專利名稱：基板導(dǎo)電布線切斷方法及裝置、電子裝置制造方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及把預(yù)先布線到基板上的導(dǎo)電布線切斷的技術(shù)，涉及把例如在液晶或有機(jī)EL(場致發(fā)光)等顯示裝置、半導(dǎo)體裝置等電子裝置的制造過程中，以防止靜電破壞等為目的而將其短路的布線切斷并進(jìn)行絕緣的技術(shù)。
背景技術(shù)：
在存在著因制造工序中發(fā)生的靜電而引起破壞的可能性的、液晶顯示裝置或半導(dǎo)體裝置等電子裝置的制造中，為了防止靜電所引起的元件破壞，一直到安裝驅(qū)動(dòng)器IC之前利用短路布線使安裝驅(qū)動(dòng)器IC等的基板的規(guī)定的導(dǎo)電布線間短路，在安裝驅(qū)動(dòng)器IC之前利用激光等切斷其短路布線等并使各布線絕緣(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。
特開平1-230020號公報(bào)(第2頁，實(shí)施例1欄內(nèi)，

圖1)但是，由于現(xiàn)有的導(dǎo)電布線或短路布線的切斷是只切斷該布線內(nèi)的1個(gè)部位，故有時(shí)因塵埃的附著或布線的缺陷而使各布線不能完全絕緣。此外，為了避免這一點(diǎn)而多次重復(fù)加工時(shí)，關(guān)系到加工時(shí)間的拖長。進(jìn)而，在把形成了多個(gè)液晶面板的基板切割成每一個(gè)制品的尺寸的同時(shí)切斷布線并進(jìn)行絕緣的情況，有時(shí)因液晶面板的形狀或結(jié)構(gòu)也不可能做到。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而進(jìn)行的，其目的在于提供能夠在短時(shí)間內(nèi)可靠地切斷在基板上形成了的導(dǎo)電布線的方法及裝置。
此外，目的還在于提供利用了這樣的布線切斷方法及裝置的電子裝置的制造方法及制造裝置。
本發(fā)明的導(dǎo)電布線切斷方法，其特征在于，使激光分支成多條光束，使該分支光束對基板上的導(dǎo)電布線進(jìn)行照射，同時(shí)切斷上述導(dǎo)電布線的多個(gè)部位。由此，能夠可靠地切斷并絕緣一條導(dǎo)電布線，而且可以提高加工效率。
在上述情況下，可以使上述基板與上述分支光束相對移動(dòng)來切斷上述導(dǎo)電布線。由此，在導(dǎo)電布線粗或者有多條要切斷的導(dǎo)電布線等情況下，也可以把這些導(dǎo)電布線切斷。
再有，能夠使上述分支光束與上述導(dǎo)電布線以大致正交的方式相對移動(dòng)來切斷上述布線。由此，由于在導(dǎo)電布線上產(chǎn)生其個(gè)數(shù)與分支光束的條數(shù)對應(yīng)的切斷部位，故能夠可靠地絕緣。
此外，能夠把上述分支光束的分支列方向與上述導(dǎo)電布線的布線方向形成的角θ設(shè)定為0°以上不到90°的范圍內(nèi)。由此，可以使由分支光束切斷的點(diǎn)重疊，能夠可靠地絕緣。
此外，分支光束朝向?qū)щ姴季€的逆射可以從上述基板的導(dǎo)電布線面?zhèn)冗M(jìn)行，此外也可以從與導(dǎo)電布線面相反面?zhèn)?、通過該基板進(jìn)行。進(jìn)而，在上述導(dǎo)電布線配置在多個(gè)基板之間的情況下，還可以通過這些基板來照射光束。再有，通過基板對導(dǎo)電布線照射光束時(shí)，以基板對于照射光束具有透過性為前提。從實(shí)驗(yàn)得知與朝向?qū)щ姴季€直接照射光束的情況相比較，通過基板來切斷導(dǎo)電布線能夠節(jié)約所使用的能量，而且切斷部位變得干凈。
此外，在上述導(dǎo)電布線的切斷中，能夠吸引切斷了的導(dǎo)電布線屑。由此，可防止導(dǎo)電布線屑分散到基板上。
再有，作為上述激光能夠使用紅外線區(qū)域的激光。該紅外線區(qū)域的激光透過硅。
此外，作為上述激光能夠使用固體激光、固體激光的諧波、氣體激光、或者金屬蒸氣激光。
此外，可以使加工包圍氣處于從大氣壓減壓了的狀態(tài)。由此，能夠抑制浮渣或碎末堆積的產(chǎn)生。
此外，可以使加工包圍氣中不含氧，例如，可以使加工包圍氣為氮或者稀有氣體。由此，可謀求防止布線的氧化。
此外，上述基板可以為玻璃或硅等對激光光束具有透過性的基板。
此外，可以使上述導(dǎo)電布線的切斷部位形成直線狀的布線。由此，用于使分支光束朝向?qū)щ姴季€照射的控制較為容易，而且可提高加工效率。
此外，在切斷在基板上形成了導(dǎo)電布線的多個(gè)電子裝置的上述導(dǎo)電布線時(shí)可以成行配置各電子裝置，以使各電子裝置的導(dǎo)電布線的切斷部位作為整體至少形成1個(gè)直線列。由此，可以使分支光束與各電子裝置的切斷部位沿直線相對移動(dòng)，用于使分支光束朝向?qū)щ姴季€照射的控制較為容易，而且可提高加工效率。
此外，上述導(dǎo)電布線可以是在ITO或五氧化鉭等透明膜上形成的導(dǎo)電布線。特別是，在從與配置了導(dǎo)電布線的面相反面照射光束的情況下，從實(shí)驗(yàn)得知，與沒有這些膜的情況相比較、在有這種膜的情況下其切斷面變得干凈。
此外，上述導(dǎo)電布線可以是由鉻或ITO構(gòu)成的導(dǎo)電布線。
(2)本發(fā)明的電子裝置的制造方法，它是包含把形成了多條導(dǎo)電布線的基板裝入、切斷各導(dǎo)電布線并與其它導(dǎo)電布線進(jìn)行絕緣的工序的電子裝置的制造方法，其特征在于，利用上述任一種切斷方法來切斷各導(dǎo)電布線。
此外，其特征在于，在切斷各導(dǎo)電布線之后，把與上述導(dǎo)電布線連接的IC安裝在上述基板上。由此，能夠使各導(dǎo)電布線間可靠地絕緣。
再有，上述電子裝置是顯示裝置。
(3)本發(fā)明的導(dǎo)電布線切斷裝置，其特征在于具備發(fā)生激光的激光發(fā)生裝置；光學(xué)分支元件，使由上述激光發(fā)生裝置發(fā)生的激光分支成多條光束；以及聚焦裝置，對于由上述光學(xué)分支元件分支了的各分支光束進(jìn)行聚焦。由此，同時(shí)切斷1條導(dǎo)電布線的多個(gè)部位，能夠可靠地進(jìn)行絕緣。此外，通過使分支光束與基板相對移動(dòng)，能夠同樣切斷多條導(dǎo)電布線。
再有，上述光學(xué)分支元件也可以兼作上述聚焦裝置。
此外，上述光學(xué)分支元件可以為衍射光學(xué)元件或相位格柵。
