專利名稱：掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，特別是掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置。
背景技術(shù)：
在分析測(cè)試領(lǐng)域，掃描電鏡的作用具有不可替代性，它具有操作方便、分析速度快的特性。但在某品牌掃描電鏡的使用過程中，樣品臺(tái)操縱桿經(jīng)常發(fā)生故障，故障描述如下 在對(duì)樣品臺(tái)進(jìn)行平面內(nèi)(X向、Y向)移動(dòng)時(shí)，操縱桿不能自動(dòng)回歸零位(零位即樣品臺(tái)靜止不動(dòng)時(shí)操縱桿所處的位置)，如果不注意，經(jīng)常發(fā)生樣品臺(tái)繼續(xù)向同一個(gè)方向以很低的速度移動(dòng)，導(dǎo)致二次電子像不能聚焦，影響圖像的清晰度和分析效果。另外，在放氣(vent)時(shí)，樣品臺(tái)自動(dòng)下降(自工作距離下降至Z向最低，便于在更換樣品時(shí)保護(hù)下極靴和樣品臺(tái))。如果樣品臺(tái)操縱桿未能歸零，就會(huì)導(dǎo)致樣品臺(tái)移至X向或 Y向的極限位置，在更換樣品打開樣品室的瞬間經(jīng)常導(dǎo)致樣品臺(tái)撞擊樣品室，容易損壞樣品臺(tái)的位置精度和自動(dòng)控制功能。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，其結(jié)構(gòu)合理，操作簡(jiǎn)便，在對(duì)掃描電鏡樣品進(jìn)行平面內(nèi)χ向、Y向移動(dòng)操作時(shí)，可以方便地實(shí)現(xiàn)操縱桿的歸零，可以避免掃描電鏡樣品臺(tái)移動(dòng)至極限位置，保護(hù)樣品臺(tái)的位置精度和自動(dòng)控制功能。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的一種掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，包括具有旋轉(zhuǎn)手柄的操縱桿，和與操縱桿相配合的樣品臺(tái)弧面座，在操縱桿的下端部固接著定位球，在旋轉(zhuǎn)手柄的側(cè)上部通過固接的支座鉸接著曲臂定位桿，曲臂定位桿的形狀為與具有旋轉(zhuǎn)手柄操縱桿側(cè)部輪廓形狀相適應(yīng)的曲拐形，曲拐上部折彎處設(shè)置的連接裝置與支座上的支撐軸鉸接，曲拐上部水平桿的端部為操作端，曲拐下部直立桿的下端固接著定位半球，在樣品臺(tái)弧面座的一側(cè)弧面上設(shè)置著定位孔，曲臂定位桿曲拐下部直立桿端部的定位半球與定位孔相配合。曲臂定位桿的形狀與具有旋轉(zhuǎn)手柄操縱桿側(cè)部的輪廓貼合，在對(duì)掃描電鏡樣品臺(tái)進(jìn)行平面內(nèi)(X向、Y向)移動(dòng)操作時(shí)，每一個(gè)操作動(dòng)作終止，食指按下曲臂定位桿的操作端， 使曲拐下部直立桿定位半球形向外移動(dòng)，卡入樣品臺(tái)弧面座一側(cè)弧面的定位孔內(nèi)，很方便地實(shí)現(xiàn)操縱桿的歸零，從而避免了掃描電鏡樣品臺(tái)移動(dòng)至極限位置。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)的掃描電鏡樣品臺(tái)平面內(nèi)移動(dòng)操縱桿輔助定位裝置操作簡(jiǎn)便，不影響樣品臺(tái)的X向、Y向移動(dòng)和平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)，更達(dá)到了避免原有操縱桿的故障，方便了掃描電鏡的操作。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，操作簡(jiǎn)便，在對(duì)掃描電鏡樣品進(jìn)行平面內(nèi)X向、Y向移動(dòng)操作時(shí)，很方便地實(shí)現(xiàn)了操縱桿的歸零，避免了掃描電鏡樣品臺(tái)移動(dòng)至極限位置，有效地保護(hù)了樣品臺(tái)的位置精度和自動(dòng)控制功能。
