專利名稱：用于將電磁微波輻射施加于等離子體腔室中的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種裝置，所述裝置用于在使用時(shí)將電磁微波輻射于一個(gè)等離子體腔室中，上述等離子體腔室在一個(gè)外殼內(nèi)存在，基本上圍繞一第一軸線圓筒式對(duì)稱，并包括一個(gè)圓筒形壁，所述圓筒形壁具有一個(gè)圓周狹縫，上述等離子體腔室通過(guò)上述狹縫與一個(gè)細(xì)長(zhǎng)微波導(dǎo)向器的第一端連通，上述細(xì)長(zhǎng)微波導(dǎo)向器具有一個(gè)縱向上延伸的第二軸線，上述裝置在使用時(shí)通過(guò)上述微波導(dǎo)向器的另一端與微波發(fā)生裝置連通，其中產(chǎn)生的電磁微波輻射可以包括若干波型。
本發(fā)明還涉及一種裝置，所述裝置用于通過(guò)一種等離子化學(xué)汽相淀積法將一個(gè)或多個(gè)玻璃層淀積在一個(gè)空心玻璃管的內(nèi)側(cè)上，上述空心玻璃管設(shè)置在按照本發(fā)明所述裝置的等離子體腔室中。
此外本發(fā)明涉及一種方法，所述方法通過(guò)一種化學(xué)汽相淀積法將一個(gè)或多個(gè)玻璃層淀積在一個(gè)空心玻璃管的內(nèi)側(cè)上，上述空心玻璃管設(shè)置在按照本發(fā)明所述裝置的等離子體腔室中。
這種裝置(也被以技術(shù)術(shù)語(yǔ)稱為微波發(fā)生器，狹縫被叫做徑向波道)尤其是可以與用于在等離子體腔室中產(chǎn)生等離子體的一種sufra導(dǎo)向器或一種sufraton一起使用。按照序言所述一種微波發(fā)生器的另一種實(shí)際應(yīng)用已在國(guó)際專利申請(qǐng)PCT/EP 98/07798中公開(kāi)，以本申請(qǐng)人名義在No.WO 99/35304下發(fā)布。
WO 99/35304示出一種PCVD(等離子化學(xué)汽相淀積)裝置，其中將一個(gè)空心圓筒形玻璃管容納在微波發(fā)生器的等離子體腔室中，一種氣態(tài)混合物通過(guò)上述玻璃管，所述氣態(tài)混合物包括例如O2，SiCl4和GeCl2。通過(guò)微波發(fā)生器加在狹縫中的微波輻射在空心玻璃管中局部產(chǎn)生一種等離子體。通過(guò)使微波發(fā)生器相對(duì)于玻璃管前后移動(dòng)—可能在玻璃管同時(shí)旋轉(zhuǎn)情況下—可以利用等離子體將若干玻璃層，無(wú)論它們組成是否不同組成，淀積在圓筒形玻璃管的內(nèi)側(cè)上。這樣得到一種所謂的空心預(yù)制件，上述空心預(yù)制件具有淀積在圓筒形玻璃管內(nèi)側(cè)上的一個(gè)或多個(gè)玻璃層。使預(yù)制件經(jīng)受壓縮處理，以便得到一種塊狀的桿件，隨后從上述桿件拉制光纖，上述光纖預(yù)定用于例如電信目的。
在PCVD應(yīng)用中，在狹縫中使用和施加的微波輻射具有頻率為890MHz或2.45GHz，并包括若干所謂的波型。如本文所用的術(shù)語(yǔ)波型理解為意思是指在徑向傳播方向上的傳播波型以及正好截止的波型。各傳播波型包括在垂直于徑向傳播方向的兩個(gè)方向上電場(chǎng)中的許多零交叉。
如果徑向波狹縫的寬度總計(jì)小于所用微波輻射波長(zhǎng)的一半，如果徑向波狹縫的內(nèi)周邊具有一長(zhǎng)度等于或小于所用微波輻射的波長(zhǎng)，將只有一種傳播波型發(fā)生，而如果徑向波狹縫的內(nèi)周邊具有一長(zhǎng)度為所用微波輻射的1-2個(gè)波長(zhǎng)，則將有3個(gè)傳播波型發(fā)生。