此外，可以具備使由上述激光發(fā)生裝置射出的激光分割成多條光束的光束分割元件，對于其分割了的光束的至少1條光束配置了上述光學(xué)分支元件。由此，能夠使加工效率進(jìn)一步提高。
再有，上述光束分割元件可以為偏振光分束器。
此外，可以在上述偏振光分束器跟前具備任意調(diào)整光束偏振面分量比的相位差元件。由此，可以微調(diào)分割了的各光束的功率。
此外，可以具備任意調(diào)整聚焦前的光束直徑的光束擴(kuò)展器。由此，由于能夠調(diào)整照光束的焦點(diǎn)深度，故能夠?qū)τ诩庸の恢玫淖儎?dòng)進(jìn)行調(diào)整。
此外，可以具備吸引切斷了的導(dǎo)電布線屑的吸引機(jī)構(gòu)。由此，能夠防止切斷屑的飛散。
(4)本發(fā)明的電子裝置的制造裝置，所述電子裝置具備安裝了多條導(dǎo)電布線和與上述導(dǎo)電布線連接的IC的基板，其特征在于具備發(fā)生激光的激光發(fā)生裝置；光學(xué)分支元件，使來自上述激光發(fā)生裝置的激光分支成多條光束；以及聚焦裝置，使由上述光學(xué)分支元件分支了的各分支光束聚焦到在上述基板上形成的上述導(dǎo)電布線上；用所述分支光束對相互短路了的多條導(dǎo)電布線進(jìn)行切斷絕緣之后與所述IC連接。
再有，上述光學(xué)分支元件兼作上述聚焦裝置。
此外，在上述制造裝置中，也可以具備把上述IC安裝在上述基板上的IC安裝裝置。
此外，也可以把從上述激光發(fā)生裝置到上述聚焦裝置的光學(xué)系裝入上述IC安裝裝置中。由此，可謀求電子裝置的制造裝置的小型化。
此外，上述激光發(fā)生裝置可以是激光二極管激勵(lì)激光振蕩器。由此，能使激光發(fā)生裝置小型化。
附圖的簡單說明圖1為示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置的光學(xué)系的整體結(jié)構(gòu)圖。
圖2為由圖1的導(dǎo)電布線切斷裝置加工的顯示裝置的方框結(jié)構(gòu)圖。
圖3為示出圖1的顯示裝置外觀結(jié)構(gòu)的透視圖。
圖4為示出圖1的顯示裝置內(nèi)部結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖5為示出在切斷導(dǎo)電布線之前、且在安裝驅(qū)動(dòng)器IC之前的顯示裝置外觀結(jié)構(gòu)的透視圖。
圖6為示出圖2的顯示裝置的制造工序的流程圖。
圖7為與圖6的流程圖對應(yīng)的制造工序圖。
圖8為與圖6的流程圖對應(yīng)的、上接圖7的制造工序圖。
圖9為用于在導(dǎo)電布線的切斷中利用圖1的導(dǎo)電布線切斷裝置的概念圖。
圖10為本發(fā)明另一實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置的作用說明圖。
圖11為本發(fā)明又一實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置的作用說明圖。
圖12為示出分支光束對于導(dǎo)電布線的照射方法的例示圖。
圖13為本發(fā)明再一實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置的作用說明圖。
圖14為示出導(dǎo)電布線切斷用激光光束對于配置在加工盤內(nèi)的單項(xiàng)顯示裝置的掃描路徑的說明圖。
圖15為示出導(dǎo)電布線切斷用激光光束對于2次斷裂前的矩形狀態(tài)的顯示裝置的掃描路徑的說明圖。
圖16為示出在切斷了導(dǎo)電布線之后、且在安裝驅(qū)動(dòng)器IC之前的顯示裝置外觀結(jié)構(gòu)的透視圖。
圖17為在使分支光束的分支列方向與導(dǎo)電布線的布線方向平行、使分支光束與導(dǎo)電布線以它們正交的方式相對移動(dòng)的情況下的導(dǎo)電布驪的切斷狀態(tài)說明圖。
圖18為在使分支光束的分支列方向與導(dǎo)電布線的布線方向呈交叉狀態(tài)、使分支光束與導(dǎo)電布線以它們正交的方式相對移動(dòng)的情況下的導(dǎo)電布線的切斷狀態(tài)說明圖。
圖19為TFT聚合物-EL顯示器的面板結(jié)構(gòu)圖。
圖20為示出具備導(dǎo)電布線切斷裝置的IC安裝裝置之一例的透視圖。
發(fā)明的具體實(shí)施形態(tài)下面，說明本發(fā)明的詳細(xì)情況。圖1為示出本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置的光學(xué)系的整體結(jié)構(gòu)圖。該導(dǎo)電布線切斷裝置10具備作為激光光源的激光發(fā)生裝置1；以及擴(kuò)大來自激光發(fā)生裝置1的光束直徑的光束擴(kuò)展器?？梢愿鶕?jù)所要得到的光束直徑配置多個(gè)具備任意擴(kuò)大率的光束擴(kuò)展器，在此，具備2個(gè)使光束直徑成為3倍的光束擴(kuò)展器2A、及可以在2～8倍之間調(diào)整光束直徑的光束擴(kuò)展器2B。此外，在光束擴(kuò)展器2B的入射側(cè)配置了用于變更光束偏振面分量比的相位差元件、例如可變相位差板6或波長板，在光束擴(kuò)展器2B的射出側(cè)配置了用于分割光束的偏振光分束器7。而且，在光學(xué)系的終端部上配置了光束分支元件3，它把分割了的光束進(jìn)而分支成多條光束并使其聚焦照射。
再有，光的行進(jìn)方向的變更可根據(jù)需要而適當(dāng)進(jìn)行，在此，該變更由全反射鏡8來進(jìn)行。
此外，導(dǎo)電布線切斷裝置10具備吸引切斷了的布線屑的吸引裝置，把構(gòu)成該裝置一部分的切斷屑吸引管9配置在來自光束分支元件3的分支光束的聚焦位置附近。
圖1的導(dǎo)電布線切斷裝置如下述那樣起作用。即，由激光發(fā)生裝置1發(fā)生激光，用光束擴(kuò)展器2A將其光束直徑擴(kuò)大到3倍。已擴(kuò)大到3倍的光束通過全反射鏡入射給可變相位差板6。由可變相位差板6射出的光束成為具有相應(yīng)于可變相位差板6設(shè)定的偏振面分量的光束，該光束入射給光束擴(kuò)展器2B，進(jìn)一步擴(kuò)大光束的直徑。接著，該光束入射給偏振光分束器7。偏振光分束器7通過使P波分量或S波分量中的某一光束透過、使另一光束反射，把1條入射光束分割成2條光束。已分割成2條的光束在用全反射鏡8調(diào)整了其行進(jìn)方向之后、由光束分支元件3將其分支成多條光束，使各分支光束5a、5b聚焦照射到加工位置上。因而，通過使在基板上形成了的導(dǎo)電布線位于各分支光束的聚焦位置上，可同時(shí)熔斷該導(dǎo)電布線的多個(gè)部位，將其切斷。在導(dǎo)電布線的切斷中，把切斷了的導(dǎo)電布線屑從切斷屑吸引管9送到未圖示的屑收集部。
