑12 的定位。 工序(a) 將蓋構(gòu)件13、密封劑12和板構(gòu)件8a相繼疊層，并配置在設(shè)于凸緣30內(nèi)部的內(nèi)部 加熱器19c上，使得這些構(gòu)件的各自直徑的中心相互重合。
工序(b) 將由材料Vit01^ (注冊商標(biāo))構(gòu)成的0型環(huán)29配置在凸緣30的開口部。
工序(c) 在0型環(huán)29與容器1的通孔5a的周邊接觸且在工序(a)中各個(gè)構(gòu)件的直徑的中 心與通孔5a的中心相一致的位置，在利用容器1和凸緣30推壓0型環(huán)29的同時(shí)，利用排 氣單元22開始真空排氣。這樣，將容器1的內(nèi)部排氣，抽成真空。
工序(d)在將凸緣30內(nèi)的內(nèi)部加熱器19c加熱到15(TC并保持該溫度之后，以1°C /min的 速率將溫度上升到170°C。接著，通過以lmm/min的速度升高凸緣內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī) 構(gòu)，沿著排氣管移動由板構(gòu)件8a、密封劑12和蓋構(gòu)件13構(gòu)成的疊層體，在將疊層體以封閉 通孔5a的方式配置的同時(shí)，將疊層體推壓到容器的外表面上。
工序(e) 之后，在保持在工序(d)中施加推壓力的狀態(tài)的同時(shí)，將內(nèi)部加熱器19c自然冷卻 到室溫。然后，在密封劑12硬化之后，停止排氣單元22進(jìn)行的排氣工序，利用空氣凈化凸 緣30的內(nèi)部，之后將0型環(huán)29從容器1分離。 如上所述，通過經(jīng)由密封劑將容器的外表面和蓋構(gòu)件相互接合，容器被密封，借此 制成內(nèi)部被排氣抽成真空的真空氣密性容器。因?yàn)樵谏w構(gòu)件13上設(shè)置有槽100，所以，能夠 控制密封劑12的流動。因此，可以制造在周向方向上沒有不均勻性的均勻的密封形態(tài)，可 以提高氣密性的可靠性。順便提及，在工序(d)中，由于在密封劑12熔融并且變形的同時(shí)， 板構(gòu)件8a被連續(xù)地向通孔5a的周邊推壓，所以，能夠防止密封劑12流入通孔5a。另外，由 于在兩個(gè)位置，即，在板構(gòu)件8a以封閉通孔5a的方式配置的位置、以及在通孔5a的周邊處 的容器的外表面與蓋構(gòu)件13之間的位置進(jìn)行利用密封劑12的密封，所以，可以獲得具有足 夠氣密性的真空氣密性容器。進(jìn)而，在本實(shí)施例中，使蓋構(gòu)件13的盤狀的內(nèi)部的容積(即， 凹部的容積)與板構(gòu)件8a的體積和密封劑的體積之和相一致。因此，密封劑緊密地形成在 蓋構(gòu)件13的內(nèi)部(S卩，凹部)，獲得密封劑不溢流到蓋構(gòu)件13外部的外觀。進(jìn)而，與將整個(gè) 容器1配置在真空室內(nèi)的情況相比，當(dāng)連續(xù)地制造多個(gè)真空氣密性容器時(shí)，可以只在O型環(huán) 29的部位連接容器l，并且將凸緣和容器的內(nèi)部排氣，從而，需要排氣的和抽成真空的內(nèi)部 容積小。因此，由于可以縮短排氣所需的時(shí)間，可以縮短總的制造時(shí)間。
(實(shí)施例4) 這是借助部分改型的第二種實(shí)施形式制造圖像顯示裝置的氣密性容器的實(shí)施例。 下面，參照圖5A至5E〃 、9和13說明本實(shí)施例。 在本實(shí)施例中，如圖13所示，陽極28設(shè)置在起著外殼作用的容器1的內(nèi)部，由導(dǎo) 電性材料構(gòu)成的起著端子單元作用的彈簧端子27設(shè)置在具有突起的板構(gòu)件8a上。順便提 及，應(yīng)當(dāng)指出，除了設(shè)置有彈簧端子27以及板構(gòu)件和蓋構(gòu)件的材料分別不同之外，本實(shí)施 例中的結(jié)構(gòu)與實(shí)施例2的類似。如圖9所示，將容器1保持在真空排氣室31中，利用具有 渦輪分子泵和干式渦旋泵的排氣單元22將該真空排氣室31排氣抽成真空。加熱器19a和 19b作為加熱單元包含在真空排氣室31內(nèi)。進(jìn)而，如圖5A至5E〃和13所示，容器1具有 經(jīng)由支承框4相互對向的面板2和后面板3。進(jìn)而，在具有通孔的后面板3的內(nèi)表面上形成 表面導(dǎo)電的電子發(fā)射器件(未示出)，在面板2的內(nèi)表面上形成陽極28和發(fā)光構(gòu)件(未示 出)。進(jìn)而，形成外殼(容器1)，使得表面導(dǎo)電電子發(fā)射器件、陽極和發(fā)光構(gòu)件配置在該外 殼內(nèi)。容器1在其下表面上具有直徑為4mm的通孔5a，從孔的外部到陽極的距離為3. 4mm。
