專利名稱:一種前后電極石墨舟及化學(xué)氣相沉積設(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種前后電極石墨舟，包括：由均勻間隔設(shè)置的奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片構(gòu)成的舟體，奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片通過石墨棒串接，舟體的前端底部設(shè)有至少一個(gè)前導(dǎo)電石墨塊，舟體的后端底部設(shè)有至少一個(gè)后導(dǎo)電石墨塊。本實(shí)用新型還提出了一種使用上述前后電極石墨舟的化學(xué)氣相沉積設(shè)備。本實(shí)用新型在舟體的前后兩端分別設(shè)有導(dǎo)電石墨，正負(fù)電極桿通過與導(dǎo)電石墨接觸，從舟體的前后兩端引入正負(fù)極，使舟體產(chǎn)生的電場(chǎng)均勻。
【專利說明】
一種前后電極石墨舟及化學(xué)氣相沉積設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及光伏電池加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種前后電極石墨舟及使用該前后電極石墨舟的化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏電池加工行業(yè)中，石墨舟為化學(xué)氣相沉積設(shè)備中的硅片載體，化學(xué)氣相沉積設(shè)備的原理是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，對(duì)插入太陽能硅片的平行板鍍膜石墨舟進(jìn)行化學(xué)氣相沉淀，形成所期望的薄膜。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中已出現(xiàn)了多種石墨舟結(jié)構(gòu)，如圖1、2所示，公布號(hào)為CN102534564A的實(shí)用新型專利，包括:與電極桿相連的石墨舟本體，石墨舟本體由奇電極板2、偶電極板3、上電極中間隔塊4、下電極中間隔塊5、對(duì)稱下電極中間隔塊6、電極隔塊8和石墨舟腳9組成，石墨舟本體兩端均開有兩個(gè)電極孔，且每一端的兩個(gè)電極孔中，位于上部的電極孔均設(shè)置在位于石墨舟本體兩端的上電極中間隔塊6上，下部電極孔分別設(shè)置在下電極中間隔塊5與對(duì)稱下電極中間隔塊6上，該下電極中間隔塊5與對(duì)稱下電極中間隔塊6分別設(shè)在石墨舟本體兩端，石墨舟本體兩端的兩個(gè)電極孔之間距離相等。
[0004]該實(shí)用新型在石墨舟的雙面設(shè)置電極孔，能滿足電極桿I可分別從兩端插入電極孔，石墨舟推車轉(zhuǎn)動(dòng)180度可能順利操作，但這種石墨舟采用的是傳統(tǒng)技術(shù)中正負(fù)電極從舟體同一端引入的方式，這會(huì)導(dǎo)致石墨舟的電場(chǎng)分布不均，前端電場(chǎng)相比后端電池有所減弱或增加，硅片的膜厚均勻性較差，大大影響太陽能電池的生產(chǎn)質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出一種前后電極石墨舟及化學(xué)氣相沉積設(shè)備，正負(fù)電極可分別從該前后電極石墨舟的前后兩端引入，使舟體產(chǎn)生的電場(chǎng)均勻，硅片的膜厚均勻性好。
[0006]本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是，設(shè)計(jì)一種前后電極石墨舟，包括:由均勻間隔設(shè)置的奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片構(gòu)成的舟體，奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片通過石墨棒串接。奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片均排布有鏤空部，且奇數(shù)石墨片和偶數(shù)石墨片上的鏤空部水平對(duì)齊。
[0007]奇數(shù)石墨片的前端底部設(shè)有向前伸出的前端下耳片，相鄰的前端下耳片之間貼合設(shè)有前端下隔塊或前導(dǎo)電石墨塊，舟體的前端底部設(shè)有至少一個(gè)前導(dǎo)電石墨塊。奇數(shù)石墨片的后端中部設(shè)有向后伸出的后端上耳片，相鄰的后端上耳片之間貼合設(shè)有后端上隔塊。
[0008]偶數(shù)石墨片的后端底部設(shè)有向后伸出的后端下耳片，相鄰的后端下耳片之間貼合設(shè)有后端下隔塊或后導(dǎo)電石墨塊，舟體的后端底部設(shè)有至少一個(gè)后導(dǎo)電石墨塊。偶數(shù)石墨片的前端中部設(shè)有向前伸出的前端上耳片，相鄰的前端上耳片之間貼合設(shè)有前端上隔塊。
