專利名稱：成孔方法和在打印頭的孔板中形成噴嘴的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用光能形成一個相對于工件的厚度方向傾斜的孔的方法，特別是涉及這樣一種成孔方法，即在所述方法中，在工件的能量集中區(qū)域上形成一個不規(guī)則表面區(qū)段，從而使得即使在光能的入射角大于臨界角的情況下也能防止光能反射，以能夠形成一個相對于工件的厚度方向具有較大的傾斜角的孔。
近來，一種所謂的“即答”型(on-demand type)打印設(shè)備由于其自身尺寸的減小和成本的降低而得以迅速普及使用，這種打印設(shè)備根據(jù)記錄信號而從一噴嘴中噴射液體油墨墨滴，從而在記錄媒體(例如紙張或膠片)上進行記錄。
同時，近來人們越來越多地要求不僅要輸出字符或圖象，而且除這些字符或圖象之外還要輸出類似于照片的彩色自然圖片。為適應(yīng)這種要求，人們已經(jīng)迫切地需要打印一種高質(zhì)量的自然圖片，并極需進行半色調(diào)的復(fù)制。
為了能夠進行半色調(diào)的復(fù)制，本發(fā)明人已經(jīng)提出過一種打印頭，在這種打印頭中，可通過排放由油墨和稀釋溶液混和而成的油墨溶液，以及通過改變該油墨溶液的濃度，來控制打印點的密度，以在不破壞清晰度的情況下打印出自然圖片。
這種打印頭包括這樣一個部件，它適于提供一個將油墨或稀釋溶液排放到油墨槽或稀釋溶液槽中的力，該部件具有一個壓電元件或加熱元件；所述打印頭還包括一個噴嘴部件(即所謂的孔板)，它用于導(dǎo)引所排放的油墨或稀釋溶液。
該孔板上具有一個用作油墨噴嘴的通孔和另一個用作稀釋溶液噴嘴的通孔。這兩個通孔的直徑都很小。
因此，用鉆機或手鉆很難形成上述通孔，這是因為這些通孔限于很小的尺寸，而如果通過切割的碎片產(chǎn)生磨削來形成多個通孔是不能保證其開口尺寸的精度的，用超聲波切割方法也很難形成上述這些通孔。
可以想到利用在半導(dǎo)體制作工藝中所采用的活性離子蝕刻(RIE)技術(shù)或離子磨蝕技術(shù)來形成上述這些通孔。但這些技術(shù)是不適宜的，因為用作孔板的工件要有足夠的厚度，用上述技術(shù)對這樣的工件進行加工是要耗費大量的時間的。
本發(fā)明人已經(jīng)在日本專利申請No.7-88999中提出了一種孔板，在這種孔板中，形成一個用作油墨噴嘴的通孔和一個用作稀釋溶液噴嘴的第二通孔，這兩個通孔中的至少一個通孔相對于孔板的厚度方向傾斜。然而，采用鉆機或手鉆或采用超聲波方法很難形成這一傾斜的通孔。
因此，孔板中那種直徑很小并且不常見的傾斜通孔要通過光能的照射(例如通過激光)來形成。由于激光的光束直徑和照射直徑可被減小，所以它適于形成小直徑的孔。作為激光，除了采用激發(fā)物激光外，還可采用二氧化碳?xì)怏w激光或采用釔鋁石榴石激光(YAG)。
在激光加工中，激光光束具有與所形成的通孔同樣的傾斜角度，這種激光光束從工件表面照射，以在激光光束的行進方向上形成通孔。
然而，如果該通孔的傾斜角度很大，則激光加工也變得不可能。如圖23所示，假設(shè)沿箭頭L表示的激光光束射入折射率為n1的第一媒介物，這樣該激光光束進入折射率為n2的第二媒介物。如果該激光光束L在第一媒介物和第二媒介物中的傾斜角度分別為θ和α，則等式Sinθ/Sinα＝n1/n2成立。如果傾斜角α為90°，則激光光束L進行全反射。也就是，Sinθ＝n1/n2，這樣就不可能用激光光束形成一個具有滿足這一等式的傾斜角的通孔，該傾斜角不小于θ。也就是說，如果一束由圖24中的箭頭L1表示的激光光束從工件101的表面101a照射，則該激光被該表面101a反射，如圖24中的箭頭L2所示。
因此，本發(fā)明的一個目的是提供一種用光能形成一個具有較大傾斜角的通孔的方法。
在一種方案中，本發(fā)明提供一種成孔的方法，該方法包括在工件的能量集中區(qū)形成一個不規(guī)則表面區(qū)段，并將光能照射到這個不規(guī)則表面區(qū)段上，以形成一個相對于工件的厚度方向傾斜的孔。
在另一方案中，本發(fā)明提供一種在打印頭的孔板上形成噴嘴的方法，該方法包括用光能照射該孔板表面上的不規(guī)則表面區(qū)段，以形成一個相對于該孔板的厚度方向以預(yù)定的角度傾斜的孔。
