專利名稱：一種用于引出電極的滑動密封板裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝備離子注入機中引出電極的滑動密封板裝置，其直接針對于以往引出電極工作時由于導(dǎo)桿的空間移動而造成的對其內(nèi)部真空度的影響，能可靠保證引出電極內(nèi)部真空度的要求，為多方面具有一定真空度要求的應(yīng)用提供了方便。
背景技術(shù)：
離子注入機是半導(dǎo)體工藝中離子摻雜的典型設(shè)備，離子源產(chǎn)生需要摻雜的離子束，離子束再經(jīng)過質(zhì)量分析、校正、加速，傳輸?shù)教幱诎惺医K端工藝腔體的硅片表面。1.在晶片的離子注入工藝中，束流的穩(wěn)定性及其純度要求愈來愈高。而這種要求直接影響半導(dǎo)體領(lǐng)域整體的注入質(zhì)量，主要體現(xiàn)在以下幾個方面:2.在束流的注入中，離子劑量均勻的注入到晶片上。注入束流的不穩(wěn)定性會引起注入的失敗。3.對于注入工藝，低能量大速流的離子注入機是發(fā)展的方向，束流的均勻性要求也越來越高。4.在離子注入中，要求束流均勻性的同時，也要求加強束流的控制力，阻隔雜質(zhì)離子，從而防止因能量污染引發(fā)的失敗。5.隨著半導(dǎo)體集成電路制造工藝越來越微細化,對半導(dǎo)體制造設(shè)備的性能要求也就越來越高，此時要求具有較高的束流純度，從而避免在設(shè)備工作時對部件造成的損傷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了離子注入系統(tǒng)中一種用于引出電極的滑動密封板裝置，其直接針對于以往引出電極工作時由于導(dǎo)桿的空間移動而造成的對其內(nèi)部真空度的影響，能可靠保證引出電極內(nèi)部真空度的要求。本發(fā)明通過以下方案實現(xiàn):1.一種應(yīng)用于離子注入系統(tǒng)中引出電極的滑動密封板裝置，包含一族橢圓形的槽(共5條)，其中兩側(cè)及中間的三條槽用于安裝O型密封圈，且均使用橡膠材質(zhì)，可以使整個引出電極裝置可靠密封。2.一種應(yīng)用于離子注入系統(tǒng)中引出電極的滑動密封板裝置，另外兩條槽內(nèi)側(cè)各設(shè)置一個與直通卡套終端接頭(I)相連的通孔，用于在引出電極工作時接通差分抽氣，可以可靠的保證其內(nèi)部的真空度要求。此滑動密封板所呈現(xiàn)的優(yōu)勢體現(xiàn)在:1.密封性能更好，并且可以實時滿足引出電極內(nèi)部的真空度要求；I1.結(jié)構(gòu)簡單，便于加工制造。本發(fā)明解決了引出電極工作時其內(nèi)部真空度不能滿足要求的問題，實現(xiàn)了可靠保證引出電極工作時其內(nèi)部真空度的要求。


圖1為引出電極的滑動密封板示意2為引出電極的滑動密封板裝配體
具體實施例方式本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造裝備離子注入機中引出電極的滑動密封板裝置，如圖1所示，這種裝置是一種能在束流引出時，由于四電機通過彈性聯(lián)軸器帶動絲桿運動從而間接帶動導(dǎo)桿做空間移動的過程中，保證引出電極內(nèi)部真空度要求的滑動密封板，該滑動密封板裝置包含一族橢圓形的槽(共5條)，其中兩側(cè)及中間的三條槽用于安裝O型密封圈，且均使用橡膠材質(zhì)，可以使整個引出電極裝置可靠密封。另外兩條槽內(nèi)側(cè)各設(shè)置一個與直通卡套終端接頭(I)相連的通孔，用于在引出電極工作時接通差分抽氣，可以可靠的保證其內(nèi)部的真空度要求。如圖2所示，為引出電極的滑動密封板裝配體:左右兩端各包含一個橫向安裝導(dǎo)軌，各通過三個螺釘固定；包含含有通孔的上下兩個固定塊，其中上側(cè)的固定塊(2)通過四個螺釘安裝固定帶減速箱的直流無刷小電機，下側(cè)固定塊(3)的通孔內(nèi)側(cè)安裝深溝球軸承，其內(nèi)側(cè)端部安裝有軸承隔套，并與鎖緊螺母一起固定絲桿。其中直流無刷小電機的軸通過上側(cè)固定塊(2)與下側(cè)固定塊(3)之間安裝的彈性聯(lián)軸器與絲桿相連，從而帶動絲桿穩(wěn)定平滑的運動；包含一個安裝導(dǎo)桿的固定裝置(4)，其內(nèi)側(cè)安裝直線滾動軸承，端部內(nèi)側(cè)安裝彈性擋圈，使導(dǎo)桿在絲桿的作用下穩(wěn)定平滑運動，最終獲得最佳的引出電場及最佳的引出束流；安裝導(dǎo)桿的固定裝置(4)左側(cè)設(shè)置兩個螺紋孔，用于安裝X向電位器安裝板，而正前方下側(cè)的兩個螺紋孔用于安裝固定塊，可連接水冷連接塊等。本發(fā)明的特定實施例已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。
權(quán)利要求
1.一種應(yīng)用于離子注入系統(tǒng)中引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于:包含一族橢圓形的槽(共5條)，其中兩側(cè)及中間的三條槽用于安裝O型密封圈，且均使用橡膠材質(zhì)，可以使整個引出電極裝置可靠密封。
2.如權(quán)利要求1所述的引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于:另外兩條槽內(nèi)側(cè)各設(shè)置一個與直通卡套終端接頭(I)相連的通孔，用于在引出電極工作時接通差分抽氣，可以可靠的保證其內(nèi)部的真空度要求。
3.一種應(yīng)用于離子注入系統(tǒng)中引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于:包含含有通孔的上下兩個固定塊，其中上側(cè)的固定塊(2)通過四個螺釘安裝固定帶減速箱的直流無刷小電機，下側(cè)固定塊⑶的通孔內(nèi)側(cè)安裝深溝球軸承，使絲桿穩(wěn)定平滑運動。
4.一種應(yīng)用于離子注入系統(tǒng)中引出電極的滑動密封板裝置，其特征在于:包含安裝導(dǎo)桿的固定裝置(4)，其通孔內(nèi)側(cè)安裝直線滾動軸承，使導(dǎo)桿在絲桿的作用下穩(wěn)定平滑運動，最終獲得最佳的引出電場及最佳的引出束流。
全文摘要
本發(fā)明公開了離子注入系統(tǒng)中一種用于引出電極的滑動密封板裝置，這種裝置是一種能在束流引出時，由于四電機通過彈性聯(lián)軸器帶動絲桿運動從而間接帶動導(dǎo)桿做空間移動的過程中，保證引出電極內(nèi)部真空度要求的滑動密封板，該滑動密封板裝置包含一族橢圓形的槽(共5條)，其中兩側(cè)及中間的三條槽用于安裝O型密封圈，另外兩條槽內(nèi)側(cè)各設(shè)置一個與直通卡套終端接頭相連的通孔，用于在引出電極工作時接通差分抽氣，可以可靠的保證其內(nèi)部的真空度要求。說明書對該裝置工作原理進行了詳細的說明，并給出了具體的實施方案。本發(fā)明涉及離子注入裝置，隸屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
文檔編號H01J37/02GK103187229SQ201110452428
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者吳巧艷 申請人:北京中科信電子裝備有限公司