在所要切斷的導(dǎo)電布線粗或者要切斷的導(dǎo)電布線有多條布線的情況下，使其板或分支光束中的某一方以使各分支光束橫斷導(dǎo)電布線上方的方式移動(dòng)，一邊使它們相對移動(dòng)、一邊進(jìn)行導(dǎo)電布線的切斷。
由分支光束切斷的導(dǎo)電布線多為由鉻、鋁、金、銀、銅、鎢、ITO、或它們的合金等形成。再有，與導(dǎo)電布線的用途或類別無關(guān)。
可是，在導(dǎo)電布線切斷裝置10中，可進(jìn)行其次的2種調(diào)整。
(i)調(diào)整可變相位差板6可變更從可變相位差板6射出的光束的偏振面分量比，由此，微調(diào)由偏振光分束器7分割的2條光束的強(qiáng)度，可以使在分支光束照射位置上的、由光束分支元件3射出的強(qiáng)度相等。即使用偏振光分束器7以1∶1分割了強(qiáng)度，由于通過其后的光束反射或透過有時(shí)在照射位置上的光束強(qiáng)度也不同，故利用該調(diào)整對其進(jìn)行修正。再有，在不需要該調(diào)整時(shí)，就不需要相位差板6了，此外，作為光束分割元件也可以利用衍射光學(xué)元件或相位格柵來代替偏振光分束器7。
(ii)調(diào)整光束擴(kuò)展器2B的擴(kuò)大率，能夠調(diào)整作為聚焦光束的分支光束的焦點(diǎn)深度。例如，當(dāng)減小聚焦前的光束直徑時(shí)焦點(diǎn)深度變大，能夠增大對于形成了導(dǎo)電布線的基板的厚度離散或異物嚙入等所引起的焦點(diǎn)位置變動(dòng)的裕量。但是，由于當(dāng)焦點(diǎn)深度變大時(shí)聚焦光點(diǎn)的直徑也變大，故以成為相應(yīng)于焦點(diǎn)位置變動(dòng)量的最低限度的焦點(diǎn)深度的方式進(jìn)行調(diào)整即可。
作為能夠在導(dǎo)電布線切斷裝置10中利用的激光，可以舉出例如紅外線區(qū)域的激光、固體激光、固體激光的諧波、氣體激光、金屬蒸氣激光等。
此外，作為光束分支元件3，可以利用利用了光的衍射的衍射光學(xué)元件，或者菲涅耳型相位格柵等的相位格柵。
再有，在圖1中，作成光束分支元件3還具有聚焦功能的結(jié)構(gòu)，但是也可以作成使光束分支元件3只具有光束的分支功能、使其它元件例如聚焦透鏡等具有聚焦功能的結(jié)構(gòu)。
此外，在該光學(xué)系中，為了提高加工效率用偏振光分束器7把光束分割成2條光束，但是，該分割是任意的，在生成分支光束之前可以不使光束分割，此外，也可以將其分割成2條以上的光束。再有，在用偏振光分束器7等來分割光束的情況下，也不必把分割了的全部光束供給加工。
進(jìn)而，當(dāng)導(dǎo)電布線切斷時(shí)的加工包圍氣為大氣壓的情況是簡單的，但當(dāng)使其加工包圍氣處于從大氣壓減壓了的狀態(tài)時(shí)能夠抑制浮渣或碎末堆積的產(chǎn)生。
此外，當(dāng)導(dǎo)電布線切斷時(shí)的加工包圍氣中不含氧時(shí)，能夠防止導(dǎo)電布線的氧化。此時(shí)，加工包圍氣也可以是例如氮或稀有氣體。
其次，說明由導(dǎo)電布線切斷裝置10加工的被加工物。作為被加工物，舉出顯示裝置特別是TFD液晶顯示裝置來說明其結(jié)構(gòu)例。
圖2為示出TFD液晶顯示裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。如圖2所示那樣，在該顯示裝置100中，在橫(X)方向上形成了多條掃描線214，此外，在縱(Y)方向上形成了3n條數(shù)據(jù)線314，進(jìn)而對應(yīng)于掃描線214與數(shù)據(jù)線314的交點(diǎn)形成了像素119。像素119對應(yīng)于R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))的某一單色，由在X方向上相鄰的RGB這3個(gè)像素119構(gòu)成1個(gè)點(diǎn)120。
各像素119由作為電容器而起作用的液晶162與作為開關(guān)元件的TFD(薄膜二極管)320串聯(lián)連接而構(gòu)成。其中，在作為對置電極而起作用的掃描線214與由ITO(銦錫氧化物)構(gòu)成的像素電極之間封入液晶162。此外，TFD 320的一端與數(shù)據(jù)線314連接，另一方面，另一端與像素電極連接，按照掃描線214與數(shù)據(jù)線314的電位差，控制其通斷。
Y驅(qū)動(dòng)器251、253，一般稱為掃描線驅(qū)動(dòng)電路。其中，Y驅(qū)動(dòng)器251承擔(dān)從圖2的上方數(shù)起第奇數(shù)(1、3、5......2m-1)條掃描線214的驅(qū)動(dòng)，Y驅(qū)動(dòng)器253承擔(dān)從圖2的上方數(shù)起第偶數(shù)(2、4、6......2m)條掃描線214的驅(qū)動(dòng)。即，其結(jié)構(gòu)為由Y驅(qū)動(dòng)器251、253在1垂直掃描期間內(nèi)依次排他地、逐條地選擇第1行、第2行、第3行、......第2m行掃描線214，同時(shí)，對選擇了的掃描線214供給選擇電壓的掃描信號，另一方面，對非選擇的掃描線214供給非選擇電壓的掃描信號。
另一方面，X驅(qū)動(dòng)器350，一般稱為數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路，X驅(qū)動(dòng)器350分別通過對應(yīng)的數(shù)據(jù)線314、對位于由Y驅(qū)動(dòng)器251、253的某一個(gè)選擇了的掃描線214上的3n個(gè)像素119、供給相應(yīng)于顯示內(nèi)容的數(shù)據(jù)信號X1B、X1G、X1R，X2B、X2G、X2R，......XnB、XnG、XnR。
其次，說明顯示裝置100的機(jī)械結(jié)構(gòu)。圖3為示出顯示裝置100的外觀結(jié)構(gòu)的透視圖。如圖3所示那樣，顯示裝置100的結(jié)構(gòu)為，形成了TFD的TFD基板300和與其相對配置的對置基板200，通過以適當(dāng)比例分散了兼作墊片的導(dǎo)電性粒子的密封材料110、保持一定間隔而膠合起來，同時(shí)在該間隙內(nèi)封入了例如TN(扭曲向列)型液晶。沿著對置基板200的內(nèi)周而形成密封材料110，但是為了封入液晶，其一部分敞著口。因此，在封入液晶后，用密封材料112密封該開口部分。