[0009]前導(dǎo)電石墨塊底部凸出奇數(shù)石墨片，后導(dǎo)電石墨塊底部凸出偶數(shù)石墨片，舟體的兩端底面設(shè)有四個(gè)支撐腳。
[0010]在一實(shí)施例中，舟體的兩側(cè)為奇數(shù)石墨片，舟體的后端兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊，舟體的前端兩側(cè)也對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊。兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊分別位于舟體后端的兩最外側(cè)，兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊分別與舟體的兩最外側(cè)間隔一個(gè)前端下隔塊。
[0011]較優(yōu)的，兩后導(dǎo)電石墨塊的底部外側(cè)面和兩前導(dǎo)電石墨塊的底部外側(cè)面均為圓弧面。
[0012]本實(shí)用新型還提出了一種使用上述前后電極石墨舟的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括:爐管，設(shè)于該爐管內(nèi)的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋和后蓋組成，電極裝置包括兩個(gè)分開設(shè)置并固定在前蓋和后蓋上的電極固定桿和正負(fù)電極桿，正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸，石墨舟放置在正負(fù)電極桿頂面上，正負(fù)電極桿分別與前導(dǎo)電石墨塊和后導(dǎo)電石墨塊接觸通電。
[0013]本實(shí)用新型在舟體的前端和后端分別設(shè)有導(dǎo)電石墨，正負(fù)電極桿通過與導(dǎo)電石墨接觸，從舟體的前后兩端引入，使舟體產(chǎn)生的電場(chǎng)均勻。舟體的前端和后端均對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)導(dǎo)電石墨，使得舟體轉(zhuǎn)動(dòng)180°后，仍然能與正負(fù)電極桿接觸通電，使用起來也非常方便。
【附圖說明】

[0014]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)說明，其中:
[0015]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟的正面示意圖；
[0016]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中石墨舟的端部結(jié)構(gòu)不意圖；
[0017]圖3是本實(shí)用新型中電極從舟體兩端接入的正面示意圖；
[0018]圖4是本實(shí)用新型中舟體的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖5是本實(shí)用新型中奇數(shù)石墨片的正面示意圖；
[0020]圖6是本實(shí)用新型中偶數(shù)石墨片的正面示意圖；
[0021 ]圖7是較佳實(shí)施例中舟體的前端結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖8是較佳實(shí)施例中舟體的后端結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖9是本實(shí)用新型中化學(xué)氣相沉積設(shè)備的正面示意圖；
[0024]圖10是本實(shí)用新型中化學(xué)氣相沉積設(shè)備的俯視示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]如圖3、4所示，本實(shí)用新型提出的前后電極石墨舟，包括:舟體1，舟體I由間隔交錯(cuò)設(shè)置的奇數(shù)石墨片11和偶數(shù)石墨片12構(gòu)成，奇數(shù)石墨片11和偶數(shù)石墨片12通過石墨棒串接，串接后奇數(shù)石墨片11和偶數(shù)石墨片12之間的間隔距離一致。奇數(shù)石墨片11的高度、長(zhǎng)度、厚度均與偶數(shù)石墨片12—致，奇數(shù)石墨片11和偶數(shù)石墨片12上都排布有鏤空部，且奇數(shù)石墨片11和偶數(shù)石墨片12上的鏤空部水平對(duì)齊。
[0026]如圖5、7、8所示，奇數(shù)石墨片11的前端底部設(shè)有向前伸出的前端下耳片110，相鄰的前端下耳片110之間貼合設(shè)有前端下隔塊13或前導(dǎo)電石墨塊14，至少有一對(duì)相鄰的前端下耳片110之間設(shè)有前導(dǎo)電石墨塊14，也就是說，也就是說舟體I的前端底部設(shè)有至少一個(gè)如導(dǎo)電石墨塊14。奇數(shù)石墨片11的后端中部設(shè)有向后伸出的后端上耳片111，相鄰的后端上耳片111之間貼合設(shè)有后端上隔塊15。