在又一方案中，本發(fā)明提供一種在打印頭的孔板上形成第一噴嘴的方法，該方法包括形成一個相對于該孔板的厚度方向以預(yù)定的角度傾斜的第一噴嘴，以及形成一個與第一噴嘴相鄰并與該孔板的厚度方向垂直的第二噴嘴。第一噴嘴和第二噴嘴是通過光能照射而形成的，并且，在被光能照射之前，至少第一噴嘴所處的區(qū)域上形成有不規(guī)則表面區(qū)段。
工件的不規(guī)則表面區(qū)段是通過注模工藝而與工件整體成型的。
工件的不規(guī)則表面區(qū)段也可以通過噴砂方法、化學(xué)腐蝕或通過使用研磨刷而形成。
光能是激光，特別是一種激發(fā)物激光。
工件可以是由無機材料或有機材料或金屬材料制成。
本發(fā)明所述的成孔方法適用于在孔板中形成通孔。工件的成孔區(qū)的厚度最好為15～200μm。
在本發(fā)明的成孔方法中，將不規(guī)則表面區(qū)段設(shè)置在工件的能量集中區(qū)，將光能照射到這個不規(guī)則表面區(qū)段上，在反射光的光路中設(shè)置一個壁，或是改善光能的約束狀態(tài)。這樣，可以增加光能的傾斜角度，并且可以開始加工以形成一個相對于工件的厚度方向傾斜的孔，此時，即使入射角大于臨界角，也不存在光反射的危險。
如果工件的不規(guī)則表面區(qū)段是通過注模工藝而與工件整體成型的，則可同步加工大量的工件，因此提高了生產(chǎn)率。
如果這個不規(guī)則表面區(qū)段是通過噴砂方法或化學(xué)腐蝕或使用研磨刷而形成的，則該不規(guī)則表面區(qū)段被加工成精細(xì)尺寸的不規(guī)則表面區(qū)段。
如果采用激光作為光能，則可形成小直徑的孔。此外，如果采用激發(fā)物激光作為激光，則可在不對工件產(chǎn)生熱效應(yīng)的情況下完成對工件的加工，從而只對被激光光束照射的區(qū)段進行高質(zhì)量的加工。
在采用本發(fā)明所述的成孔方法形成孔板的情況下，由于在工件板的能量集中區(qū)上形成有不規(guī)則表面區(qū)段，并且是將光能照射到這個不規(guī)則表面區(qū)段上，所以易于用光能進行加工。即使光的入射角大于臨界角，也能夠在沒有光反射的條件下開始加工，從而可形成一個相對于板的厚度方向具有一傾斜角的通孔，該傾斜角大于光能的臨界角。
如果用噴砂方法、化學(xué)腐蝕或研磨刷來形成板的不規(guī)則表面區(qū)段，則這個不規(guī)則表面區(qū)段被加工成多個不規(guī)則表面區(qū)段。
如果在上述實施例中用激光作為光能，則可很容易地加工出小直徑的孔。如果用激發(fā)物激光作為激光，則可在無熱效應(yīng)的情況下加工工件，從而僅在激光照射區(qū)獲得高質(zhì)量的加工。


圖1是用本發(fā)明所述的孔板生產(chǎn)方法生產(chǎn)出的孔板的橫截面視圖。
圖2是用本發(fā)明所述的孔板生產(chǎn)方法生產(chǎn)出的孔板的平面圖。
圖3是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示在所生產(chǎn)的孔板中形成一個彎液面的狀態(tài)的示意圖。
圖4是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示油墨被排出到通孔外的狀態(tài)的示意圖。
圖5是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示稀釋溶液被排出到通孔外以形成油墨溶液的狀態(tài)的示意圖。
圖6是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示油墨溶液增長成柱形的狀態(tài)的示意圖。
圖7是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示柱形油墨溶液中產(chǎn)生縮頸的狀態(tài)的示意圖。
圖8是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示油墨溶液準(zhǔn)備開始噴射的狀態(tài)的示意圖。
圖9是表示采用了所生產(chǎn)的孔板的打印頭的工作順序和表示油墨溶液已經(jīng)噴射到空氣中的狀態(tài)的示意圖。
