專利名稱：透射電鏡微柵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種透射電鏡微柵，尤其涉及一種基于碳納米管的透射電鏡微柵。
背景技術(shù)：
在透射電子顯微鏡中，非晶碳支持膜(微柵)是用于承載粉末樣品，進行透射電子顯微鏡高分辨像(HRTEM)觀察的重要工具。隨著納米材料研究的不斷發(fā)展，微柵在納米材料的電子顯微學表征領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛?，F(xiàn)有技術(shù)中，該應(yīng)用于透射電子顯微鏡的微柵通常是在銅網(wǎng)或鎳網(wǎng)等金屬網(wǎng)格上覆蓋一層多孔有機膜，再蒸鍍一層非 晶碳膜制成的。然而，在實際應(yīng)用中，尤其在觀察尺寸為納米級的顆粒的透射電鏡高分辨像時，微柵中的非晶碳膜較厚，襯度噪聲較大，不利于納米顆粒的透射電鏡成像分辨率的提高?，F(xiàn)有技術(shù)提供一種透射電鏡微柵，包括一金屬網(wǎng)格和一碳納米管膜鋪設(shè)于該金屬網(wǎng)格表面。所述碳納米管膜包括多個碳納米管。該透射電鏡微柵使用時，待觀察的納米級顆粒吸附在碳納米管的管壁上，從而避免了非晶碳膜對透射電鏡照片分辨率的影響。然而，由于此種透射電鏡微柵采用碳納米管直接承載樣品，所以采用該透射電鏡微柵直接觀察碳納米管樣品時，會造成碳納米管樣品與透射電鏡微柵的碳納米管混淆，即該透射電鏡微柵無法直接用于觀察碳納米管樣品。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，確有必要提供一種可以直接用于觀察碳納米管樣品的透射電鏡微柵。—種透射電鏡微柵，其包括一金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體；其中進一步包括一碳納米管復(fù)合層覆蓋該金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，該碳納米管復(fù)合層包括一碳納米管膜結(jié)構(gòu)，以及一納米材料層包覆于該碳納米管膜結(jié)構(gòu)的表面。一種透射電鏡微柵，其包括一支撐體，該支撐體具有至少一通孔；其中進一步包括一碳納米管復(fù)合層覆蓋該支撐體的至少一通孔；該碳納米管復(fù)合層為多個碳納米管復(fù)合纖維構(gòu)成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，該碳納米管復(fù)合纖維包括碳納米管以及包覆于該碳納米管表面的納米材料層?！N透射電鏡微柵，其包括一支撐體，該支撐體具有至少一通孔；以及一碳納米管膜結(jié)構(gòu)覆蓋該至少一通孔；其中進一步包括一納米材料層包覆于該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面。相較于現(xiàn)有技術(shù)，所述的透射電鏡微柵進一步包括一納米材料層包覆于該碳納米管表面，所以可以直接用于觀察碳納米管樣品。


圖I為本發(fā)明第一實施例的透射電鏡微柵的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明第一實施例的透射電鏡微柵中的碳納米管復(fù)合層的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明第一實施例的透射電鏡微柵中的碳納米管復(fù)合層的掃描電鏡照片。
圖4為本發(fā)明第一實施例的透射電鏡微柵中的碳納米管膜的掃描電鏡照片。圖5為圖4中的碳納米管膜中的碳納米管片段的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本發(fā)明第一實施例的透射電鏡微柵中采用的多層交叉設(shè)置的碳納米管膜的掃描電鏡照片。圖7為本發(fā)明第二實施例的透射電鏡微柵的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8為本發(fā)明第二實施例的透射電鏡微柵中的碳納米管復(fù)合層的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9為本發(fā)明第二實施例的透射電鏡微柵中采用的非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線的掃描電鏡照片。 圖10為本發(fā)明第二實施例的透射電鏡微柵中采用的扭轉(zhuǎn)的碳納米管線的掃描電鏡照片。主要元件符號說明
邊射電鏡微柵 1100，200支撐體110 —
通孔TTF
￥納米管復(fù)合層_ 120，220
碳納米管_124_
巌納米管線 —224_納米材料層126，226 —
微孔1^2，222
管片段 |l23
如下具體實施方式
