專利名稱：雙頭平面磨削裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對半導(dǎo)體圓晶等的薄板狀工件的兩面進(jìn)行磨削的雙頭平面磨削裝置。
背景技術(shù)：
作為對半導(dǎo)體圓晶等的薄板狀工件的兩面進(jìn)行磨削的雙頭平面磨削裝置，比如，人們知道有專利文獻(xiàn)1所述的類型。該專利文獻(xiàn)1所述的雙頭平面磨削裝置包括一對磨削砂輪，該對磨削砂輪按照磨削面相互面對的方式可旋轉(zhuǎn)地被支承；工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)，該工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)按照在工件的兩面的被磨削面中的至少一部分設(shè)置于磨削砂輪的磨削面之間的磨削位置的狀態(tài)，可圍繞與磨削砂輪的旋轉(zhuǎn)軸平行的旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)的方式支承薄板狀的工件；一對非接觸支承機(jī)構(gòu)，該對非接觸支承機(jī)構(gòu)按照從兩側(cè)夾持工件的被磨削面的磨削位置的外側(cè)的區(qū)域的幾乎整個面的方式設(shè)置，并且通過流體的壓力，非接觸地支承工件，該雙頭平面磨削裝置按照在通過非接觸支承機(jī)構(gòu)支承工件的狀態(tài)，使工件和磨削砂輪旋轉(zhuǎn)，以對工件的兩個面的被磨削面進(jìn)行磨削的方式構(gòu)成。
另外，在該雙頭平面磨削裝置中，磨削砂輪的磨削面的直徑基本等于或稍稍大于工件的半徑。即，按照磨削砂輪的磨削面在平時依靠于工件的被磨削面的中心和外周的一部分這兩者上的方式，設(shè)定磨削砂輪和工件的相對位置關(guān)系，由此，通過磨削砂輪可均勻地對工件的整個面進(jìn)行磨削。
這種的雙頭平面磨削裝置的非接觸支承機(jī)構(gòu)的非接觸支承面比如，一般為圖15所示的那樣的形狀。即，從該基本呈圓型的外緣側(cè)，越過至少工件的中心位置B，形成圓弧狀的缺口部111，在該缺口部111的內(nèi)部設(shè)置磨削砂輪112。另外，在該非接觸支承面上，設(shè)置多個呈基本均勻的深度的凹入狀的凹腔部113，從設(shè)置于這些凹腔部113的內(nèi)壁上的流體供給孔(圖示省略)排出水等的流體。
此外，凹腔部113按照相對工件中心B，基本呈同心圓狀的方式沿徑向按多列(在這里，2排)排列。即，形成凹腔部113的周圍的突起部的網(wǎng)眼狀的網(wǎng)狀部114由周緣部114a和內(nèi)肋部114b構(gòu)成，該周緣部114a沿非接觸支承面的外周設(shè)置，該內(nèi)肋部114b按照將該周緣部114a的內(nèi)側(cè)的區(qū)域分成多個的方式設(shè)置，并且在多個內(nèi)外連接部115中與周緣部114a連接。
專利文獻(xiàn)1JP特開2000-280155號文獻(xiàn)發(fā)明內(nèi)容在采用上述的過去的雙頭平面磨削裝置，對圓晶(比如，直徑為300mm左右)的兩個面進(jìn)行磨削的場合，人們知道，在磨削后的圓晶的表面上，沿面外方向形成同心圓狀的μm等級以下的波狀(在下面簡稱為“波狀”)，但是，對于該程度的微小的波狀，在過去沒有造成特別的問題。
但是，近年，伴隨形成于圓晶表面上的圖案的精細(xì)化處理的進(jìn)展、及曝光裝置的焦點(diǎn)深度變得非常淺的情況，同樣對于圓晶表面的平面度也要求更高的水平，就上述那樣的μm等級以下的波狀來說，也變得不能忽視。
本發(fā)明的目的在于針對這樣的過去的問題，提供可消除因磨削而在工件的表面上產(chǎn)生的同心圓狀的波狀，進(jìn)一步提高磨削后的工件表面的平面度的雙頭平面磨削裝置。
在以圖15所示的具有非接觸支承面的一直以來的雙頭平面磨削裝置為對象，進(jìn)行該非接觸支承面的溫度分析時可知道，像圖16所示的那樣，沿處于最高溫度的磨削砂輪112的外周(缺口部111的周圍)，溫度分布紊亂的部分具有多個部位(5個部位)。該溫度分布紊亂的部分沿缺口部111的周圍而存在的內(nèi)外連接部(內(nèi)肋部114b與周緣部114a的連接部分)115等分別一致，另外還與在磨削后的圓晶W的表面上產(chǎn)生的波狀的部位基本一致。
