專利名稱：玻璃板邊緣修整的方法和設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)玻璃板的邊緣修整，尤其涉及對(duì)于用作液晶顯示屏(LCD)基板類型的薄玻璃板的邊緣修整。
背景技術(shù)：
在LCD基板的生產(chǎn)中，使用一種定尺寸(sizing)過程，在該過程中將一大塊玻璃板劃開并分成較小的玻璃板，這些玻璃板的尺寸適于進(jìn)一步加工制造到顯示器中。為了確保較小的玻璃板具有足夠的強(qiáng)度以承受顯示器的制造工藝，同時(shí)破損量又最小，被劃開并分離的玻璃板的邊緣被賦予圖1所示類型的圓角剖面形狀。
目前，使用一種粘結(jié)有金屬的金剛石砂輪來獲得這樣的剖面形狀。這樣的砂輪包括一凹槽，該凹槽與玻璃板的切割邊緣接觸并研磨該邊緣直到它具有圖1所示的剖面形狀為止。與使用這樣的砂輪相關(guān)的工藝和裝置需要將每條邊緣最少去除200微米的玻璃，以確保正常的加工制造。由于諸如系統(tǒng)偏差和在研磨操作中的及其傳輸精度等因素，這樣的去除量是必須的。
這樣，在修整工藝過程中，現(xiàn)有的輪型研磨技術(shù)在修整加工過程中對(duì)玻璃施加充分的研磨負(fù)荷。這還降低了可進(jìn)行加工制造并仍保持可以接受的質(zhì)量水平的工作速度。因此在技術(shù)上就需要可以克服現(xiàn)有技術(shù)的這些缺陷的邊緣修整方法和設(shè)備。
對(duì)已有技術(shù)的描述Levengood的美國(guó)專利2706876和Lisec的美國(guó)專利6231429顯示了使用旋轉(zhuǎn)皮帶來研磨玻璃板邊緣。值得注意的是，關(guān)于本發(fā)明，在這些專利中的皮帶旋轉(zhuǎn)方向橫向于玻璃邊緣的軸線。發(fā)現(xiàn)這樣的橫向研磨會(huì)造成玻璃的碎裂數(shù)量較多，這是尤其是由于皮帶的縫合線與玻璃邊緣的接觸造成的。當(dāng)用于用作液晶顯示器的基板的薄玻璃板、即厚度為0.7毫米或更薄的玻璃板時(shí)這更是一個(gè)問題。
如在以下充分討論和說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，皮帶的旋轉(zhuǎn)方向沿邊緣的軸線。在實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，這基本上可完全消除由皮帶縫合線所造成的破裂問題。
在某個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，還將皮帶沿邊緣的運(yùn)動(dòng)與皮帶的工作區(qū)相對(duì)于玻璃邊緣的受控運(yùn)動(dòng)相結(jié)合起來。具體來說，在修整工藝過程中，皮帶工作區(qū)的空間方向在三個(gè)維度上得到控制。工作區(qū)的這種空間方向使皮帶的旋轉(zhuǎn)(1)與玻璃邊緣的對(duì)位偏差相一致；并且(2)形成所希望的、例如圖1所示類型的構(gòu)形剖面。Levengood和Lisec的專利中也沒有解釋本發(fā)明的這些方面。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供對(duì)玻璃板邊緣進(jìn)行修整的方法和設(shè)備，尤其是用于修整玻璃板的直線邊緣。如說明書和權(quán)利要求書中所使用的，用語“修整玻璃板邊緣”和類似的用語，例如“邊緣修整”包括邊緣研磨、邊緣拋光或兩者都有，用語“玻璃板的直線邊緣”意為直線形式的邊緣，與彎曲的邊緣相對(duì)。
根據(jù)第一方面，本發(fā)明提供了一種修整玻璃板(11)的直線邊緣(23)的方法，它包括(a)提供一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)旋轉(zhuǎn)皮帶(10)，從而在工作區(qū)內(nèi)，皮帶的外表面沿一預(yù)定的方向(19)移動(dòng)；以及(c)通過以下方式修整玻璃板(11)的所述直線邊緣(23)(i)使皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)接觸，從而在該表面和直線邊緣(23)之間形成接觸線段(17)，所述接觸線段(17)在工作區(qū)(15)中；以及
(ii)通過使直線邊緣(23)保持與該表面的接觸而將玻璃從直線邊緣上去除；其中，接觸線段(17)和預(yù)定的方向(19)具有小于10度的夾角(例如圖2中的角ε)。
根據(jù)本發(fā)明的第二個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種修整玻璃板(11)的直線邊緣(23)的方法，它包括(a)提供一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)旋轉(zhuǎn)皮帶(10)；以及(c)通過以下方式修整玻璃板(11)的所述直線邊緣(23)(i)使皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)接觸，從而在該表面和直線邊緣(23)之間形成接觸線段(17)，所述接觸線段(17)在工作區(qū)(15)中；以及(ii)通過使直線邊緣(23)保持與該表面的接觸而將玻璃從直線邊緣上去除；其中(i)玻璃板(11)和工作區(qū)(15)各自限定一平面(例如圖7中α＝0的玻璃板的Y-Z平面和工作區(qū)的x-z平面)；(ii)所述諸平面在包括接觸線段(17)的一條線上相交；以及(iii)在步驟(c)(ii)的過程中，工作區(qū)(15)的平面相對(duì)于玻璃板(11)的平面至少具有兩個(gè)朝向。
根據(jù)本發(fā)明的第三個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種修整玻璃板(11)的直線邊緣(23)的方法，它包括(a)提供一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及