圖10表示的是在所說明的用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法中的加工步驟，該圖表示了這樣一種情形，即，在該孔板中形成一個溝槽。
圖11表示的是在所說明的用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法中的加工步驟，該圖表示了這樣一種情形，即，用光能進行照射，以在板中形成第二通孔。
圖12表示的是在所說明的用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法中的加工步驟，該圖表示了這樣一種情形，即，用光能進行照射，以在板中形成第一通孔。
圖13表示的是在所說明的用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法中的加工步驟，該圖表示了這樣一種情形，即，已經(jīng)在板中形成了第一通孔。
圖14表示的是在所說明的用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法中的加工步驟，該圖表示的是孔板的完成狀態(tài)。
圖15表示的是一種用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的改型，該圖表示了這樣一種情形，即，用光能進行照射，以在板中形成第一通孔和第二通孔。
圖16表示的是在用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示出了這樣一種情形，即，在板中形成一個溝槽。
圖17表示的是在用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示出了這樣一種情形，即，該板中所形成的溝槽的底部上形成了一個孔。
圖18表示的是在用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示出了這樣一種情形，即，在該板中已經(jīng)形成了第一通孔。
圖19表示的是在用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示的是使板的表面變粗糙的步驟。
圖20表示的是在用本發(fā)明所述的成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示的是將光能照射到板上的情形。
圖21表示的是在用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示出了這樣一種情形，即，在形成于板上的凸起部分的鄰近區(qū)域上形成孔。
圖22表示的是在用本發(fā)明所述成孔方法生產(chǎn)孔板的方法的第二種改型中的加工步驟，該圖表示出了這樣一種情形，即，在形成于板上的凸起部分的鄰近區(qū)域上已經(jīng)形成了第一通孔。
圖23示意性地表示出了激光光束的入射角和折射率。
圖24示意性地表示出了激光光束被工件反射的反射狀態(tài)。
下面將參照附圖對本發(fā)明的最佳實施例進行詳細(xì)說明。在本實施例中，應(yīng)用本發(fā)明所述的成孔方法來生產(chǎn)一種孔板。
圖1表示了在本實施例中制備的孔板11。該孔板11上具有一對從其主表面11a向其另一主表面11b延伸的通孔1、2。在主表面11a上的通孔1、2的開口端用作液體供應(yīng)口1a、2a，在與其相對置的另一主表面11b上的通孔1、2的開口端用作液體排放口1b、2b。
通孔2是穿過孔板11而相對于該孔板11的厚度傾斜的，而通孔1則是與該孔板的厚度相平行的。在下文中將通孔2和通孔1分別稱為第一通孔和第二通孔。第一通孔2在向著液體排放口2b行進的方向上逐漸接近通孔1的液體排放口1b。
在上述的孔板中，第一通孔2和第二通孔1分別用作油墨噴嘴和稀釋溶液噴嘴。
如圖1和圖2所示，在上述的孔板中，第一通孔2和第二通孔1在從液體供應(yīng)口2a、1a向著液體排放口2b、1b的行進方向上其橫截面分別是減小的。也就是說，如果第一和第二通孔2、1的液體供應(yīng)口2a、1a的橫截面積分別是S2a、S1a，并且它們的液體排放口2b、1b的橫截面積分別是S2b、S1b，則它們之間應(yīng)當(dāng)保持這樣的關(guān)系，即S2b＜S2a，S1b＜S1a.