在對置基板200的與TFD基板300的對置布上，在X方向上形成了m條掃描線214，此外，在TFD基板300的與對置基板200的對置面上，在Y方向上形成了3n條數(shù)據(jù)線314。在對置基板200上形成的掃描線214中，第奇數(shù)行掃描線214在密封材料110的形成區(qū)域內(nèi)一直延伸設(shè)置到左側(cè)，另一方面，第偶數(shù)行掃描線214在密封材料110的形成區(qū)域內(nèi)一直延伸設(shè)置到右側(cè)。此外，在TFD基板300上，與掃描線214一一對應(yīng)地設(shè)置布線372，同時(shí)在密封材料110的形成區(qū)域內(nèi)以與對應(yīng)的掃描線214的一端對置的方式形成了布線372。
上述導(dǎo)電性粒子以至少有1個(gè)介于掃描線214的一端與布線372的一端對置的部分中這樣的比例分散到密封材料110內(nèi)。因此，在對置基板200上形成的掃描線214通過該導(dǎo)電性粒子與在TFD基板300上形成的布線連接起來。
在這樣的布線372中，與第奇數(shù)行掃描線214連接的布線372在密封材料110的形成區(qū)域外大致彎曲90°之后、沿著Y方向一直延伸設(shè)置到伸出區(qū)域302中，因此，與Y驅(qū)動(dòng)器251的輸出側(cè)凸點(diǎn)接合。同樣，與第偶數(shù)行掃描線214連接的布線372在密封材料110的形成區(qū)域外大致彎曲90°之后、沿著Y方向一直延伸設(shè)置到伸出區(qū)域302中，因此，與Y驅(qū)動(dòng)器253的輸出側(cè)凸點(diǎn)接合。另一方面，數(shù)據(jù)線314在密封材料110的形成區(qū)域外間距變窄、一直延伸設(shè)置到伸出區(qū)域302中，因此，與X驅(qū)動(dòng)器350的輸出側(cè)凸點(diǎn)接合。
此外，在TFD基板300的伸出區(qū)域302中形成布線384，其一端與Y驅(qū)動(dòng)器251、253及X驅(qū)動(dòng)器350的輸入側(cè)凸點(diǎn)連接，其另一端與柔性連接器150接合起來。而且，其結(jié)構(gòu)為，通過柔性連接器150從外部電路(省略其圖示)把時(shí)鐘信號及控制信號等供給Y驅(qū)動(dòng)器251、253及X驅(qū)動(dòng)器350。
作為在X驅(qū)動(dòng)器350上的安裝面周緣設(shè)置的電極分別形成了例如由金(Au)等構(gòu)成的凸點(diǎn)，把這樣的X驅(qū)動(dòng)器350以下述方式對TFD基板300上的伸出區(qū)域302進(jìn)行安裝。
首先，在TFD基板300的應(yīng)該安裝X驅(qū)動(dòng)器350的區(qū)域上、設(shè)置把導(dǎo)電性粒子均勻地分散到環(huán)氧樹脂等接合材料中而形成的片狀各向異性導(dǎo)電膜，其次，利用以電極形成面為下側(cè)的X驅(qū)動(dòng)器350與TFD基板300夾持各向異性導(dǎo)電膜，進(jìn)而，在對X驅(qū)動(dòng)器350定位之后、通過該各向異性導(dǎo)電膜對TFD基板300進(jìn)行加壓、加熱，在冷卻之后釋放加壓狀態(tài)。
由此，在X驅(qū)動(dòng)器350中，供給數(shù)據(jù)信號的輸出側(cè)凸點(diǎn)通過接合材料中的導(dǎo)電性粒子與數(shù)據(jù)線314導(dǎo)電性地連接，此外，輸入來自柔性連接器156的信號的輸入側(cè)凸點(diǎn)通過接合材料中的導(dǎo)電性粒子與布線384連接。此時(shí)，接合材料不僅接合X驅(qū)動(dòng)器350，而且對電極形成面兼作保護(hù)其不受潮濕、污染、應(yīng)力等影響的密封材料。同樣，在Y驅(qū)動(dòng)器251、253的安裝中，也使用各向異性導(dǎo)電膜。
此外，在柔性連接器150的接合中也同樣使用各向異性導(dǎo)電膜。由此，在柔性連接器150中，在聚酰亞胺那樣的基體材料上形成的布線通過接合材料中的導(dǎo)電性粒子對于在TFD基板300上形成的布線384進(jìn)行導(dǎo)電性的連接。
其次，說明顯示裝置100中的顯示區(qū)域的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。如圖4所示那樣，首先，在TFD基板300的外表面上粘貼相位差板133及偏振板131。再有，為了簡化，圖3中省略了這些相位差板133及偏振板131。
此外，在TFD基板300的內(nèi)表面上，形成了在Y方向(圖4中，與紙面垂直的方向)上延伸、由鉻(Cr)等構(gòu)成的數(shù)據(jù)線314。進(jìn)而，在數(shù)據(jù)線314的附近形成了由ITO(銦錫氧化物)等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成的矩形像素電極348。
在此，在像素電極348的表面上，形成了由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜308。再有，在使該取向膜308與背面?zhèn)鹊膶χ没?00膠合之前，在規(guī)定的方向上對308進(jìn)行研磨處理。再有，由于在顯示區(qū)域外不需要取向膜308，故在密封材料110的形成區(qū)域附近及其外側(cè)上未設(shè)置308。
在對置基板200的外表面上，粘貼了相位差板123及偏振板121。再有，在圖3中也省略了這些相位差板123及偏振板121。
另一方面，在對置基板200的內(nèi)表面上，形成了起伏的散射樹脂層203。該散射樹脂層203通過下述方式來形成，例如對于在基板200的表面上以點(diǎn)狀進(jìn)行了構(gòu)圖的光致刻蝕劑進(jìn)行熱處理，使該光致刻蝕劑的端部軟化等。
其次，在該散射樹脂層203的起伏面上形成了由鋁或銀等反射性金屬構(gòu)成的反射膜204。因而，由于反映散射樹脂層203的起伏、反射膜204的表面也變得起伏了，故從觀察側(cè)入射的光被反射膜204反射時(shí)，適度地進(jìn)行了散射。
再有，為了使顯示裝置100不僅作為反射型、而且作為透過型而起作用，在反射膜204上設(shè)有用于使光透過的開口部209。再有，也可以作成這樣的結(jié)構(gòu)，不設(shè)這樣的開口部209，而是例如通過把鋁等具有光反射性的金屬的膜厚作得比較薄(20nm～50nm)來形成反射膜204，使從背面?zhèn)热肷涞墓獾囊徊糠滞高^。
