具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，該運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括：X平臺(tái)、Y平臺(tái)和工作臺(tái)，其中Y平臺(tái)安裝在X平臺(tái)上，工作臺(tái)安裝在Y平臺(tái)上，X平臺(tái)主要包括驅(qū)動(dòng)Y平臺(tái)在X平臺(tái)上運(yùn)動(dòng)的對(duì)稱設(shè)置的第一直線電機(jī)和第三直線電機(jī)，以及支撐Y平臺(tái)運(yùn)動(dòng)的第一直線導(dǎo)軌，Y平臺(tái)主要包括驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在Y平臺(tái)上運(yùn)動(dòng)的第二直線電機(jī)以及支撐工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)的第二直線導(dǎo)軌，工作臺(tái)上載有負(fù)載，本發(fā)明還包括設(shè)置于第一直線電機(jī)和第二直線電機(jī)上的磁屏蔽箱體，用于減少電機(jī)的磁漏。通過上述機(jī)構(gòu)，使直線電機(jī)定子的磁場(chǎng)被有效屏蔽，從而減小電機(jī)漏磁產(chǎn)生的不利影響，使電機(jī)的發(fā)熱量大幅降低，在確保高精度控制的條件下，可以更進(jìn)一步地提高平臺(tái)的移動(dòng)速度。
【專利說明】
具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)領(lǐng)域，尤其涉及一種在二維運(yùn)動(dòng)下的具有高速度和高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)是通過旋轉(zhuǎn)式電機(jī)(動(dòng)子做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的電機(jī))驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠結(jié)構(gòu)從而帶動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)二維運(yùn)動(dòng)的，其運(yùn)動(dòng)鏈從動(dòng)力源電機(jī)傳遞到執(zhí)行部件需要經(jīng)過許多中間環(huán)節(jié)，如齒輪副、蝸輪副、絲杠副等，在這些環(huán)節(jié)中會(huì)產(chǎn)生較大的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量(如摩擦、噪聲、振動(dòng)、磨損)，導(dǎo)致無法實(shí)現(xiàn)平臺(tái)所需要的高速、高精度的目標(biāo)。
[0003]采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)可以解決傳統(tǒng)二維平臺(tái)的問題，省去了滾珠絲杠等中間環(huán)節(jié)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，并提高平臺(tái)的速度和精度，相較以往的傳統(tǒng)電機(jī)，其驅(qū)動(dòng)方式有了較大的進(jìn)步。
[0004]但是隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)產(chǎn)品更快更準(zhǔn)的要求在進(jìn)一步提升，單個(gè)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的二維平臺(tái)在某些超高速高精度的領(lǐng)域仍存在一定的不足之處。例如，單電機(jī)驅(qū)動(dòng)會(huì)產(chǎn)生較多熱量，并難以散發(fā)出去，導(dǎo)致電機(jī)內(nèi)部溫升過高，縮短電機(jī)的壽命，當(dāng)溫度達(dá)到上限后，電機(jī)的速度很難再往上提升。另外，單電機(jī)驅(qū)動(dòng)的方式還存在重心不對(duì)稱的問題，這樣會(huì)導(dǎo)致在高速或超高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)電機(jī)的動(dòng)態(tài)性能產(chǎn)生較大偏差而損壞等。這些缺點(diǎn)都限制了單電機(jī)驅(qū)動(dòng)方式的平臺(tái)往更快更準(zhǔn)的方向發(fā)展。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種減少電機(jī)漏磁并能夠達(dá)到高速和高精度要求的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)的二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