在圖5A至5E〃禾P 13中，作為蓋構(gòu)件13，準(zhǔn)備直徑10mm、厚度500iim的Fe-Ni合 金。在蓋構(gòu)件13的中央設(shè)置凹入部(凹槽)。凹入部(凹槽)具有7. 5mm的直徑和0. 5mm 的深度。在蓋構(gòu)件13的側(cè)壁132上設(shè)置四個(gè)槽100，每個(gè)槽具有約2mm的長度和寬度尺寸。 在蓋構(gòu)件13上，設(shè)置成形為具有7mm的直徑和0. 4mm的厚度的由In制成的密封劑12。在密封劑12上，層疊Fe-Ni合金的板構(gòu)件8a，所述板構(gòu)件8a具有5mm的直徑和0. 3mm的厚 度，在其中央部具有直徑lmm且高度lmm的突起18。這里，將利用導(dǎo)電材料制成的彈簧端子 27焊接到突起的上部。從而，準(zhǔn)備好疊層體16。彈簧端子的長度為4mm。旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動 機(jī)構(gòu)23裝配有工作臺24，所述工作臺24能夠被彈簧常數(shù)約為1N/mm的彈簧構(gòu)件25在豎直 向上的方向上施加推壓力以便進(jìn)行動作。然后，將置于工作臺24上的疊層體16配置在真 空排氣室31內(nèi)。由于在疊層體16的蓋構(gòu)件13上設(shè)置凹入部(凹槽)，所以能夠進(jìn)行板構(gòu) 件8a和密封劑12的定位。
工序(a) 最初，利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23，將疊層體16配置在不被加熱器19a和19b加 熱的位置。接著，操作排氣單元22，經(jīng)由通孔5a將真空排氣室31的內(nèi)部排氣，使容器l內(nèi) 部的真空度降低到等于或者小于1X10—4Pa的水平。與排氣工序相一致，使加熱器19a和 19b工作，利用加熱器19a和19b將容器1在35(TC加熱一小時(shí)，以便將容器1內(nèi)的附著氣 體排氣。之后，將加熱器19a和19b和容器1自然冷卻到IO(TC。
工序(b) 利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23將疊層體16移動到緊靠通孔5a下方的位置。接著， 在真空排氣室31的內(nèi)部被持續(xù)地排氣的同時(shí)，利用加熱器19a和19b進(jìn)行再加熱工序。因 此，將容器1、包括彈簧構(gòu)件25的工作臺24和疊層體16的各個(gè)構(gòu)件分別加熱到等于或者低 于In的熔融溫度，即加熱到等于或低于IO(TC，使之與容器1具有相同的溫度。
工序(c) 在板構(gòu)件8a的突起18被插入于通孔5a內(nèi)的狀態(tài)下，利用旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23 將由工作臺24保持的疊層體16緩慢地向上移動，直到板構(gòu)件8a與通孔5a的周邊接觸為 止。接著，以lmm/sec的速度將旋轉(zhuǎn)/豎直運(yùn)動機(jī)構(gòu)23向上移動5mm，使得板構(gòu)件8a被彈 簧構(gòu)件25推壓。
工序(d) 利用加熱器19a和19b，以3°C /min的速率，將容器1和各個(gè)構(gòu)件的溫度上升到 16(TC，該溫度等于或高于In的熔融溫度。并且，當(dāng)In被熔融時(shí)，由于各個(gè)構(gòu)件被彈簧構(gòu)件 25持續(xù)地向通孔5a推壓，所以，即使密封劑12隨著In的熔融而變形，密封劑也不流入通 孔，借此，容器1被密封。在這種情況下，如上面所述，由于彈簧端子27的長度和板構(gòu)件的 突起18的長度之和大于后面板的外表面與陽極之間的距離，所以，在縮短1. 6mm的彈簧構(gòu) 件27與陽極28接觸的狀態(tài)下，起著端子單元的作用的彈簧構(gòu)件27被固定。
