專(zhuān)利名稱(chēng)：部件輔助安裝工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種部件輔助安裝工具，特別是一種用于在框架下方區(qū)域安裝部件的部件輔助安裝工具。
背景技術(shù)：
自GaN基第三代半導(dǎo)體材料的興起，藍(lán)光LED研制成功，LED的發(fā)光強(qiáng)度和白光發(fā)光效率不斷提高。LED被認(rèn)為是下一代進(jìn)入通用照明領(lǐng)域的新型固態(tài)光源，因此得到廣泛關(guān)注；而MOCVD設(shè)備是LED外延片的重要設(shè)備?，F(xiàn)有技術(shù)的MOCVD設(shè)備通常具有反應(yīng)腔和用以支撐反應(yīng)腔的框架，在MOCVD設(shè)備組裝過(guò)程中，反應(yīng)腔被安裝固定在框架上。請(qǐng)參閱圖1，圖1為現(xiàn)有技術(shù)MOCVD設(shè)備框架的立體結(jié)構(gòu)示意圖。所述框架包括底部支架11、支撐面板12和連接于底部支架11和所述支撐面板12之間的多根支撐柱13。所述支撐柱13 —端固定于所述底部支架11上，一端連接并支撐所述支撐面板12。所述支撐面板12上設(shè)置有安裝孔121 ;所述安裝孔121用于安裝MOCVD的反應(yīng)腔。所述MOCVD反應(yīng)腔一部分部件需要從所述支撐面板12的上方安裝到所述支撐面板12上，所述MOCVD反應(yīng)腔另外一部分部件需要從所述支撐面板12的下方區(qū)域14安裝到所述支撐面板12?，F(xiàn)有技術(shù)中，從所述支撐面板12的下方區(qū)域14安裝MOCVD反應(yīng)腔部件通常是通過(guò)人工將部件托舉到所述支撐面板12的下方區(qū)域14，然后再將MOCVD反應(yīng)腔部件固定在所述支撐面板12上。現(xiàn)有技術(shù)中還可以使用抬升小車(chē)安裝MOCVD反應(yīng)腔部件。將待安裝的MOCVD部件放置在抬升小車(chē)的升降臺(tái)上，然后將抬升小車(chē)推入到所述支撐面板12的下方區(qū)域14，然后升降臺(tái)將MOCVD部件抬升到支撐面板12的下方區(qū)域14適當(dāng)?shù)奈恢煤?，再由人工將MOCVD部件安裝固定到所述支撐面板12上；但由于所述底部支架11的阻擋，抬升小車(chē)很難推入到所述支撐面板12的下方區(qū)域14。由于在現(xiàn)有技術(shù)中，從所述支撐面板12的下方安裝MOCVD反應(yīng)腔部件到所述支撐面板12上的工作由于沒(méi)有合適的輔助工具，使得安裝工作繁重，降低了 MOCVD設(shè)備的安裝工作的效率。因此，有必要提供一種使得從支撐面板12下方區(qū)域14安裝部件變得方便的部件輔助安裝工具。

發(fā)明內(nèi)容
為解決現(xiàn)有技術(shù)中，從支撐面板下方區(qū)域安裝部件不方便，安裝工作繁重，效率低的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種使得從支撐面板下方區(qū)域安裝部件變得方便的部件輔助安裝工具。一種部件輔助安裝工具，其包括支架、支撐臺(tái)和多個(gè)支撐輪，所述支架包括沿支架長(zhǎng)度方向分布的第一軌道，所述第一軌道設(shè)置在所述支架的上側(cè)，所述支撐臺(tái)支撐在支架上，并能沿所述第一軌道滑動(dòng)；所述支撐臺(tái)沿所述第一軌道滑動(dòng)，使得所述支撐臺(tái)在所述支架上的第一位置移動(dòng)至第二位置；所述多個(gè)支撐輪安裝在所述支架的第一位置的下側(cè)，所述部件輔助安裝工具進(jìn)一步包括多個(gè)支撐部件，所述支撐部件可拆卸地或可回縮地安裝在所述支架的第二位置的下側(cè)。應(yīng)用本發(fā)明的部件輔助安裝工具，從支撐面板下方區(qū)域安裝部件時(shí)，可以將待安裝部件支撐在所述支撐臺(tái)上，使所述支撐臺(tái)位于所述支架上的第一位置；將所述支撐部件拆卸下來(lái)或從支架的第二位置的下側(cè)回縮。將所述支架的第二位置部分伸到所述支撐面板下方區(qū)域；由于所述支撐部件已經(jīng)拆卸或已經(jīng)從支架的第二位置的下側(cè)回縮。因此所述底部支架不會(huì)對(duì)所述述支架的第二位置部分伸到所述支撐面板下方區(qū)域產(chǎn)生阻礙，所述支架的第二位置部分可以直接推入到所述支撐面板下方區(qū)域。