將結(jié)合上述附圖進一步說明本發(fā)明。
具體實施例方式下面將結(jié)合附圖及具體實施例對本發(fā)明提供的透射電鏡微柵及其制備方法作進一步的詳細說明。請參閱圖I至圖3，本發(fā)明第一實施例提供一種透射電鏡微柵100，其包括一支撐體110及一碳納米管復(fù)合層120。該碳納米管復(fù)合層120層疊設(shè)置在該支撐體110的表面。該碳納米管復(fù)合層120包括多個碳納米管124以及包覆于該多個碳納米管124表面的納米材料層126。該多個碳納米管124相互連接組成一自支撐的碳納米管膜結(jié)構(gòu)，該納米材料層126形成在碳納米管124的表面。該碳納米管復(fù)合層120具有多個微孔122。所述碳納米管復(fù)合層120的多個碳納米管124相互交叉以定義多個微孔122。該碳納米管復(fù)合層120中的碳納米管124可以無序或有序的方式排列。當該碳納米管124無序排列時，該多個碳納米管124可相互纏繞的形成所述碳納米管復(fù)合層120。當該碳納米管124有序排列時，該多個碳納米管124可分別沿幾個確定的方向延伸，并相互交叉。可以理解，該碳納米管復(fù)合層120中碳納米管124的排列方式不限，只需由多個碳納米管124相互搭接形成多個微孔122即可。所述碳納米管復(fù)合層120為一宏觀結(jié)構(gòu)，且所述碳納米管復(fù)合層120為一自支撐的結(jié)構(gòu)。所謂“自支撐”指該碳納米管復(fù)合層120不需要大面積的載體支撐，而只要相對兩邊提供支撐力即能整體上懸空而保持自身狀態(tài)，即將該碳納米管復(fù)合層120置于(或固定于)間隔特定距離設(shè)置的兩個載體上時，位于兩個載體之間的碳納米管復(fù)合層120能夠懸空保持自身狀態(tài)。所述碳納米管復(fù)合層120中的碳納米管膜結(jié)構(gòu)亦為一自支撐結(jié)構(gòu)，優(yōu)選地，該碳納米管膜結(jié)構(gòu)為一由多個碳納米管124組成的純碳納米管膜結(jié)構(gòu)。所謂“純碳納米管膜結(jié)構(gòu)”指所述碳納米管復(fù)合層120在整個制備過程中無需任何化學修飾或酸化處理，不含有任何羧基等官能團修飾。所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)可以包括碳納米管膜或碳納米管線。所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)可以為一單層碳納米管膜或多個層疊設(shè)置的碳納米管膜。該碳納米管膜結(jié)構(gòu)中碳納米管膜的層數(shù)不限，可以為2層 10層，優(yōu)選為2層I層。具體地，所述碳納米管膜是由若干碳納米管組成的自支撐結(jié)構(gòu)。所述若干碳納米管為沿同一方向擇優(yōu)取向延伸。所述擇優(yōu)取向指在碳納米管膜中大多數(shù)碳納米管的整體延伸方向基本朝同一方向。而且，所述大多數(shù)碳納米管的整體延伸方向基本平行于碳納米管膜的表面。進一步地，所述碳納米管膜中多數(shù)碳納米管是通過范德華力首尾相連。 具體地，所述碳納米管膜中基本朝同一方向延伸的大多數(shù)碳納米管中每一碳納米管與在延伸方向上相鄰的碳納米管通過范德華力首尾相連。當然，所述碳納米管膜中存在少數(shù)隨機排列的碳納米管，這些碳納米管不會對碳納米管膜中大多數(shù)碳納米管的整體取向排列構(gòu)成明顯影響。所述碳納米管膜中基本朝同一方向延伸的多數(shù)碳納米管，并非絕對的直線狀，可以適當?shù)膹澢?；或者并非完全按照延伸方向上排列，可以適當?shù)钠x延伸方向。因此，不能排除碳納米管膜的基本朝同一方向延伸的多數(shù)碳納米管中并列的碳納米管之間可能存在部分接觸。請參閱圖4及圖5，具體地，所述碳納米管膜包括多個連續(xù)且定向延伸的碳納米管片段123。該多個碳納米管片段123通過范德華力首尾相連。每一碳納米管片段123包括多個相互平行的碳納米管124，該多個相互平行的碳納米管124通過范德華力緊密結(jié)合。該碳納米管片段123具有任意的長度、厚度、均勻性及形狀。所述碳納米管膜可通過從一碳納米管陣列中選定部分碳納米管后直接拉取獲得。所述碳納米管膜的厚度為I納米 100微米，寬度與拉取出該碳納米管膜的碳納米管陣列的尺寸有關(guān)，長度不限。所述碳納米管膜中相鄰的碳納米管之間存在微隙，即微小的間隙，且該微隙的尺寸小于10微米。優(yōu)選地，所述碳納米管膜的厚度為100納米 10微米。該碳納米管膜中的碳納米管124沿同一方向擇優(yōu)取向延伸。所述碳納米管膜及其制備方法具體請參見申請人于2007年2月9日申請的，于2010年5月26日公告的第CN101239712B號中國公開專利“碳納米管膜結(jié)構(gòu)及其制備方法”。為節(jié)省篇幅，僅引用于此，但上述申請所有技術(shù)揭露也應(yīng)視為本發(fā)明申請技術(shù)揭露的一部分。