進(jìn)而，在反射膜204的表面上，對應(yīng)于像素電極348與掃描線214的對置區(qū)域以規(guī)定的排列分別設(shè)置了紅色的濾色器205R、綠色的濾色器205G、及藍(lán)色的濾色器205B。再有，在本實(shí)施形態(tài)中，濾色器205R、205G、205B的排列為數(shù)據(jù)系的優(yōu)選的條型排列。
在各色的濾色器205R、205G、205B的表面上設(shè)置由絕緣材料構(gòu)成的平坦化膜207，對該濾色器的臺階差及反射膜204等的起伏進(jìn)行平坦化。而且，在由平坦化膜207平坦化了的面上，在X方向(圖4中，紙面的左右方向)上以與在TFD基板300上形成了的像素電極348對置的方式，形成了由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成的掃描線214。
而且，在掃描線214的表面上，形成了由聚酰亞胺等構(gòu)成的取向膜208。再有，在使該取向膜208與TFD基板300膠合之前，在規(guī)定的方向上對208進(jìn)行研磨處理。此外，由于在顯示區(qū)域外不需要各色的濾色器205R、205G、205B、平坦化膜207及取向膜208，故在密封材料110的區(qū)域附近及外側(cè)上未設(shè)置它們。
圖5為示出對顯示裝置100進(jìn)行檢查的階段的結(jié)構(gòu)，即在安裝Y驅(qū)動(dòng)器251、253及X驅(qū)動(dòng)器350之前、且在接合柔性連接器150之前的階段的結(jié)構(gòu)之透視圖。如圖5所示那樣，在檢查階段中的顯示裝置100內(nèi)，與第奇數(shù)行掃描線214一一對應(yīng)的布線372的另一端與短路布線216連接而成為短路狀態(tài)。同樣，與第偶數(shù)行掃描線214一一對應(yīng)的布線372的另一端與短路布線218連接而成為短路狀態(tài)。進(jìn)而，全部數(shù)據(jù)線314也與短路318連接而處于短路狀態(tài)。
短路布線216、218、318與布線372及數(shù)據(jù)線314同時(shí)形成。再有，在檢查后，如后述那樣，短路布線216、218分別與布線372導(dǎo)電性地?cái)嚅_，同樣，短路布線318與數(shù)據(jù)線314導(dǎo)電性地?cái)嚅_。
其次，以圖6示出制造工序的流程圖、圖7及圖8的制造工序圖為基礎(chǔ)，說明顯示裝置100的制造工藝。再有，圖6的(A)～(I)分別對應(yīng)于圖7及圖8的(A)～(I)。
(A)首先，在光刻工序(元件形成工序)中，在成為對置基板200的玻璃基板上形成作為共同電極的掃描線214等，而且在成為TFD基板300的玻璃基板上形成像素電極348、作為開關(guān)元件的TFD 320等。此外，在TFD基板300的成為伸出區(qū)域302的部位上，如圖5所示那樣形成靜電破壞防止用的短路布線。再有，在該光刻工序中形成的電極或元件等，根據(jù)顯示裝置的種類而不同。
(B)其次，在對置基板200上形成取向膜208并進(jìn)行研磨。此外，對于TFD基板300也同樣形成取向膜308并進(jìn)行研磨。
(C)為了密封液晶，在一塊基板例如對置基板200上涂布密封材料110。而且，在另一塊基板例如TFD基板300的取向膜308的上方散布開口材料309。再有，密封材料的涂布、開口材料的散布并不限定于該形態(tài)，也可以在一塊基板上涂布密封材料、并且進(jìn)行開口材料的散布。
(D)把由(A)～(C)工序制作的2塊基板200、300膠合，制造1個(gè)大的面板400。再有，在此，為了方便起見，在短路布線中只表示出短路布線318。
(E)其次，作為1次斷裂工序，把面板400切斷，制造矩形的面板410。此時(shí)，與TFD基板300的伸出區(qū)域302對應(yīng)的部分之對置基板200也通過切斷而被去除。這些切斷是在面板400的切斷部位上設(shè)置劃線(以波狀線表示)、對其施加彎曲應(yīng)力而斷裂。
(F)從矩形面板410的液晶注入部注入液晶，利用密封材料112密封該注入部。
(G)其次，作為2次斷裂工序，切斷密封了液晶的矩形面板410，形成相當(dāng)于1個(gè)制品大小的顯示裝置100。
(H)接著，對于在TFD基板300上形成、由短路布線318等短路的導(dǎo)電布線(上述的布線372及數(shù)據(jù)線314)照射分支光束，把它們切斷，在各布線間進(jìn)行絕緣。
(I)最后，使用驅(qū)動(dòng)器IC安裝裝置，把Y驅(qū)動(dòng)器251、253、X驅(qū)動(dòng)器350安裝在TFD基板300的伸出區(qū)域302上，進(jìn)而接合柔性連接器150。
再有，也可以變換(G)和(H)工序，此時(shí)成為(F)-(J)-(K)-(I)工序。
其次，說明與上述制造工序的(H)或(J)對應(yīng)的，利用導(dǎo)電布線切斷裝置10切斷在TFD基板上被短路的多條導(dǎo)電布線、在各布線間進(jìn)行絕緣的方法。再有，下面，以11表示基板，以11a～11f表示各導(dǎo)電布線，以12表示短路布線。
圖9為用于在導(dǎo)電布線的切斷中利用圖1的導(dǎo)電布線切斷裝置10的概念圖。導(dǎo)電布線切斷裝置10射出由多條光束構(gòu)成的分支光束5(5a或5b)，使其聚焦在形成了多條導(dǎo)電布線11a～11f及對這些布線進(jìn)行短路的短路布線12的基板11之表面上并進(jìn)行照射。而且，使分支光束5在箭頭方向上移動(dòng)，切斷各導(dǎo)電布線11a～11f的多個(gè)部位。再有，也可以使基板11在左右方向上移動(dòng)來代替使分支光束5移動(dòng)而切斷導(dǎo)電布線11a～11f。由此，對于一條導(dǎo)電布線同時(shí)切斷多個(gè)部位，進(jìn)而通過移動(dòng)分支光束5或基板11也能同樣切斷其余的導(dǎo)電布線。因而，能夠在短時(shí)間內(nèi)可靠地進(jìn)行各導(dǎo)電布線11a～11f間的絕緣。而且，與在每一條導(dǎo)電布線11a～11f之間切斷短路布線12并對這些布線進(jìn)行絕緣的情況相比較，照射光束的定位也變得容易了。
圖10為本發(fā)明另一實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置10A的作用說明圖。在該導(dǎo)電布線切斷裝置10A中，通過聚焦透鏡4使利用光束分支元件3分支成多條的光束聚焦到基板11的表面上。其它結(jié)構(gòu)基本上與導(dǎo)電布線切斷裝置10相同。