然后將所述支撐部件安裝到或伸到所述支架的第二位置的下側(cè)，從而支撐所述支架的第二位置部分。最后，將所述支撐臺(tái)從所述第一位置通過(guò)第一軌道滑動(dòng)到所述支架上的第二位置。從而使得待安裝部件方便的放置到所述支撐面板下方區(qū)域。方便了從支撐面板下方區(qū)域安裝部件，提高了安裝工作效率。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)MOCVD設(shè)備框架的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明部件輔助安裝工具第一實(shí)施方式的側(cè)面示意圖。圖3是圖2所示部件輔助安裝工具的俯視示意圖。圖4是圖2所示支撐臺(tái)位于第一位置時(shí)部件輔助安裝工具的立體示意圖。圖5是圖2所示支撐臺(tái)位于第二位置時(shí)部件輔助安裝工具的立體示意圖。圖6是應(yīng)用本發(fā)明的部件輔助安裝工具在框架的支撐面板下方安裝部件的狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)有技術(shù)中，存在從支撐面板下方區(qū)域安裝部件不方便，安裝工作繁重，效率低的問(wèn)題，未解決現(xiàn)有技術(shù)中從支撐面板下方區(qū)域安裝部件存在的問(wèn)題；本發(fā)明提供一種使得從支撐面板下方區(qū)域安裝部件變得方便的部件輔助安裝工具；所述部件輔助安裝工具包括支架、支撐臺(tái)和多個(gè)支撐輪，所述支架包括沿支架長(zhǎng)度方向分布的第一軌道，所述第一軌道設(shè)置在所述支架的上側(cè)，所述支撐臺(tái)支撐在支架上，并能沿所述第一軌道滑動(dòng)；所述支撐臺(tái)沿所述第一軌道滑動(dòng)，使得所述支撐臺(tái)在所述支架上的第一位置移動(dòng)至第二位置；所述多個(gè)支撐輪安裝在所述支架的第一位置的下側(cè)，所述部件輔助安裝工具進(jìn)一步包括多個(gè)支撐部件，所述支撐部件可拆卸地或可回縮地安裝在所述支架的第二位置的下側(cè)。應(yīng)用本發(fā)明的部件輔助安裝工具，從支撐面板下方區(qū)域安裝部件時(shí)，可以將待安裝部件支撐在所述支撐臺(tái)上，使所述支撐臺(tái)位于所述支架上的第一位置；將所述支撐部件拆卸下來(lái)或從支架的第二位置的下側(cè)回縮。將所述支架的第二位置部分伸到所述支撐面板下方區(qū)域，由于所述支撐部件已經(jīng)拆卸或已經(jīng)從支架的第二位置的下側(cè)回縮。因此所述底部支架不會(huì)對(duì)所述述支架的第二位置部分伸到所述支撐面板下方區(qū)域產(chǎn)生阻礙，所述支架的第二位置部分可以直接推入到所述支撐面板下方區(qū)域。然后將所述支撐部件安裝到或伸到所述支架的第二位置的下側(cè)，從而支撐所述支架的第二位置部分。最后，將所述支撐臺(tái)從所述第一位置通過(guò)第一軌道滑動(dòng)到所述支架上的第二位置。從而使得待安裝部件方便的放置到所述支撐面板下方區(qū)域。方便了從支撐面板下方區(qū)域安裝部件，提高了安裝工作效率。
請(qǐng)參閱圖2，圖2是本發(fā)明部件輔助安裝工具第一實(shí)施方式的側(cè)面示意圖。所部件輔助安裝工具2包括支架21、支撐臺(tái)22、鎖固構(gòu)件25、多個(gè)支撐輪24和多個(gè)支撐部件23。所述支撐臺(tái)22設(shè)置并支撐于所述支架21的上側(cè)；所述鎖固構(gòu)件25用于將所述支撐臺(tái)22鎖固于所述支架21 ;所述多個(gè)支撐輪24和所述多個(gè)支撐部件23設(shè)置在所述支架21的下側(cè)；所述多個(gè)支撐輪24和所述多個(gè)支撐部件23用于支撐所述支架21與所述支撐臺(tái)22。所述支架21包括支架本體211和第一軌道212，所述第一軌道212設(shè)置于所述支架本體211的上側(cè)，并沿所述支架本體211的長(zhǎng)度方向延伸分布；所述支撐臺(tái)22設(shè)置在所述第一軌道212上，并可以沿所述第一軌道212滑動(dòng)；所述支架21上定義分別位于所述支架21兩端的第一位置A和第二位置B?？蛇x的，所述支架本體211呈長(zhǎng)方形板狀。所述第一軌道212設(shè)置在所述板狀支架本體211的上表面。