(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面；以及(b)通過以下方式修整玻璃板(11)的所述直線邊緣(23)(i)通過使壓盤(13)向直線邊緣(23)移動(dòng)而使皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)接觸；以及(ii)通過使直線邊緣(23)保持與該表面的接觸而將玻璃從直線邊緣上去除；其中(i)玻璃板(11)位于一X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)中的X、Z面上；(ii)在步驟(b)(i)中由外表面接觸之前，直線邊緣(2)具有一朝向，由此它與X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸或者平行或者呈角度(例7中的角度α)；以及(iii)當(dāng)皮帶(10)的外表面在步驟(b)(i)中與直線邊緣(23)接觸時(shí)，壓盤(13)采用直線邊緣(23)的所述朝向。
根據(jù)本發(fā)明的第四個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種修整的方法，它包括(a)提供一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)旋轉(zhuǎn)皮帶(10)；以及(c)通過以下方式修整玻璃板(11)的所述直線邊緣(23)(i)使皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)接觸，從而在該表面和直線邊緣(23)之間形成接觸線段(17)，所述接觸線段(17)在工作區(qū)(15)中；以及(ii)通過使直線邊緣(23)保持與該表面的接觸而將玻璃從直線邊緣上去除；其中(i)工作區(qū)(15)具有一中線(例如落在圖2中的線19上的中線)；以及(ii)在步驟(c)(ii)中，接觸線段(17)相對(duì)于中線具有多重位置(例如在中線兩側(cè)的諸位置)。
根據(jù)本發(fā)明的第五個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種用于具有要修整的直線邊緣(23)的玻璃板(11)的設(shè)備(12)，所述設(shè)備包括(a)一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)一皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(例如與一個(gè)或多個(gè)輥?zhàn)?7相聯(lián)系的一電動(dòng)機(jī))，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于旋轉(zhuǎn)皮帶，從而在工作區(qū)(15)中，皮帶(10)的外表面沿預(yù)定的方向(19)運(yùn)動(dòng)；以及(c)一壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于將壓盤(13)向玻璃板(11)的直線邊緣(23)移動(dòng)，從而形成皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)之間的一接觸線段(17)，該接觸線段與預(yù)定的方向(19)形成小于10度的夾角(例如圖2中的角ε)。
根據(jù)本發(fā)明的第六個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種用于具有要修整的直線邊緣(23)的玻璃板(11)的設(shè)備，所述設(shè)備包括(a)一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)用于旋轉(zhuǎn)皮帶(10)的一皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(例如與一個(gè)或多個(gè)輥?zhàn)?7相聯(lián)系的一電動(dòng)機(jī))；以及(c)一壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于將壓盤(13)向玻璃板(11)的直線邊緣(23)移動(dòng)，從而形成皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)之間的一接觸線段(17)；其中(i)玻璃板(11)和工作區(qū)(15)各自限定一平面(例如圖7中α＝0的玻璃板的Y-Z平面和工作區(qū)的x-z平面)；(ii)所述諸平面在包括接觸線段(17)的一條線上相交；以及(iii)壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)為工作區(qū)(15)的平面提供至少兩個(gè)相對(duì)于玻璃板(11)的平面的朝向。
根據(jù)本發(fā)明的第七個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種用于具有要修整的直線邊緣(23)的玻璃板(11)的設(shè)備，所述設(shè)備包括(a)一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)用于旋轉(zhuǎn)皮帶(10)的一皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(例如與一個(gè)或多個(gè)輥?zhàn)?7相聯(lián)系的一電動(dòng)機(jī))；以及(c)一壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于將壓盤(13)向玻璃板(11)的直線邊緣(23)移動(dòng)，從而形成皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)之間的一接觸線段(17)；其中(i)工作區(qū)(15)具有一中線(例如落在圖2中的線19上的中線)；以及(ii)壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、35)使接觸線段(17)相對(duì)于中線具有多重位置(例如見圖6)。
