專利名稱:一種管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭的制作方法
【專利摘要】一種管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，所述氮氣噴頭包括噴頭本體，所述噴頭本體由管道組合而成，形成一具有一條出氣管路、一條以上進氣管路的氣體傳輸通路，所述出氣管路的出氣口豎直向上。本實用新型改變了噴頭的出氣方向，使噴頭噴出的氣體不直接吹向硅片，以免造成硅片異常，從而降低硅片的返工率。
【專利說明】_種管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及晶體硅太陽能電池制造過程中設(shè)備氮氣輸出的一種配件，具體涉及一種管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭。

【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)階段晶體硅太陽能電池片生產(chǎn)正朝著提高單位時間效率、降低生產(chǎn)成本的方向發(fā)展?，F(xiàn)在的管式 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposit1n 的簡稱)設(shè)備鍍膜容易出現(xiàn)色差、跳色等需返工的異常片，大大增加了成本，影響了產(chǎn)能。
[0003]分析上述異常片產(chǎn)生原因，主要由于爐口的氮氣噴頭的出氣口 I是單一開口、單一方向的輸出氮氣，輸氣方向直接對著娃片，致使娃片出現(xiàn)異常，另外，如圖1所不，這種噴頭易造成反應(yīng)爐管內(nèi)氮氣不均勻，致使鍍膜效果不均勻，從而導(dǎo)致色差及跳色出現(xiàn)率的增加。
[0004]管式PECVD鍍膜過程如下:將待鍍膜的硅片放入石墨舟中，再將石墨舟放入爐管內(nèi)，將爐管抽成真空，向爐管內(nèi)噴入氨氣、硅烷、氮氣等氣體，完成膜層沉積，最后，再噴入氮氣進行吹掃冷卻。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的發(fā)明目的是提供一種能降低硅片返工率的新型結(jié)構(gòu)的爐口氮氣噴頭O
[0006]本實用新型的發(fā)明目的通過如下技術(shù)方案實現(xiàn):一種管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，所述氮氣噴頭包括噴頭本體，所述噴頭本體由管道組合而成，形成一具有一條出氣管路、一條以上進氣管路的氣體傳輸通路，其特征在于，所述出氣管路的出氣口豎直向上。
[0007]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型改變了噴頭的出氣方向，使噴頭噴出的氣體不直接吹向硅片，以免造成硅片異常，從而降低硅片的返工率。
[0008]作為本實用新型的改進，所述出氣管路與一橫向設(shè)置的出氣筒連通，所述出氣筒兩端面封閉，筒壁上沿軸向設(shè)置有作為所述出氣口的多個出氣孔。
[0009]本實用新型通過設(shè)置出氣筒使氮氣多點均勻輸出，有利于使?fàn)t管內(nèi)氮氣分布均勻，改善硅片色差、跳色的問題，進一步降低硅片的返工率。
[0010]所述出氣管路與出氣筒的中部連通，多個所述出氣孔在所述出氣筒上對稱分布。
[0011]所述出氣筒長度較佳范圍為20~40mm。
[0012]所述出氣孔內(nèi)徑較佳范圍為2~5mm。
[0013]所述進氣管路為兩條，兩條所述進氣管路與所述出氣管路組合成Y字形，兩條進氣管路構(gòu)成所述Y字形的兩上端腳，兩條所述進氣管路的進氣端豎直向下彎折。
[0014]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型具有如下有益效果:本實用新型改變了現(xiàn)有技術(shù)中爐口氮氣噴頭的輸氣方向，使其不直接與產(chǎn)品相對，避免直接吹到氮氣的產(chǎn)品出現(xiàn)異常；另夕卜，本實用新型設(shè)置出氣筒，通過沿出氣筒軸向排列多個出氣孔輸氣，使氮氣均勻向爐管上方噴灑，有利于使?fàn)t管內(nèi)氣體分布更加均勻，硅片與氣體均勻接觸，使硅片上膜層厚度均勻，減少色差、跳色等問題的出現(xiàn)，降低產(chǎn)品返工率，從而降低成本，提升設(shè)備利用率，提高產(chǎn)能。

【附圖說明】

[0015]圖1是本實用新型較佳實施例的俯視圖；
[0016]圖2是本實用新型較佳實施例的左視圖。

【具體實施方式】
[0017]如圖1、2所示，本實施例的管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭包括噴頭本體I和出氣筒2。
[0018]噴頭本體I由若干條管道組合而成，如圖1所示，形成一具有一條出氣管路11、兩條進氣管路12的氣體傳輸通路，兩條進氣管路12與一條出氣管路11組合成Y字形，兩條進氣管路12構(gòu)成Y字形的兩上端腳，兩條進氣管路12的進氣端豎直向下彎折，如圖2所示。在其他實施例中，也可以根據(jù)需要，設(shè)計三條或三條以上的進氣管路。
[0019]出氣管路11與出氣筒2的中部連通，出氣筒2橫向設(shè)置，兩端面封閉，如圖2所示，圖2中對出氣筒2的端面進行了部分剖切，出氣筒2的筒壁上沿軸向設(shè)置有作為出氣管路11出氣口的6個出氣孔21，6個出氣孔21豎直向上，對稱設(shè)置。出氣孔21豎直向上，以避免直接吹向產(chǎn)品。多個出氣孔21的設(shè)置，使噴頭的輸氣方向不再單點集中輸出，而使氣流分散，有利于使吹入爐管內(nèi)的氣體分布地更加均勻，以提高硅片鍍膜的合格率。本實施例中出氣孔21內(nèi)徑為3_，出氣筒2長度為36_，出氣筒2長度主要受其使用位置的限制。
[0020]上述實施例為本實用新型較佳的實施方式，但本實用新型的實施方式并不受所述實施例的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，所述氮氣噴頭包括噴頭本體，所述噴頭本體由管道組合而成，形成一具有一條出氣管路、一條以上進氣管路的氣體傳輸通路，其特征在于，所述出氣管路的出氣口豎直向上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，其特征在于，所述出氣管路與一橫向設(shè)置的出氣筒連通，所述出氣筒兩端面封閉，筒壁上沿軸向設(shè)置有作為所述出氣口的多個出氣孔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，其特征在于，所述出氣管路與出氣筒的中部連通，多個所述出氣孔在所述出氣筒上對稱分布。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，其特征在于，所述出氣筒長度范圍為20~40_。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，其特征在于，所述出氣孔內(nèi)徑范圍為2~5mm。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的管式鍍膜設(shè)備爐口氮氣噴頭，其特征在于，所述進氣管路為兩條，兩條所述進氣管路與所述出氣管路組合成Y字形，兩條進氣管路構(gòu)成所述Y字形的兩上端腳，兩條所述進氣管路的進氣端豎直向下彎折。
【文檔編號】C23C16-455GK204298459SQ201420678729
【發(fā)明者】溫云佳, 高西超, 張林林, 柳國棟, 李明亮 [申請人]晶澳太陽能有限公司