專利名稱：用于圓片制造設(shè)備預(yù)簡(jiǎn)化的設(shè)施連接斗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般涉及制造設(shè)備，特別涉及在制造環(huán)境中簡(jiǎn)化圓片制造設(shè)備的安裝和使用的方法和裝置。
背景技術(shù)：
為了安裝制造設(shè)備，特別是在制造位置安裝圓片制造設(shè)備，有必要提供一種分立的結(jié)構(gòu)以支撐沉重的工具并將其重量轉(zhuǎn)移到下面的地板(例如澆注混凝土密肋網(wǎng)格(waffle-grid)地板)。這種設(shè)備支撐結(jié)構(gòu)與建筑支撐結(jié)構(gòu)是分立的，且通常包括多個(gè)制造的支柱，每個(gè)支柱從下面密肋網(wǎng)格地板的一個(gè)實(shí)心部分向上延伸，從而接合設(shè)備下面的安裝支座。支柱可以是鋼制千斤頂或澆注混凝土支柱，一般是為安裝而定制的，這就必須要求額外的時(shí)間和費(fèi)用。尤其對(duì)于不規(guī)則形狀的系統(tǒng)，因其某個(gè)給定的安裝支座可能未能與下面地板的實(shí)心部分對(duì)準(zhǔn)，還可能需要固定在支柱上的橫梁部件來(lái)支撐設(shè)備的重量。另外，如果為靠近設(shè)備而需要架高地板，則現(xiàn)有技術(shù)的支撐方法需要安裝另一組支撐結(jié)構(gòu)以支撐架高地板。
半導(dǎo)體設(shè)備制造協(xié)會(huì)(以下稱為“SEMI”)已經(jīng)提議以一種標(biāo)準(zhǔn)的支撐結(jié)構(gòu)用于所有的半導(dǎo)體制造地點(diǎn)。所提議的結(jié)構(gòu)是一種具有矩形底部的獨(dú)立矩形支架，該矩形底部帶有多個(gè)支柱，這些支柱設(shè)置得可將被懸起的設(shè)備的重量均勻地傳送到下面的地板結(jié)構(gòu)。SEMI支架的支柱從底層密肋網(wǎng)格地板的空隙或制造平面的地板(或“架高地板”)下面的其它設(shè)施平面向上延伸，以在制造平面上支撐矩形該底部。SEMI支架的矩形底部包括多個(gè)聯(lián)接點(diǎn)，用于將設(shè)施(例如真空預(yù)抽管道、供氣管道、導(dǎo)線管、排氣管道等)從下面的設(shè)施平面帶到設(shè)備平面，另外包括地板支撐凸緣，其附著于矩形底部周邊，用于支撐架高地板以便操作人員接近制造設(shè)備。
在用于安裝制造設(shè)備的SEMI支架中，已經(jīng)提議的是利用在上述矩形底部外邊的參考點(diǎn)，在矩形支架上對(duì)準(zhǔn)制造設(shè)備，從而使操作者可以從架高地板上的位置接近機(jī)器。制造設(shè)備則由固定到矩形底部的橫梁和懸臂支撐。如果必要，在SEMI支架上安裝設(shè)備時(shí)還可要求附加定制的支柱。使用SEMI支架的優(yōu)點(diǎn)包括這樣一個(gè)事實(shí)支架可以具有標(biāo)準(zhǔn)尺寸，因此為建筑師和建筑人員提供了一種參考尺寸。另外在標(biāo)準(zhǔn)支架具有預(yù)定設(shè)施連接位置的情況下，可以為提供諸如真空管道這類設(shè)施而給制造場(chǎng)地預(yù)先設(shè)置管路。
SEMI所提議的支架的缺點(diǎn)包括為確保不規(guī)則形狀(即既非矩形也不與支架框架成比例的形狀)設(shè)備的適當(dāng)支撐需要定制，以及將設(shè)施從矩形底部上預(yù)裝管路的位置帶到制造設(shè)備上的實(shí)際設(shè)施聯(lián)接點(diǎn)需要改裝。特別是當(dāng)處理氣流管道和抽空管道時(shí)，任意附加的管道長(zhǎng)度和/或管道中的彎曲都可以對(duì)流經(jīng)管道的流體具有嚴(yán)重影響，且因此會(huì)影響到設(shè)備和由該設(shè)備進(jìn)行的加工。
因此，需要有改進(jìn)的設(shè)備和方法，以便為制造設(shè)備的安裝提供設(shè)施的預(yù)裝管路。

發(fā)明內(nèi)容
提供一種設(shè)施連接定位器，其與支撐裝置一起用于支撐制造設(shè)備。該設(shè)施連接定位器包括流體密封斗以及安裝機(jī)構(gòu)，其中該流體密封斗具有底表面和多個(gè)從底表面向上延伸的側(cè)壁，該安裝機(jī)構(gòu)適用于將該流體密封斗安裝到用于支撐制造設(shè)備的支撐裝置，使得該流體密封斗在x軸、y軸和z軸中相對(duì)于支撐裝置具有固定的位置。該設(shè)施連接定位器還包括至少一個(gè)形成于流體密封斗中的流體連接口。
該設(shè)施連接定位器還可包括真空連接口和環(huán)繞真空連接口的流體密封的冒口(riser)。真空管道連接可以穿過(guò)真空連接口延伸，且可以具有頂表面以及定位凸緣，該定位凸緣設(shè)置在離頂表面預(yù)定距離的位置，從而定位凸緣與流體密封冒口的接合使得真空管道連接的頂表面的高度固定在一相對(duì)于流體密封冒口的頂部的預(yù)定高度上。
通過(guò)下面優(yōu)選實(shí)施例、所附權(quán)利要求書和附圖的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將更全面地顯而易見。