為了穩(wěn)定液滴的飛行方向和承受升高的液體壓力，將孔板的厚度選定為15-100μm。
現(xiàn)在對采用了本實施例中所生產(chǎn)的孔板的打印頭進行說明。該打印頭是一種運載噴墨型的打印頭，在該打印頭中，如圖3所示，在第一通孔2的液體供應(yīng)口2a上安裝一個充滿油墨6的箱形油墨槽16，在第二通孔1的液體供應(yīng)口1a上安裝一個充滿稀釋溶液5的箱形稀釋溶液槽15。在稀釋溶液槽15的底面15a和油墨槽16的底面16a上分別裝有加熱元件3和加熱元件4。
為了用該打印頭進行打印，如圖3所示，通過一種毛細(xì)現(xiàn)象使油墨槽16中的油墨6進入到第一通孔2中從而形成第一彎液面M2，同時使稀釋溶液槽15中的稀釋溶液5通過一種毛細(xì)現(xiàn)象進入到第二通孔1中從而形成第二彎液面M1。
然后對安裝在油墨槽16底面16a上的加熱元件4施加電壓脈沖，以加熱油墨槽16中的油墨6，從而在一個與加熱元件4對齊的位置上產(chǎn)生液泡B2。于是油墨槽16內(nèi)的壓力上升，并因此而使第一通孔2內(nèi)的壓力上升，這樣，如圖4所示，通孔2內(nèi)的油墨6以一個墨滴的形式被排出到孔板11的主表面11b上。油墨6的排出量取決于施加到加熱元件4上的電壓脈沖的脈沖寬度或電壓值。
如圖5所示，然后對安裝在稀釋溶液槽15底面15a上的加熱元件3施加電壓脈沖，以加熱稀釋溶液槽15中的稀釋溶液5，從而在一個與加熱元件3對齊的位置上產(chǎn)生液泡B1。于是稀釋溶液槽15內(nèi)的壓力上升，并因此而使第二通孔1內(nèi)的壓力上升，這樣，如圖5所示，通孔1內(nèi)稀釋溶液5在液體排放口1b處排出，以便于與位于孔板11的主表面11b上的油墨6的墨滴合成為一體，從而形成呈液滴狀的油墨溶液7。
如果在這一時刻或這一時刻之前將電壓脈沖施加到加熱元件4上，則液泡B2迅速消失，這樣油墨槽16內(nèi)和第一通孔2內(nèi)的內(nèi)部壓力降低。這就使油墨溶液7與油墨6分離，如圖6所示，油墨6退回到第一通孔2中，再一次形成彎液面M2。油墨溶液7增長為柱形。
然后終止對加熱元件3的電壓脈沖。于是液泡B1迅速消失，如圖7所示，這樣在稀釋溶液槽15內(nèi)的壓力和第二通孔1內(nèi)的壓力降低，從而使稀釋溶液5退回到通孔1中。這就使油墨溶液7在液體排放口1b這一側(cè)上產(chǎn)生一個縮頸7a。
如圖8所示，隨著液泡B1尺寸的進一步減小，油墨溶液7開始噴射，直到油墨溶液7噴射到空氣中，如圖9所示。油墨溶液7然后落到記錄媒體上，從而實現(xiàn)打印。
油墨溶液7是油墨和稀釋溶液的混和物，其密度是由從第一通孔2中排出的油墨6的量來決定的，并且是由施加到加熱元件4上的電壓脈沖的振幅或?qū)挾瓤刂频?。如果振幅或?qū)挾仍黾踊驕p小，則油墨6的量分別增加或減少，這樣就改變了油墨溶液7的濃度。電壓脈沖的振幅或?qū)挾瓤梢栽谝粋€范圍內(nèi)變化到一個最佳值，所述范圍是通過實驗而確定的。
上述打印頭中的運作順序僅僅是一種舉例說明，各個步驟的時間或狀態(tài)(例如油墨溶液的成形或充填的性能)都是可以通過結(jié)構(gòu)元件(例如液體排放口的尺寸)、物理參數(shù)(例如油墨或稀釋溶液的粘度或表面張力)或操作條件(例如排放頻率)而改變的。
下面對采用本發(fā)明所述的成孔方法生產(chǎn)孔板的方法進行說明。