圖11為本發(fā)明又一實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置10B的作用說明圖。在導(dǎo)電布線切斷裝置10B中，使菲涅耳型相位格柵3A進(jìn)行激光的分支及聚焦，其它結(jié)構(gòu)基本上與導(dǎo)電布線切斷裝置10相同。
但是，分支光束朝向?qū)щ姴季€的照射，能夠以下述2種方法來進(jìn)行。
首先，如圖12(a)所示，能夠從形成了導(dǎo)電布線11a～11f的基板11的布線面?zhèn)日丈浞种Ч馐?br> 此外，如果基板11是對激光具有透過性的基板，則如圖12(b)所示那樣，能夠從與形成了導(dǎo)電布線11a～11f的面相反面?zhèn)日丈浞种Ч馐０凑諏?shí)驗(yàn)，如果采用從基板背面通過玻璃基板照射激光光束的方法，則用低功率就能夠切斷(特別是，當(dāng)短路布線由Cr構(gòu)成時(shí)，用約一半功率就能夠解決)，浮渣或碎末堆積的產(chǎn)生也能大大減少。再有，如果使用紅外線區(qū)域的激光，則該方法也能應(yīng)用干硅基板。此外，還可知，在利用從與形成了要切斷的導(dǎo)電布線的面相反面?zhèn)日丈浼す夤馐那袛喾椒ǖ那闆r下，如果該導(dǎo)電布線在ITO或五氧化鉭等透明膜上形成，就能夠更加減少浮渣等的產(chǎn)生。在要切斷的導(dǎo)電布線配置在多塊基板之間的情況下，也能夠應(yīng)用該方法。
使用導(dǎo)電布線切斷裝置10、對多個(gè)櫚實(shí)施了的導(dǎo)電布線切斷實(shí)驗(yàn)之結(jié)果確認(rèn)了，切斷了的布線沒有問題地進(jìn)行絕緣。再有，在該實(shí)驗(yàn)中使用的加工條件如下。
·激光頭的尺寸寬度50mm，長度160mm，高度32mm·激光波長532nm·聚焦透鏡焦距100mm·功率300mw(從形成了導(dǎo)電布線的面進(jìn)行照射時(shí))、150mw(從與形成了導(dǎo)電布線的面相反面?zhèn)冗M(jìn)行照射時(shí))·激光振蕩頻率20KHz·分支數(shù)6·加工速度100mm/秒·切斷了的布線由鉻形成再有，對于供導(dǎo)電布線切斷用的分支光束的條數(shù)沒有限制，但從可靠地進(jìn)行絕緣的觀點(diǎn)來看，5～8條左右是較為理想的。
圖13為本發(fā)明再一實(shí)施形態(tài)的導(dǎo)電布線切斷裝置10C的作用說明圖。與圖1的導(dǎo)電布線切斷裝置10的主要不同點(diǎn)是，利用光束分割元件7a～7c使從一臺激光發(fā)生裝置1發(fā)出的1條激光光束分支成4條光束，利用光束分支元件3a～3d使這4條光束分別分支成多條光束，能夠同時(shí)切斷在4塊基板11a～11d上形成的導(dǎo)電布線。由此，導(dǎo)電布線切斷裝置10C具有導(dǎo)電布線切斷裝置10的2倍的處理能力。
再有，導(dǎo)電面線切斷裝置10C也與導(dǎo)電布線切斷裝置10相同，能夠作成把各光束分割元件7a～7c與可變相位差板組合起來、可調(diào)整照射激光的功率的裝置，或者作成對聚焦前的光束配置調(diào)整光束直徑用擴(kuò)展器、可調(diào)整焦點(diǎn)深度的裝置。
其次，利用圖14、圖15，說明導(dǎo)電布線切斷裝置10、10A～10C的使用例。
圖14涉及配置在加工盤內(nèi)的顯示裝置的單項(xiàng)，為示出為了切斷由短路布線連接起來的多條導(dǎo)電布線并使各布線與其它布線分別進(jìn)行絕緣而進(jìn)行的分支光束掃描路徑的說明圖。在此，在加工盤中配置16個(gè)(縱4個(gè)×橫4個(gè))在制造過程中的顯示裝置單項(xiàng)100，使分支光束5a、5b沿著圖14的箭頭方向移動(dòng)，切斷構(gòu)成顯示裝置100的TFD基板300的各導(dǎo)電布線并使之與其它導(dǎo)電布線絕緣。
另一方面，圖15涉及2次斷裂前的矩形狀態(tài)的顯示裝置，為示出為了切斷由短路布線連接起來的多條導(dǎo)電布線并使各布線與其它布線分別進(jìn)行絕緣而進(jìn)行的分支光束掃描路徑的說明圖。在此，在加工盤中配置4個(gè)矩形面板410(1個(gè)面板由6～8個(gè)顯示裝置單項(xiàng)構(gòu)成)，使分支光束5a、5b沿著圖15的箭頭方向移動(dòng)，切斷各導(dǎo)電布線并使之與其它導(dǎo)電布線絕緣。
按照這些加工方法，分支光束對顯示裝置的相對移動(dòng)變得容易，提高了作業(yè)效率。
再有，省略了分支光束5c、5d的圖示，但是能夠與光束5a、5b同樣利用光束5c、5d。
圖16中，例示了利用導(dǎo)電布線切斷裝置10把集中于TFD基板300的伸出區(qū)域302上的導(dǎo)電布線314、372的直線部分切斷之后的顯示裝置的外觀。按照該例，由短路布線216連接起來的多條導(dǎo)電布線372、由短路布線318連接起來的多條導(dǎo)電布線(數(shù)據(jù)線)314、及由短路布線218連接起來的多條導(dǎo)電布線372，分別在多個(gè)部位上被切斷而呈絕緣狀態(tài)。
雖然在使要切斷的導(dǎo)電布線與在切斷中使用的分支光束相對移動(dòng)而切斷該導(dǎo)電布線的情況下、可任意地確定其相對移動(dòng)方向，但從作業(yè)性的觀點(diǎn)來看，分支光束以大致正交的方式橫切導(dǎo)電布線是較為理想的。
此外，分支光束的分支列方向與導(dǎo)電布線的布線方向所形成的傾角可設(shè)定成下述那樣。
例如，如圖17所示，當(dāng)使分支光束5的分支列方向與導(dǎo)電布線11a～11f的直線部分大致平行時(shí)，可進(jìn)行其條數(shù)與分支光束5的條數(shù)對應(yīng)的布線切斷。
與此不同，也可以設(shè)定成分支光束5的分支列方向與導(dǎo)電布線11a～11f的直線部分不平行。此時(shí)，由于分支光束的分支列方向?qū)τ趯?dǎo)電布線11a～11f有傾角θ，故導(dǎo)電布線11a～11f的切斷間距變小，一條導(dǎo)電布線上的多個(gè)切斷部位連接起來，如圖18所示那樣生成了一個(gè)幅寬切斷部。因而，按照圖18所示的切斷方法，除了作為整體能夠使加工寬度變窄之外還具有下述效果，使切斷部的隆起部位與分支了的光束的條數(shù)無關(guān)而是能夠限定于幅寬切斷部的兩端。但是，由于當(dāng)使傾角θ接近于90°時(shí)成為與激光光束不分支的情況相同的狀態(tài)了，故在0°以上、不到90°的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定傾角θ。