圖1是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)在制造位置安裝的制造設(shè)備的示意性透視圖；圖2是在制造位置安裝的SEMI所提議的矩形承載支架的示意性透視圖；圖3是SEMI所提議的矩形承載支架的示意性透視圖，在該承載支架上安裝有制造設(shè)備；圖4是根據(jù)本發(fā)明的承載支架的一個(gè)實(shí)施例的示意性透視圖；圖5是在制造位置安裝且具有與其連接的制造設(shè)備主機(jī)架的圖4的承載支架的示意性透視圖；圖6是在制造位置安裝的本發(fā)明的承載支架的一個(gè)備選實(shí)施例的示意性透視圖；圖7是在制造位置安裝的圖6的承載支架的示意性透視圖，該承載支架上安裝有制造設(shè)備；圖8是在架高地板的水平面下安裝的本發(fā)明的承載支架的示意性透視圖；圖9是圖8的實(shí)施例的側(cè)視圖，其中安裝有制造設(shè)備；圖10是在本發(fā)明的設(shè)施連接定位器處的鵝頸彎接器的側(cè)視圖；圖11是從制造設(shè)備支撐裝置上所看到的等角圖(isometric view)，其展示出與該支撐裝置接合的改進(jìn)的設(shè)施連接定位器；圖12是從上面看到的圖11的設(shè)施連接定位器的分解特寫等角圖；圖13是從略微靠下處看到的圖11的設(shè)施連接管道的等角側(cè)視圖；圖14是一側(cè)視圖，其展示出以固定關(guān)系接合到設(shè)施連接口的圖13的設(shè)施連接管道；圖15A是第一流體管道連接器的底面等角圖；圖15B是第二流體管道連接器的底面等角圖；圖16是從上面看到的圖11的設(shè)施連接定位器的分解特寫等角圖。
圖17是從上面看到的圖11的設(shè)施連接定位器的特寫等角圖，其以更好的角度展示出環(huán)繞其設(shè)施連接板的冒口。
圖18是從制造設(shè)備支撐裝置的上面看到的等角圖，其展示出與該制造設(shè)備支撐裝置接合并具有圖11中未示的附加特征的改進(jìn)的設(shè)施連接定位器。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明改進(jìn)了設(shè)施連接定位器(其在圖4中以150作為參考標(biāo)記并以該參考標(biāo)記作相關(guān)描述)。改進(jìn)的設(shè)施連接與過(guò)去應(yīng)用的設(shè)施連接類似，用于使每一設(shè)備的設(shè)施連接件相鄰接。改進(jìn)的設(shè)施連接可以額外起到盛油盤的作用以捕獲可能從流體設(shè)施管道泄漏的液體，和/或可以包括幫助設(shè)備設(shè)施連接件相對(duì)于設(shè)備承載支架而準(zhǔn)確定位的特征，其中所述改進(jìn)的設(shè)施連接與該設(shè)備承載支架相接合。參考圖11～15詳細(xì)描述改進(jìn)的設(shè)施連接，該改進(jìn)的設(shè)施連接可以與任何能使設(shè)備設(shè)施在設(shè)備安裝之前定位的支架或方法一起使用；參考圖1～10描述的特定支架就是這樣一種用于定位設(shè)備設(shè)施的裝置和方法。
圖1是根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)在制造位置安裝的制造設(shè)備的示意性透視圖。如該圖所示，制造設(shè)備111，圖中展示為包括兩個(gè)晶片傳輸室(loadlock)113和115、主機(jī)架117以及一個(gè)或多個(gè)處理室119(僅示出一個(gè))的半導(dǎo)體處理設(shè)備，其由多個(gè)支柱121支撐，該支柱從制造設(shè)備111的底部上的安裝支座向下延伸至基座安裝定位墊123，基座安裝定位墊123設(shè)置于下面的密肋網(wǎng)格地板125上。為確保制造設(shè)備是水平的，通常每一個(gè)支柱121均是為安裝而定制的，且支柱還要連接到密肋網(wǎng)格下層地板的間隙。一般制造設(shè)備111的供應(yīng)商會(huì)提供具有可調(diào)高度的安裝支座(未示出)。在此情況下在制造設(shè)備111的最終安裝階段，當(dāng)將每一個(gè)安裝支座連接到支柱121時(shí)，可以通過(guò)調(diào)節(jié)每一安裝支座的高度進(jìn)行制造設(shè)備111的最終調(diào)平。不過(guò)制造位置會(huì)有要被拉到制造平面的設(shè)施管道127，因此在物理安裝(即制造設(shè)備111在支柱121上的錨定及其調(diào)平)完成之后，需要進(jìn)一步地設(shè)置管路以將設(shè)施管道127連接到制造設(shè)備111。如上面所指出的，圖1所示現(xiàn)有技術(shù)安裝的缺點(diǎn)包括用于提供定制支柱121的額外時(shí)間和花費(fèi)以及難以預(yù)先規(guī)劃或預(yù)先簡(jiǎn)化制造定位，這是因?yàn)檫@一事實(shí)支柱121的定位會(huì)干擾預(yù)先設(shè)置的設(shè)施管道127。
圖2是在制造位置安裝的SEMI所提議的矩形承載支架130的示意性透視圖。SEMI承載支架130對(duì)圖1定制的支柱121提供了另一種選擇方案。SEMI承載支架130包括被支撐于多個(gè)SEMI承載支架柱131上的矩形支架框135，每一個(gè)SEMI承載支架柱131對(duì)準(zhǔn)或接近密肋網(wǎng)格地板125的一個(gè)間隙。SEMI支架框135包括多個(gè)用于安置預(yù)簡(jiǎn)化位置的SEMI設(shè)施連接位置137，在圖3的制造設(shè)備111安裝之前，可以將設(shè)施管道127預(yù)先設(shè)置到該預(yù)簡(jiǎn)化位置。SEMI支架框135還適合于支撐架高地板139。