請參閱圖6，當所述碳納米管復(fù)合層120包括層疊設(shè)置的多層碳納米管膜時，相鄰兩層碳納米管膜中的碳納米管的延伸方向形成一交叉角度α，且α大于等于O度小于等于90度(0° ( α <90° )。本實施例中，所述碳納米管復(fù)合層120包括一由兩層碳納米管膜層疊設(shè)置成的碳納米管膜結(jié)構(gòu)，兩層碳納米管膜中的碳納米管124的延伸方向相互垂直。所述納米材料層126為一連續(xù)的層狀結(jié)構(gòu)，包括多個連續(xù)的納米顆粒形成一層狀結(jié)構(gòu)。所述納米材料層126包裹在碳納米管124的表面與碳納米管124形成復(fù)合結(jié)構(gòu)，即碳納米管復(fù)合纖維。該碳納米管復(fù)合層120為該多個碳納米管復(fù)合纖維構(gòu)成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體。在碳納米管124的交叉位置，碳納米管124表面的納米材料層126連成一體，進一步將該相鄰的碳納米管124固定在一起，從而可提高整個碳納米管復(fù)合層120的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性，使得碳納米管124不易脫落。優(yōu)選地，所述納米材料層126連續(xù)地形成于碳納米管膜結(jié)構(gòu)中每個碳納米管124的表面。所述納米材料層126的材料為具有一定化學穩(wěn)定性的材料，為類金剛石、硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硼以及氮化硅等中的一種或多種。優(yōu)選地，所述納米材料層126采用無定型態(tài)的納米材料，以減少納米材料層126的晶格結(jié)構(gòu)對樣品觀測結(jié)果的影響。所述納米材料層126的厚度為I納米飛OO納米，優(yōu)選地，厚度為20納米 200納米。由于所述納米材料層126的厚度較小，并不會使得所述碳納米管124之間的微隙被完全填滿，因此，所述碳納米管復(fù)合層120具有多個微孔122?？梢岳斫?，由于碳納米管124的表面包覆一納米材料層126，所以碳納米管124之間的微隙尺寸減小，因此所述碳納米管復(fù)合層120的微孔122的尺寸小于所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)中碳納米管124之間的微隙尺寸，且小尺寸的微孔122數(shù)量較多。具體地，所述微孔122的尺寸為O. 5納米微米，且所述尺寸小于50納米的微孔122占總微孔122數(shù)量的60%以上，所述尺寸小于100納米的微孔122占總微孔122數(shù)量的80%以上。優(yōu)選地，所述尺寸小于50納米的微孔122占總微孔122數(shù)量的80%以上，所述尺寸小于100納米的微孔122占總微孔122數(shù)量的90%以上。所以該透射電鏡微柵100更適合對大量的尺度小于100納米的納米顆粒的分布進行觀察。所述納米材料層126可以通過物理氣相沉積法(PVD)或化學氣相沉積法(CVD)直接生長在碳納米管124表 面。本實施例中，所述納米材料層126為一類金剛石層。該類金剛石層將所述多個碳納米管124的表面全部包覆。優(yōu)選地，所述類金剛石層的厚度為I納米 100納米?？梢岳斫猓擃惤饎偸瘜涌梢蕴岣咚鎏技{米管復(fù)合層120的自支撐性和耐摩擦性。本實施例中，將一雙層垂直交叉層疊設(shè)置的碳納米管膜懸空設(shè)置于一反應(yīng)室內(nèi)，采用等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)直接在碳納米管124表面生長一類金剛石層。
所述支撐體110具有至少一個通孔，通常，該支撐體110可為一網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體。具體地，所述支撐體110可為一具有一個或多個通孔112的金屬片。該支撐體110可為一透射電鏡中常用的金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體。該金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體的材料為銅或其他金屬材料。所述碳納米管復(fù)合層120基本覆蓋該支撐體110，從而使該碳納米管復(fù)合層120能夠通過該支撐體110部分懸空設(shè)置，本實施例中，所述碳納米管復(fù)合層120具有與該支撐體Iio相等的面積及形狀，并完全覆蓋該支撐體110的所有通孔112。另外，所述支撐體110的通孔112的孔徑尺寸可以遠大于所述碳納米管復(fù)合層120的微孔122的尺寸。本實施例中，該支撐體的通孔112的孔徑尺寸為10微米 2毫米?？