[0006]本發(fā)明的目的通過下述技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0007]—種具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，包括X平臺(tái)、Y平臺(tái)和工作臺(tái)；所述X平臺(tái)固定，Y平臺(tái)安裝在X平臺(tái)上，工作臺(tái)安裝在Y平臺(tái)上。
[0008]所述X平臺(tái)包括第一直線導(dǎo)軌、第一底座、第一直線電機(jī)、與第一直線電機(jī)對(duì)稱設(shè)置的第三直線電機(jī)和第一反饋傳感器。所述第一直線電機(jī)包括第一定子、第一動(dòng)子和第一磁屏蔽箱體，所述第三直線電機(jī)包括第三定子、第三動(dòng)子和第三磁屏蔽箱體，所述第一直線導(dǎo)軌包括第一導(dǎo)軌和第一滑塊，所述第一反饋傳感器包括第一光柵尺和第一讀數(shù)頭。所述第一導(dǎo)軌固定在第一底座上與X軸方向平行。所述第一定子固定在第一底座上，位于第一導(dǎo)軌的一端，第一磁屏蔽箱體將第一定子裹住，減少磁泄漏，所述第一動(dòng)子與Y平臺(tái)的一端連接。所述第三定子設(shè)置在第一導(dǎo)軌的另一端，第三磁屏蔽箱體將第三定子裹住，所述第三動(dòng)子與Y平臺(tái)的另一端連接，與第一動(dòng)子共同驅(qū)動(dòng)Y平臺(tái)在第一直線導(dǎo)軌上往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0009]所述Y平臺(tái)包括第二直線導(dǎo)軌、第二底座、第二直線電機(jī)和第二反饋傳感器。所述第二直線電機(jī)包括第二定子、第二動(dòng)子和第二磁屏蔽箱體，所述第二直線導(dǎo)軌包括第二導(dǎo)軌和第二滑塊，所述第二反饋傳感器包括第二光柵尺和第二讀數(shù)頭。所述第二底座安裝在第一滑塊上，分別與第一動(dòng)子和第三動(dòng)子連接，由第一動(dòng)子和第三動(dòng)子一起驅(qū)動(dòng)。所述第二導(dǎo)軌固定在第二底座上且與Y軸方向平行。所述第二定子固定在第一底座上，所述第二磁屏蔽箱體將第二定子包裹，減少磁泄漏。所述工作臺(tái)安裝在第二滑塊上，所述第二動(dòng)子與工作臺(tái)連接，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在第二直線導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)，所述工作臺(tái)上裝有負(fù)載。所述第一光柵尺設(shè)置在第二底座的一側(cè)，與第一導(dǎo)軌平行，所述第一讀數(shù)頭固定在第一底座上，讀取第一光柵尺的刻度。所述第二光柵尺設(shè)置在工作臺(tái)的一側(cè)，與第二導(dǎo)軌平行，所述第二讀數(shù)頭固定在第二底座上，讀取第二光柵尺的刻度。
[0010]本發(fā)明采用對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所以所述第一直線電機(jī)、第一直線導(dǎo)軌和第三直線電機(jī)三者成一直線，且與X軸方向平行;所述第一動(dòng)子與第三動(dòng)子同步且同方向運(yùn)動(dòng)。這種對(duì)稱式驅(qū)動(dòng)方式可以大大減少直線電機(jī)因?yàn)楦咚俸透哳l率往復(fù)運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的熱量，通過對(duì)兩組直線電機(jī)進(jìn)行精確控制，可以明顯提升二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的速度及穩(wěn)定性。