根據(jù)本發(fā)明的第八個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種用于具有要修整的直線邊緣(23)的玻璃板(11)的設(shè)備，所述設(shè)備包括(a)一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶(10)限定一工作區(qū)(15)；(b)用于旋轉(zhuǎn)皮帶(10)的一皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(例如與一個(gè)或多個(gè)輥?zhàn)?7相聯(lián)系的一電動(dòng)機(jī))；以及(c)一壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于將壓盤(13)向玻璃板(11)的直線邊緣(23)移動(dòng)，從而形成皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)之間的一接觸線段(17)；其中(i)工作區(qū)(15)具有一中線(例如落在圖2中的線19上的中線)；以及(ii)皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使接觸線段(17)相對(duì)于中線具有多重位置(例如通過諸輥?zhàn)?7的擺動(dòng))。
根據(jù)本發(fā)明的第九個(gè)方面，本發(fā)明提供了一種用于具有要修整的直線邊緣(23)的玻璃板(11)的設(shè)備，所述設(shè)備包括(a)一皮帶組裝件(10、13、27)，它包括(i)一皮帶(10)，該皮帶具有將玻璃從直線邊緣(23)去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤(13)，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面；(b)用于旋轉(zhuǎn)皮帶(10)的一皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(例如與一個(gè)或多個(gè)輥?zhàn)?7相聯(lián)系的一電動(dòng)機(jī))；以及(c)一壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于將壓盤(13)向玻璃板(11)的直線邊緣(23)移動(dòng)，以使皮帶的外表面與直線邊緣(23)接觸；其中(i)玻璃板(11)位于一X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Y-Z平面上；(ii)玻璃板的直線邊緣(23)具有一朝向，從而使它與X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸平行或呈角度(例如圖7中的角α)；以及(iii)當(dāng)皮帶(10)的外表面和直線邊緣(23)接觸時(shí)，壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)(31、33或35)使壓盤(13)采用直線邊緣(23)的朝向。
根據(jù)本發(fā)明的邊緣修整具有以下的一些(較佳地為所有)特征(1)一次同時(shí)研磨玻璃板的整個(gè)邊緣，即一步工藝；(2)可補(bǔ)償在將玻璃板裝載到研磨站上時(shí)的誤差；(3)與現(xiàn)有的砂輪法相比可減少所去除的原料量；
(4)減少玻璃碎片的產(chǎn)生量，而這些碎片會(huì)粘附在玻璃表面上并造成次品；(5)改善邊緣修整，例如更光滑的邊緣；以及/或者(6)更快的加工制造速度。
本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)在以下的詳細(xì)描述中列出，對(duì)于熟悉本領(lǐng)域的人員來說，通過以下的描述以及如下所述對(duì)本發(fā)明的實(shí)施，這些特征和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)是明顯的。
以上對(duì)本發(fā)明的各個(gè)方面的概括中所使用的標(biāo)號(hào)僅僅是為了便于讀者，并不是、也不應(yīng)被理解為對(duì)本發(fā)明的限制。更一般地來說，應(yīng)該理解的是，以上的一般描述和以下的詳細(xì)描述、包括結(jié)合于此并作為說明書的一部分的附圖只是多本發(fā)明的示例，并且是為了理解本發(fā)明的實(shí)質(zhì)和特征而提供的總括或框架。


圖1是示出了在修整后一玻璃板所具有的較佳邊緣剖面形狀類型的示意圖；圖2是示出了根據(jù)本發(fā)明的(1)皮帶移動(dòng)方向和(2)在邊緣修整過程中邊緣的朝向之間關(guān)系的示意圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的修整臺(tái)的側(cè)視示意圖；圖4是用于圖3所示的邊緣修整臺(tái)的壓敏壓盤的側(cè)視示意圖；圖5是示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的示意圖，其中一壓盤及其輥?zhàn)釉谶吘壭拚倪^程中平移和旋轉(zhuǎn)；圖6是示出了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的示意圖，其中只有一壓盤在邊緣修整的過程中平移和旋轉(zhuǎn)；圖7是示出了與一要進(jìn)行邊緣修整的玻璃板相關(guān)的一X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)，以及與在該修整中使用的壓盤相關(guān)的一x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)的示意圖；圖8是示出了從上往下看的壓盤的運(yùn)動(dòng)的示意圖；圖9是示出了通過皮帶整修而獲得的一LCD基板玻璃的1000毫米的邊緣的顯微相片，該基板玻璃具有0.7mm的厚度，由Corning公司(Corning，紐約)以玻璃型號(hào)1737銷售(以下稱為“0.7mm1737玻璃”)。