首先，提供一塊用于制作孔板的板31。在本實施例中，該板由有機材料(例如高分子材料)制成，并且是通過注模工藝而生產(chǎn)出來的。在本實施例中，當(dāng)通過注模工藝來形成作為工件的板31時，如圖10所示，在該板31的作為光照表面的主表面31a上開出一個溝槽41。這個溝槽41形成在被光能照射的板的能量集中區(qū)上，以形成一個傾斜延伸的通孔。
該溝槽41的橫截面基本成U型，其沿著光能的行進方向有一個傾斜的側(cè)面41a。
光能(例如激光能量)如圖11中的箭頭M1所示沿板31的厚度從板31的主表面31a入射。作為激光，例如可以采用激發(fā)物激光、二氧化碳激光或釔鋁石榴石激光，在這里采用的是激發(fā)物激光。
如果用激發(fā)物激光進行加工，則通過一種被稱作“消蝕”的加工而使分子間的約束被切斷，從而使物質(zhì)汽化并被去除，這樣就降低了在常規(guī)的熱加工中所遇到的熱效應(yīng)，從而保證了僅在被激光光束照射的區(qū)域上進行高質(zhì)量的加工。
這就加工出了一個沿板31的厚度從板31的主表面31a至與其相對的另一主表面31b穿過板31的第二通孔32，主表面31a上的開口端32a和主表面31b上的開口端32b分別作為液體供應(yīng)口和液體排放口。由于第二通孔32是通過激光照射而形成的，所以第二通孔32在位于光能入射側(cè)的主表面31a上的橫截面面積S32a大于在相對置的主表面31b上的橫截面面積S32b，這樣等式S32b＜S32a成立。
如圖12所示，光能(例如激光光能)從板31的主表面31a相對于板31的厚度方向傾斜地照射。這樣設(shè)定光能照射方向，即，在從主表面31a向著主表面31b行進的方向上逐漸接近開口32b，該開口32b是第二通孔32的液體排放口。作為激光，例如可以采用激發(fā)物激光、二氧化碳激光或釔鋁石榴石激光，激發(fā)物激光在這里被再次采用。
由于在例舉的實施例中所形成的溝槽41是一個位于板31的能量集中區(qū)上的不規(guī)則表面區(qū)段(板31是一個工件)，光能傾斜地集中在所述的能量集中區(qū)上，以在板31上形成傾斜延伸的通孔，所以圖10中箭頭M2所示的光能照射在該溝槽41的傾斜側(cè)面41a上。
由于側(cè)面41a是一個傾斜面，所以箭頭M2所示的光能以近似于直角的角度入射到該側(cè)面41a上。該入射光沿直線行進而進行加工。
這就加工出了一個沿板31的厚度從板31的主表面31a至與其相對的另一主表面31b穿過板31的第一通孔33，主表面31a上的開口端33a和主表面31b上的開口端33b分別用作液體供應(yīng)口和液體排放口，這樣就加工成了一塊具有傾斜延伸的第一通孔33和沿板的厚度延伸的第二通孔32的孔板，如圖14所示。
由于第一通孔33是通過激發(fā)物激光照射而形成的，所以它在位于光能入射側(cè)的主表面31a上的橫截面面積S33a大于在相對置的主表面31b上的橫截面面積S33b，這樣等式S33b＜S33a成立。第一通孔33的形成是這樣的，即，作為第一通孔33的液體排放口的開口端33b在向著作為液體排放口的開口端32b行進的方向上逐漸接近該開口端32b。
雖然在上述的制造方法中第一通孔是在第二通孔成型后形成的，但也可以是將上述制造方法中所采用的由箭頭M1和M2標(biāo)示的光能同時從板31的主表面31a照射，以在孔板上同時形成第一通孔和第二通孔。
雖然在上述制造過程中，在板31上(板31是一個工件)形成的溝槽的橫截面基本呈U型，并且該溝槽在光能的光路上具有一個傾斜面，以在板31的能量集中區(qū)上提供一個不規(guī)則表面區(qū)段，但該不規(guī)則表面區(qū)段也可以是這樣形成的，即，在被光能照射的主表面31a上形成一個橫截面為U型的溝槽51。