圖3是SEMI所提議的承載支架130從頂部看去的示意性透視圖，其中承載支架130上安裝有制造設(shè)備111。以相同的參考標(biāo)記表示以上已參考的部件，圖3展示了具有矩形SEMI支架框135的SEMI承載支架130，矩形支架框135設(shè)置在多個(gè)SEMI支架支柱131上，SEMI支架支柱131向下延伸直至密肋網(wǎng)格地板125的基座安裝位置。沿SEMI支架框135設(shè)置SEMI設(shè)施連接位置137作為用于設(shè)施管道127連接的預(yù)簡(jiǎn)化位置。當(dāng)制造設(shè)備111安裝在SEMI承載支架130上時(shí)，橫梁部件138通常必須固定到SEMI支架框135以支撐制造設(shè)備111，且將制造設(shè)備111的重量傳送并分布到SEMI承載支架130。假定在制造設(shè)備111具有獨(dú)特形狀的情況下，將制造設(shè)備111安裝到SEMI承載支架130上要求支撐件和設(shè)施連接件二者均定制。SEMI承載支架130通過(guò)連接并對(duì)準(zhǔn)SEMI支架框135的頂邊，確實(shí)為制造設(shè)備111的安裝提供了對(duì)準(zhǔn)和調(diào)平的參考點(diǎn)，并提供了預(yù)先設(shè)置管路的參考點(diǎn)(即設(shè)施連接位置137)。但是，制造設(shè)備111的安裝需要進(jìn)行橫梁部件138和/或懸臂(未示出)的定制的支撐件制造，以及定制的改裝，以便將設(shè)施管道127從設(shè)施連接位置137連接到制造設(shè)備111上的實(shí)際設(shè)施聯(lián)接點(diǎn)(未示出)。如上文所指出的，對(duì)特定設(shè)施管道的改動(dòng)可能有害地影響到穿過(guò)這些管道的流動(dòng)，從而對(duì)制造加工和制造設(shè)備111均有潛在損害。
圖4是本發(fā)明的承載支架140從頂部看去的示意性透視圖。本發(fā)明的承載支架140包括支撐架145，支撐架145具有多個(gè)從該支撐架向下延伸的支柱141。支撐架145具有基本上復(fù)制了制造設(shè)備111的主機(jī)架117的底部輪廓的框架輪廓，其中主機(jī)架117的“底部輪廓”是由主機(jī)架117本身的下框架限定的。一方面，支撐架145可以是整體的，以便提供源自于“無(wú)縫(seamless)”框架的強(qiáng)化的支撐完整性。支撐架145包括托座147以配合制造設(shè)備的承載安裝支座(如果有的話)。支柱141可調(diào)節(jié)且包括外支柱部分144和內(nèi)支柱部分142，外支柱部分144固定安裝到(例如用螺栓連接或焊接)支撐架145上，內(nèi)支柱部分142可滑動(dòng)地安裝在外支柱部分144中，使得支柱141的長(zhǎng)度可以調(diào)節(jié)，且一旦最優(yōu)化，即通過(guò)將內(nèi)支柱部分142用螺栓連接或焊接到第一外支柱部分144來(lái)適當(dāng)鎖定支柱141的長(zhǎng)度。支柱141設(shè)置在基座安裝位置墊143上，該基座安裝位置墊可以在安裝之前固定(例如可移動(dòng)地用螺栓連接或是焊接)到支柱142上或可以設(shè)置在安裝地點(diǎn)。另外固定到支柱141上的是可選擇的地震拉條(seismic brace)149。每一地震拉條149的第一端固定安裝到支柱141上，如圖所示(或可選擇直接固定到密肋網(wǎng)格地板上)，而地震拉條149的第二端被構(gòu)造成在安裝制造設(shè)備111時(shí)固定到制造設(shè)備111上。
本發(fā)明的承載支架140包括至少一個(gè)設(shè)施連接定位器150，該連接定位器固定安裝到支撐架145上并確定了設(shè)施連接位置，圖中代表性地顯示出四個(gè)設(shè)施連接位置151～154，這些連接位置準(zhǔn)確地匹配制造設(shè)備111上的設(shè)施聯(lián)接點(diǎn)。在支撐架145的周邊設(shè)置可選擇的外部凸緣(未示出)以及可選擇的內(nèi)部凸緣(未示出)以支撐架高地板(如圖5中所示)。
圖5是圖4的本發(fā)明承載支架140的示意性透視圖，該承載支架在制造位置安裝且具有與其連接的制造設(shè)備主機(jī)架117。本發(fā)明的承載支架140包括支撐架145和多個(gè)支柱141，其中支撐架145具有基本上復(fù)制了(且優(yōu)選為嚴(yán)格復(fù)制)主機(jī)架117的底部輪廓的框架輪廓，而每一支柱141延伸到位于密肋網(wǎng)格地板125上的基座安裝位置墊143。在本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中，框架輪廓無(wú)需基本上(或是相反)復(fù)制主機(jī)架117的底部輪廓。地震拉條149連接到支柱141和主機(jī)架117。設(shè)施連接定位器150固定到支撐架145以提供固定的設(shè)施連接位置151～154(如圖4所示)。所示承載支架140可以具有連接在支撐架145周邊的架高地板(未示出)。值得注意的是承載支架140可以選擇安裝在該架高地板的水平面的正下方，如圖8所示(將在下文中討論)。
本發(fā)明的承載支架140提供制造設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)(取決于支架框145的形狀)與調(diào)平(取決于可調(diào)節(jié)支柱)，并提供固定的設(shè)施連接位置151～154，所有這些設(shè)施連接位置均在制造設(shè)備安裝之前參照制造位置的基準(zhǔn)點(diǎn)100(圖7)確定。即，在制造位置確定基準(zhǔn)點(diǎn)，并參考該基準(zhǔn)點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)、調(diào)平承載支架和為其設(shè)置管路。因?yàn)橹渭?45的框架輪廓與安裝在支撐架145上的制造設(shè)備的主機(jī)架117的底部輪廓相匹配，且因?yàn)槎鄠€(gè)支柱141的數(shù)量和定位適合于配合制造設(shè)備的承載安裝支座以便支撐由本發(fā)明的承載支架所支撐的特定制造設(shè)備，因此不需要額外的支撐結(jié)構(gòu)(如定制的鋼制千斤頂、混凝土支柱、橫梁或懸臂)。此外，假定設(shè)施連接定位器150的所有設(shè)施連接位置151～154均與制造設(shè)備本身上的設(shè)施聯(lián)接點(diǎn)預(yù)先對(duì)準(zhǔn)，則不需要設(shè)施管道和連接器的改型，由此避免了對(duì)設(shè)施管道內(nèi)的流動(dòng)方式的影響。因此利用制造位置的基準(zhǔn)點(diǎn)，可以在設(shè)施連接器150處對(duì)于設(shè)施連接位置151～154的特定位置預(yù)先設(shè)置所有設(shè)施管道從而預(yù)簡(jiǎn)化制造位置。