請(qǐng)同時(shí)參閱圖3，圖3是圖2所示部件輔助安裝工具2的俯視示意圖。優(yōu)選的，所述支架本體211為一框架結(jié)構(gòu)的支架本體211，其包括兩根平行排列的承重梁213和設(shè)置于所述兩根承重梁213之間的多根固定梁214。所述承重梁213沿所述支架21的長(zhǎng)度方向延伸。所述多根固定梁214用于連接及固定所述兩根承重梁213 ;使用框架結(jié)構(gòu)的支架本體211，可減少制造所述支架21的材料使用，降低成本，且所述支架21的重量輕，便于移動(dòng)。所述第一軌道212優(yōu)選的包括相互平行地設(shè)置在所述兩根承重梁213上的子軌道。請(qǐng)?jiān)俅螀㈤唸D2，所述多個(gè)支撐輪24對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述支架21第一位置A的下側(cè)；當(dāng)所述支撐臺(tái)22滑動(dòng)至所述第一位置A時(shí)，所述多個(gè)支撐輪24用于支撐所述支架21與所述支撐臺(tái)22，并且使得所述部件輔助安裝工具2可以通過(guò)所述支撐輪24而被推動(dòng)；優(yōu)選的，所述支撐輪24的旁邊設(shè)置有可伸縮的支撐柱。所述多個(gè)支撐部件23對(duì)應(yīng)可拆卸地或可回縮地安裝在所述支架21第二位置B的下側(cè)；當(dāng)所述支撐臺(tái)22滑動(dòng)至所述第二位置B時(shí)，所述多個(gè)支撐部件23用于支撐所述支架21與所述支撐臺(tái)22。其中所述支撐部件23可以是支撐輪或支撐柱?？蛇x的，所述支撐柱可以從所述支架21上拆卸下來(lái)；進(jìn)一步優(yōu)選的，所述支撐柱為一螺桿，所述支架21包括與所述螺桿對(duì)應(yīng)的螺母，所述螺母與所述支架21固定連接，所述螺桿與所述螺母的配合安裝在所述支架21上；可選的，所述支撐部件23是支撐輪；所述支撐輪通過(guò)一鉸鏈與所述支架21連接，所述支撐輪通過(guò)鉸鏈相對(duì)所述支架21轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得所述支撐部件23在支撐位置和回縮位置之間切換。請(qǐng)同時(shí)參閱圖4和圖5，圖4是圖2所示支撐臺(tái)22位于第一位置A時(shí)部件輔助安裝工具2的立體示意圖。圖5是圖2所示支撐臺(tái)22位于第二位置B時(shí)部件輔助安裝工具2的立體示意圖。所述支撐臺(tái)22設(shè)置在所述支架21的上側(cè)，所述支撐臺(tái)22支撐在所述第一軌道212上，所述支撐臺(tái)22可以沿所述第一軌道212滑動(dòng)，使得所述支撐臺(tái)22從所述支架21 —端的第一位置A滑動(dòng)至所述支架21另一端的第二位置B。優(yōu)選的，所述支撐臺(tái)22至少可以在兩個(gè)維度調(diào)節(jié)支撐在所述支撐臺(tái)22上的部件的位置。優(yōu)選的，所述支撐臺(tái)22包括第一調(diào)節(jié)臺(tái)221、第二調(diào)節(jié)臺(tái)222和承載部223。所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221支撐在所述第一軌道212上，所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221與所述第一軌道212配合使得所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221能夠沿所述第一軌道212滑動(dòng)，從而使得所述支撐臺(tái)22可以以所述第一軌道212的延伸方向作為第一維度調(diào)節(jié)待安裝部件的位置；其中，位于所述支架21第二位置B的一端優(yōu)選的設(shè)置有一推桿機(jī)構(gòu)215 ;所述推桿機(jī)構(gòu)215用于推動(dòng)所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221沿所述第一軌道212延伸方向精確調(diào)節(jié)位置；所述推桿機(jī)構(gòu)215優(yōu)選的為一螺紋推桿機(jī)構(gòu)，其包括一固定在所述支架21上支撐板和螺桿，所述支撐板上具有與所述螺桿相匹配的螺紋孔，所述螺桿與所述螺紋孔璇合。