專利名稱：光波導器件端面拋光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種拋光裝置，特別是一種光波導器件端面拋光裝置。
本實用新型一種光波導器件端面拋光裝置，其特征在于，其中包括一外套筒，該外套筒為柱體且中空，在兩端有法蘭；一內(nèi)套筒，該內(nèi)套筒為圓柱梯形，有一大徑端和一小徑端，大徑端為法蘭，在小徑端從其根部向另一端加工有多個斜面，中間有一通孔，該內(nèi)套筒插置在外套筒內(nèi)，該內(nèi)套筒的高度大于外套筒的高度；該內(nèi)外套筒的法蘭上對應開有兩定位孔，該兩定位孔用定位銷定位。
其中在外套筒的法蘭一端面上開有多個呈放射狀的凹槽。
其中所述的定位銷一個為圓形，另一個為圓形且將其兩側(cè)加工成平面的矩形。
其中所述的內(nèi)套筒小徑端的多個斜面，其角度為8度角。
本實用新型的工作過程為首先將待加工的光波導器件40用樹脂膠等材料粘貼在內(nèi)套筒20的呈8度角的斜面上(如


圖1所示)，且凸出底面一部分以便于器件的端面拋光。然后將內(nèi)套筒20輕放置到外套筒10的內(nèi)部，并使內(nèi)套筒20的定位孔與外套筒10的定位孔對準。最后在定位銷孔中放入定位銷30，最后將整套裝置放置于拋光機上，利用拋光機底部旋轉(zhuǎn)的拋光盤對器件40的端部進行拋光研磨。因內(nèi)外套筒10、20是由定位銷30左右相對固定，而內(nèi)外套筒10、20上下則沒有固定，所以，當器件40的端部研磨掉后，靠內(nèi)套筒20本身的重量，內(nèi)套筒20會相對落下，以進一步拋光研磨器件40的端面，直到達到要求為止。又因器件40是粘貼在內(nèi)套筒20的呈8度角的斜面23上，所以器件40拋光研磨完成后，器件40的端面自然也就形成一8度角的斜面。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(1)簡化拋光裝置設(shè)計，大幅降低裝置制造成本。
(2)縮小拋光裝置的尺寸，使之適用于通用小型拋光設(shè)備。
(3)拋光裝置連接部分采用插拔式設(shè)計，便于操作，提高工作效率。
(4)拋光裝置設(shè)計結(jié)構(gòu)簡單，易于清洗、維護。
權(quán)利要求1.一種光波導器件端面拋光裝置，其特征在于，其中包括一外套筒，該外套筒為柱體且中空，在兩端有法蘭；一內(nèi)套筒，該內(nèi)套筒為圓柱梯形，有一大徑端和一小徑端，大徑端為法蘭，在小徑端從其根部向另一端加工有多個斜面，中間有一通孔，該內(nèi)套筒插置在外套筒內(nèi)，該內(nèi)套筒的高度大于外套筒的高度；該內(nèi)外套筒的法蘭上對應開有兩定位孔，該兩定位孔用定位銷定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導器件端面拋光裝置，其特征在于，其中在外套筒的法蘭一端面上開有多個呈放射狀的凹槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導器件端面拋光裝置，其特征在于，其中所述的定位銷一個為圓形，另一個為圓形且將其兩側(cè)加工成平面的矩形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光波導器件端面拋光裝置，其特征在于，其中所述的內(nèi)套筒小徑端的多個斜面，其角度為8度角。
專利摘要本實用新型一種光波導器件端面拋光裝置，其中包括一外套筒，該外套筒為柱體且中空，在兩端有法蘭；一內(nèi)套筒，該內(nèi)套筒為圓柱梯形，有一大徑端和一小徑端，大徑端為法蘭，在小徑端從其根部向另一端以8度角加工有多個斜面，中間有一通孔，該內(nèi)套筒插置在外套筒內(nèi)，該內(nèi)套筒的高度大于外套筒的高度；該內(nèi)外套筒的法蘭上對應開有兩定位孔，該兩定位孔用定位銷定位。
文檔編號B24B33/00GK2596376SQ0320336
公開日2003年12月31日 申請日期2003年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月24日
發(fā)明者李健, 王紅杰, 胡雄偉, 李建光, 王啟明 申請人:中國科學院半導體研究所