梢岳斫?，該透射電鏡微柵100也可采用其他材料，如陶瓷、玻璃或石英等制成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體代替金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體作為所述支撐體110。本實施例透射電鏡微柵100在應(yīng)用時，待觀察的樣品被設(shè)置于該透射電鏡微柵100表面。具體地，該樣品設(shè)置于覆蓋該碳納米管復(fù)合層120的微孔122處，且與納米材料層126表面接觸。該樣品可以為納米顆粒，如納米線、納米球或納米管等。該樣品的材料可以為碳材料、金屬材料、陶瓷、半導體材料等。該樣品的尺寸可小于I微米，優(yōu)選為100納米以下。當所述碳納米管復(fù)合層120中碳納米管124為垂直交叉設(shè)置時，使得碳納米管復(fù)合層120定義有多個矩形微孔122，從而在使用透射電鏡微柵100觀測樣品顆粒時對樣品提供一參考坐標，方便樣品的定位及識別。請參閱圖7及圖8，本發(fā)明第二實施例提供一種透射電鏡微柵200，其包括一支撐體110以及一碳納米管復(fù)合層220。該碳納米管復(fù)合層220層疊設(shè)置在該支撐體110的表面。本發(fā)明第二實施例提供的透射電鏡微柵200與本發(fā)明第一實施例提供的透射電鏡微柵100的結(jié)構(gòu)基本相同，其區(qū)別在于，該碳納米管復(fù)合層220包括多個碳納米管線224以及包覆于該多個碳納米管線224表面的納米材料層226。該多個碳納米管線224組成一自支撐的碳納米管膜結(jié)構(gòu)，該納米材料層226形成在碳納米管線224的表面。該碳納米管復(fù)合層220具有多個微孔222。所述碳納米管復(fù)合層220包括多個相互交叉設(shè)置的碳納米管線224。優(yōu)選地，所述碳納米管復(fù)合層220包括兩層交叉設(shè)置的碳納米管線224以形成多個微孔222。每層中的碳納米管線224平行且緊密排列，不同層的碳納米管線224相互垂直。所述碳納米管線224可以為非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線或扭轉(zhuǎn)的碳納米管線。所述非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線與扭轉(zhuǎn)的碳納米管線均為自支撐結(jié)構(gòu)。具體地，請參閱圖9，該非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線包括多個沿平行于該非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線長度方向延伸的碳納米管。具體地，、該非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線包括多個碳納米管片段，該多個碳納米管片段通過范德華力首尾相連，每一碳納米管片段包括多個相互平行并通過范德華力緊密結(jié)合的碳納米管。該碳納米管片段具有任意的長度、厚度、均勻性及形狀。該非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線長度不限，直徑為O. 5納米 100微米。非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線為將碳納米管膜通過有機溶劑處理得到。該有機溶劑為揮發(fā)性有機溶劑，如乙醇、甲醇、丙酮、二氯乙烷或氯仿，本實施例中采用乙醇。具體地，將有機溶劑浸潤所述碳納米管膜的整個表面，在揮發(fā)性有機溶劑揮發(fā)時產(chǎn)生的表面張力的作用下，碳納米管膜中的相互平行的多個碳納米管通過范德華力緊密結(jié)合，從而使碳納米管膜收縮為一非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線。通過有機溶劑處理的非扭轉(zhuǎn)的碳納米管線與未經(jīng)有機溶劑處理的碳納米管膜相比，比表面積減小，粘性降低。所述扭轉(zhuǎn)的碳納米管線為采用一機械力將所述碳納米管膜兩端沿相反方向扭轉(zhuǎn)獲得。請參閱圖10，該扭轉(zhuǎn)的碳納米管線包括多個繞該扭轉(zhuǎn)的碳納米管線軸向螺旋延伸的碳納米管。具體地，該扭轉(zhuǎn)的碳納米管線包括多個碳納米管片段，該多個碳納米管片段通過范德華力首尾相連，每一碳納米管片段包括多個相互平行并通過范德華力緊密結(jié)合的碳納米管。該碳納米管片段具有任意的長度、厚度、均勻性及形狀。該扭轉(zhuǎn)的碳納米管線長度不限，直徑為O. 5納米 100微米。進一步地，可采用一揮發(fā)性有機溶劑處理該扭轉(zhuǎn)的碳納米管線。