再有，圖17、圖18示出分支光束的分支列方向及具有該分支列的分支光束的行進(jìn)方向，各分支光束從與紙面垂直的方向照射到導(dǎo)電布線11a～11f上。
由于通過利用在上述實(shí)施形態(tài)中說明了的導(dǎo)電布線切斷裝置來切斷導(dǎo)電布線、能夠?qū)?條導(dǎo)電布線同時(shí)切斷多個(gè)部位，或者能夠在寬范圍內(nèi)切斷導(dǎo)電布線，故可使該布線可靠地與其它布線進(jìn)行絕緣。
此外，由于使分支光束或形成了導(dǎo)電布線的基板移動(dòng)、一邊使它們互相相對移動(dòng)一邊切斷多條導(dǎo)電布線，故各導(dǎo)電布線的絕緣完全可在激光的一次通過(最短時(shí)間)內(nèi)完成，提高了加工效率。
進(jìn)而，由于能夠小型、簡單地構(gòu)成構(gòu)成導(dǎo)電布線切斷裝置的光學(xué)系，故能夠把導(dǎo)電布線切斷裝置裝入電子設(shè)備的制造裝置中。
在上述實(shí)施形態(tài)中，說明了作為開關(guān)元件利用了TFD的、切斷TFD液晶顯示裝置的導(dǎo)電布線并進(jìn)行絕緣之例，但本發(fā)明同樣能夠應(yīng)用于把TFT(薄膜晶體管)作為開關(guān)元件利用的TFT液晶顯示裝置中。此外，本發(fā)明的方法及裝置不限定于本實(shí)施形態(tài)中使用了的半透過反射型的顯示裝置，也能夠應(yīng)用于光透過型或光反射型的顯示裝置中。
進(jìn)而，不僅在實(shí)施形態(tài)中示出的液晶顯示裝置中的制造中能夠利用本發(fā)明的方法及裝置，而且在包含對預(yù)先使之短路了的多條導(dǎo)電布線其后進(jìn)行絕緣的工序的各種電子裝置的制造中也能夠利用。作為該電子裝置例如是有機(jī)EL或等離子體顯示器等顯示裝置，或其它半導(dǎo)體裝置等。
圖19示出了由形成TFT開半元件(未圖示)或EL元件41的TFT基板40、由ITO構(gòu)成的連接布線42、密封43、及密封用玻璃基板等構(gòu)成的TFT聚合物-EL顯示器的結(jié)構(gòu)圖。由于在該EL顯示器的制造中通常也用短路布線把在TFT基板40上形成的規(guī)定的導(dǎo)電布線連接起來，故可使用上述方法及裝置切斷各導(dǎo)電布線并使每一條導(dǎo)電布線與其它布線絕緣。
再有，通過作為振蕩器使用小型的LD激勵(lì)激光器等，能夠作為簡單光學(xué)系的小型激光系統(tǒng)來構(gòu)成上述導(dǎo)電布線切斷裝置的激光發(fā)生裝置。因而，能夠把該切斷裝置裝入液晶、有機(jī)EL、或等離子體顯示器等顯示裝置的制造裝置或半導(dǎo)體裝置的制造裝置中，構(gòu)成各種電子裝置的制造裝置。例如，如圖20所示，能夠把導(dǎo)電布線切斷裝置10、10A～10C裝入把驅(qū)動(dòng)器IC安裝到TFD基板上的IC安裝裝置20中，構(gòu)成顯示裝置的制造裝置30。
可以把利用上述實(shí)施形態(tài)中示出的方法或裝置制造出來的液晶或有機(jī)EL等顯示裝置用于各種裝置，特別是，在筆記本式個(gè)人計(jì)算機(jī)、PDA(個(gè)人數(shù)字助手)、電視電話、攜帶式電話機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、攝像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置等移動(dòng)設(shè)備中多半利用上述顯示裝置，本發(fā)明對這些產(chǎn)品的制造可有較大貢獻(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種基板的導(dǎo)電布線切斷方法，其特征在于，使激光分支成多條光束，使該多條分支光束對基板上的導(dǎo)電布線進(jìn)行照射，同時(shí)切斷上述導(dǎo)電布線的多個(gè)部位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的方法，其特征在于，使上述基板與上述分支光束相對移動(dòng)來切斷導(dǎo)電布線。
3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的方法，其特征在于，使上述分支光束與上述導(dǎo)電布線以大致正交的方式相對移動(dòng)來切斷上述布線。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3中所述的方法，其特征在于，把上述分支光束的分支列方向與上述導(dǎo)電布線的布線方向形成的角θ設(shè)定為0°以上90°以下的范圍內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，從上述基板的導(dǎo)電布線面?zhèn)日丈渖鲜龇种Ч馐?br> 6.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，從上述基板的與導(dǎo)電布線面相反面?zhèn)?、通過該基板照射上述分支光束。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，在上述導(dǎo)電布線配置在多個(gè)基板之間的情況下，通過上述基板照射上述分支光束。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，在上述導(dǎo)電布線的切斷中，吸引切斷了的導(dǎo)電布線屑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1～8的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，作為上述激光使用紅外線區(qū)域的激光。
10.根據(jù)權(quán)利要求1～8的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，作為上述激光使用固體激光。
11.根據(jù)權(quán)利要求10中所述的方法，其特征在于，利用固體激光的諧波。
12.根據(jù)權(quán)利要求1～8的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，作為上述激光使用氣體激光。
13.根據(jù)權(quán)利要求1～8的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，作為上述激光使用金屬蒸氣激光。