承載支架140適合于特定制造設(shè)備的結(jié)構(gòu)，如圖6所示。為安裝如圖1所示的半導(dǎo)體處理系統(tǒng)(其不僅包括主機(jī)架處理單元117還包括工廠接口(factory interface)114與晶片傳輸室113和115以及處理室119)，承載支架140可以增加至少一個(gè)附加的支撐件160，包括附加的框架165(其受到延伸至附加基座安裝位置墊163的附加支柱161支撐)，以支撐工廠接口114、晶片傳輸室113和115或處理室119(圖1)。附加支撐件160的構(gòu)件可以以與承載支架140的構(gòu)件相同的方式構(gòu)造，使得可調(diào)節(jié)支柱161設(shè)置在制造設(shè)備的承載安裝件下面，而制造設(shè)備則設(shè)置在附加支撐件160和/或復(fù)制制造設(shè)備底部的框架165上。附加的支撐構(gòu)件160可以通過(guò)連接部分167連接到承載支架140。然而，也可選擇將支架框140加以擴(kuò)展，從而包括用于額外的制造設(shè)備(如處理室119)的支撐件。這樣，可以構(gòu)造單個(gè)的承載支架140以支撐制造設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)部分，或者可以使多個(gè)承載支架直接結(jié)合或通過(guò)連接部分167結(jié)合。在圖5的例子中，承載支架140按照需要(例如用于附加的處理室119)而包括附加的設(shè)施連接定位器170和附加的設(shè)施連接位置(圖8中的171)。
圖7是在制造位置的承載支架140從頂部看去的透視圖，在該制造位置有制造設(shè)備111，包括工廠接口114、晶片傳輸室113和115、主機(jī)架處理單元117(所示為部分被切掉以便于其底部軌跡(footprint)可視)和安裝于其上的附加處理室119。所示附加處理室119與工廠接口114類似，可以如參考圖6所描述的那樣被獨(dú)立支撐。工廠接口114由附加的支撐構(gòu)件160支撐，支撐構(gòu)件160包括附加框架構(gòu)件165，附加框架構(gòu)件165由向下延伸到附加基座安裝位置墊163的附加支柱161支撐。制造設(shè)備111的主機(jī)架117安裝在支撐架145上，該支撐架145依次由支柱141支撐，支柱141則延伸至結(jié)合(例如焊接或用螺栓連接)到密肋網(wǎng)格地板125的基座安裝位置墊143。在圖7的實(shí)施例中，由制造設(shè)備提供商將主機(jī)架處理單元117置于其自身的安裝框架156上，承載安裝支座157固定到該安裝框架156。在該實(shí)施例中，對(duì)于主機(jī)架117而言，主機(jī)架117的底部輪廓是當(dāng)安裝到安裝框架156(由制造設(shè)備提供商提供)時(shí)由承載安裝支座157的位置限定的。
圖8是安裝在架高地板168水平面的下面的本發(fā)明的承載支架140從頂部看去的示意性透視圖。在該備選實(shí)施例中，支撐架145(未示出)可安裝在支柱141上，支柱141向下延伸到密肋網(wǎng)格地板125上的基座安裝位置墊143，與前述實(shí)施例相同。架高地板168可安裝到承載支架140的頂部，該架高地板168設(shè)置有開口，該開口用于主機(jī)架117(未示出)的設(shè)施連接定位器150、用于附加的設(shè)施連接定位器(未示出)的附加設(shè)施連接位置171、及用于托座147，其中附加的設(shè)施連接定位器被設(shè)置用于附加的處理室119(未示出)，而托座147則與制造設(shè)備111的承載安裝支座157配合。
圖9是圖8的實(shí)施例裝有制造設(shè)備的側(cè)視圖。如該圖所示，架高地板168具有用于托座147(圖8)的開口，該托座147與承載安裝支座157配合。主機(jī)架處理單元117設(shè)置在其安裝框架156上，安裝框架156包括要連接到下面承載支架140的托座147(圖8)的承載安裝支座157。承載支架140的支撐架145與多個(gè)支柱141固定連接，每個(gè)支柱141延伸至并連接到密肋網(wǎng)格地板125上的基座安裝位置墊143。所示設(shè)施連接件155從設(shè)施連接定位器150的設(shè)施連接位置151～154向上伸出，以便設(shè)置到主機(jī)架處理單元117。附加的處理室119具有附加的設(shè)施連接件175，該連接件穿過(guò)其與附加連接定位器170結(jié)合的附加連接位置171(圖6)向上延伸。
圖10是鵝頸彎接器191的側(cè)視圖，鵝頸彎接器191在制造位置的設(shè)施供應(yīng)線193與本發(fā)明的設(shè)施連接定位器150的設(shè)施連接位置151～154(或其它任意的設(shè)施連接位置)之間提供設(shè)施連接。鵝頸彎接器191包括多個(gè)連接器部分195，各連接器部分195交錯(cuò)取向，從而在設(shè)施供應(yīng)線193與設(shè)施連接定位器150的設(shè)施連接位置之間靈活地接近于“直的(straight)”流動(dòng)路徑。
以上已參考幾個(gè)具體的實(shí)施例描述了本發(fā)明。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)意識(shí)到可以在不脫離本發(fā)明的精神和范圍情況下作出修改。例如應(yīng)指出，制造設(shè)備111可以包括一些非承載支座(以下稱之為“固定支座”)，其可被用于制造設(shè)備對(duì)支撐架145的附加側(cè)面固定。本發(fā)明的承載支架140的支柱141的數(shù)目和位置被選擇得與制造設(shè)備的底部輪廓上的承載安裝支座157的數(shù)目和位置相匹配。應(yīng)該理解的是，不脫離本發(fā)明的指導(dǎo)和權(quán)利要求，可以在制造設(shè)備上設(shè)置附加的固定支座，且可以在本發(fā)明的承載支架140上設(shè)置與該固定支座配合的附加托座，附加托座的位置可以與支柱141對(duì)準(zhǔn)或者不與其對(duì)準(zhǔn)。