左、中和右輪廓形狀分別是1000毫米邊緣的頂部、中部和底部；圖10包括更詳細(xì)地示出了0.7mm1737玻璃通過皮帶修整后產(chǎn)生的邊緣輪廓形狀的四張顯微相片。圖10A示出了整體的輪廓形狀，圖10B示出了放大200倍的A側(cè)(形成例如薄膜晶體管的一側(cè))、頂端和B側(cè)；圖11包括兩張顯微相片，它們將由砂輪研磨得到的0.7mm1737玻璃邊緣修整結(jié)果(左圖)和由皮帶修整得到的(右圖)相比較；圖12將0.7mm1737玻璃的皮帶修整同(1)用傳統(tǒng)的粘結(jié)金屬的砂輪研磨(標(biāo)準(zhǔn)研磨)和(2)在砂輪研磨之后進(jìn)行拋光(標(biāo)準(zhǔn)拋光)進(jìn)行比較。在這幅圖中，三角形、菱形和正方形分別代表三次試驗(yàn)情況中測(cè)量出的最大、平均和最小粗糙度；圖13示出了單位為微米的去除的原料量與使用可購(gòu)得的Al2O3皮帶對(duì)0.7mm1737玻璃進(jìn)行皮帶修整的邊緣數(shù)量的關(guān)系的試驗(yàn)結(jié)果。
在以上附圖中，類似的標(biāo)號(hào)表示所有附圖中類似的或相應(yīng)的部件。標(biāo)號(hào)通常對(duì)應(yīng)的元件在表1中列出。
具體實(shí)施例方式
如上所討論的，本發(fā)明涉及一種用于進(jìn)行邊緣修整的皮帶機(jī)加工系統(tǒng)，在該系統(tǒng)中，皮帶的旋轉(zhuǎn)方向沿所要修整的玻璃的軸線。這樣，可以認(rèn)為皮帶切向于玻璃運(yùn)行。
這樣的朝向的結(jié)果是，玻璃邊緣與皮帶的接觸形成一接觸線段，修整在該接觸線段上進(jìn)行。這一線段可例如具有1000毫米的長(zhǎng)度。接觸線段17和皮帶運(yùn)動(dòng)方向19之間的夾角ε(見圖2)小于10°，較佳地小于5°，更佳地基本為0°。
本發(fā)明較佳地采用一壓盤(皮帶支撐板)，該壓盤的運(yùn)動(dòng)是對(duì)壓力敏感的，從而可在皮帶的外表面和玻璃邊緣之間達(dá)到“輕觸”。將壓盤設(shè)計(jì)成與研磨皮帶的背側(cè)(內(nèi)表面)的一部分接合，并使用例如空氣致動(dòng)聯(lián)動(dòng)裝置或其它壓敏裝置來移進(jìn)移出位置。
在與皮帶的背側(cè)接合之后，壓盤靠著玻璃邊緣推動(dòng)皮帶的外表面。明顯地，由于采用壓敏定位，當(dāng)皮帶與邊緣接觸時(shí)，壓盤的朝向會(huì)自動(dòng)調(diào)整以與玻璃邊緣的軸線匹配。這是本發(fā)明的一個(gè)重要特征，因?yàn)樗峁┝酥T如由將玻璃板供入修整系統(tǒng)的進(jìn)料系統(tǒng)所引起的誤差之類的玻璃板定位偏差的自動(dòng)調(diào)整。
圖3示出了根據(jù)本發(fā)明構(gòu)造的一修整臺(tái)12的整體布置。該圖示出了同時(shí)對(duì)玻璃板11的兩個(gè)相背的邊緣進(jìn)行修整的情況，可以理解的是，如果需要的話，一次可以對(duì)一處邊緣進(jìn)行修整。類似地，如果需要的話，玻璃板的所有的邊緣，例如所有的四條邊緣可同時(shí)進(jìn)行修整。然而，這會(huì)造成一些邊緣的某些部分沒有被修整到，而這通常是不希望發(fā)生的，這樣，對(duì)兩條邊緣同時(shí)進(jìn)行修整是較佳的。在圖3中，玻璃板為垂直朝向，這是修整LCD玻璃的較佳朝向，因?yàn)檫@樣的玻璃通常都以這個(gè)朝向制造、切割、檢測(cè)、涂層和包裝。當(dāng)然，可以理解的是，根據(jù)本發(fā)明進(jìn)行的修整可對(duì)與垂直方向呈角度的玻璃板進(jìn)行，例如對(duì)水平朝向的玻璃板進(jìn)行。以下的討論是依照?qǐng)D3中的系統(tǒng)進(jìn)行的，可以理解，和其它的一樣，本發(fā)明同樣適用于以上的變型。
如圖3所示，玻璃板11由傳送系統(tǒng)21放置到位，然后在其邊緣附近由真空系統(tǒng)25固定在位。真空系統(tǒng)向玻璃板11施加足夠的力以防止玻璃板在進(jìn)行修整時(shí)移動(dòng)。較佳地，在靠近玻璃邊緣的位置上施加真空力，在該位置上可幫助穩(wěn)定邊緣并由此使修整過程中的震動(dòng)最小。例如，玻璃邊緣和施加真空力的位置之間的間距可為大約0.25英寸(約等于6毫米)。真空系統(tǒng)的進(jìn)口被較佳地構(gòu)造為可在施加真空力的區(qū)域處向玻璃提供當(dāng)?shù)氐闹С小＠?，已發(fā)現(xiàn)一沿其長(zhǎng)度具有螺旋形的進(jìn)口適于該目的。如果需要，可在真空系統(tǒng)上安裝常平架，以提供對(duì)玻璃板放置中的誤差的附加調(diào)整。
每根皮帶10安裝在一組傳動(dòng)輪或輥?zhàn)?7上(在圖3中示出的是每根皮帶三個(gè))并由例如連接在一個(gè)輥?zhàn)由系碾妱?dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)，從而皮帶向下移動(dòng)通過玻璃邊緣(見箭頭29)?；蛘?，一根或兩個(gè)皮帶都可向上移動(dòng)。
在某些實(shí)施例中，除了繞其軸旋轉(zhuǎn)，輥?zhàn)?7還沿橫向于玻璃板平面的方向擺動(dòng)。這樣的橫向擺動(dòng)可通過擺動(dòng)輥?zhàn)拥妮S或其支承結(jié)構(gòu)來獲得。這種類型的擺動(dòng)將接觸線段17(見圖2)移動(dòng)到皮帶表面上的不同位置。這樣，皮帶寬度的很大一段可用于修整，這延長(zhǎng)了皮帶的壽命。例如，為了用具有150毫米寬度的皮帶來修整厚度為0.7mm的LCD玻璃，需要采用規(guī)格為100毫米寬度，以獲得在成本上可與現(xiàn)在使用的砂輪研磨技術(shù)相比的皮帶壽命。