在目前應(yīng)用情況下，很難確定加在狹縫(徑向波道)中微波輻射包括哪些波型。如果在等離子體腔室或徑向波道中所加的微波輻射包括若干波型，則在等離子體腔室中所產(chǎn)生的等離子體的幾何性能將不能很確切地知道。如果上述各波型在相對(duì)于第一軸線的旋轉(zhuǎn)方向上看時(shí)顯示相同的電磁場(chǎng)分布，則在上述旋轉(zhuǎn)方向上所加微波輻射的幾何性能及因此還有所產(chǎn)生的等離子體幾何性能將明顯被限定。上述等離子體性能其中包括，取決于各波型的激發(fā)比，并且環(huán)境中(溫度，壓力等)的一種小變化都可能導(dǎo)致不同的激發(fā)比，同時(shí)使等離子體的幾何性能產(chǎn)生變化。所有這種情況都可能導(dǎo)致其中包括等離子體的不希望有的幾何形狀，或者使等離子體變得不穩(wěn)定或者變得完全熄滅。
尤其是在PCVD應(yīng)用情況下，這種現(xiàn)象影響淀積在空心玻璃管內(nèi)側(cè)上的各玻璃層的組成和結(jié)構(gòu)，以及影響從這樣得到的一種預(yù)制件拉出的光纖最終質(zhì)量。
對(duì)于在等離子體腔室中所加微波輻射的波型和所產(chǎn)生的等離子體不可預(yù)測(cè)的性能問(wèn)題的一種解決方案可以在徑向波道的最大允許內(nèi)徑中找到，其中內(nèi)周邊小于或等于所用微波輻射的波長(zhǎng)，這是為了防止若干波型存在。然而，在那種情況下，上述最大結(jié)構(gòu)尺寸也將限制待制造的預(yù)制件的最大允許外徑，以及從上述預(yù)制件所拉出的光纖長(zhǎng)度。
本發(fā)明的目的是清除上述缺點(diǎn)和提供一種微波發(fā)生器，通過(guò)上述微波發(fā)生器一方面可以產(chǎn)生并保持一種具有上述有利幾何性能的穩(wěn)定等離子體，并且上述微波發(fā)生器在它的結(jié)構(gòu)尺寸方面還沒(méi)有任何限制。
為了完成那個(gè)目的，微波發(fā)生器按照本發(fā)明其特征在于裝置包括使用時(shí)在狹縫中產(chǎn)生微波輻射的裝置，上述微波輻射至少在垂直于傳播方向的一個(gè)方向上只有一個(gè)電磁場(chǎng)分布。因?yàn)殡姶盼⒉ㄝ椛涞膱?chǎng)分布性能不再構(gòu)成一種未知和不穩(wěn)定的因素，因此在等離子體腔室中產(chǎn)生一種在上述方向上具有所希望性能的更穩(wěn)定的等離子體。
在一個(gè)特定的實(shí)施例中，狹縫中的微波輻射只包括一種波型。因?yàn)楠M縫中只有一種波型存在，因此產(chǎn)生一種穩(wěn)定的等離子體。因此不僅做到微波發(fā)生器具有更寬的應(yīng)用范圍，而且使它能更好地控制各玻璃層在一個(gè)空心玻璃管內(nèi)側(cè)上的淀積尤其是在PCVD應(yīng)用情況下，因此最后可以從這樣得到的預(yù)制件拉出更高質(zhì)量的光纖。
除此之外，微波發(fā)生器的使用不再受它的結(jié)構(gòu)尺寸限制，其結(jié)果尤其是可以增加等離子體腔室的尺寸，因此在PCVD應(yīng)用情況下可以加工和得到另外更大直徑的預(yù)制件。
另外尤其是，朝相對(duì)于第一軸線旋轉(zhuǎn)的方向或是朝平行于第一軸線的方向上看時(shí)，微波輻射只有一個(gè)特定的電磁場(chǎng)分布。除此之外，兩個(gè)軸線可以形成一個(gè)裝置用的對(duì)稱面，并使微波輻射相對(duì)于裝置的對(duì)稱面定向。
在一個(gè)特定實(shí)施例中，上述裝置形成微波導(dǎo)向器的一部分。
在按照本發(fā)明所述裝置的一個(gè)特定實(shí)施例中，微波導(dǎo)向器是通到矩形橫截面的那一端，同時(shí)微波導(dǎo)向器的短壁垂直于對(duì)稱面延伸。從對(duì)稱的觀點(diǎn)看，很顯然，微波發(fā)生器的這種構(gòu)造直接排除許多波型，并且只通過(guò)一種波型的微波輻射。
在另一個(gè)實(shí)施例中，微波導(dǎo)向器具有圓形橫截面或具有方形橫截面。