另外，所示包括圖4中的可變長(zhǎng)度圓頭桿149的地震拉條僅為該可選部件的一個(gè)實(shí)施例的范例。備選實(shí)施例可包括一片厚金屬帶，該金屬帶可首先固定到支柱，然后在原處定制彎曲，且隨后用螺栓連接或焊接到適當(dāng)?shù)奈恢?。通過(guò)任一方法，該承載支架均將在相垂直方向上構(gòu)成三角形，從而防止垂直的支柱在地震事件中變形成為故障點(diǎn)。
雖然以上已講到模制的、整體的支架框有益于機(jī)械完整性，但其顯然在不脫離要求保護(hù)的本發(fā)明前提下可用包括多個(gè)結(jié)合(例如焊接)或固定連接(例如用螺栓連接)的部件來(lái)替換。
其它的修改還包括使用標(biāo)準(zhǔn)撐竿作為安裝和固定支座，替換傳統(tǒng)用于原處調(diào)平(in situ leveling)制造設(shè)備的可調(diào)節(jié)的安裝和固定支座。本發(fā)明的承載支架具有可調(diào)節(jié)的支柱，該可調(diào)節(jié)支柱在制造設(shè)備安裝之前受到調(diào)節(jié)，由此預(yù)先確定制造設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)和調(diào)平。因此推薦固定的撐竿，這是因?yàn)楣潭〒胃捅３衷谥渭芘c制造設(shè)備之間已經(jīng)相對(duì)于制造位置的基準(zhǔn)點(diǎn)建立的固定平行關(guān)系，并且因?yàn)閷⒉恍枰圃煸O(shè)備的原處調(diào)平。
支柱部件還可以為管狀的、直角部件(“三角鐵”)形式的、或三角形的或其它形式的，它們不必是直角的。同樣，支柱的下部可以是外部部分或內(nèi)部部分。作為對(duì)螺栓連接的另一選擇，將支柱安裝到支架框上還可以是焊接上，而設(shè)計(jì)要使得它們能與該框下面相連(在壓力下)，或?qū)⒅еO(shè)計(jì)成適合插入作為該框本身一部分制成的下側(cè)插孔中，或上述這些方案的組合。
最后，可以使用承載支架及其設(shè)施連接定位器的“分布圖”執(zhí)行制造位置的預(yù)簡(jiǎn)化，其中設(shè)施連接位置相對(duì)于制造位置的基準(zhǔn)點(diǎn)被限定。可以在承載支架安裝之前，將一種具有與本發(fā)明承載支架的輪廓同尺寸的介質(zhì)(聚碳酸酯膜)送到制造位置，該介質(zhì)帶有或不帶有指示出的設(shè)施連接位置。一旦該聚碳酸酯膜在工廠的地板上相對(duì)于基準(zhǔn)點(diǎn)展開，即可在現(xiàn)場(chǎng)精確限定出每一設(shè)施連接位置的x和y坐標(biāo)(即在水平面上的坐標(biāo))，且可以在本發(fā)明的承載支架安裝之前完成適當(dāng)?shù)墓苈吩O(shè)置、電氣施工。
圖11是從制造設(shè)備支撐裝置201的上面看到的等角圖，其展示出結(jié)合到該支撐裝置上的改進(jìn)的設(shè)施連接定位器203。設(shè)施連接定位器203包括底表面205和多個(gè)從該底表面向上延伸的側(cè)壁207，從而形成流體密封“斗”。設(shè)施連接定位器203具有至少一個(gè)形成于其內(nèi)的流體連接口且還可以具有任意數(shù)目的真空連接口、和/或設(shè)施連接板，結(jié)合參考圖11以及圖12～17可最好地理解它們的特征，圖12～17示出設(shè)施連接定位器203和/或其設(shè)施管道連接器的各種視圖。
示出的示例性的設(shè)施連接定位器203包括四個(gè)流體連接口209(圖12)和三個(gè)真空連接口211(圖12和圖16)。每個(gè)所示真空連接口211為冒口213所環(huán)繞。
安裝機(jī)構(gòu)(如安裝凸緣215)從設(shè)施連接定位器203向外伸出而與設(shè)備支撐裝置201的部件接合，使得設(shè)施連接定位器203以預(yù)定關(guān)系(即使得設(shè)施連接定位器203的部件在x軸和y軸方向上相對(duì)于設(shè)備支撐裝置201的輪廓或者軌跡固定而在z軸方向上相對(duì)于設(shè)備支撐裝置201的頂表面217固定)安裝到設(shè)備支撐裝置201上。在示出的示例性實(shí)施例中，設(shè)施連接定位器203的安裝凸緣215置于對(duì)應(yīng)的安裝凸緣219上，安裝凸緣219位于設(shè)備支撐裝置201的軌跡內(nèi)并略微下凹低于設(shè)備支撐裝置201的頂表面217，使得設(shè)施連接定位器203的頂表面及其安裝凸緣215與設(shè)備支撐裝置201的頂表面217齊平。
考慮例如冒口213，其每一個(gè)均在底表面205上延伸預(yù)定高度Z1。因此，由于底表面205在頂表面217下方有預(yù)定高度Z2，冒口213頂部的z軸位置相對(duì)于頂表面217已知。相同的原理對(duì)于設(shè)備支撐裝置201的其余特征也是正確的，如任意流體管道連接器220相對(duì)于頂表面217的z軸位置或任意的設(shè)施連接板221相對(duì)于頂表面217的z軸位置。
冒口213可以與具有z軸定位機(jī)構(gòu)如定位凸緣225的設(shè)施連接管道223一起使用，這參考圖13和14可最好理解。如圖13和14所示，設(shè)施連接管道223具有頂表面227，頂表面227可以如圖所示包括凸緣。頂表面227相對(duì)于冒口213的頂部具有固定的高度關(guān)系Z3(圖14)。因此，如果冒口213的頂部相對(duì)于頂表面217具有固定的z軸位置，則頂表面227也一樣。
