一種微細槽加工裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種微細槽加工裝置，包括進給機構(gòu)、振動機構(gòu)、脈沖電源和工作臺，所述的振動機構(gòu)下端固定設置有電極夾具，所述的電極夾具下端固定設置有電極刀片，所述的工作臺上端設置有夾緊裝置，所述的脈沖電源一極通過導線連接電極刀片，另一極通過導線連接夾緊裝置，所述的工作臺上方設置有清洗噴嘴，所述的工作臺內(nèi)側(cè)設置有油箱，所述的油箱一側(cè)通過柱塞油泵連接沉淀箱，所述的沉淀箱后端通過管道連接清洗噴嘴。本實用新型能夠解決微細有槽孔結(jié)構(gòu)的單件或者小批量快速加工問題。
【專利說明】—種微細槽加工裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種微細槽加工裝置，屬于電子機械生產(chǎn)設備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]微細加工方式十分豐富，涉及各種現(xiàn)代特種加工、高能束加工等方式，主要分為分離加工、接合加工和變形加工等，微細加工技術(shù)適合于微細槽孔的加工，效果很好，目前主要應用于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的加工制作，微細加工技術(shù)適用于特種新型器件、電子零件和電子裝置的制造及機械零件和裝置的制造及表面分析、材料改性等方面，其大規(guī)模、大批量生產(chǎn)時的成本相對低廉，但由于其生產(chǎn)過程通常要求在無塵等高要求的環(huán)境下進行光刻和LIGA過程中需要的掩膜制作工藝復雜，制造周期長，無法滿足單件或小批量快速生產(chǎn)的需求，且成本十分高昂，因此在對普通零件進行微細槽孔加工時無法應用。為實現(xiàn)對微細不通槽孔的單件或小批量加工，需要開發(fā)出一種新型的簡易加工設備，該設備應易于操作，經(jīng)濟實用。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種簡單實用的微細槽加工裝置。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案為:一種微細槽加工裝置，包括進給機構(gòu)、振動機構(gòu)、脈沖電源和工作臺，所述的振動機構(gòu)下端固定設置有電極夾具，所述的電極夾具下端固定設置有電極刀片，所述的工作臺上端設置有夾緊裝置，所述的脈沖電源一極通過導線連接電極刀片，另一極通過導線連接夾緊裝置，所述的工作臺上方設置有清洗噴嘴，所述的工作臺內(nèi)側(cè)設置有油箱，所述的油箱一側(cè)通過柱塞油泵連接沉淀箱，所述的沉淀箱后端通過管道連接清洗噴嘴。
[0005]所述的振動機構(gòu)內(nèi)設置有電磁線圈和起振塊，所述的電磁線圈通過導線連接脈沖電源。
[0006]所述的沉淀箱與清洗噴嘴之間設置有精過濾器。
[0007]所述的電極刀片為紫銅電極刀片。
[0008]所述的進給機構(gòu)通過進給電機驅(qū)動。
[0009]本實用新型具有以下優(yōu)點:
[0010]I)標準微槽孔制作精度高；
[0011]2)滿足任意方向、任意長度、任意寬度的加工要求，且加工深度一致；
[0012]3)低電壓加工確保操作人員安全；
[0013]4)操作簡單，加工過程易于控制；
[0014]5)單件或者小批量加工成本低可靠性高工作穩(wěn)定。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖。[0016]圖中:1、進給機構(gòu)；2、振動機構(gòu)；3、脈沖電源；4、工作臺；5、電極夾具；6、電極刀片；7、夾緊裝置；8、清洗噴嘴；9、油箱；10、柱塞油泵；11、沉淀箱；12、精過濾器；13、電磁線圈；14、起振塊；15、進給電機。
【具體實施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖，并結(jié)合實施例，對本實用新型做進一步的說明。
[0018]如圖1所示，本實施例的一種微細槽加工裝置，包括進給機構(gòu)1、振動機構(gòu)2、脈沖電源3和工作臺4，所述的振動機構(gòu)2下端固定設置有電極夾具5，所述的電極夾具5下端固定設置有電極刀片6，所述的工作臺4上端設置有夾緊裝置7，所述的脈沖電源3 —極通過導線連接電極刀片6，另一極通過導線連接夾緊裝置7，所述的工作臺4上方設置有清洗噴嘴8，所述的工作臺4內(nèi)側(cè)設置有油箱9，所述的油箱9 一側(cè)通過柱塞油泵10連接沉淀箱11，所述的沉淀箱11后端通過管道連接清洗噴嘴8。
[0019]所述的振動機構(gòu)2內(nèi)設置有電磁線圈13和起振塊14，所述的電磁線圈13通過導線連接脈沖電源3。
[0020]所述的沉淀箱11與清洗噴嘴8之間設置有精過濾器12。
[0021]所述的電極刀片6為紫銅電極刀片。
[0022]所述的進給機構(gòu)I通過進給電機15驅(qū)動。
[0023]當電磁線圈13中通過脈沖電源3時，電磁線圈13在脈沖電源3的作用下產(chǎn)生相應頻率的交變磁場，交變磁場對鐵磁性的起振塊14產(chǎn)生交變的電磁力作用，使起振塊14以特定的頻率振動，起振振動由振動機構(gòu)2傳遞到電極夾具5及其上面安裝的電極刀片6上，電極振動系統(tǒng)產(chǎn)生的振動為電極刀片6和工件之間的引弧提供必要條件，阻止因長時間的短路而發(fā)生燒壞電極刀片6，脈沖電源3為電極刀片6和零件之間持續(xù)地提供需要的脈沖電壓，產(chǎn)生脈沖放電電弧，清洗噴嘴8噴油為電火花放電處提供一定的絕緣介質(zhì)，以保證加工的順利進行，同時油液沖刷可帶走反應熱及廢屑以保證加工質(zhì)量。電極的裝夾比較簡單，可以根據(jù)不同的加工場合安排不同的裝夾方案，且更換簡單可靠。
【權(quán)利要求】
1.一種微細槽加工裝置，其特征在于:包括進給機構(gòu)(I)、振動機構(gòu)(2)、脈沖電源(3)和工作臺(4)，所述的振動機構(gòu)(2)下端固定設置有電極夾具(5)，所述的電極夾具(5)下端固定設置有電極刀片(6)，所述的工作臺(4)上端設置有夾緊裝置(7)，所述的脈沖電源(3)一極通過導線連接電極刀片(6)，另一極通過導線連接夾緊裝置(7)，所述的工作臺(4)上方設置有清洗噴嘴(8)，所述的工作臺(4)內(nèi)側(cè)設置有油箱(9)，所述的油箱(9) 一側(cè)通過柱塞油泵(10 )連接沉淀箱(11)，所述的沉淀箱(11)后端通過管道連接清洗噴嘴(8 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細槽加工裝置，其特征在于:所述的振動機構(gòu)(2)內(nèi)設置有電磁線圈(13)和起振塊(14)，所述的電磁線圈(13)通過導線連接脈沖電源(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細槽加工裝置，其特征在于:所述的沉淀箱(11)與清洗噴嘴(8 )之間設置有精過濾器(12)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細槽加工裝置，其特征在于:所述的電極刀片(6)為紫銅電極刀片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微細槽加工裝置，其特征在于:所述的進給機構(gòu)(I)通過進給電機(15)驅(qū)動。
【文檔編號】B23H1/00GK203817551SQ201420113591
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年3月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月13日
【發(fā)明者】梁作軍 申請人:嵊州市隆盛電子有限公司