專利名稱:采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種熒光燈圓排機(jī),具體是涉及一種采用串聯(lián)式羅茨泵組在圓排 機(jī)上獲得真空的熒光燈圓排機(jī)抽氣系統(tǒng)。
背景技術(shù):
目前,應(yīng)用于熒光燈圓排機(jī)的抽氣系統(tǒng),主要存在以下缺陷1、能耗大,設(shè)備投資大,生產(chǎn)成本高;2、圓排機(jī)抽氣效率低,抽真空效果較差;3、設(shè)備龐大,占用了較多生產(chǎn)空間,生產(chǎn)效率低。基于對(duì)上述缺陷的改進(jìn),作出本實(shí)用新型。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種抽氣效率高、成本低、空間省的采用串聯(lián)式羅茨泵 組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng)。本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案如下,一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),包括與圓排機(jī)的中心盤(pán)出氣支路密 封連接的引氣支管,其特征在于還包括有多通路抽氣口儲(chǔ)罐,多通路抽氣口儲(chǔ)罐與引氣支 管相連,第一羅茨泵與多通路抽氣口儲(chǔ)罐相連,第二羅茨泵與第一羅茨泵相連,真空泵與第 二羅茨泵相連,在真空泵上設(shè)有出氣口。進(jìn)一步地所述的第一羅茨泵排氣量大于第二羅茨泵。所述的引氣支管設(shè)置有四個(gè),分別焊接于多通路抽氣口儲(chǔ)罐上。多通路抽氣口儲(chǔ)罐、第一羅茨泵、第二羅茨泵、真空泵之間皆通過(guò)真空管道依次串 聯(lián)連接并密封。[0017]所述的真空管道采用金屬硬管或金屬波紋管。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型的一種采用羅茨泵組和真空泵串聯(lián)使用 在圓排機(jī)上獲得真空的熒光燈圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),采用至少不小于一套二種排氣量不同的羅 茨泵,采用真空管道串聯(lián)方式連接組成,前置有真空泵,進(jìn)氣管道與圓排機(jī)旋轉(zhuǎn)中心盤(pán)下出 氣口單獨(dú)連接,形成抽氣回路;且在羅茨泵的串聯(lián)安裝方式上采用大排量——小排量—— 真空泵的結(jié)構(gòu)排列。經(jīng)實(shí)踐證明,本實(shí)用新型是一種既節(jié)約能耗、又提高排氣機(jī)抽氣效率、 獲得較好真空效果的抽氣系統(tǒng),減少了設(shè)備投資、節(jié)約了生產(chǎn)空間、提高了熒光燈內(nèi)的真空 度,從而實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的高質(zhì)量。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1所示,本實(shí)用新型的一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),采用羅 茨泵組和真空泵串聯(lián)使用,包括多通路抽氣口儲(chǔ)罐1、大型號(hào)羅茨泵2、小型號(hào)羅茨泵3、真空泵4及中間連接的真空管道5、真空管道6、真空管道7組成。在多通路抽氣口儲(chǔ)罐1上 焊接有不少于一個(gè)的引氣支管8,該引氣支管8分別與圓排機(jī)的中心盤(pán)出氣支路密封連接, 通過(guò)真空管道5、真空管道6、真空管道7將多通路抽氣口儲(chǔ)罐1與大型號(hào)羅茨泵2、小型號(hào) 羅茨泵3、真空泵4之間依次串聯(lián)連接并密封,形成抽氣管路。其中,大型號(hào)羅茨泵2通過(guò) 真空管道5與多通路抽氣口儲(chǔ)罐1相連,小型號(hào)羅茨泵3通過(guò)真空管道6與大型號(hào)羅茨泵 2相連,真空泵4通過(guò)真空管道7與小型號(hào)羅茨泵3相連,在真空泵4上設(shè)有出氣口。作為上述技術(shù)方案的替換方案多通路抽氣口儲(chǔ)罐1上的引氣支管8焊接有四個(gè) 引氣支管8。連接多通路抽氣口儲(chǔ)罐1與大型號(hào)羅茨泵2、小型羅茨泵3、真空泵4之間的真空 管道可以采用金屬硬管連接,也可以采用金屬波紋管連接。
權(quán)利要求1.一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),包括與圓排機(jī)的中心盤(pán)出氣支路密封 連接的引氣支管,其特征在于還包括有多通路抽氣口儲(chǔ)罐,多通路抽氣口儲(chǔ)罐與引氣支管 相連,第一羅茨泵與多通路抽氣口儲(chǔ)罐相連,第二羅茨泵與第一羅茨泵相連,真空泵與第二 羅茨泵相連,在真空泵上設(shè)有出氣口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),其特征在于 所述的第一羅茨泵排氣量大于第二羅茨泵。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),其特征在于 所述的引氣支管設(shè)置有四個(gè),分別焊接于多通路抽氣口儲(chǔ)罐上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),其特征在 于多通路抽氣口儲(chǔ)罐、第一羅茨泵、第二羅茨泵、真空泵之間皆通過(guò)真空管道依次串聯(lián)連 接并密封。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),其特征在于 所述的真空管道采用金屬硬管或金屬波紋管。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),具體是指一種采用串聯(lián)式羅茨泵組的圓排機(jī)抽氣系統(tǒng),包括與圓排機(jī)的中心盤(pán)出氣支路密封連接的引氣支管,其特征在于還包括有多通路抽氣口儲(chǔ)罐,多通路抽氣口儲(chǔ)罐與引氣支管相連,第一羅茨泵與多通路抽氣口儲(chǔ)罐相連,第二羅茨泵與第一羅茨泵相連,真空泵與第二羅茨泵相連,在真空泵上設(shè)有出氣口。本實(shí)用新型采用大排量——小排量——真空泵的結(jié)構(gòu)排列,節(jié)約了能耗,提高了排氣機(jī)抽氣效率,獲得較好真空效果的抽氣系統(tǒng),提高了熒光燈內(nèi)的真空度,從而實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的高質(zhì)量。
文檔編號(hào)H01J9/385GK201887008SQ20102067696
公開(kāi)日2011年6月29日 申請(qǐng)日期2010年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月23日
發(fā)明者葉建慶 申請(qǐng)人:上虞極地亞電子設(shè)備有限公司