為便于定位凸緣225與冒口213之間準(zhǔn)確的z軸定位/安裝，定位凸緣225可以包含V形槽229，且冒口213可以包含多個(gè)在底表面205之上預(yù)定高度形成的孔(未示出)。在一個(gè)方案中，V形槽229和冒口213中的孔(未示出)被構(gòu)造得當(dāng)定位凸緣225的頂表面231與冒口213的頂表面齊平時(shí)，V形槽229的中央與該孔相鄰。然后可以穿過(guò)桿柱235并穿過(guò)冒口213中的孔擰緊螺釘233以使螺釘233伸入V形槽229的中央。顯而易見，桿柱235保證了螺釘233垂直于冒口213中的孔，且垂直定位的螺釘233接觸V形槽229的相等的傾斜側(cè)面，確保設(shè)施連接管道223在z軸方向準(zhǔn)確定位。雖然圖中示出的設(shè)施連接管道223僅作為真空管道連接，但可以理解設(shè)施連接管道223還可以用作流體管道連接器。
在一個(gè)方案中，流體管道連接器220可被構(gòu)造成如圖15A的底部等角圖中所示。每一流體管道連接器220包括具有平坦表面239的流體管道237，平坦表面239自流體管道237水平向外延伸，且設(shè)置成當(dāng)與設(shè)施連接定位器203接合時(shí)，平坦表面239沿著設(shè)施連接定位器203的底表面205的內(nèi)側(cè)延伸。沿平坦表面239設(shè)置密封圈241，以便在平坦表面239與設(shè)施連接定位器203的底表面205的內(nèi)側(cè)之間形成流體密封。從設(shè)施連接定位器203的底表面205的外表面向下延伸的一部分流體管道237上車出螺紋(未示出)，故螺桿243可如圖所示擰于其上。因此可緊固螺栓243從而使密封圈241被穩(wěn)固夾持于平坦表面239與設(shè)施連接定位器203的底表面205之間形成流體密封。由于平坦表面239距流體管道237的頂部有固定偏移量，而且流體管道237具有已知高度，因此流體管道237的頂部離設(shè)施連接定位器203的底表面205(和離頂表面217)有固定的或者說(shuō)已知的距離。
上述的任一種連接均可焊接到設(shè)施連接定位器203上，如圖15B所示。借助于以焊接或其它方式整體形成到底表面205上的真空和/或流體連接器，設(shè)施連接定位器203是不漏流體的，不需要上述流體管道連接器220的特殊流體防漏設(shè)計(jì)，且不需要冒口213。此外，焊接或一體形成的流體管道連接器220和設(shè)施連接管道223相對(duì)于設(shè)施連接定位器203(且因此相對(duì)于設(shè)備支撐裝置的頂表面217)具有固定位置(在x-y和z軸中)。這種焊接/整體流體管道連接器220和設(shè)施連接管道223示于圖15B的等角圖中，它們還可以具有可選擇的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)夾具凸緣(未示出)。
設(shè)施連接定位器203的選擇性特征是設(shè)施連接板221，其由圖16和17最佳示出。圖16是自下觀察的設(shè)施連接定位器203的分解特寫等角圖；圖17是自上面并處于更好地展示出環(huán)繞設(shè)施連接板221的冒口213的角度觀察的設(shè)施連接定位器203的特寫等角圖。
由于具有真空連接口211，冒口213環(huán)繞設(shè)施連接板221，從而當(dāng)流體應(yīng)該填充設(shè)施連接位置203時(shí)，設(shè)施連接板221會(huì)受到保護(hù)免受填充。如圖12中最佳示出的，設(shè)施連接板221還可以具有使設(shè)施連接板221的安裝更加簡(jiǎn)單的整體形成的冒口213a。整體形成的冒口213a還可以具有焊接的邊角因而是不漏流體的。連接板的冒口213a適合于與冒口213配合而使得設(shè)施連接板221的底表面245在設(shè)施連接定位器203的底表面205上具有固定高度，并因此距頂表面217有固定的高度偏移量?？蛇x擇替代冒口的是，連接板221可具有向下延伸到連接板的設(shè)施安裝件的整體邊。設(shè)施連接板221具有多個(gè)可移動(dòng)的板247(例如具有易于方便移動(dòng)的穿孔邊緣的推板(knock out panel))，板247可以單獨(dú)移動(dòng)以讓設(shè)施管道(如電、氣、流體或壓力管道等)從其中穿過(guò)。
圖18是自上面觀察的制造設(shè)備支撐裝置的等角圖，展示出改進(jìn)的設(shè)施連接定位器203a，其與該制造設(shè)備支撐裝置結(jié)合并具有在圖11中未示出的附加特征。設(shè)施連接定位器203a具有設(shè)置在流體密封斗203的底表面205上的自重排液管249的附加部件。底表面205可以是傾斜的，以便使排液管249處在比底表面205的剩余部分略低的高度。在圖18中還示出探測(cè)設(shè)施連接斗203中的液體何時(shí)到達(dá)一定水平面的液面?zhèn)鞲衅?51。液面?zhèn)鞲衅?51可以耦合到一控制器(未示出)，該控制器會(huì)通知液面操作人員、會(huì)關(guān)閉流經(jīng)連接到設(shè)施連接定位器203的流體管道的液流、和/或會(huì)起動(dòng)耦合到設(shè)施連接定位器203的流體泵。還可以采用以相同方式傳感而自動(dòng)開始抽取流體的流體泵253。
可與任意設(shè)備支撐裝置一起使用的另一部件是如圖11所示的氣流控制板255。氣流控制板255可以通過(guò)多個(gè)凸緣或其它任意適當(dāng)?shù)臋C(jī)構(gòu)安裝到支撐裝置。氣流控制板255具有多個(gè)開口(例如均勻分布的等尺寸孔)以控制氣流。該板可以適于全部或部分占用支撐裝置的框架輪廓的內(nèi)部區(qū)域。因此，在所安裝的設(shè)備與支架的頂表面之間存在間隙的地方可以安裝氣流控制板255以減小湍流、和/或阻止物體掉入該間隙。