[0011]由于定子在屏蔽磁場(chǎng)后，磁屏蔽箱體密封的環(huán)境必然引起直線電機(jī)內(nèi)部的升溫，升溫過快或溫度過高都會(huì)影響電機(jī)的可靠性和使用壽命，所以所述具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)還包括用于散熱的第一風(fēng)扇、第二風(fēng)扇和第三風(fēng)扇。所述第一風(fēng)扇設(shè)置在第一磁屏蔽箱體上，對(duì)著第一定子進(jìn)行吹風(fēng)散熱;所述第二風(fēng)扇設(shè)置在第二磁屏蔽箱體上，對(duì)著第二定子進(jìn)行吹風(fēng)散熱；所述第三風(fēng)扇設(shè)置在第三磁屏蔽箱體上，對(duì)著第三定子進(jìn)行吹風(fēng)散熱。由于風(fēng)扇的吹風(fēng)面積打、吹風(fēng)流量大，所以對(duì)定子起到很好的降溫作用。
[0012]為了進(jìn)一步減緩磁屏蔽后直線電機(jī)的升溫速度，使直線電機(jī)能長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，減少發(fā)生故障的幾率，因此，本方案中的所述第一磁屏蔽箱體、第二磁屏蔽箱體和第三磁屏蔽箱體上設(shè)有用于散熱的排氣孔。所述排氣孔設(shè)置在第一磁屏蔽箱體、第二磁屏蔽箱體和第三磁屏蔽箱體的頂部，電機(jī)內(nèi)產(chǎn)生的熱量可以快速地從排氣孔中排走。
[0013]由于動(dòng)子在高速高頻率地工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量熱量，風(fēng)扇的鼓風(fēng)風(fēng)量大，但流速低，與動(dòng)子相隔距離遠(yuǎn)，不足以快速降低動(dòng)子的溫度，因此本發(fā)明還包括用于快速散熱的氣管，所述氣管分別與第一動(dòng)子、第二動(dòng)子和第三動(dòng)子連接，對(duì)第一動(dòng)子、第二動(dòng)子和第三動(dòng)子吹風(fēng)散熱。雖然氣管的散熱面積小，但其流速快，局部散熱效果好，當(dāng)需要對(duì)動(dòng)子進(jìn)行快速降溫時(shí)，可以同時(shí)打開風(fēng)扇和氣管，使動(dòng)子的溫度快速下降。
[0014]本發(fā)明的工作過程和原理是:第一直線電機(jī)和第三直線電機(jī)對(duì)稱地設(shè)置在第一直線導(dǎo)軌兩端，共同驅(qū)動(dòng)第二底座在與X軸方向平行的第一直線導(dǎo)軌上來回運(yùn)動(dòng)，第一反饋傳感器對(duì)第二底座進(jìn)行精確測(cè)量，實(shí)現(xiàn)第二底座在X軸方向上的高精度控制；同樣的，第二直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在與Y軸方向平行的第二直線導(dǎo)軌上往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第二反饋傳感器對(duì)工作臺(tái)進(jìn)行精確測(cè)量，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)在Y軸方向上的高精度控制。同時(shí)，直線電機(jī)的定子均設(shè)置在磁屏蔽箱體內(nèi)，有效屏蔽了定子產(chǎn)生的磁場(chǎng)，減少了電機(jī)磁漏所帶來的不利影響，提高直線電機(jī)的功率和力矩，從而大幅提升直線電機(jī)的反應(yīng)速度和移動(dòng)速度。本發(fā)明提供的二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，具有高速和高精度的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明還具有以下有益效果:
[0016](I)本發(fā)明利用對(duì)稱設(shè)置的直線電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，在大幅減少直線電機(jī)發(fā)熱量的同時(shí)可以進(jìn)一步提升平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)速度，而且，由于直線電機(jī)的發(fā)熱量減少，可以進(jìn)一步降低散熱風(fēng)扇的能耗，降低設(shè)備的成本。
[0017](2)本發(fā)明在磁屏蔽箱體上裝有風(fēng)扇，對(duì)定子進(jìn)行大面積散熱，使定子內(nèi)的初級(jí)線圈繞組迅速降溫，明顯提高了直線電機(jī)的穩(wěn)定性和可靠性。
[0018](3)本發(fā)明在磁屏蔽箱體上設(shè)有向上出氣的排氣孔，該排氣孔與風(fēng)扇配合使用時(shí)，可以將磁屏蔽箱體內(nèi)的熱量快速排走，進(jìn)一步降低電機(jī)的溫度，延遲其使用壽命。
[0019](4)本發(fā)明還在動(dòng)子上安裝氣管，該氣管對(duì)著動(dòng)子內(nèi)的次級(jí)線圈繞組進(jìn)行吹氣，由于氣管吹出的風(fēng)流速快，可以對(duì)次級(jí)線圈繞組進(jìn)行局部快速散熱，配合風(fēng)扇的余風(fēng)，可以有效降低動(dòng)子的溫度。