所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221包括本體和設(shè)置在所述本體上表面的第二軌道224，所述第二軌道224的延伸方向與所述第一軌道212的延伸方向成夾角，優(yōu)選的，所述第二軌道224的延伸方向與所述第一軌道212的延伸方向相垂直。所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222設(shè)置在所述第二軌道224上；所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222與所述第二軌道224配合使得所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222能夠沿所述第二軌道224滑動(dòng)，使得所述支撐臺(tái)22可以以所述第二軌道224的延伸方向作為第二維度調(diào)節(jié)待安裝部件的位置。其中，進(jìn)一步的，所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)222上位于所述第二軌道224的一端設(shè)置有一推桿機(jī)構(gòu)225 ;所述推桿機(jī)構(gòu)225與所述推桿機(jī)構(gòu)215基本相同；所述推桿機(jī)構(gòu)225用于推動(dòng)所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222沿所述第二軌道224延伸方向精確調(diào)節(jié)位置。所述承載部223設(shè)置在所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222上，所述承載部223用于承載待裝置部件，即待安裝部件將被設(shè)置在所述承載部223上。所述承載部223包括本體和設(shè)置在所述本體上的多個(gè)支撐柱233，待安裝部件支撐在所述多個(gè)支撐柱233上。所述支撐柱233的數(shù)量至少為三個(gè)，使得能夠穩(wěn)定地支撐設(shè)置在所述承載部223上的待安裝部件。優(yōu)選的，所述支撐柱233通過(guò)螺紋連接到所述承載部223的本體；通過(guò)旋動(dòng)所述支撐柱233可以調(diào)節(jié)所述支撐柱233高度，從而調(diào)節(jié)支撐在所述支撐柱233上的待安裝部件的高度。優(yōu)選的，所述承載部223通過(guò)一交叉滾子軸承226設(shè)置在所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222上。所述交叉滾子軸承226使得所述承載部223能夠相對(duì)所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得支撐在所述承載部223上的待安裝部件能夠旋轉(zhuǎn)，以調(diào)節(jié)其位置。進(jìn)一步的，所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222上設(shè)置有鎖緊機(jī)構(gòu)227，所述鎖緊機(jī)構(gòu)227用于鎖緊所述承載部223，防止所述承載部223相對(duì)第二調(diào)節(jié)臺(tái)222轉(zhuǎn)動(dòng)。請(qǐng)?jiān)诖藚㈤唸D2，所述鎖固構(gòu)件25用于將所述支撐臺(tái)22鎖固于所述支架21 ;優(yōu)選的，所述鎖固構(gòu)件25包括一連桿和設(shè)置在所述連桿兩端的固定螺釘。當(dāng)所述支撐臺(tái)22滑動(dòng)至所述第一位置A或第二位置B后，為防止所述支撐臺(tái)22再相對(duì)所述支架21滑動(dòng)，可以將位于所述鎖固構(gòu)件25連桿一端的固定螺釘固定在所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221上，另一端固定螺釘固定在所述支架21上，從而鎖固所述支撐臺(tái)22。需要所述支撐臺(tái)22相對(duì)所述支架21滑動(dòng)時(shí)，則需要將所述連桿兩端的固定螺釘中的一個(gè)松開(kāi)則可。請(qǐng)參閱圖6，圖6是應(yīng)用本發(fā)明的部件輔助安裝工具2在框架的支撐面板11下方安裝部件的狀態(tài)示意圖。