在揮發(fā)性有機溶劑揮發(fā)時產(chǎn)生的表面張力的作用下，處理后的扭轉(zhuǎn)的碳納米管線中相鄰的碳納米管通過范德華力緊密結(jié)合，使扭轉(zhuǎn)的碳納米管線的比表面積減小，密度及強度增大。所述碳納米管線及其制備方法請參見申請人于2002年9月16日申請的，于2008年8月20日公告的第CN100411979C號中國公告專利“一種碳納米管繩及其制造方法”，申請人清華大學，鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司，以及于2005年12月16日申請的，于2009年6月17日公告的第CN100500556C號中國公告專利“碳納米管絲及其制作方法”，申請人清華大學，鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司。所述納米材料層226為一連續(xù)的層狀結(jié)構(gòu)，包括多個連續(xù)的納米顆粒形成一層狀結(jié)構(gòu)包裹在碳納米管線224的表面與碳納米管線224復(fù)合。所述相鄰碳納米管線224的交叉處，相鄰碳納米管線224表面的納米材料層226連成一體，以將該相鄰碳納米管線224固定在一起，從而可提高整個碳納米管復(fù)合層220的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。所述納米材料層226可以通過物理氣相沉積法(PVD)或化學氣相沉積法(CVD)直接生長在碳納米管線224表面?？梢岳斫?，先將本發(fā)明第一實施例的碳納米管復(fù)合層120通過機械扭轉(zhuǎn)或可揮發(fā)性有機溶劑處理而形成一復(fù)合碳納米管線，再將多個復(fù)合碳納米管線交叉設(shè)置也可以得到該碳納米管復(fù)合層220。此時，所述納米材料層226可以包覆于碳納米管線224中的每個碳納米管的表面。本實施例中，所述納米材料層226為一類金剛石層。本發(fā)明實施例提供的透射電鏡微柵具有以下優(yōu)點。第一，由于本實施例透射電鏡微柵的碳納米管表面包覆一層非碳納米管的納米材料層，因此該透射電鏡微柵既能利用碳納米管膜的優(yōu)點，在應(yīng)用透射電鏡觀測樣品時可以對樣品快速定位，且對納米顆粒樣品的高分辨像影響很小，又可以直接用于觀察碳納米管樣品而不會造成碳納米管樣品與透射電鏡微柵的碳納米管混淆。第二，所述相鄰碳納米管的交叉處，不同碳納米管表面的納米材料層連成一體，以將該相鄰碳納米管固定在一起，從而提高了整個碳納米管復(fù)合層的牢固性，使得碳納米管不易脫落。第三，由于碳納米管的表面包覆一納米材料層，所以碳納米管之間的微孔尺寸較小，或者小尺寸的微孔數(shù)量較多。所以該透射電鏡微柵更適合對大量的尺度小于100納米的納米顆粒的分布進行觀察。另外，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可在本發(fā)明精神內(nèi)做其他變化，當然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。權(quán)利要求
1.一種透射電鏡微柵，其包括 一金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體； 其特征在于進一步包括一碳納米管復(fù)合層覆蓋該金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，該碳納米管復(fù)合層包括一碳納米管膜結(jié)構(gòu)，以及一納米材料層包覆于該碳納米管膜結(jié)構(gòu)的表面。
2.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管復(fù)合層與該金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體層疊設(shè)置。
3.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多個碳納米管通過范德華力相互連接組成一自支撐結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述納米材料層包覆于該每個碳納米管的表面。
5.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述納米材料層包覆整個碳納米管膜結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述納米材料層為一連續(xù)的層狀結(jié)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述納米材料層的厚度為I納米 500納米。
8.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管復(fù)合層具有多個微孔，微孔的內(nèi)壁被納米材料層包覆。