[0020](5)本發(fā)明可以根據(jù)負(fù)載的位置變化情況，很好地分配第一直線電機(jī)和第二直線電機(jī)的承載能力，使負(fù)載在高速、高精度的運(yùn)動(dòng)下能夠穩(wěn)定地到達(dá)指定位置。
[0021](6)本發(fā)明由于X方向兩個(gè)直線電機(jī)對(duì)稱安裝，可以有效減少非對(duì)稱電機(jī)引起的X方向重心的偏離，改善整個(gè)平臺(tái)的動(dòng)態(tài)特性和運(yùn)動(dòng)性能。
【附圖說明】
[0022]圖1是本發(fā)明的立體圖。
[0023I圖2是本發(fā)明的局部示意圖。
[0024]圖3是本發(fā)明的第三直線電機(jī)的立體示意圖。
[0025]上述圖中的標(biāo)號(hào)說明如下:1-第一底座、2-第一導(dǎo)軌、3-第二底座、4-第一滑塊、5-第二導(dǎo)軌、6-第二滑塊、7-第一磁屏蔽箱體、8-第一動(dòng)子、9-第一定子、10-第一讀數(shù)頭、11-第一光柵尺、12-第二磁屏蔽箱體、13-第二定子、14-第二動(dòng)子、15-第二讀數(shù)頭、16-第二光柵尺、17-第三磁屏蔽箱體、18-第三動(dòng)子、19-第三定子。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0027]實(shí)例例1:
[0028]如圖1、圖2和圖3所示，本發(fā)明公開了一種具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，包括一個(gè)X平臺(tái)，一個(gè)Y平臺(tái)及工作臺(tái)。X平臺(tái)包括第一底座1、第一直線導(dǎo)軌、第一直線電機(jī)、第三直線電機(jī)和第一反饋傳感器。第一直線導(dǎo)軌包括第一導(dǎo)軌2和第一滑塊4，第一直線電機(jī)包括第一定子9和第一動(dòng)子8，第三直線電機(jī)包括第三定子19和第三動(dòng)子18，第一反饋傳感器包括第一光柵尺11和第一讀數(shù)頭113Y平臺(tái)包括第二底座3、第二直線導(dǎo)軌、第二直線電機(jī)和第二反饋傳感器。第二直線導(dǎo)軌包括第二導(dǎo)軌5和第二滑塊6，第二直線電機(jī)包括第二定子13和第二動(dòng)子14，第二反饋傳感器包括第二光柵尺16和第二讀數(shù)頭15。
[0029]第一底座I固定設(shè)置，其上安裝一副平行于X軸的第一直線導(dǎo)軌、第一定子9、第二定子13、第三定子19和第一讀數(shù)頭10，第一定子9和第三定子19對(duì)稱地安裝在第一直線導(dǎo)軌兩端。第二底座3安裝在第一滑塊4上，第一光柵尺11設(shè)置在第二底座3—側(cè)的邊緣，與第一讀數(shù)頭10相對(duì)。第一動(dòng)子8和第三動(dòng)子18分別安裝在第二底座3的兩端，對(duì)稱分布，共同驅(qū)動(dòng)第二底座3在第一直線導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)。第二底座3上安裝一幅平行于Y軸的第二直線導(dǎo)軌，第二直線導(dǎo)軌上安裝工作臺(tái)，工作臺(tái)上帶有負(fù)載。第二底座3上還設(shè)有第二讀數(shù)頭15，工作臺(tái)上設(shè)有第二光柵尺16，第二讀數(shù)頭15與第二光柵尺16相對(duì)，獲取第二光柵尺16上的刻度。第二動(dòng)子14與工作臺(tái)連接，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在第二直線導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)。
[0030]本發(fā)明中的第一直線電機(jī)、第一直線導(dǎo)軌和第三直線電機(jī)三者是成一直線安裝的，且與X軸方向平行。第二底座3由第一動(dòng)子8和第三動(dòng)子18共同同步且同方向驅(qū)動(dòng)。這種對(duì)稱式驅(qū)動(dòng)方式可以大大減少直線電機(jī)因?yàn)楦咚俸透哳l率往復(fù)運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生的熱量，通過對(duì)兩組直線電機(jī)進(jìn)行精確控制，可以明顯提升二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的速度及穩(wěn)定性。