[0027]如圖6、7、8所示，偶數(shù)石墨片12的后端底部設(shè)有向后伸出的后端下耳片120，相鄰的后端下耳片120之間貼合設(shè)有后端下隔塊16或后導(dǎo)電石墨塊17，至少有一對(duì)相鄰的后端下耳片120之間設(shè)有后導(dǎo)電石墨塊17，也就是說，舟體I的后端底部設(shè)有至少一個(gè)后導(dǎo)電石墨塊17。偶數(shù)石墨片12的前端中部設(shè)有向前伸出的前端上耳片121，相鄰的前端上耳片121之間貼合設(shè)有前端上隔塊18。
[0028]如圖7、8所示，用隔塊分隔相鄰的奇數(shù)石墨片11和相鄰的偶數(shù)石墨片12后，石墨棒穿過隔塊和石墨片，在用螺母固定兩端石墨棒兩端。舟體I的兩端底面還設(shè)有用于支撐舟體I的四個(gè)支撐腳19，該四個(gè)支撐腳19與其上方對(duì)應(yīng)的隔塊連接成一體。前導(dǎo)電石墨塊14底部凸出奇數(shù)石墨片11。后導(dǎo)電石墨塊17底部凸出偶數(shù)石墨片12。當(dāng)石墨舟僅需完成單方向的行程時(shí)，舟體I的兩端只需分別設(shè)置一個(gè)前導(dǎo)電石墨塊14和一個(gè)后導(dǎo)電石墨塊17即可，正負(fù)電極桿分別與兩個(gè)導(dǎo)電石墨塊接觸通電，即可保證舟體I的兩端通電，使其兩端電場(chǎng)均勻，硅片的膜厚均勻性好。
[0029]在本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例中，如圖7、8所示，舟體I的兩側(cè)為奇數(shù)石墨片11，使得整個(gè)舟體I的兩側(cè)形狀對(duì)稱，舟體I的后端兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊17，舟體I的前端兩側(cè)也對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊14，將舟體I形狀、后導(dǎo)電石墨塊17、前導(dǎo)電石墨塊14設(shè)置成對(duì)稱，以方便舟體I旋轉(zhuǎn)180°后，依然能分別與正電極桿和負(fù)電極桿接觸通電。
[0030]其中，為了方便與正負(fù)電極桿接觸，該兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊17分別位于舟體I后端的兩最外側(cè)，該兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊14分別與舟體I的兩最外側(cè)間隔一個(gè)前端下隔塊13，進(jìn)一步優(yōu)化的，兩前導(dǎo)電石墨塊14的底部外側(cè)面為圓弧面，兩后導(dǎo)電石墨塊17的底部外側(cè)面也為圓弧面，圓弧面可增大導(dǎo)電石墨塊與電極桿的接觸面積，接觸更穩(wěn)定、更能滿足導(dǎo)電需要。
[0031]如圖9、10所示，本實(shí)用新型還提出了一種使用上述前后電極石墨舟的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括:爐管，設(shè)于該爐管內(nèi)的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋2和后蓋3組成，電極裝置包括兩個(gè)分開設(shè)置并固定在前蓋2和后蓋3之間的電極固定桿4、正電極桿5及負(fù)電極桿6，正電極桿5和負(fù)電極桿6分別使用固定塊固定在電極固定桿4上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸。舟體I放置在正負(fù)電極桿頂面上，正電極桿5和負(fù)電極桿6的位置分別與前導(dǎo)電石墨塊15和后導(dǎo)電石墨塊17配合，保證正負(fù)電極從舟體I的兩端接入即可。[0032 ]在圖1O中所示，正電極桿5與后導(dǎo)電石墨塊17的位置配合，正電極桿5從舟體I的后端導(dǎo)電，負(fù)電極桿6與前導(dǎo)電石墨塊14的位置配合，負(fù)電極桿6從舟體I的前端導(dǎo)電，當(dāng)然也可以將正電極桿5的位置設(shè)置成與前導(dǎo)電石墨塊14配合，負(fù)電極桿6的位置設(shè)置成與后導(dǎo)電石墨塊17配合。由于舟體I上的兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊14對(duì)稱、兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊17也對(duì)稱，因此舟體I轉(zhuǎn)動(dòng)180°后，仍然能與正負(fù)電極桿接觸通電，這樣電場(chǎng)從石墨舟前后兩端導(dǎo)入，使得石墨舟尾部電場(chǎng)與石墨舟前部電場(chǎng)差異減小，整個(gè)石墨舟電場(chǎng)更加均勻。