所有實(shí)施例都可以包括一個(gè)金屬隔板，所屬金屬隔板設(shè)置在對(duì)稱面中，上述金屬隔板將微波導(dǎo)向器分成兩個(gè)室。只包括一種波型的微波輻射通過(guò)而其它波型被排除這一事實(shí)現(xiàn)已證明在這些實(shí)施例中也有效。
另一個(gè)實(shí)施例，其中在等離子體腔室中產(chǎn)生只包括一種波型的微波輻射，按照本發(fā)明其特征在于微波導(dǎo)向器是一種同軸導(dǎo)向器，所述同軸導(dǎo)向器包括一個(gè)桿件部分和一個(gè)圓筒式對(duì)稱波導(dǎo)向器，上述桿件部分沿著第二軸線延伸，而上述圓筒式對(duì)稱波導(dǎo)向器圍繞上述桿件部分延伸。
在一個(gè)特定實(shí)施例中，為了得到等離子體腔室的對(duì)稱控制，微波導(dǎo)向器在它的第一端附近分成偶數(shù)個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器，上述偶數(shù)供應(yīng)導(dǎo)向器在外殼內(nèi)存在，它們終止于狹縫中。
為了得到同時(shí)激發(fā)等離子體腔室，理想情況是通過(guò)兩個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器傳播的微波輻射路線之間的長(zhǎng)度差等于n··λg，式中n∈(0，1，2…)和λg是微波導(dǎo)向器中微波輻射的波長(zhǎng)。在一種特定的簡(jiǎn)單而價(jià)廉的構(gòu)造中，供應(yīng)導(dǎo)向器是相對(duì)于對(duì)稱面對(duì)稱地設(shè)置。
另外尤其是，每個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器都包括一個(gè)同軸孔，所述同軸孔在外殼中平行于第一軸線延伸并終止于狹縫，同時(shí)同軸孔的圓筒形壁可能與狹縫的外部圓筒形壁一致。
在按照本發(fā)明所述的裝置一些合適的功能實(shí)施例中，圓筒形壁中的狹縫沿著圓周的一部分延伸或者沿著其整個(gè)圓周延伸。
本發(fā)明還涉及一種裝置，所述裝置通過(guò)等離子化學(xué)汽相淀積，在一個(gè)空心玻璃管的內(nèi)側(cè)上淀積一層或多層二氧化硅，上述空心玻璃管設(shè)置在按照本發(fā)明所述的裝置等離子體腔室中。
下面將參照附圖更詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，其中

圖1A-1C示出按照本發(fā)明所述一種微波發(fā)生器的第一和第二實(shí)施例；圖2示出按照本發(fā)明所述一種微波發(fā)生器的另一個(gè)實(shí)施例；圖3示出按照本發(fā)明所述一種微波發(fā)生器的另一個(gè)實(shí)施例；及圖4A-4B示出按照本發(fā)明所述一種微波發(fā)生器的還有另一個(gè)實(shí)施例。
在圖1A-1C中，示出按照本發(fā)明所述一種微波發(fā)生器的一個(gè)第一微波發(fā)生器包括一個(gè)外殼1，在上述外殼1內(nèi)存在一個(gè)等離子體腔室2，上述等離子體腔室2繞一第一對(duì)稱軸4成圓形對(duì)稱。等離子體腔室2具有一個(gè)圓筒形壁3，所述圓筒形壁3在這個(gè)實(shí)施例中沿著它的整個(gè)圓周具有一個(gè)狹縫5，上述狹縫5起一種徑向波道的作用。
外殼1連接到一個(gè)細(xì)長(zhǎng)的波導(dǎo)向器7的第一側(cè)6a上，用這種方式以使徑向波道5與波導(dǎo)向器7相通。波導(dǎo)向器7具有一個(gè)縱向上延伸的軸線8。
在等離子化學(xué)汽相淀積情況下，可以將一個(gè)空心圓筒形玻璃管容納在圓筒形細(xì)長(zhǎng)的等離子體腔室2內(nèi)，一種包括例如O2，SiCl4和GeCl2的氣態(tài)混合物可以通過(guò)上述圓筒形玻璃管。