之后，在疊層體16被彈簧構(gòu)件25推壓的同時(shí)，將溫度冷卻到室溫。然后，將真空 排氣室13的內(nèi)部凈化，將制造的容器1從真空排氣室31內(nèi)取出。 正如上面描述的那樣，在所制造的氣密性容器中，在蓋構(gòu)件13與容器1的外表面 6之間緊密地形成厚度為300iim的In。進(jìn)而，由于在工序(c)和(d)中，連續(xù)地進(jìn)行利用 彈簧構(gòu)件的推壓，所以，在起著密封劑12的作用的In在工序(d)中被熔融和變形的同時(shí)， 板構(gòu)件8a被持續(xù)地向通孔5a的周邊推壓。結(jié)果，能夠防止密封劑12流入通孔5a。另外， 由于板構(gòu)件8a和通孔5a的周邊以及蓋構(gòu)件13和通孔5a的周邊兩個(gè)位置被密封，所以，能 夠獲得具有足夠的氣密性的真空氣密性容器。 按照這種方式，可以獲得其內(nèi)部已經(jīng)被排氣抽成真空、其內(nèi)具有表面導(dǎo)電的電子發(fā)射器件的成像裝置。順便提及，由導(dǎo)電材料制成的彈簧端子27被保持在彈簧端子27與圖 像顯示裝置中的陽極28接觸的狀態(tài)。進(jìn)而，由于與彈簧端子27焊接的板構(gòu)件8a是Fe-Ni 合金，密封劑是In，蓋構(gòu)件13也是Fe-Ni合金，所以，蓋構(gòu)件13和陽極28是導(dǎo)電性的。在 本實(shí)施例中，在真空氣密性容器的制造中，在將容器密封的同時(shí)，可以制成通向真空容器內(nèi) 部的導(dǎo)電電極。順便提及，在本實(shí)施例中，利用將板構(gòu)件、密封劑和蓋構(gòu)件疊層獲得的疊層 體制造圖像顯示裝置的外殼。但是，制造方法并不局限于此。即，本方法也可以應(yīng)用于在第 一種實(shí)施形式中描述的方法，在這種情況下，可以獲得同樣的效果。 盡管參照示范性的實(shí)施形式對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但是，應(yīng)當(dāng)理解，本發(fā)明并不局 限于所揭示的示范性的實(shí)施形式。下面的權(quán)利要求的范圍給出了最廣泛的解釋，本發(fā)明包 括所有的改型和等價(jià)的結(jié)構(gòu)和功能。
權(quán)利要求
一種氣密性容器的制造方法，包括通過設(shè)置在容器上的通孔將容器的內(nèi)部排氣；在內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器的外表面上配置板構(gòu)件，以便將該通孔封閉，所述板構(gòu)件在其周邊具有在板厚度方向上貫穿該板構(gòu)件的槽；以及通過以經(jīng)由密封劑覆蓋板構(gòu)件的方式配置蓋構(gòu)件、并且經(jīng)由密封劑將所配置的蓋構(gòu)件和容器的外表面接合，將容器密封，其中，密封工序包括在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得密封劑經(jīng)由所述槽位于蓋構(gòu)件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。
2. —種氣密性容器的制造方法，包括 通過設(shè)置在容器上的通孔將容器的內(nèi)部排氣；在內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器的外表面上配置板構(gòu)件，以便將該通孔封閉；以及 通過以經(jīng)由密封劑覆蓋板構(gòu)件的方式配置具有板部和側(cè)壁的蓋構(gòu)件，并且通過經(jīng)由密 封劑將所配置的蓋構(gòu)件和容器的外表面接合，對所述容器進(jìn)行密封，所述側(cè)壁沿著所述板 部的周邊設(shè)置并且在內(nèi)表面上具有沿著所述側(cè)壁的高度方向延伸的槽，其中，密封工序包括在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得密封劑經(jīng)由所 述槽位于蓋構(gòu)件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。