[0031]優(yōu)選的，本發(fā)明還提供用于屏蔽定子磁場(chǎng)的磁屏蔽箱體，分別為第一磁屏蔽箱體
7、第二磁屏蔽箱體12和第三磁屏蔽箱體17，第一磁屏蔽箱體7將第一定子9罩住，第二磁屏蔽箱體12將第二定子13罩住，第三磁屏蔽箱體17將第三定子19罩住，由于磁屏蔽箱體采用金屬材料制成，對(duì)磁感線有隔絕的作用，所以在磁屏蔽箱體的作用下，第一定子9、第二定子13和第三定子19所產(chǎn)生的磁力線被磁屏蔽箱體阻擋，直線電機(jī)的磁漏現(xiàn)象大大減少，直線電機(jī)的力矩大幅提升，有效提高直線電機(jī)的動(dòng)子的移動(dòng)速度。
[0032]為了確保直線電機(jī)在高速、高精度的移動(dòng)條件下能夠平穩(wěn)、可靠地運(yùn)行，本發(fā)明還包括用于給直線電機(jī)散熱的風(fēng)扇、排氣孔和氣管。風(fēng)扇設(shè)在磁屏蔽箱體上，對(duì)著定子內(nèi)的初級(jí)線圈繞組大面積吹風(fēng)，排氣孔則設(shè)置在磁屏蔽箱體的頂部，使電機(jī)內(nèi)的熱氣從排氣孔中迅速向上排走，而氣管設(shè)置在動(dòng)子上，對(duì)動(dòng)子上的局部次級(jí)線圈繞組進(jìn)行吹風(fēng)，使其快速降溫O
[0033]Y平臺(tái)依靠X平臺(tái)的第一直線電機(jī)的第一動(dòng)子8與第一定子9之間的電磁力，以及第三直線電機(jī)的第三動(dòng)子18與第三定子19的電磁力共同驅(qū)動(dòng)運(yùn)行，其運(yùn)動(dòng)方向與第一直線導(dǎo)軌平行。工作臺(tái)依靠Y平臺(tái)的第二直線電機(jī)的第二動(dòng)子13與第二定子14之間的電磁力的驅(qū)動(dòng)運(yùn)行，其運(yùn)動(dòng)方向與第二直線導(dǎo)軌平行，負(fù)載置于工作臺(tái)上，由第二直線電機(jī)與第一直線電機(jī)共同驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)平面內(nèi)相互垂直的兩個(gè)方向的快速移動(dòng)。
[0034]X平臺(tái)上的第一讀數(shù)頭10及與其相對(duì)應(yīng)的第一光柵尺11組成X平臺(tái)上的位置反饋傳感器，用以檢測(cè)Y平臺(tái)的第二底座3的位置信息。Y平臺(tái)上的第二讀數(shù)頭15及與其相對(duì)應(yīng)的第二光柵尺16組成Y平臺(tái)上的位置反饋傳感器，用以檢測(cè)工作臺(tái)的位置信息。X平臺(tái)上的位置反饋傳感器與Y平臺(tái)上的位置反饋傳感器所檢測(cè)到的位置信息輸入到控制系統(tǒng)中以實(shí)現(xiàn)精確的定位控制。
[0035]本發(fā)明的工作過程和原理是:第一直線電機(jī)和第三直線電機(jī)對(duì)稱地設(shè)置在第一直線導(dǎo)軌兩端，共同驅(qū)動(dòng)第二底座3在與X軸方向平行的第一直線導(dǎo)軌上來回運(yùn)動(dòng)，第一反饋傳感器對(duì)第二底座3進(jìn)行精確測(cè)量，實(shí)現(xiàn)第二底座3在X軸方向上的高精度控制；同樣的，第二直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在與Y軸方向平行的第二直線導(dǎo)軌上往復(fù)運(yùn)動(dòng)，第二反饋傳感器對(duì)工作臺(tái)進(jìn)行精確測(cè)量，實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)在Y軸方向上的高精度控制。同時(shí)，直線電機(jī)的定子均設(shè)置在磁屏蔽箱體內(nèi)，有效屏蔽了定子產(chǎn)生的磁場(chǎng)，減少了電機(jī)磁漏所帶來的不利影響，提高直線電機(jī)的功率和力矩，從而大幅提升直線電機(jī)的反應(yīng)速度和移動(dòng)速度。本發(fā)明提供的二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便，具有高速和高精度的優(yōu)點(diǎn)。