在實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)，皮帶磨損的相當(dāng)一部分是在玻璃邊緣與皮帶最初接觸時(shí)發(fā)生的。輥?zhàn)?7、以及由此皮帶10的橫向擺動(dòng)將最初接觸的線沿皮帶的寬度移動(dòng)到不同的地方，從而使這種高度磨損的影響最小。為了幫助確保最初接觸線的位置沿皮帶的寬度分散開，如果需要的話，可使橫向擺動(dòng)隨機(jī)進(jìn)行。
如上所討論的，壓盤13接觸皮帶10的背側(cè)并將它推動(dòng)而與所要修整的玻璃邊緣接觸。壓盤與皮帶的這一接觸產(chǎn)生皮帶的工作區(qū)15(見圖2)，該工作區(qū)的結(jié)構(gòu)和尺寸通常與壓盤面的結(jié)構(gòu)和尺寸相對(duì)應(yīng)。
圖4是更詳細(xì)的壓盤13側(cè)視圖，它示出了氣壓缸31，氣壓缸31使壓盤的面可調(diào)整到玻璃邊緣任何程度的不垂直。這種不垂直通常是由傳送系統(tǒng)21放置玻璃板的誤差所造成的。氣壓缸31可使壓盤13的朝向與垂直向的夾角與玻璃板的一樣(例如圖7中的角α，見以下)。
氣壓缸還允許選擇(調(diào)節(jié))皮帶外表面和玻璃邊緣之間的力。這個(gè)力與皮帶速度和表面特性結(jié)合在一起決定從邊緣上去除的材料的比率。這些參數(shù)還決定經(jīng)邊緣修整后的表面粗糙度。較佳地，氣壓缸具有較低的內(nèi)部摩擦力，從而可精確控制施加在玻璃邊緣上的力。較佳地使用兩個(gè)氣壓缸，它們較佳地具有獨(dú)立的壓力控制，一個(gè)在壓盤的頂部，另一個(gè)在壓盤的底部，如圖4所示。也可采用位于壓盤中部的單個(gè)氣壓缸，但這對(duì)于壓盤移動(dòng)的控制較少。也可以使用兩個(gè)以上的氣壓缸，但通常沒有必要。
在本發(fā)明的實(shí)踐中可使用具有多種結(jié)構(gòu)和表面特性的皮帶，包括具有設(shè)計(jì)有圖案的表面的皮帶(即經(jīng)工程加工的皮帶)以及那些具有任意表面的皮帶。具有任意表面的皮帶是較佳的，因?yàn)檫@樣皮帶就不太會(huì)由于與玻璃邊緣的尖角最初接觸而開槽。已發(fā)現(xiàn)這樣的開槽會(huì)造成皮帶被粘住和跳動(dòng)，這會(huì)使邊緣修整效果不佳。根據(jù)此處所揭示的，熟悉本領(lǐng)域的人可為本發(fā)明的任何一個(gè)具體應(yīng)用選擇適合的皮帶結(jié)構(gòu)、以及適合的皮帶速度和施加在皮帶和玻璃板之間的力。適合的皮帶速度的例子包括約1700到約2500英寸/分鐘之間的速度；適合的作用力的例子包括每1米長(zhǎng)度的邊緣約4到約10磅的力。
回到圖3，該圖示出了為玻璃邊緣提供圖1所示類型剖面形狀的兩個(gè)方法。在由驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)33示意性示出的一個(gè)方法中，當(dāng)進(jìn)行修整以向邊緣提供所需的剖面形狀時(shí)，輥?zhàn)?7和壓盤13相對(duì)于邊緣一起移動(dòng)。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)33可以例如用于平移和旋轉(zhuǎn)平臺(tái)32，在該平臺(tái)上安裝有皮帶10、輥?zhàn)?7和壓盤13。在由驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)35示意性示出的另一個(gè)方法中，只有壓盤運(yùn)動(dòng)，輥?zhàn)颖３朱o止。在任何一種情況下，輥?zhàn)涌梢匀缟纤龅貦M向擺動(dòng)。同樣，在兩個(gè)方法中，較佳地使用一壓敏壓盤以調(diào)整在放置玻璃板時(shí)的誤差。
第一個(gè)方法在圖5中進(jìn)一步示出，其中箭頭37示出了輥?zhàn)雍蛪罕P13的聯(lián)合運(yùn)動(dòng)。如該圖的右手邊所示，該運(yùn)動(dòng)較佳地導(dǎo)致材料從玻璃邊緣23的導(dǎo)邊部分和兩個(gè)角部去除。
第二個(gè)方法在圖6中進(jìn)一步示出，其中箭頭39示出了壓盤13的運(yùn)動(dòng)，而輥?zhàn)?7保持靜止(沒有任何可供選的橫向擺動(dòng))。同樣，該圖的右手邊示出了這個(gè)運(yùn)動(dòng)的效果是將材料從玻璃邊緣23的兩個(gè)角部和導(dǎo)邊部分去除。
然而，在這個(gè)情況下，同樣如圖6中所示，壓盤和輥?zhàn)又g的相對(duì)運(yùn)動(dòng)使皮帶10扭曲。在實(shí)踐中，該扭曲同壓盤作用在皮帶一側(cè)上和玻璃邊緣作用在皮帶另一側(cè)上的力結(jié)合，使皮帶側(cè)向來回偏移。這樣的來回偏移自動(dòng)地使用皮帶寬度上的不同部分來進(jìn)行修整，這樣就延長(zhǎng)了皮帶的壽命。如果需要的話，因來回偏移而產(chǎn)生的對(duì)皮帶寬度上不同部分的使用可與輥?zhàn)?7的橫向擺動(dòng)結(jié)合?；蛘?，在一些應(yīng)用中，來回偏移效應(yīng)本身就可提供足夠的皮帶壽命。
如在圖5和6的右手部分可以看到的，對(duì)邊緣23的修整使皮帶的工作區(qū)相對(duì)于玻璃板的平面在多個(gè)方向上運(yùn)動(dòng)。所涉及的幾何形狀在圖7中示出，其中示出了兩個(gè)笛卡爾坐標(biāo)，即與玻璃板相關(guān)的一X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)以及與壓盤(也就是與皮帶工作區(qū)15)相關(guān)的一x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)。假定X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸與x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)的z軸平行，且兩根軸線垂直，如上所討論的，可以理解，垂直朝向只是出于說明的目的。
