本實(shí)用新型涉及一種除塵裝置，尤其是激光切割設(shè)備除塵裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶圓激光切割時(shí)會(huì)產(chǎn)生粉塵，雖然激光切割設(shè)備自帶吸塵裝置，但是并不能吸附干凈，切割好的產(chǎn)品直接進(jìn)入光學(xué)檢測(cè)設(shè)備中進(jìn)行檢測(cè)，產(chǎn)品附著粉塵容易影響檢測(cè)結(jié)果，被系統(tǒng)判為不合格品，同時(shí)會(huì)影響檢測(cè)鏡頭，粉塵會(huì)吸附到鏡頭上，需要經(jīng)常維護(hù)檢測(cè)設(shè)備。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種能對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行二次除塵，并且除塵效果好的激光切割設(shè)備除塵裝置。具體技術(shù)方案為：

激光切割設(shè)備除塵裝置，包括支架、滑板、集塵罩、直線模組和控制系統(tǒng)；所述支架設(shè)有兩個(gè)，固定在輸送板底座上，所述輸送板底座上方設(shè)有輸送板，所述支架分別位于輸送板兩側(cè)；所述支架上設(shè)有導(dǎo)軌，導(dǎo)軌的兩端分別固定在支架上，所述滑板通過直線軸承滑動(dòng)安裝在導(dǎo)軌上；所述集塵罩包括長(zhǎng)方形的集塵口和管接頭，所述集塵口位于輸送板上方，集塵口的兩側(cè)設(shè)有集塵罩固定板，所述集塵罩固定板的兩端分別固定在滑板上，所述管接頭通過波紋管與吸塵器連接；所述直線模組固定在支架的頂部，直線模組的滑塊與滑板連接；所述吸塵器和直線模組均與控制系統(tǒng)連接。

還包括過濾網(wǎng)和過濾網(wǎng)支架；所述過濾網(wǎng)固定在過濾網(wǎng)支架內(nèi)，所述過濾網(wǎng)支架通過連接柱固定在支架上，且位于輸送板和集塵口之間。

還包括光電傳感器和報(bào)警器；所述光電傳感器安裝在過濾網(wǎng)支架的下方，所述光電傳感器和報(bào)警器均與控制系統(tǒng)連接。

所述報(bào)警器為聲光報(bào)警器。

輸送板為網(wǎng)孔板，產(chǎn)品放置在輸送板上，集塵罩位于輸送板上方。集塵罩通過直線模組帶動(dòng)進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)，保證所述所有產(chǎn)品均經(jīng)過集塵罩除塵。為了保證除塵效果和降低噪音，沒有采用大功率大的吸塵器，因此集塵罩不能做的很大，通過直線模組帶動(dòng)進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)除塵。采用小的集塵罩吸力容易控制，且集塵口的吸力分布均勻，開口大的集塵口吸力分布不均，容易造成吸塵效果不好，加大吸力又容易吸附起產(chǎn)品。

直線模組有幾種叫法，線性模組、直角坐標(biāo)機(jī)器人、直線滑臺(tái)等，是繼直線導(dǎo)軌、滾珠絲桿直線傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的自動(dòng)化升級(jí)單元。可以通過各個(gè)單元的組合實(shí)現(xiàn)負(fù)載的直線、曲線運(yùn)動(dòng)，使輕負(fù)載的自動(dòng)化更加靈活、定位更加精準(zhǔn)。直線模組已經(jīng)形成標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品，很多廠家生產(chǎn)。

過濾網(wǎng)放置在產(chǎn)品和集塵口之間，防止吸力過大，將產(chǎn)品吸進(jìn)吸塵器內(nèi)損壞產(chǎn)品。過濾網(wǎng)使用一段時(shí)間后更換新的，防止粉塵堵塞過濾網(wǎng)。

過濾網(wǎng)支架下方設(shè)有光電傳感器，光電傳感器檢測(cè)過濾網(wǎng)下方有無產(chǎn)品，如果有產(chǎn)品被吸附到過濾網(wǎng)下方，光電傳感器將信號(hào)傳給控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)啟動(dòng)聲光報(bào)警器，提醒操作人員處理。

本實(shí)用新型提供的激光切割設(shè)備除塵裝置除塵效果好、對(duì)產(chǎn)品無損傷、具有多重保護(hù)裝置。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的主視圖；

圖2是本實(shí)用新型的俯視圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖說明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式。

如圖1和圖2所示，激光切割設(shè)備清潔裝置，包括支架2、滑板22、集塵罩、直線模組4、過濾網(wǎng)51和控制系統(tǒng)。

所述支架2設(shè)有兩個(gè)，固定在輸送板底座1上，所述輸送板底座1上方設(shè)有輸送板11，所述支架2分別位于輸送板11兩側(cè)。

所述支架2上設(shè)有導(dǎo)軌21，導(dǎo)軌21的兩端分別固定在支架2上，所述滑板22通過直線軸承滑動(dòng)安裝在導(dǎo)軌21上。

所述過濾網(wǎng)51固定在過濾網(wǎng)支架52內(nèi)，所述過濾網(wǎng)支架52通過連接柱12固定在支架2上，且在輸送板11上方。所述光電傳感器6安裝在過濾網(wǎng)支架52的下方。

所述集塵罩包括長(zhǎng)方形的集塵口31和管接頭32，所述集塵口31位于過濾網(wǎng)51上方，集塵口31的兩側(cè)設(shè)有集塵罩固定板34，所述集塵罩固定板34的兩端分別固定在滑板22上，所述管接頭32通過波紋管33與吸塵器連接。

所述直線模組4固定在支架2的頂部，直線模組4的滑塊與滑板22連接。

聲光報(bào)警器安裝在直線模組4的上方。

所述吸塵器、直線模組4、光電傳感器6和聲光報(bào)警器均與控制系統(tǒng)連接。

使用時(shí)啟動(dòng)吸塵器和直線模組4，直線模組4帶動(dòng)集塵罩往復(fù)移動(dòng)，集塵罩吸收粉塵，當(dāng)有半導(dǎo)體晶圓被吸附到過濾網(wǎng)51下方時(shí)，光電傳感器6檢測(cè)到半導(dǎo)體晶圓，控制系統(tǒng)發(fā)出報(bào)警信號(hào)，聲光報(bào)警器啟動(dòng)，提示操作人員處理。