因?yàn)榧?xì)長(zhǎng)的波導(dǎo)向器7用它的另一端6b連接到微波發(fā)生裝置(未示出)上，所以通過(guò)細(xì)長(zhǎng)的波導(dǎo)向器7和徑向波道5可以在等離子體腔室2中施加電磁微波輻射，在上述等離子體腔室內(nèi)，于空心玻璃管中產(chǎn)生一種等離子體。通過(guò)相對(duì)于玻璃管前后移動(dòng)微波發(fā)生器—在可能情況下同時(shí)旋轉(zhuǎn)玻璃管—可以利用上述等離子體在圓筒形玻璃管的內(nèi)側(cè)上淀積若干玻璃層，而無(wú)論是否具有不同的組成。照這樣得到一種所謂的預(yù)制件，上述預(yù)制件具有一個(gè)或多個(gè)淀積在玻璃管內(nèi)側(cè)上的玻璃層，上述預(yù)制件經(jīng)受一種壓縮處理，以便得到一種塊狀桿件，從上述塊狀桿件拉制一種光纖，上述光纖預(yù)定用于例如電信目的。
因?yàn)殡姶盼⒉ㄝ椛淇梢园ǜ鞣N具有有關(guān)各種電磁場(chǎng)分布的波型，所以在等離子體腔室2中所產(chǎn)生的等離子體的幾何性能不是很精確地知道。理想情況是，尤其是在PCVD應(yīng)用的情況下，在等離子體腔室2中所產(chǎn)生的等離子體不僅旋轉(zhuǎn)式對(duì)稱到所希望的程度，而且還穩(wěn)定，因此產(chǎn)生有利于在空心圓筒形玻璃管的內(nèi)側(cè)上淀積各玻璃層的條件。
在等離子體腔室2中產(chǎn)生的等離子體可能變得不穩(wěn)定或甚至完全熄滅，尤其是由于環(huán)境(溫度，壓力等)的微小變化。
按照本發(fā)明，為了在等離子體腔室2中產(chǎn)生一種具有所希望幾何形狀的穩(wěn)定等離子體，使微波輻射在狹縫中產(chǎn)生，上述微波輻射僅在一個(gè)垂直于傳播方向的方向上具有一個(gè)特定的電磁場(chǎng)分布。
在如圖1A和1B所示的實(shí)施例中，細(xì)長(zhǎng)的微波導(dǎo)向器7是通到具有短壁10a和長(zhǎng)壁10b形狀為矩形的那一端。為了得到包括在等離子空腔2中預(yù)先已知的特定波型的微波輻射，短側(cè)10a在這個(gè)實(shí)施例中垂直地延伸到裝置的對(duì)稱面9，上述對(duì)稱面9由波導(dǎo)向器7的縱向軸線8和等離子體腔室2的圓筒軸線4形成。由兩個(gè)軸線4和8所限定的對(duì)稱面9起整個(gè)裝置對(duì)稱面的作用。
細(xì)長(zhǎng)波導(dǎo)向器7的矩形構(gòu)造及其相對(duì)于整個(gè)裝置的對(duì)稱面9的取向給通過(guò)細(xì)長(zhǎng)波導(dǎo)向器7傳播的微波輻射定向，照這樣以使等離子體腔室2中的微波輻射至少在垂直于傳播方向的一個(gè)方向上只包括一個(gè)電磁場(chǎng)分布。
這種波導(dǎo)向器7的另一個(gè)實(shí)施例在圖1C中示出，其中波導(dǎo)向器示出為具有方形橫截面，同時(shí)各邊10a具有同等的長(zhǎng)度。為了給通過(guò)波導(dǎo)向器7傳播的微波輻射以這種方式定向，以便在這個(gè)實(shí)施例中同樣在等離子體腔室2中產(chǎn)生只有一種電磁場(chǎng)分布的微波輻射，利用一個(gè)金屬隔板7a將細(xì)長(zhǎng)的波導(dǎo)向器7分成兩個(gè)部分，上述金屬隔板7a精確定位在裝置的對(duì)稱面9中。金屬隔板7a對(duì)通過(guò)波導(dǎo)向器7傳播的微波輻射起一種電阻擋層作用，并因此它以這種方式給上述微波輻射定向，以使等離子體腔室2中的取向至少在垂直于傳播方向的一個(gè)方向上只有一個(gè)電磁場(chǎng)分布。
圖2A和2B示出按照本發(fā)明所述微波發(fā)生器的另一個(gè)實(shí)施例，其中采用一種同軸波導(dǎo)向器而不是用一種矩形或方形波導(dǎo)向器。為此，利用一種圍繞對(duì)稱軸線8延伸的圓筒形對(duì)稱波導(dǎo)向器作為微波導(dǎo)向器，在上述情況下，在對(duì)稱軸線8中并沿著對(duì)稱軸線8安排一個(gè)桿件部分11。