下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述，圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2的左視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為轉(zhuǎn)輪與支撐軸的裝配結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
一種掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，如圖1、圖2、圖3所示，包括具有旋轉(zhuǎn)手柄1的操縱桿2，和與操縱桿2相配合的樣品臺(tái)弧面座3，在操縱桿2的下端部固接著定位球8，在旋轉(zhuǎn)手柄1的側(cè)上部通過固接的支座6鉸接著曲臂定位桿5，曲臂定位桿5的形狀為與具有旋轉(zhuǎn)手柄操縱桿側(cè)部輪廓形狀相適應(yīng)的曲拐形，曲拐上部折彎處設(shè)置的連接裝置與支座6上的支撐軸7鉸接，曲拐上部水平桿的端部為操作端，曲拐下部直立桿的下端固接著定位半球9，在樣品臺(tái)弧面座3的一側(cè)弧面上設(shè)置著定位孔4，曲臂定位桿5曲拐下部直立桿端部的定位半球9與定位孔4相配合。曲臂定位桿5曲拐上端水平桿的端部設(shè)置著向上折彎的擋邊。如圖4所示，連接裝置的結(jié)構(gòu)為曲臂定位桿5的曲拐上部折彎處固接著轉(zhuǎn)輪10，轉(zhuǎn)輪10通過滾動(dòng)軸承安裝在支座的支撐軸7上。
權(quán)利要求1.一種掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，包括具有旋轉(zhuǎn)手柄(1)的操縱桿(2)，和與操縱桿(2)相配合的樣品臺(tái)弧面座(3)，在操縱桿(2)的下端部固接著定位球(8)，其特征是在旋轉(zhuǎn)手柄(1)的側(cè)上部通過固接的支座(6)鉸接著曲臂定位桿(5)，曲臂定位桿(5)的形狀為與具有旋轉(zhuǎn)手柄操縱桿側(cè)部輪廓形狀相適應(yīng)的曲拐形，曲拐上部折彎處設(shè)置的連接裝置與支座(6)上的支撐軸(7)鉸接，曲拐上部水平桿的端部為操作端，曲拐下部直立桿的下端固接著定位半球(9)，在樣品臺(tái)弧面座(3)的一側(cè)弧面上設(shè)置著定位孔(4)，曲臂定位桿(5)曲拐下部直立桿端部的定位半球(9)與定位孔(4)相配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，其特征是連接裝置的結(jié)構(gòu)為曲臂定位桿(5)的曲拐上部折彎處固接著轉(zhuǎn)輪(10)，轉(zhuǎn)輪(10)通過滾動(dòng)軸承安裝在支座的支撐軸(7)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，其特征是曲臂定位桿(5)曲拐上端水平桿的端部設(shè)置著向上折彎的擋邊。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種掃描電鏡樣品臺(tái)操縱桿輔助定位裝置，包括具有旋轉(zhuǎn)手柄的操縱桿，和與操縱桿相配合的樣品臺(tái)弧面座，在操縱桿的下端部固接著定位球，在旋轉(zhuǎn)手柄的側(cè)上部通過固接的支座鉸接著曲臂定位桿，曲臂定位桿的形狀為與具有旋轉(zhuǎn)手柄操縱桿側(cè)部輪廓形狀相適應(yīng)的曲拐形，曲拐上部折彎處設(shè)置的連接裝置與支座上的支撐軸鉸接，曲拐上部水平桿的端部為操作端，曲拐下部直立桿的下端固接著定位半球，在樣品臺(tái)弧面座的一側(cè)弧面上設(shè)置著定位孔，曲臂定位桿曲拐下部直立桿端部的定位半球與定位孔相配合。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，操作簡(jiǎn)便，在對(duì)掃描電鏡樣品進(jìn)行平面內(nèi)X向、Y向移動(dòng)操作時(shí)，可以方便地實(shí)現(xiàn)操縱桿的歸零，可以避免掃描電鏡樣品臺(tái)移動(dòng)至極限位置，保護(hù)樣品臺(tái)的位置精度和自動(dòng)控制功能。
文檔編號(hào)H01J37/20GK202150441SQ201120296518
公開日2012年2月22日 申請(qǐng)日期2011年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月16日
發(fā)明者薛憲營(yíng) 申請(qǐng)人:寶鋼集團(tuán)新疆八一鋼鐵有限公司