[0033]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種前后電極石墨舟，包括:由均勻間隔設(shè)置的奇數(shù)石墨片(11)和偶數(shù)石墨片(12)構(gòu)成的舟體(I)，所述奇數(shù)石墨片(11)和偶數(shù)石墨片(12)通過石墨棒串接，其特征在于， 所述奇數(shù)石墨片(11)的前端底部設(shè)有向前伸出的前端下耳片(110)，相鄰的前端下耳片(110)之間貼合設(shè)有前端下隔塊(13)或前導(dǎo)電石墨塊(14)，所述舟體(I)的前端底部設(shè)有至少一個(gè)前導(dǎo)電石墨塊(14)； 所述偶數(shù)石墨片(12)的后端底部設(shè)有向后伸出的后端下耳片(120)，相鄰的后端下耳片(120)之間貼合設(shè)有后端下隔塊(16)或后導(dǎo)電石墨塊(17)，所述舟體(I)的后端底部設(shè)有至少一個(gè)后導(dǎo)電石墨塊(17)。2.如權(quán)利要求1所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述奇數(shù)石墨片(11)的后端中部設(shè)有向后伸出的后端上耳片(111)，相鄰的后端上耳片(111)之間貼合設(shè)有后端上隔塊(15)； 所述偶數(shù)石墨片(12)的前端中部設(shè)有向前伸出的前端上耳片(121)，相鄰的前端上耳片(121)之間貼合設(shè)有前端上隔塊(18)。3.如權(quán)利要求2所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述前導(dǎo)電石墨塊(14)底部凸出奇數(shù)石墨片(11)，所述后導(dǎo)電石墨塊(17)底部凸出偶數(shù)石墨片(12)。4.如權(quán)利要求3所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述舟體(I)的兩端底面設(shè)有四個(gè)支撐腳(19)。5.如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述舟體(I)的兩側(cè)為奇數(shù)石墨片(11)，所述舟體(I)的后端兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊(17)，所述舟體(I)的前端兩側(cè)也對(duì)稱設(shè)有兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊(14)。6.如權(quán)利要求5所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述兩個(gè)后導(dǎo)電石墨塊(17)分別位于舟體(I)后端的兩最外側(cè)，所述兩個(gè)前導(dǎo)電石墨塊(14)分別與舟體(I)的兩最外側(cè)間隔一個(gè)前端下隔塊(13)。7.如權(quán)利要求6所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述兩后導(dǎo)電石墨塊(17)的底部外側(cè)面和所述兩前導(dǎo)電石墨塊(14)的底部外側(cè)面均為圓弧面。8.如權(quán)利要求1、2、3、4、6、7任一項(xiàng)所述的前后電極石墨舟，其特征在于，所述奇數(shù)石墨片(11)和偶數(shù)石墨片(12)均排布有鏤空部，且奇數(shù)石墨片(11)和偶數(shù)石墨片(12)上的鏤空部水平對(duì)齊。9.一種使用上述任一項(xiàng)前后電極石墨舟的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括:爐管，設(shè)于該爐管內(nèi)的石墨舟和電極裝置，該爐管由腔體、位于腔體兩端的前蓋(2)和后蓋(3)組成，所述的電極裝置包括兩個(gè)分開設(shè)置并固定在所述的前蓋(2)和后蓋(3)之間的電極固定桿(4)和正負(fù)電極桿，所述的正負(fù)電極桿分別使用固定塊固定在所述的電極固定桿上，并在整個(gè)石墨舟長(zhǎng)度上延伸，其特征在于，所述石墨舟放置在正負(fù)電極桿頂面上，正負(fù)電極桿分別與前導(dǎo)電石墨塊(14)和后導(dǎo)電石墨塊(17)接觸通電。
【文檔編號(hào)】C23C16/458GK205710906SQ201620162229
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年3月3日
【發(fā)明人】楊寶立, 周湘源, 張勇
【申請(qǐng)人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司