在第一端6a(波導(dǎo)向器7和外殼1或等離子體腔室2之間的過(guò)渡部分)附近，同軸波導(dǎo)向器分開(kāi)成兩個(gè)供應(yīng)波導(dǎo)向器14a和14b，上述兩個(gè)供應(yīng)波導(dǎo)向器14a和14b安裝在外殼1內(nèi)，它們優(yōu)選的是在外殼1中相對(duì)于對(duì)稱面9對(duì)稱設(shè)置。每個(gè)供應(yīng)波導(dǎo)向器14a，14b都包括一個(gè)相應(yīng)的同軸孔17a，17b，上述同軸孔17a，17b包括一個(gè)相應(yīng)的波導(dǎo)向器15a，15b，上述波導(dǎo)向器15a，15b含有細(xì)長(zhǎng)的桿件部分16a，16b。兩個(gè)孔17a，17b平行于軸線4及相互平行延伸，并且它們終止于徑向波道5，如圖2B中所示。為了達(dá)到徑向波道5的一種對(duì)稱控制，以便在等離子體腔室2中產(chǎn)生一種均勻而對(duì)稱的等離子體，每個(gè)相應(yīng)同軸孔17a，17b的圓筒形壁15c與徑向波道5的外部圓筒形壁5a(見(jiàn)圖2B)一致。
在這個(gè)實(shí)施例中，外殼1內(nèi)可以另外安裝兩個(gè)阻氣門(mén)13a和13b，上述阻氣門(mén)13a和13b設(shè)置在徑向波道5的無(wú)論哪一側(cè)上。利用徑向波道5無(wú)論哪一側(cè)上的阻氣門(mén)具有許多優(yōu)點(diǎn)，其中之一是更有效的封閉在平行于圓筒形軸線4的方向上所產(chǎn)生的等離子體，和減少微波輻射從等離子體腔室2泄露到外部，因此減輕了對(duì)操作者的任何健康危險(xiǎn)。
另一個(gè)實(shí)施例在圖3中示出，其中波導(dǎo)向器具有圓筒形部分。為了在這個(gè)實(shí)施例中同樣產(chǎn)生只有一種特定電磁場(chǎng)分布的微波輻射，類似于圖1C的實(shí)施例利用一個(gè)金屬隔板18將圓筒形波導(dǎo)向器分開(kāi)，上述金屬隔板18將圓筒形波導(dǎo)向器7分成兩個(gè)部分。金屬隔板18在這個(gè)實(shí)施例中對(duì)通過(guò)波導(dǎo)向器7傳播的電磁微波輻射起一種電阻擋層作用，上述金屬隔板18位于如由等離子體腔室2中軸線8和軸線4所限定的對(duì)稱面9中。
盡管本文說(shuō)明了只分成按照如圖2A和2B中所示的實(shí)施例所述微波導(dǎo)向器的兩個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器14a和14b，但這個(gè)技術(shù)特點(diǎn)可以與任何類型的波導(dǎo)向器如在圖1A-1C和3中所示的矩形、方形和甚至圓筒形波導(dǎo)向器一起用而沒(méi)有任何問(wèn)題。盡管圖2A和2B的微波導(dǎo)向器另外分成兩個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器，但微波發(fā)生器可以通過(guò)將微波導(dǎo)向器分成任何偶數(shù)供應(yīng)導(dǎo)向器擴(kuò)展，上述所有偶數(shù)供應(yīng)導(dǎo)向器全都終止于狹縫(徑向波道)中。
此外應(yīng)該注意，在本文所述的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，還可以用橢圓形微波導(dǎo)向器而沒(méi)有任何問(wèn)題。
圖4A和4B示出按照本發(fā)明所述一種微波發(fā)生器的另一個(gè)實(shí)施例。這個(gè)實(shí)施例大部分對(duì)應(yīng)于圖1A-1C的實(shí)施例，因此，為了更好理解該圖起見(jiàn)，同樣的部件用同樣的標(biāo)號(hào)表示。