14.根據(jù)權(quán)利要求1～13的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，使加工包圍氣處于從大氣壓減壓了的狀態(tài)。
15.根據(jù)權(quán)利要求1～14的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，使加工包圍氣中不含氧。
16.根據(jù)權(quán)利要求15中所述的方法，其特征在于，使加工包圍氣為氮。
17.根據(jù)權(quán)利要求15中所述的方法，其特征在于，使加工包圍氣為稀有氣體。
18.根據(jù)權(quán)利要求1～17的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，上述基板為對激光光束具有透過性的基板。
19.根據(jù)權(quán)利要求18中所述的方法，其特征在于，上述基板由玻璃或硅構(gòu)成。
20.根據(jù)權(quán)利要求1～19的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，使上述導(dǎo)電布線的切斷部位形成直線狀的布線。
21.根據(jù)權(quán)利要求1～20的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，在切斷在基板上形成了導(dǎo)電布線的多個(gè)電子裝置的上述導(dǎo)電布線時(shí)成行配置各電子裝置，以使各電子裝置的導(dǎo)電布線的切斷部位作為整體至少形成1個(gè)直線列。
22.根據(jù)權(quán)利要求1～21的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，上述導(dǎo)電布線是在透明膜上形成的導(dǎo)電布線。
23.根據(jù)權(quán)利要求22中所述的方法，其特征在于，上述透明膜是ITO或五氧化鉭。
24.根據(jù)權(quán)利要求1～23的任一項(xiàng)中所述的方法，其特征在于，上述導(dǎo)電布線由鉻或ITO構(gòu)成。
25.一種電子裝置的制造方法，它是包含把形成了多條導(dǎo)電布線的基板裝入其中的電子器件的各導(dǎo)電布線切斷并與其它導(dǎo)電布線進(jìn)行絕緣的工序的電子裝置的制造方法，其特征在于，利用上述各權(quán)利要求的任一項(xiàng)中所述的方法來切斷各導(dǎo)電布線。
26.根據(jù)權(quán)利要求25中所述的電子裝置的制造方法，其特征在于，在切斷各導(dǎo)電布線之后，把與上述導(dǎo)電布線連接的IC安裝在上述基板上。
27.根據(jù)權(quán)利要求25或26中所述的電子裝置的制造方法，其特征在于，上述電子裝置是顯示裝置。
28.一種導(dǎo)電布線切斷裝置，其特征在于具備發(fā)生激光的激光發(fā)生裝置；光學(xué)分支元件，使由上述激光發(fā)生裝置發(fā)生的激光分支成多條光束；以及聚焦裝置，對于由上述光學(xué)分支元件分支了的各分支光束進(jìn)行聚焦。
29.根據(jù)權(quán)利要求28中所述的裝置，其特征在于，上述光學(xué)分支元件兼作上述聚焦裝置。
30.根據(jù)權(quán)利要求28或29中所述的裝置，其特征在于，上述光學(xué)分支元件為衍射光學(xué)元件或相位格柵。
31.根據(jù)權(quán)利要求28～30的任一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于，具備使由上述激光發(fā)生裝置射出的激光分割成多條光束的光束分割元件，對于其分割了的光束的至少1條光束配置了上述光學(xué)分支元件。
32.根據(jù)權(quán)利要求31中所述的裝置，其特征在于，上述光束分割元件為偏振光分束器。
33.根據(jù)權(quán)利要求32中所述的裝置，其特征在于，在上述偏振光分束器附近具備任意調(diào)整光束偏振面分量比的相位差元件。
34.根據(jù)權(quán)利要求28～33的任一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于，具備任意調(diào)整聚焦前的光束直徑的光束擴(kuò)展器。
35.根據(jù)權(quán)利要求28～34的任一項(xiàng)中所述的裝置，其特征在于，具備吸引切斷了的導(dǎo)電布線屑的吸引機(jī)構(gòu)。
36.一種電子裝置的制造裝置，所述電子裝置具備安裝了多個(gè)導(dǎo)電布線和與上述導(dǎo)電布線連接的IC的基板，其特征在于具備發(fā)生激光的激光發(fā)生裝置；光學(xué)分支元件，使來自上述激光發(fā)生裝置的激光分支成多條光束；以及聚焦裝置，使由上述光學(xué)分支元件分支了的各分支光束聚焦到在上述基板上形成的上述導(dǎo)電布線上；用所述分支光束對相互短路了的多個(gè)導(dǎo)電布線進(jìn)行切斷絕緣之后與所述IC連接。
37.根據(jù)權(quán)利要求36中所述的電子裝置的制造方法，其特征在于，上述光學(xué)分支元件兼作上述聚焦裝置。
38.根據(jù)權(quán)利要求36或37中所述的電子裝置的制造裝置，其特征在于，具備把上述IC安裝在上述基板上的IC安裝裝置。
39.根據(jù)權(quán)利要求38中所述的電子裝置的制造裝置，其特征在于，把上述激光發(fā)生裝置、上述分支光學(xué)元件和上述聚焦裝置的光學(xué)系裝入上述IC安裝裝置中。
40.根據(jù)權(quán)利要求36～39的任一項(xiàng)中所述的電子裝置的制造裝置，其特征在于，上述激光發(fā)生裝置為激光二極管激勵(lì)激光振蕩器。
全文摘要
導(dǎo)電布線切斷裝置10具備發(fā)生激光的激光發(fā)生裝置1；使由激光發(fā)生裝置1發(fā)生的激光分支成多條光束的光束分支元件3；以及對于由光束分支元件3分支了的各分支光束進(jìn)行聚焦的聚焦元件(可兼作光束分支元件3)。再有，作為聚焦元件也可以具備與光束分支元件3分體的聚焦透鏡。此外，也可以作成可以調(diào)整分支光束的功率及焦點(diǎn)深度的結(jié)構(gòu)。在基板對于激光具有透過性的情況下，也可以從與導(dǎo)電布線形成面相反面照射分支光束。
文檔編號B23K26/06GK1414827SQ0214713
公開日2003年4月30日 申請日期2002年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2001年10月24日
發(fā)明者梅津一成, 尼子淳, 本田賢一 申請人:精工愛普生株式會(huì)社