在這幅圖中，將玻璃板的表面視為在X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Y-Z平面上，將壓盤的表面視為在x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)的x-z平面上。在X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)中，所要修整的邊緣的朝向與Z軸呈夾角α，即假設(shè)該邊緣不是完全垂直的。如上所討論的，邊緣的這一朝向由氣壓缸31調(diào)整。這樣，在x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)中，壓盤的表面與z軸的夾角α與玻璃邊緣與Z軸所呈的夾角相同。
在最通常的情況中，可為x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)及其相關(guān)的壓盤相對(duì)于X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)及其相關(guān)的玻璃板提供完全的運(yùn)動(dòng)自由度。這樣的運(yùn)動(dòng)可用例如工業(yè)機(jī)器人或?qū)Ｓ玫娜S平移系統(tǒng)(例如可提供壓盤的精確定位、采用直線軌道和適合的電動(dòng)機(jī)的平移系統(tǒng))來提供。
然而，如圖7所示，在實(shí)踐中發(fā)現(xiàn)通過將x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)的原點(diǎn)沿正交于玻璃板表面的方向(即沿X軸的方向)的平移和x、y、z坐標(biāo)系統(tǒng)的x和y坐標(biāo)相對(duì)于X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的X和Y坐標(biāo)的旋轉(zhuǎn)結(jié)合可獲得很好的邊緣修整。在圖7中，平移由變量“L”示意性地示出，旋轉(zhuǎn)由變量“θ”示意性地示出。可使用傳統(tǒng)的計(jì)算機(jī)控制電動(dòng)機(jī)和聯(lián)結(jié)機(jī)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)平移和旋轉(zhuǎn)，在圖7中用標(biāo)號(hào)41表示一個(gè)用于實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)的此類電動(dòng)機(jī)。
圖8概括了從上面看下來的這種平移加旋轉(zhuǎn)修整系統(tǒng)的各種運(yùn)動(dòng)。在這幅圖中，45表示直線運(yùn)動(dòng)，47表示旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，49表示由氣壓缸產(chǎn)生的壓盤運(yùn)動(dòng)，X’-Y’為基于機(jī)器的坐標(biāo)，而43是相對(duì)于X’-Y’坐標(biāo)的可選的整體運(yùn)動(dòng)，以使修整系統(tǒng)到位。通過為這些運(yùn)動(dòng)選擇值，可以將任何所需的輪廓施加到邊緣23上。
對(duì)玻璃邊緣的修整會(huì)產(chǎn)生熱量，從而較佳地在玻璃邊緣和皮帶的外表面之間的接觸線段附近、在皮帶和玻璃表面上施加通常為水的冷卻液體。這種冷卻主要是為了防止皮帶由于皮帶表面研磨劑和皮帶主體之間的粘結(jié)劑退化而過早損壞。可沿玻璃邊緣的整個(gè)長(zhǎng)度或只在玻璃板的頂部施加冷卻液體，在頂部施加時(shí)，重力產(chǎn)生沿邊緣的其余部分向下的液流。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，例如，在玻璃板的兩邊各有一個(gè)、沿其表面有孔的一英寸寬的諸噴嘴位于玻璃板的頂部并向下、向內(nèi)對(duì)準(zhǔn)，從而沿壓盤的運(yùn)動(dòng)濕潤(rùn)約兩英寸寬的皮帶，可以成功地工作。為了避免不必要的污染，通常較佳的是使接觸玻璃板主要表面的冷卻液體的量最少。
壓盤13通常(也是較佳地)由剛性(非屈服)材料制成，從而為皮帶10提供牢固的支撐，例如壓盤可包括具有低摩擦涂層(比如TEFLON涂層)的金屬以使壓盤和皮帶的背側(cè)之間的摩擦最小?；蛘?，但并非較佳地，壓盤13的表面可由彈性(屈服)材料制成，玻璃邊緣使皮帶的外表面以及沿邊緣和皮帶外表面之間的接觸線段的下方彈性材料變形。這樣，通過皮帶沿接觸線段的下陷變形可生成圖1中的剖面形狀，而不需要壓盤相對(duì)于玻璃邊緣的平移或旋轉(zhuǎn)。彈性材料還可補(bǔ)償玻璃邊緣相對(duì)于垂直方向的偏差。然而，即使在用彈性壓盤時(shí)，為此目的而使用氣壓缸31也是較佳的。
彈性材料的外表面摩擦系數(shù)必須足夠低，從而在該表面和皮帶背側(cè)之間的界面上不會(huì)產(chǎn)生過多的熱量。或者，彈性材料的形式可為在主皮帶內(nèi)側(cè)的第二皮帶，該第二皮帶沿形成工作區(qū)的運(yùn)動(dòng)路徑的一部分與主皮帶的背側(cè)接觸。這樣，通過將第二皮帶的表面速度調(diào)整到與主皮帶的表面速度一樣、從而減少兩條皮帶在其接觸點(diǎn)上的相對(duì)運(yùn)動(dòng)(例如沒有相對(duì)運(yùn)動(dòng))來避免在彈性材料和主皮帶的背側(cè)之間界面上產(chǎn)生熱量。
當(dāng)使用具有彈性表面的壓盤時(shí)，所修整的邊緣不需要相對(duì)于主皮帶的表面靜止，而是可沿邊緣和皮帶之間的接觸線運(yùn)動(dòng)。這樣的相對(duì)運(yùn)動(dòng)也可在剛性壓盤上發(fā)生，但這通常并不是較佳的，因?yàn)檫@會(huì)限制可用于相對(duì)玻璃邊緣的旋轉(zhuǎn)和平移從而獲得所需的邊緣剖面形狀的時(shí)間。