同氣流控制板255一樣，設(shè)施連接定位器203可以有任意尺寸和形狀，且可以占用支撐裝置輪廓的全部或任意部分的輪廓。氣流控制板255和設(shè)施連接定位器203均可以安裝成伸出支撐裝置框架之外。這樣一種設(shè)施連接定位器203仍可相對(duì)于設(shè)備支撐裝置201的頂表面217提供設(shè)施管道的準(zhǔn)確定位，且這種氣流控制板255仍可提供氣流管理和安全功能。
因此，雖然本發(fā)明已經(jīng)公開了與其相關(guān)的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解其它實(shí)施例仍會(huì)落入如所述權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的精神和范圍。
權(quán)利要求
1.一種設(shè)施連接定位器，其與支撐裝置一起用于支撐制造設(shè)備，該設(shè)施連接定位器包括流體密封斗，其具有底表面；多個(gè)從該底表面向上延伸的側(cè)壁；安裝機(jī)構(gòu)，其適合于將該流體密封斗安裝到所述支撐制造設(shè)備的支撐裝置，而使得該流體密封斗在x軸、y軸和z軸上均相對(duì)于該支撐裝置具有固定位置；和至少一個(gè)在該流體密封斗中形成的流體連接口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其中該流體密封斗進(jìn)一步包括真空連接口和環(huán)繞該真空連接口的流體密封冒口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括真空管道連接，該真空管道連接穿過(guò)該真空連接口延伸，并具有頂表面和被設(shè)置成距該頂表面為預(yù)定距離的定位凸緣，該定位凸緣接合到該流體密封冒口，從而將該真空管道連接的頂表面的高度固定在相對(duì)于該流體密封冒口的預(yù)定高度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器板，且其具有設(shè)施管道可穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
5.根據(jù)權(quán)利要求4的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括流體管道連接，該流體管道連接具有穿過(guò)該流體連接口延伸的流體管道，并具有從該流體管道水平地沿著所述斗的底表面的內(nèi)側(cè)延伸的平坦表面；和設(shè)置在該平坦表面與所述斗的底表面的內(nèi)側(cè)之間的密封圈；以及以螺紋結(jié)合到該流體管道的螺母，用以緊靠著所述斗的底表面緊密夾持該密封圈而在它們之間形成流體密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器，且其具有設(shè)施管道可穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括流體管道連接，該流體管道連接具有穿過(guò)該流體連接口延伸的流體管道，并具有從該流體管道水平地沿著所述斗的底表面的內(nèi)側(cè)延伸的平坦表面；和設(shè)置在該平坦表面與所述斗的底表面的內(nèi)側(cè)之間的密封圈；以及沿著所述的底表面的外側(cè)以螺紋結(jié)合到該流體管道的螺母。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器，且其具有設(shè)施管道可穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括流體管道連接，該流體管道連接具有穿過(guò)該流體連接口延伸的流體管道，并具有從該流體管道水平地沿著所述斗的底表面的內(nèi)側(cè)延伸的平坦表面；和設(shè)置在該平坦表面與所述斗的底表面的內(nèi)側(cè)之間的密封圈；以及沿著所述斗的底表面的外側(cè)以螺紋結(jié)合到該流體管道的螺母。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其中該流體密封斗進(jìn)一步包括環(huán)繞所述至少一個(gè)流體連接口的流體密封冒口。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的設(shè)施連接定位器，其中該流體密封斗進(jìn)一步包括真空連接口和環(huán)繞該流體連接口的流體密封冒口。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器，且其具有設(shè)施管道可穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
13.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括真空連接口和真空管道連接，該真空管道連接穿過(guò)該真空連接口延伸到其上預(yù)定高度并焊接到該流體密封斗上。
14.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括穿過(guò)所述至少一個(gè)流體連接口而延伸到其上預(yù)定高度并焊接到該流體密封斗上的流體管道連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求14的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括真空連接口和真空管道連接，該真空管道連接穿過(guò)該真空連接口而延伸到其上預(yù)定高度并焊接到該流體密封斗上。
16.根據(jù)權(quán)利要求13的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器，且其具有設(shè)施管道可以穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