9.如權(quán)利要求8所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述多個微孔的尺寸為O.5納米 微米。
10.如權(quán)利要求9所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述尺寸小于50納米的微孔占總微孔數(shù)量的60%以上。
11.如權(quán)利要求9所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述尺寸小于100納米的微孔占總微孔數(shù)量的80%以上。
12.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述納米材料層的材料為類金剛石、硅、碳化硅、二氧化硅、氮化硼以及氮化硅中的一種或多種。
13.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括至少一碳納米管膜，該碳納米管膜包括多個基本沿同一方向擇優(yōu)取向延伸的碳納米管。
14.如權(quán)利要求13所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管膜中大多數(shù)碳納米管的整體延伸方向基本沿同一方向且平行于碳納米管膜的表面。
15.如權(quán)利要求14所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述大多數(shù)碳納米管中每一碳納米管與在延伸方向上相鄰的碳納米管通過范德華力首尾相連。
16.如權(quán)利要求14所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多層碳納米管膜交叉層疊設(shè)置。
17.如權(quán)利要求I所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括多個碳納米管線交叉設(shè)置。
18.如權(quán)利要求17所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管膜結(jié)構(gòu)包括兩層交叉設(shè)置的碳納米管線，每層中的碳納米管線平行排列，且不同層的碳納米管線相互垂直。
19.如權(quán)利要求17所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述碳納米管線表面被所述納米材料層包覆。
20.如權(quán)利要求17所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述多個碳納米管線中每個碳納米管的表面均被納米材料層包覆。
21.—種透射電鏡微柵,其包括 一支撐體，該支撐體具有至少一通孔； 其特征在于進一步包括一碳納米管復(fù)合層覆蓋該支撐體的至少一通孔；該碳納米管復(fù)合層為多個碳納米管復(fù)合纖維構(gòu)成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，該碳納米管復(fù)合纖維包括碳納米管以及包覆于該碳納米管表面的納米材料層。
22.—種透射電鏡微柵,其包括 一支撐體，該支撐體具有至少一通孔；以及 一碳納米管膜結(jié)構(gòu)覆蓋該至少一通孔； 其特征在于進一步包括一納米材料層包覆于該碳納米管膜結(jié)構(gòu)表面。
23.如權(quán)利要求22所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述通孔的孔徑為10微米毫米。
24.如權(quán)利要求22所述的透射電鏡微柵，其特征在于，所述支撐體的材料為金屬或陶瓷。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種透射電鏡微柵，其包括一金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體；其中進一步包括一碳納米管復(fù)合層覆蓋該金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，該碳納米管復(fù)合層包括一碳納米管膜結(jié)構(gòu)，以及一納米材料層包覆于該碳納米管膜結(jié)構(gòu)的表面。
文檔編號H01J37/20GK102737935SQ20111009268
公開日2012年10月17日 申請日期2011年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月14日
發(fā)明者范守善, 魏洋 申請人:清華大學, 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司