這種微波發(fā)生器也包括一個(gè)外殼1，同時(shí)在外殼1中存在一個(gè)等離子體腔室2，上述等離子體腔室2是圍繞一個(gè)對(duì)稱軸線4成圓形對(duì)稱。等離子體腔室2包括一個(gè)圓筒形壁3，上述圓筒形壁3在這個(gè)實(shí)施例中具有一個(gè)狹縫5，上述狹縫5不沿著圓筒形壁3的整個(gè)圓周部分延伸，上述狹縫起一種徑向波道作用。
另一方面，圓形狹縫5在至少一個(gè)地方中斷；在這個(gè)實(shí)施例中，它在兩個(gè)地方中斷，上述兩個(gè)地方用標(biāo)號(hào)20a和20b表示。上述兩個(gè)地方20a和20b位于對(duì)稱面9中，以便使按照本發(fā)明所述的裝置能正確地起作用，在上述兩個(gè)地方20a和20b中，圓形對(duì)稱的等離子體腔室2的壁3通常是連續(xù)的。
權(quán)利要求
1.用于在使用時(shí)于一個(gè)等離子體腔室中施加電磁微波輻射的裝置，上述等離子體腔室于一個(gè)外殼內(nèi)存在，基本上是圍繞一個(gè)第一軸線成圓筒形對(duì)稱，并且包括一個(gè)圓筒形壁，所述圓筒形壁具有一個(gè)圓周狹縫，上述等離子體腔室通過(guò)上述狹縫與一個(gè)細(xì)長(zhǎng)微波導(dǎo)向器的第一端連通，上述細(xì)長(zhǎng)微波導(dǎo)向器具有一個(gè)縱向延伸的第二軸線，上述裝置在使用時(shí)通過(guò)上述微波導(dǎo)向器的另一端與微波發(fā)生裝置連通，其中產(chǎn)生的電磁微波輻射可以包括若干波型，其特征在于裝置包括在使用時(shí)于狹縫中產(chǎn)生微波輻射的裝置，上述微波輻射至少在一個(gè)垂直于傳播方向的方向上只有一種電磁場(chǎng)分布。
2.按照權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于沿相對(duì)于第一軸線旋轉(zhuǎn)的方向看微波輻射只有一個(gè)特定的電磁場(chǎng)分布。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于沿平行于第一軸線的一個(gè)方向看微波輻射只有一個(gè)特定的電磁場(chǎng)分布。
4.按照上述權(quán)利要求其中之一或多個(gè)所述的裝置，其特征在于兩個(gè)軸線可以形成一個(gè)用于裝置的對(duì)稱面，并將微波輻射相對(duì)于對(duì)稱面定向。
5.按照上述權(quán)利要求其中之一或多個(gè)所述的裝置，其特征在于上述裝置形成微波導(dǎo)向器的一部分。
6.按照權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于微波導(dǎo)向器通到矩形橫截面的那一端，且微波導(dǎo)向器的短壁垂直于對(duì)稱面延伸。
7.按照權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于微波導(dǎo)向器具有圓形橫截面。
8.按照權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于微波導(dǎo)向器具有方形橫截面。
9.按照權(quán)利要求5，7或8所述的裝置，其特征在于金屬隔板設(shè)置在對(duì)稱面中，上述隔板將微波導(dǎo)向器分成兩個(gè)室。
10.按照權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于微波導(dǎo)向器是一種同軸導(dǎo)向器，所述同軸導(dǎo)向器包括一個(gè)桿件部分和一個(gè)圓筒形對(duì)稱波導(dǎo)向器，上述桿件部分沿著第二軸線延伸，而上述圓筒形對(duì)稱波導(dǎo)向器繞上述桿件部分延伸。
11.按照權(quán)利要求5-10其中之一或多個(gè)所述的裝置，其特征在于微波導(dǎo)向器在外殼內(nèi)存在的偶數(shù)供應(yīng)導(dǎo)向器中第一端附近分開(kāi)，終止于狹縫。