17.根據(jù)權(quán)利要求14的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器，且其具有設(shè)施管道可以穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
18.根據(jù)權(quán)利要求15的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括為流體密封冒口所環(huán)繞的設(shè)施連接定位器，且其具有設(shè)施管道可以穿過(guò)其延伸的可移動(dòng)板。
19.一種用于制造設(shè)備的支撐裝置，該制造設(shè)備具有底部輪廓和沿該設(shè)備的底部輪廓設(shè)置的多個(gè)承載安裝支座，該支撐裝置包括多個(gè)支柱，該支柱包括至少一個(gè)與所述多個(gè)承載安裝支座中的每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)的支柱；設(shè)置在該多個(gè)支柱上的框架，該框架具有基本上復(fù)制該制造設(shè)備的底部輪廓的框架輪廓；和結(jié)合到該支撐裝置上的設(shè)施連接定位器，其包括流體密封斗，該流體密封斗具有底表面；多個(gè)從該底表面向上延伸的側(cè)壁；至少一個(gè)在該流體密封斗中形成的流體連接口；安裝機(jī)構(gòu)，其將該流體密封斗安裝到該支撐裝置，而使得該流體密封斗在x軸方向、y軸方向和z軸方向上均相對(duì)于該支撐裝置具有固定位置。
20.一種用于制造設(shè)備的支撐裝置，該制造設(shè)備具有底部輪廓和沿該設(shè)備的底部輪廓設(shè)置的多個(gè)承載安裝支座，該支撐裝置包括多個(gè)支柱，該支柱包括至少一個(gè)與所述多個(gè)承載安裝支座中的每一個(gè)對(duì)準(zhǔn)的支柱；設(shè)置在該多個(gè)支柱上的框架，該框架具有基本上復(fù)制制造設(shè)備的底部輪廓的框架輪廓；和板，其至少部分占用該框架輪廓的內(nèi)部區(qū)域并具有多個(gè)開口，該開口適合于減少該板下面的區(qū)域與該板上面的區(qū)域之間的氣流。
21.一種設(shè)施連接定位器，其與支撐裝置一起用于支撐制造設(shè)備，該設(shè)施連接定位器包括流體密封斗，其具有底表面；多個(gè)從該底表面向上延伸的側(cè)壁；安裝機(jī)構(gòu)，其適合于將該流體密封斗安裝到用于支撐制造設(shè)備的支撐裝置，而使得該流體密封斗在x軸、y軸和z軸上均相對(duì)于該支撐裝置具有固定位置；至少一個(gè)在該流體密封斗中形成的流體連接口；真空連接口；環(huán)繞該真空連接口的流體密封冒口，該流體密封冒口具有多個(gè)在其中形成的開口；穿過(guò)該真空連接口延伸并固定接合到該流體密封冒口上的流體管道，該流體管道包括頂表面；和定位凸緣，該定位凸緣被設(shè)置于該頂表面之下固定距離，且適合于通過(guò)穿過(guò)所述多個(gè)開口延伸的多個(gè)部件而相對(duì)于該流體密封冒口被固定在適當(dāng)位置；以及從多個(gè)開口延伸的多個(gè)部件，用以接觸該定位凸緣，并由此使該流體管道相對(duì)于該流體密封冒口而被固定在適當(dāng)位置。
22.一種預(yù)簡(jiǎn)化制造設(shè)備安裝的方法，包括設(shè)置具有頂表面的制造設(shè)備機(jī)架；設(shè)置包括流體密封斗的設(shè)施連接定位器，該流體密封斗具有用于將該流體密封斗結(jié)合到該機(jī)架的頂表面的安裝機(jī)構(gòu)，并具有(1)用于將流體管道連接安裝到該流體密封斗的機(jī)構(gòu)，其使得該流體管道連接的頂部相對(duì)于該機(jī)架的頂表面延伸至預(yù)定高度；和(2)用于將真空管道連接安裝到該流體密封斗的機(jī)構(gòu)，其使得該真空管道連接的頂部相對(duì)于該機(jī)架的頂表面延伸至預(yù)定高度；和使設(shè)施連接定位器結(jié)合到該機(jī)架的頂表面。
23.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括適合于探測(cè)該流體密封斗內(nèi)的液面何時(shí)到達(dá)預(yù)定水平面的液面探測(cè)器。
24.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括流體排液管。
25.根據(jù)權(quán)利要求1的設(shè)施連接定位器，其進(jìn)一步包括連接到該流體密封斗的泵，以便于從其中抽取流體。
全文摘要
提供一種與支撐裝置一起用于支撐制造設(shè)備的設(shè)施連接定位器。該設(shè)施連接定位器包括流體密封斗，該斗具有底表面、從底表面向上延伸的多個(gè)側(cè)壁和適合于將流體密封斗安裝到支撐裝置以便于流體密封斗相對(duì)于支撐裝置在x、y和z軸中具有固定位置的安裝機(jī)構(gòu)。該設(shè)施連接定位器還包括流體連接口，并可以包括由流體密封冒口環(huán)繞的真空連接口。真空管道連接可以穿過(guò)真空連接口延伸并可以具有離該連接的頂表面以預(yù)定距離設(shè)置的定位凸緣，以便將該定位凸緣到該冒口的耦接來(lái)相對(duì)于該冒口的頂部固定真空管道連接的高度。
文檔編號(hào)B23Q1/01GK1653586SQ02813076
公開日2005年8月10日 申請(qǐng)日期2002年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2001年7月15日
發(fā)明者R·V·肖爾 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料有限公司