專利名稱：防汞蒸汽污染的新型霓虹燈制造設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于電真空，特別是用于霓虹燈充排氣的專用設(shè)備。
目前廣泛使用的霓虹燈排氣設(shè)備有二類，一是機(jī)械泵排氣系統(tǒng)，二是機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵。這二種系統(tǒng)的工作效率比較低，并且制作出的霓虹燈壽命也不長，更為嚴(yán)重的是低蒸汽壓的汞在工藝過程中極易沖入系統(tǒng)中，隨著系統(tǒng)的運(yùn)轉(zhuǎn)，汞蒸汽被排到大氣中。隨著分子泵的出現(xiàn)，由于分子泵自身的優(yōu)越性，整個真空系統(tǒng)具有超潔凈、無油蒸汽污染、高真空等優(yōu)點(diǎn)，顯著地提高了霓虹燈管的質(zhì)量和使用壽命，雖然分子泵不怕汞污染，但抽到分子泵中的汞還會被排放到大氣之中，造成了環(huán)境污染。
本實(shí)用新型的目的是防止汞珠流入系統(tǒng)并能延長分子泵的使用壽命。
本實(shí)用新型的主要特點(diǎn)是制造設(shè)備包括機(jī)械泵10，分子泵7、電磁閥9、真空閥4、微調(diào)針閥8，在分子泵7與排氣接頭2之間有一汞珠陷井3。
本實(shí)用新型由于使用了分子汞，使得系統(tǒng)真空度較高，不怕暴露大氣，汞珠陷井的存在，避免了汞對大氣的污染，該設(shè)備的使用可大大提高霓虹燈的質(zhì)量和壽命。
附圖
是制造設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中1為真空橡皮管2為接頭3為汞珠陷井4為真空閥5為測量規(guī)6為緩沖筒7為渦輪分子泵8為微調(diào)針閥9為電磁閥10為機(jī)械泵
以下結(jié)合附圖詳述本發(fā)明。
為了提高霓虹燈的效率及燈管的使用壽命，采用了先進(jìn)的渦輪分子泵做為系統(tǒng)的主泵，前級為機(jī)械泵。由于分子泵自身的優(yōu)越性，整個真空系統(tǒng)具有超潔凈，無油蒸汽污染，對各種氣體抽速不變，不怕暴露大氣。該設(shè)備制造的霓虹燈管大大地延長了使用壽命。設(shè)備啟動2分鐘即可工作。但在制作霓虹燈時，燈管與真空設(shè)備工位之間用真空橡皮管進(jìn)行連接。在燈管處于大氣狀態(tài)而真空系統(tǒng)為真空狀態(tài)下，系統(tǒng)開啟的瞬間，由于壓力差的存在，使燈管內(nèi)的汞珠極易被抽入系統(tǒng)分子泵或機(jī)械泵中。為了防止汞珠沖入系統(tǒng)，在分子泵7與排氣接頭2之間的管道上設(shè)置了一個汞珠陷井3即儲存容器，稱為快卸接頭。此結(jié)構(gòu)即能保持真空密封，又能將沖入系統(tǒng)中的汞珠，在未流入分子泵前即掉入陷井式的快卸接頭內(nèi)。當(dāng)陷井內(nèi)有汞珠時，扭開接頭倒出汞珠妥善保存。
由于霓虹燈制造工藝的特殊性，10分鐘左右要完成一批燈管的制作。所以真空系統(tǒng)經(jīng)常處于大氣或低真空狀態(tài)，為此對系統(tǒng)主泵(分子泵)性能指標(biāo)的重復(fù)性要求極高。但在實(shí)際應(yīng)用中，分子泵葉片在氣體的長期沖擊下，其性能會降低。為了延長主泵(分子泵)的壽命及其性能的重復(fù)性，在分子泵7與真空閥4之間的管道上加了一個緩沖筒6，緩沖筒的直徑為系統(tǒng)管道的3－5倍。系統(tǒng)管道的內(nèi)徑為25mm。當(dāng)系統(tǒng)處于低真空或大氣狀態(tài)時，氣流流過大容積的緩沖筒6時，氣體擴(kuò)散開，減輕了氣體對分子泵葉片的阻尼力，氣體很快被抽走。這樣達(dá)到了延長分子泵使用壽命的目的。系統(tǒng)中測量規(guī)5為測量系統(tǒng)真空度提供了一個測量口。
權(quán)利要求1.防汞蒸汽污染的新型霓虹燈制造設(shè)備包括機(jī)械泵10、分子泵7、電磁閥9、真空閥4、微調(diào)針閥8，其特征是在分子泵7與排氣接頭2之間有一汞珠陷井3。
2.按權(quán)利要求1所述的設(shè)備其特征在分子泵7與真空閥4之間有一緩沖筒6。
3.按權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備其特征是緩沖筒6的直徑為系統(tǒng)管道直徑的3－5倍。
專利摘要防汞蒸汽污染的新型霓虹燈制造設(shè)備包括機(jī)械泵10、分子泵7、電磁閥9、真空閥4、微調(diào)針閥8，在分子泵7與排氣接頭2之間有一汞珠陷井3。本實(shí)用新型由于使用了分子泵，使得系統(tǒng)真空度較高，不怕暴露大氣，汞珠陷井的存在，避免了汞對真空系統(tǒng)和大氣的污染，該設(shè)備的使用大大提高了霓虹燈的質(zhì)量和壽命。
文檔編號H01J9/38GK2192079SQ94205130
公開日1995年3月15日 申請日期1994年3月25日 優(yōu)先權(quán)日1994年3月25日
發(fā)明者張永才, 汪涌 申請人:中國科學(xué)院電子學(xué)研究所