如果光能如圖16中的箭頭M2所示從帶有這樣的溝槽51的板31的主表面31a照射，則光能在與入射方向相反的方向上反射。但由側(cè)壁51a使得光產(chǎn)生回跳。這樣就在這一區(qū)域上開始加工，如圖17所示，在溝槽51的底面上形成一個小孔52，以有利于光能與工件的結(jié)合，從而在光能的入射方向上開始加工。這就產(chǎn)生了一個沿板31的厚度從板31的主表面31a至其另一相對置的主表面31b穿過板31的第一通孔33，主表面31a上的開口端33a和另一相對置的主表面31b上的開口端33b分別用作液體供應(yīng)口和液體排放口。光能例如可以是激發(fā)物激光、二氧化碳激光或是釔鋁石榴石激光的激光光束。由于上述原因這里采用了激發(fā)物激光。
在上述制造方法中，通過注模工藝使不規(guī)則表面區(qū)段與板同步成型。但也可以通過注模工藝形成板的不規(guī)則表面區(qū)段的鄰近區(qū)域，并將所得到的區(qū)域連結(jié)到板的剩余區(qū)域上，以最終在所完成的板上形成不規(guī)則表面區(qū)段。包括有不規(guī)則表面區(qū)的區(qū)段和板的主區(qū)段可以采用同樣的材料，也可以采用不同的材料。
在上述制造方法中，作為工件的板31的表面上形成有溝槽，以形成不規(guī)則表面區(qū)段。在另一可替換的方案中，可以將板的表面弄粗糙，以在能量集中區(qū)形成不規(guī)則表面區(qū)段。
在這種情況下，提供一塊準(zhǔn)備作孔板的板61。在所列舉的實施例中，板61由有機材料(例如高分子材料)制成。具體地說，該板是一種聚酰亞胺薄片。
然后，如圖19所示，通過一種噴砂方法把將要用光能進行照射的板61的主表面61a弄粗糙，所述的噴砂方法包括用細(xì)小的顆粒有力地撞擊工件，用這些顆粒使工件表面出現(xiàn)凹凸不平。通過用噴砂方法把基本光滑的聚酰亞胺表面弄粗糙(該表面的表面不規(guī)則量的最大高度達10埃)，所形成的細(xì)小尺寸的不規(guī)則量的最大高度為5μm數(shù)量級。
如圖19所示，箭頭M2所示的光能從板61的主表面61a照射。入射光碰到用噴砂方法在板61的主表面61a上形成的凸起物62，該入射光因此而被該凸起物阻擋，從而在那里開始進行加工，如圖20所示。這樣，如圖21所示，在與該凸起物62最接近的區(qū)域上形成小孔63，用以加強光能與工件的結(jié)合，從而在光的入射方向上開始進行加工。這就加工出了一個沿板61的厚度從板61的主表面61a至與其相對置的另一主表面61b穿過板61的第一通孔33，主表面61a上的開口端33a和主表面61b上的開口端33b分別用作液體供應(yīng)口和液體排放口。
如上所述，對一種其表面原封不動的聚酰亞胺薄片和另一種如上所述其表面被用噴砂方法加工過的聚酰亞胺薄片進行如上所述的加工而形成傾斜延伸的孔。要指出的是，在使用那種其表面原封不動的聚酰亞胺薄片和那種如上所述其表面被用噴砂方法加工過并因此而變得粗糙的聚酰亞胺薄片的情況下，可分別形成最大傾斜角為80°的孔和最大傾斜角為85°的孔。
光能例如可以是激發(fā)物激光、二氧化碳激光或是釔鋁石榴石激光的激光光束。由于上述原因最好采用激發(fā)物激光。
雖然在上述的制造方法中是用噴砂方法將板的表面弄粗糙，但也可以用化學(xué)腐蝕方法或使用研磨刷來將板的表面弄粗糙。
雖然在上述實施例中是采用有機材料(例如高分子材料)作為工件板的材料，但也可以采用無機材料或金屬作為板材。
權(quán)利要求