將由以下實(shí)例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更充分的描述，這些例子并不是對(duì)本發(fā)明的限制。
實(shí)例1使用在其頂部和底部裝配有氣壓缸的旋轉(zhuǎn)和平移壓盤(見圖4)在1米長(zhǎng)的0.7mm1737玻璃的兩英寸寬長(zhǎng)條上進(jìn)行皮帶修整。對(duì)每根長(zhǎng)條的一處劃開并斷開的邊緣進(jìn)行修整。該邊緣突伸出用于固定長(zhǎng)條的真空夾盤之外大約6mm。
在修整中使用的皮帶為152mm寬(6英寸)，且由于皮帶扭曲(見圖6)，大約70mm的皮帶表面在修整操作中接觸邊緣。在一些實(shí)驗(yàn)中，皮帶的輥?zhàn)訑[動(dòng)大約25mm的距離，這使修整過程中所使用的皮帶寬度增加到95mm。對(duì)不同的可購(gòu)得的皮帶進(jìn)行了試驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)320 NORTON Al2O3皮帶最適于根據(jù)本發(fā)明的邊緣修整(Norton Abrasives，Worcester，馬塞諸塞州)。在修整的過程中，在邊緣和皮帶之間的界面上加水。
壓盤相對(duì)于玻璃邊緣的運(yùn)動(dòng)由計(jì)算機(jī)控制，對(duì)以下的參數(shù)進(jìn)行調(diào)整θ、dθ/dt、dL/dt和在每個(gè)位置上的駐留時(shí)間(見圖7)。可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對(duì)這些參數(shù)以及皮帶類型、皮帶速度和壓盤作用力進(jìn)行調(diào)整以為一整體工藝循環(huán)產(chǎn)生所需的邊緣剖面形狀，該工藝包括以下步驟(1)將壓盤移動(dòng)到起始“L”位置。
(2)將壓盤旋轉(zhuǎn)到起始“θ”位置。
(3)氣壓缸將壓盤靠著可調(diào)節(jié)的硬止檔件延伸，該硬止檔件在該點(diǎn)上阻止壓盤接觸玻璃。
(4)改變“L”位置，以移動(dòng)壓盤與玻璃邊緣接觸。當(dāng)這一運(yùn)動(dòng)發(fā)生時(shí)，作為與玻璃接觸的結(jié)果，壓盤被推回，而氣壓缸仍保持皮帶外表面和玻璃之間的恒常力。
(5)然后將壓盤旋轉(zhuǎn)并從玻璃的一側(cè)平移到另一側(cè)，而氣壓缸保持皮帶與玻璃的接觸，從而形成成形邊緣。將原料的去除量控制在50到125微米之間，發(fā)現(xiàn)該下限可足以去除裂縫。
(6)在完成邊緣修整后，氣壓缸將壓盤收回，壓盤移回原位，為下一個(gè)循環(huán)做準(zhǔn)備。
通常，完成以上步驟大約要花費(fèi)10到25秒。
壓盤可補(bǔ)償玻璃1-2mm的頂?shù)降椎碾x軸位置。例如，如果玻璃被安裝成底部比頂部更靠近壓盤1-2mm，壓盤仍將均勻地從頂?shù)降捉佑|玻璃，并沿整個(gè)邊緣施加均勻的壓力。
圖9是示出了經(jīng)過以上步驟而獲得的典型的邊緣剖面形狀的顯微相片，其中該圖中的左、中和右輪廓形狀分別是1000毫米長(zhǎng)邊緣的頂部、中部和底部。圖10更詳細(xì)地示出了邊緣剖面形狀，圖10A示出了整體的輪廓形狀，而圖10B示出了放大200倍的A側(cè)、頂端和B側(cè)。
圖11將由傳統(tǒng)的粘結(jié)有金屬的金剛石砂輪研磨得到的邊緣修整結(jié)果(左圖)和由根據(jù)上述步驟的皮帶修整所得到的結(jié)果相比較。圖中，皮帶修整的邊緣看上去更光滑。
圖12將使用320 NORTON Al2O3皮帶進(jìn)行的邊緣修整同傳統(tǒng)的砂輪研磨和砂輪壓模加拋光進(jìn)行比較。如從圖中可見的，皮帶修整產(chǎn)生的表面粗糙值大大低于那些由砂輪研磨所產(chǎn)生的。事實(shí)上，在這些實(shí)驗(yàn)中得到的表面粗糙值比將砂輪研磨和額外的拋光步驟結(jié)合而得到的要好。
進(jìn)一步的實(shí)驗(yàn)顯示，在由320 NORTON Al2O3皮帶進(jìn)行修整的一系列共1475個(gè)樣本中(即大約1500米的玻璃)，表面粗糙度(Ra值)具有小于0.3微米的平均值，在整個(gè)系列中，諸邊緣的頂部、中間和底部小于0.35微米。圖13顯示，對(duì)于這一長(zhǎng)度的玻璃，去除的原料量相當(dāng)恒定，并大大低于砂輪研磨的200微米的水平。該圖中的數(shù)據(jù)也是關(guān)于320 NORTON Al2O3皮帶的。
實(shí)例2用支承在壓力反饋彈性壓盤上、涂覆有礦物質(zhì)的皮帶將一LCD基板邊緣研磨成形。
該皮帶為微孔MX150布襯的皮帶(40微米的粗砂)(Micro-SurfaceFinishing Products，Inc.，Wilton，愛荷華州)，壓盤的形式為一塊其上安裝有皮帶的可旋轉(zhuǎn)柔軟硅盤。該硅盤具有約6英寸的直徑。玻璃傳送速度是1570英寸/分鐘。皮帶為4英寸寬、36英寸長(zhǎng)。除了柔軟硅盤以外，皮帶還由一驅(qū)動(dòng)輪支承。在實(shí)驗(yàn)中使用0.7mm1737玻璃最初的劃開并斷開的邊緣，在修整過程中，在邊緣和皮帶之間的接觸線上加水。
已發(fā)現(xiàn)柔軟的硅可有效地使皮帶與玻璃邊緣一致。這導(dǎo)致具有良好邊緣半徑的80微米的斜寬度。Ra為0.3微米，最大界面碎片尺寸為約50微米。這一界面質(zhì)量與砂輪研磨得到的一樣或更好。在形成每條為460mm長(zhǎng)的三條邊緣之后基本上不會(huì)有痕跡，因此皮帶磨損最小。
雖然已經(jīng)描述并闡明了具體實(shí)施例，但應(yīng)該理解的是，可以進(jìn)行修改而不背離本發(fā)明的精神實(shí)質(zhì)和范圍。例如，雖然在一個(gè)操作中較佳的是用皮帶來修整整個(gè)邊緣，例如較佳的是邊緣和皮帶外表面之間的接觸線段長(zhǎng)度等于邊緣的整個(gè)長(zhǎng)度，但一次可只修整邊緣的較小的一部分，將其余的部分留到下一次再修整，或不修整。類似地，既然壓盤的運(yùn)動(dòng)是可編程的，除了完整的輪廓形狀以外，也可將其它不同的邊緣形狀施加到玻璃邊緣上，例如可施加一C形斜面。