3. —種氣密性容器的制造方法，包括 通過設(shè)置在容器上的通孔將容器的內(nèi)部排氣；準(zhǔn)備疊層體，在所述疊層體中，將板構(gòu)件和蓋構(gòu)件以在所述板構(gòu)件與所述蓋構(gòu)件之間 夾有密封劑的狀態(tài)層疊起來；以及通過將疊層體向內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器的外表面推壓以使得通孔被板構(gòu)件覆蓋，并且 通過將蓋構(gòu)件和容器的外表面經(jīng)由密封劑相互接合，對所述容器進(jìn)行密封，其中，所述蓋構(gòu)件具有板部和側(cè)壁，所述側(cè)壁沿著板部的周邊延伸且在其內(nèi)表面上具 有沿著側(cè)壁的高度方向延伸的槽，并且，所述密封工序包括在疊層體中，在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得密 封劑經(jīng)由所述槽位于蓋構(gòu)件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。
4. 如權(quán)利要求1所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于，所述板構(gòu)件是圓形的，所 述槽以一定的角度間隔位于板構(gòu)件的周邊。
5. 如權(quán)利要求2所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于，所述蓋構(gòu)件的側(cè)壁是圓 筒狀的，所述槽以一定的角度間隔位于所述側(cè)壁上。
6. 如權(quán)利要求1所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于，還包括在使密封劑變形 之前對所述板構(gòu)件和所述蓋構(gòu)件中的至少一個(gè)進(jìn)行加熱。
7. 如權(quán)利要求l所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于，使密封劑變形包括隨著 圍繞平行于推壓密封劑的方向的軸線旋轉(zhuǎn)蓋構(gòu)件，由蓋構(gòu)件推壓密封劑。
8. 如權(quán)利要求1所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于， 所述板構(gòu)件具有能夠插入所述通孔的突起，以及在所述突起被插入于所述通孔內(nèi)的狀態(tài)下，使所述板構(gòu)件與容器的外表面接觸。
9. 如權(quán)利要求1所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于，所述蓋構(gòu)件的平面面積 大于所述板構(gòu)件的平面面積。
10. 如權(quán)利要求3所述的氣密性容器的制造方法，其特征在于，在排氣過程中，將具有比通孔大的孔徑的排氣管連接到通孔上，并且經(jīng)由連接的排氣 管將所述容器的內(nèi)部排氣，并且，在疊層體的配置過程中，通過沿著排氣管移動疊層體，將設(shè)置在排氣管內(nèi)的疊層體配 置成將通孔封閉。
11. 一種圖像顯示裝置的制造方法，包括利用如權(quán)利要求1所述的氣密性容器的制造 方法制造其內(nèi)部被抽真空的外殼。
12. 如權(quán)利要求11所述的圖像顯示裝置的制造方法，其特征在于，在外殼中還配置陽極，所述板構(gòu)件具有包括導(dǎo)電材料的端子部，并且 在端子部與所述陽極接觸的狀態(tài)下，進(jìn)行密封。
全文摘要
在包括利用蓋密封通孔的氣密性容器的制造方法中，確保密封性能并抑制密封劑流入通孔。所述方法包括以下工序(a)通過設(shè)置在容器上的通孔將容器內(nèi)部排氣；(b)在內(nèi)部已經(jīng)被排氣的容器的外表面上配置板構(gòu)件，以便將該通孔封閉，所述板構(gòu)件在其周邊具有在板厚度方向上貫穿所述板構(gòu)件的槽；以及(c)以經(jīng)由密封劑覆蓋板構(gòu)件的方式配置蓋構(gòu)件，并且經(jīng)由密封劑將蓋構(gòu)件和容器的外表面接合，其中，密封工序包括在隨著用蓋構(gòu)件推壓板構(gòu)件而使密封劑變形、使得密封劑經(jīng)由所述槽位于蓋構(gòu)件與容器的外表面之間之后，將密封劑硬化。
文檔編號H01J9/00GK101789345SQ20101000541
公開日2010年7月28日 申請日期2010年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月23日
發(fā)明者上口欣也, 中澤友則, 中西宏一郎, 伊藤靖浩, 小柳和夫, 川瀨俊光, 長谷川光利 申請人:佳能株式會社