應(yīng)用本發(fā)明的部件輔助安裝工具2在框架的支撐面板12下方安裝部件時(shí)，將待安裝部件支撐在所述支撐臺(tái)22上，即將所述待安裝部件設(shè)置在所述承載部223的所述多個(gè)支撐柱233上；使得所述支撐臺(tái)22位于所述支架21上的第一位置A ;將所述支撐部件23拆卸下來(lái)或從所述支架21的第二位置B的下側(cè)回縮。將所述支架21的第二位置B部分伸到所述支撐面板12下方區(qū)域14，由于所述支撐部件23已經(jīng)拆卸下來(lái)或已經(jīng)從所述支架21的第二位置B的下側(cè)回縮。因此所述底部支架11不會(huì)對(duì)所述支架21的第二位置部分B伸到所述支撐面板12下方區(qū)域14產(chǎn)生阻礙；所述支架21的第二位置B部分可以直接推入到所述支撐面板12下方的區(qū)域14。然后將所述支撐部件23安裝到或伸到所述支架21的第二位置B的下側(cè)，從而支撐所述支架21的第二位置B部分。接著將所述支撐臺(tái)22從所述第一位置A通過(guò)所述第一軌道滑動(dòng)到所述支架21上的第二位置B;從而使得待安裝部件方便的放置到所述支撐面板12下方區(qū)域14。方便了從支撐面板12下方區(qū)域14安裝部件，提高了安裝工作效率。為使得所述待裝置部件精確地放置到所述支撐面板14下方的安裝位置，所述部件輔助安裝工具2可以通過(guò)所述支架21上的推桿機(jī)構(gòu)215精確調(diào)節(jié)所述待安裝部件沿所述第一軌道212延伸方向的位置；所述部件輔助安裝工具2也可以通過(guò)所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)221上的推桿機(jī)構(gòu)225精確調(diào)節(jié)所述待安裝部件沿所述第二軌道224延伸方向的位置；所述部件輔助安裝工具2還可以通過(guò)使所述承載部223相對(duì)所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)222轉(zhuǎn)動(dòng)從而轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)節(jié)所述待安裝部件。雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種部件輔助安裝工具，包括支架、支撐臺(tái)和多個(gè)支撐輪，其特征在于:所述支架包括沿支架長(zhǎng)度方向分布的第一軌道，所述第一軌道設(shè)置在所述支架的上側(cè)，所述支撐臺(tái)支撐在支架上，并能沿所述第一軌道滑動(dòng)；所述支撐臺(tái)沿所述第一軌道滑動(dòng)，使得所述支撐臺(tái)在所述支架上的第一位置移動(dòng)至第二位置；所述多個(gè)支撐輪安裝在所述支架的第一位置的下側(cè)，所述部件輔助安裝工具進(jìn)一步包括多個(gè)支撐部件，所述支撐部件可拆卸地或可回縮地安裝在所述支架的第二位置的下側(cè)。
2.如權(quán)利要求1所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐部件為支撐柱。
3.如權(quán)利要求2所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐柱包括一螺桿，所述支架包括與所述螺桿對(duì)應(yīng)的螺母，所述螺母與所述支架固定，所述支撐部件通過(guò)所述螺桿與所述螺母的配合安裝在所述支架上 。
4.如權(quán)利要求1所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐部件通過(guò)一鉸鏈與所述支架連接，所述支撐部件通過(guò)鉸鏈相對(duì)所述支架轉(zhuǎn)動(dòng)，從使得所述支撐部件在支撐位置和回縮位置之間切換。
5.如權(quán)利要求1所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐臺(tái)用于支撐待安裝部件，所述支撐臺(tái)至少可以二維調(diào)節(jié)所述待安裝部件相對(duì)所述支架的位置。