1.一種成孔方法，包括在工件的能量集中區(qū)上形成不規(guī)則表面區(qū)段，并將光能照射在該不規(guī)則表面區(qū)段上，以形成一個相對于工件的厚度方向傾斜的孔。
2.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，工件上的不規(guī)則表面區(qū)段是通過工件的注模工藝而與工件整體成型的。
3.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，工件上的不規(guī)則表面區(qū)段是通過噴砂方法而形成的。
4.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，工件上的不規(guī)則表面區(qū)段是通過化學(xué)腐蝕而形成的。
5.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，工件上的不規(guī)則表面區(qū)段是使用研磨刷而形成的。
6.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，所用光能是激光。
7.如權(quán)利要求6所述的成孔方法，其特征在于，該激光是一種激發(fā)物激光。
8.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，所述工件是由有機材料制成的。
9.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，所述工件是由無機材料制成的。
10.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，所述工件是由金屬材料制成的。
11.如權(quán)利要求1所述的成孔方法，其特征在于，工件上的成孔區(qū)段的厚度在15μm至200μm之間。
12.如權(quán)利要求11所述的成孔方法，其特征在于，該工件是一塊孔板。
13.一種在打印頭的孔板上形成噴嘴的方法，包括用光能照射所述孔板上的不規(guī)則表面區(qū)段的表面，以形成一個相對于孔板的厚度方向以預(yù)定的角度傾斜的孔。
14.一種在打印頭的孔板上形成第一噴嘴的方法，包括形成一個相對于孔板的厚度方向以預(yù)定的角度傾斜的第一噴嘴；以及形成一個在所述第一噴嘴的鄰近區(qū)域上與孔板的厚度方向相垂直的第二噴嘴；其特征在于，所述第一噴嘴和第二噴嘴是通過用光能照射而形成的，并且，在被所述光能照射之前，至少在第一噴嘴所處的區(qū)域上形成一個不規(guī)則表面區(qū)段。
全文摘要
一種用光能形成一個相對于工件的厚度方向傾斜的孔的方法，在作為工件的板的能量集中區(qū)上形成一個溝槽，以使得用作光能照射面的板主表面上具有缺口，從而形成不規(guī)則表面區(qū)段。以相對于板的厚度方向傾斜的方向?qū)⒐饽苷丈涞桨宓闹鞅砻嫔系倪@個不規(guī)則表面區(qū)段上。該工件的不規(guī)則表面區(qū)段是通過注模工藝而與工件整體成型的。該不規(guī)則表面區(qū)段也可以通過噴砂方法、化學(xué)腐蝕或用研磨刷而形成。所采用的光能是激光，特別是激發(fā)物激光。該工件可以是由有機材料、無機材料或金屬材料制成。通過采用光能，形成一個具有較大傾斜角的孔。
文檔編號B23K26/38GK1137450SQ9610575
公開日1996年12月11日 申請日期1996年3月29日 優(yōu)先權(quán)日1995年3月31日
發(fā)明者中山徹生, 木島公一朗, 安藤真人, 村上隆昭 申請人:索尼株式會社