[0036]上述實(shí)施例為本發(fā)明較佳的實(shí)施方式，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不受上述實(shí)施例的限制，其他的任何未背離本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡(jiǎn)化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，包括X平臺(tái)、Y平臺(tái)和工作臺(tái)；所述X平臺(tái)固定，Y平臺(tái)安裝在X平臺(tái)上，工作臺(tái)安裝在Y平臺(tái)上； 所述X平臺(tái)包括第一直線導(dǎo)軌、第一底座、第一直線電機(jī)、與第一直線電機(jī)對(duì)稱設(shè)置的第三直線電機(jī)和第一反饋傳感器，所述第一直線電機(jī)包括第一定子、第一動(dòng)子和第一磁屏蔽箱體，所述第三直線電機(jī)包括第三定子、第三動(dòng)子和第三磁屏蔽箱體，所述第一直線導(dǎo)軌包括第一導(dǎo)軌和第一滑塊，所述第一反饋傳感器包括第一光柵尺和第一讀數(shù)頭;所述第一導(dǎo)軌固定在第一底座上與X軸方向平行，所述第一定子固定在第一底座上，位于第一導(dǎo)軌的一端，第一磁屏蔽箱體將第一定子裹住，減少磁泄漏，所述第一動(dòng)子與Y平臺(tái)的一端連接，所述第三定子設(shè)置在第一導(dǎo)軌的另一端，第三磁屏蔽箱體將第三定子裹住，所述第三動(dòng)子與Y平臺(tái)的另一端連接，與第一動(dòng)子共同驅(qū)動(dòng)Y平臺(tái)在第一直線導(dǎo)軌上往復(fù)運(yùn)動(dòng)； 所述Y平臺(tái)包括第二直線導(dǎo)軌、第二底座、第二直線電機(jī)和第二反饋傳感器，所述第二直線電機(jī)包括第二定子、第二動(dòng)子和第二磁屏蔽箱體，所述第二直線導(dǎo)軌包括第二導(dǎo)軌和第二滑塊，所述第二反饋傳感器包括第二光柵尺和第二讀數(shù)頭;所述第二底座安裝在第一滑塊上，分別與第一動(dòng)子和第三動(dòng)子連接，由第一動(dòng)子和第三動(dòng)子一起驅(qū)動(dòng)，所述第二導(dǎo)軌固定在第二底座上且與Y軸方向平行，所述第二定子固定在第一底座上，所述第二磁屏蔽箱體將第二定子包裹，減少磁泄漏，所述工作臺(tái)安裝在第二滑塊上，所述第二動(dòng)子與工作臺(tái)連接，驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)在第二直線導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng);所述工作臺(tái)上裝有負(fù)載;所述第一光柵尺設(shè)置在第二底座的一側(cè)，與第一導(dǎo)軌平行，所述第一讀數(shù)頭固定在第一底座上，讀取第一光柵尺的刻度，所述第二光柵尺設(shè)置在工作臺(tái)的一側(cè)，與第二導(dǎo)軌平行，所述第二讀數(shù)頭固定在第二底座上，讀取第二光柵尺的刻度。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述第一直線電機(jī)、第一直線導(dǎo)軌和第三直線電機(jī)三者成一直線，且與X軸方向平行;所述第一動(dòng)子與第三動(dòng)子同步且同方向運(yùn)動(dòng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，還包括用于散熱的第一風(fēng)扇、第二風(fēng)扇和第三風(fēng)扇;所述第一風(fēng)扇設(shè)置在第一磁屏蔽箱體上，對(duì)第一定子進(jìn)行吹風(fēng)散熱;所述第二風(fēng)扇設(shè)置在第二磁屏蔽箱體上，對(duì)第二定子進(jìn)行吹風(fēng)散熱；所述第三風(fēng)扇設(shè)置在第三磁屏蔽箱體上，對(duì)第二定子進(jìn)行吹風(fēng)散熱。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述第一磁屏蔽箱體、第二磁屏蔽箱體和第三磁屏蔽箱體上設(shè)有用于散熱的排氣孔;所述排氣孔設(shè)置在第一磁屏蔽箱體、第二磁屏蔽箱體和第三磁屏蔽箱體的頂部。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有高速高精度的對(duì)稱式電機(jī)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，還包括用于快速散熱的氣管，所述氣管分別與第一動(dòng)子、第二動(dòng)子和第三動(dòng)子連接，對(duì)第一動(dòng)子、第二動(dòng)子和第三動(dòng)子吹風(fēng)散熱。
【文檔編號(hào)】B23Q17/24GK105834767SQ201610272089
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年4月27日
【發(fā)明人】賀云波, 陳新, 吳曉明, 胡永珊, 高健, 楊志軍, 陳云, 張昱, 湯暉, 敖銀輝
【申請(qǐng)人】廣東工業(yè)大學(xué)