6.如權(quán)利要求5所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐臺(tái)包括第一調(diào)節(jié)臺(tái)和第二調(diào)節(jié)臺(tái)，所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)支撐在所述第一軌道上，并能沿所述第一軌道滑動(dòng)；所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)上表面具有延伸方向與所述第一軌道成夾角的第二軌道；所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)支撐在所述第二軌道上，并能沿所述第二軌道滑動(dòng)。
7.如權(quán)利要求6所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)上還包括推桿機(jī)構(gòu)，所述推桿機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)沿所述第二軌道的移動(dòng)。
8.如權(quán)利要求6所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支架上還包括推桿機(jī)構(gòu)，當(dāng)所述支撐臺(tái)位于所述支架的第二位置時(shí)，所述推桿機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)所述第一調(diào)節(jié)臺(tái)沿所述第一軌道的移動(dòng)。
9.如權(quán)利要求7或8所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述推桿機(jī)構(gòu)為螺桿推桿機(jī)構(gòu)。
10.如權(quán)利要求6所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐臺(tái)還包括承載部，所述承載部通過(guò)一交叉滾子軸承連接設(shè)置在所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)上，使得所述承載部能夠相對(duì)所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。
11.如權(quán)利要求10所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)上還包括鎖緊裝置，所述鎖緊裝置用于鎖緊所述承載部，防止所述承載部相對(duì)所述第二調(diào)節(jié)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)。
12.如權(quán)利要求10所述的部件輔助安裝工具，其特征在于:所述支撐臺(tái)還包括多個(gè)支撐柱，所述多個(gè)支撐柱安裝在所述承載部上，并向上伸出用與支撐待安裝部件，所述多個(gè)支撐柱相對(duì)所述承載部向上伸出的高度可調(diào)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種部件輔助安裝工具，所述部件輔助安裝工具包括支架、支撐臺(tái)和多個(gè)支撐輪，所述支架包括沿支架長(zhǎng)度方向分布的第一軌道，所述第一軌道設(shè)置在所述支架的上側(cè)，所述支撐臺(tái)支撐在支架上，并能沿所述第一軌道滑動(dòng)；所述支撐臺(tái)沿所述第一軌道滑動(dòng)，使得所述支撐臺(tái)在所述支架上的第一位置移動(dòng)至第二位置；所述多個(gè)支撐輪安裝在所述支架的第一位置的下側(cè)，所述部件輔助安裝工具進(jìn)一步包括多個(gè)支撐部件，所述支撐部件可拆卸地或可回縮地安裝在所述支架的第二位置的下側(cè)。使用本發(fā)明的部件輔助安裝工具安裝MOCVD設(shè)備，可以提高M(jìn)OCVD設(shè)備的安裝工作的效率。
文檔編號(hào)B23P19/00GK103071990SQ201210537769
公開(kāi)日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2012年12月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月11日
發(fā)明者李王俊, 黃允文 申請(qǐng)人:光達(dá)光電設(shè)備科技(嘉興)有限公司