12.按照權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于通過(guò)兩個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器傳播的微波輻射路線之間的長(zhǎng)度差等于n··λg，式中n∈(0，1，2...)，和λg是微波導(dǎo)向器中微波輻射的波長(zhǎng)。
13.按照權(quán)利要求11或12所述的裝置，其特征在于供應(yīng)導(dǎo)向器是相對(duì)于對(duì)稱面對(duì)稱設(shè)置。
14.按照權(quán)利要求11或12所述的裝置，其特征在于每個(gè)供應(yīng)導(dǎo)向器都包括一個(gè)同軸孔，上述同軸孔在外殼中平行于第一軸線延伸并終止于狹縫。
15.按照權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于同軸孔的圓筒形壁與狹縫的外部圓筒形壁一致。
16.按照權(quán)利要求1-15其中之一或多個(gè)所述的裝置，其特征在于上述狹縫沿著圓筒形壁圓周的一部分延伸。
17.按照權(quán)利要求1-15其中之一或多個(gè)所述的裝置，其特征在于上述狹縫沿著圓筒形壁的整個(gè)圓周延伸。
18.用于利用一種等離子化學(xué)汽相淀積法將一個(gè)或多個(gè)玻璃層淀積在一個(gè)空心玻璃管內(nèi)側(cè)上的設(shè)備，上述空心玻璃管設(shè)置在按照權(quán)利要求1-17其中之一或多個(gè)所述的裝置的等離子體腔室中。
19.用于利用一種等離子化學(xué)汽相淀積法將一個(gè)或多個(gè)玻璃層淀積在一個(gè)空心玻璃管內(nèi)側(cè)上的方法，上述空心玻璃管設(shè)置在按照權(quán)利要求1-17其中之一或多個(gè)所述的裝置的等離子體腔室中。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種裝置，所述裝置用于在使用時(shí)于一個(gè)等離子體腔室中施加電磁微波輻射，上述等離子體腔室在一個(gè)外殼中存在，基本上圍繞一第一軸線成圓筒形對(duì)稱，并且裝置包括一個(gè)圓筒形壁，所述圓筒形壁具有一個(gè)圓周狹縫，上述等離子體腔室通過(guò)上述狹縫與一個(gè)細(xì)長(zhǎng)波導(dǎo)向器的第一端連通，上述細(xì)長(zhǎng)的波導(dǎo)向器具有一個(gè)縱向上延伸的第二軸線，上述裝置在使用時(shí)通過(guò)上述微波導(dǎo)向器的另一端與微波發(fā)生裝置連通，其中所產(chǎn)生的電磁微波輻射可以包括若干波型。本發(fā)明的目的是提供如本說(shuō)明書(shū)中所涉及的一種微波發(fā)生器，利用上述微波發(fā)生器一方面可以產(chǎn)生和保持一種具有上述有利幾何性能的穩(wěn)定等離子體，并且此外在它的構(gòu)造尺寸方面沒(méi)有任何限制。為了完成那個(gè)目的，微波發(fā)生器其特征在于裝置包括使用時(shí)在狹縫中產(chǎn)生微波輻射的裝置，上述微波輻射至少在一個(gè)垂直于傳播方向的方向上只有一種電磁場(chǎng)分布。因?yàn)殡姶盼⒉ㄝ椛涞男阅懿辉贅?gòu)成一種未知和不能預(yù)料的因素，所以在等離子體腔室中產(chǎn)生一種更穩(wěn)定和幾何上更均勻的等離子體。
文檔編號(hào)C23C16/04GK1630925SQ02827469
公開(kāi)日2005年6月22日 申請(qǐng)日期2002年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月4日
發(fā)明者M·J·N·范斯特拉倫, D·R·西蒙斯 申請(qǐng)人:德拉卡纖維技術(shù)有限公司