從此處所揭示的內(nèi)容中，許多其它不背離本發(fā)明的范圍和精神實(shí)質(zhì)的修改對(duì)于本領(lǐng)域的普通人員來說是明顯的。所附的權(quán)利要求應(yīng)覆蓋這里所說明的具體實(shí)施例以及此類修改、變型和等效內(nèi)容。
表1

權(quán)利要求
1.用于具有要修整的直線邊緣的玻璃板的設(shè)備，所述設(shè)備包括(a)一皮帶組裝件，它包括(i)一皮帶，該皮帶具有將玻璃從玻璃板的直線邊緣去除的一外表面以及一內(nèi)表面；以及(ii)一壓盤，該壓盤接觸皮帶的內(nèi)表面并為皮帶限定一工作區(qū)；(b)一皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于旋轉(zhuǎn)皮帶，從而使皮帶的外表面在工作區(qū)中沿預(yù)定的方向運(yùn)動(dòng)；以及(c)一壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，該驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)用于使壓盤向玻璃板的直線邊緣移動(dòng)，從而形成皮帶的外表面和直線邊緣之間的一接觸線段，該接觸線段與預(yù)定的方向形成小于10度的夾角。
2.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，該壓盤為彈性體。
3.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，(i)玻璃板和工作區(qū)各自限定一平面；(ii)所述諸平面在包括接觸線段的一條線上相交；以及(iii)壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)為工作區(qū)的平面提供至少兩個(gè)相對(duì)于玻璃板的平面的朝向。
4.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，該皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括諸輥?zhàn)?，且該壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使諸輥?zhàn)雍蛪罕P都運(yùn)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，該皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括諸輥?zhàn)?，且該壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使壓盤運(yùn)動(dòng)，但不使諸輥?zhàn)舆\(yùn)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，(i)工作區(qū)具有一中線；以及(ii)壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使接觸線段相對(duì)于中線具有多重位置。
7.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，(i)工作區(qū)具有一中線；以及(ii)皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使接觸線段相對(duì)于中線具有多重位置。
8.如權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，該皮帶驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括諸擺動(dòng)輥?zhàn)印?br> 9.如權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，(i)玻璃板位于一X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Y-Z平面上；(ii)玻璃板的直線邊緣具有一朝向，從而使它與X、Y、Z坐標(biāo)系統(tǒng)的Z軸平行或呈角度；以及(iii)當(dāng)皮帶的外表面和直線邊緣接觸時(shí)，壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使壓盤采用直線邊緣的所述朝向。
10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其特征在于，該壓盤驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)包括多個(gè)氣壓缸。
全文摘要
使用一旋轉(zhuǎn)皮帶(10)來修整諸如用作液晶顯示器(LCD)的基板的薄玻璃板(例如0.7mm)之類的玻璃板(11)的邊緣(23)。玻璃板(11)的邊緣(23)與皮帶(10)的工作區(qū)(15)沿一線段(17)接合，該線段與皮帶(10)的運(yùn)動(dòng)方向(19)的夾角小于10°。一壓敏壓盤(13)使工作區(qū)(15)與邊緣(23)接觸，該壓盤可調(diào)節(jié)玻璃板(11)置于修整臺(tái)(12)上的誤差。
文檔編號(hào)B24B21/00GK1826208SQ200480021314
公開日2006年8月30日 申請(qǐng)日期2004年7月23日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月24日
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