根據(jù)上述情況而推測，缺口部111的周圍的溫度分布的紊亂是在磨削后的圓晶表面上產(chǎn)生波狀的原因之一，人們考慮通過按照位于缺口部111的周圍存在的內(nèi)外連接部115的數(shù)量為最小限的方式設(shè)置凹腔部113和網(wǎng)狀部114，由此將缺口部111的周圍的溫度分布的紊亂抑制最小程度，進(jìn)而，可抑制因磨削而在工件表面上產(chǎn)生的同心圓狀的波狀。
因此，本發(fā)明涉及一種雙頭平面磨削裝置，該雙頭平面磨削裝置包括一對磨削砂輪，該對磨削砂輪按照磨削面相互面對的方式可旋轉(zhuǎn)地被支承；工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)，該工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)按照在工件的兩面的被磨削面中的至少一部分設(shè)置于上述磨削面之間的磨削位置的狀態(tài)，可圍繞與上述磨削砂輪的旋轉(zhuǎn)軸平行的旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)的方式支承薄板狀的工件；一對非接觸支承機(jī)構(gòu)，該對非接觸支承機(jī)構(gòu)按照從兩側(cè)夾持上述工件的被磨削面的上述磨削位置的外側(cè)的區(qū)域的大致整個面的方式設(shè)置，并且通過流體的壓力非接觸地支承上述工件，該雙頭平面磨削裝置按照在通過上述非接觸支承機(jī)構(gòu)支承上述工件的狀態(tài)，使上述工件和上述磨削砂輪旋轉(zhuǎn)，對上述工件的兩個面的被磨削面進(jìn)行磨削的方式構(gòu)成，其特征在于在上述非接觸支承機(jī)構(gòu)中，形成基本呈圓弧狀的缺口部，該缺口部從基本圓形的外緣側(cè)至少超過上述工件的中心位置，與上述磨削砂輪相對應(yīng)，在與上述工件面對的非接觸支承面上設(shè)置多個凹腔部和網(wǎng)眼狀的網(wǎng)狀部，該多個凹腔部呈凹入狀，并且在其內(nèi)壁上具有噴射上述流體的1個或多個流體供給孔，上述網(wǎng)狀部形成這些凹腔部的周圍的突起部，上述網(wǎng)狀部由周緣部和內(nèi)肋部構(gòu)成，該周緣部沿上述非接觸支承面的外周設(shè)置，上述內(nèi)肋部按照將該周緣部的內(nèi)側(cè)的區(qū)域分為多個的方式設(shè)置，且在多個內(nèi)外連接部中與上述周緣部連接，在上述周緣部中的沿上述缺口部的部分中，至少在除了上述工件的中心位置的附近的部分，未設(shè)置上述內(nèi)外連接部。
按照本發(fā)明，沿非接觸支承機(jī)構(gòu)的缺口部的周圍而設(shè)置的內(nèi)外連接部的位置可僅僅至少在工件的中心位置的附近，由此，可使缺口部的周圍的溫度分布的紊亂的部位僅僅在與工件W的外周部附近相對應(yīng)的位置，或僅僅為與工件W的外周部附近和中心部附近相對應(yīng)的位置。由此，可有效地防止過去的雙頭平面磨削裝置中的問題，即，在工件中產(chǎn)生的同心圓狀的波狀，可進(jìn)一步提高磨削后的工件表面的平面度。
另外，沿缺口部而設(shè)置的凹腔部內(nèi)的流體供給孔設(shè)置于內(nèi)外連接部的附近、及沿缺口部設(shè)置的內(nèi)側(cè)周緣部和其以外的外側(cè)周緣部的連接部的附近，由此，從流體供給孔供給的流體首先通過內(nèi)外連接部等的附近，這樣，可有效地冷卻內(nèi)外連接部等的附近，可進(jìn)一步抑制在磨削后的工件產(chǎn)生的同心圓狀的波狀。
而且，將沿上述缺口部設(shè)置的凹腔部沿上述磨削砂輪的周向按照徑向基本相同的寬度形成，由此，可沿缺口部使缺口部的周圍的熱傳導(dǎo)性基本一定，這樣，可進(jìn)一步抑制在磨削后的工件中產(chǎn)生的同心圓狀的波狀。


圖1為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的俯視圖；圖2為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的主視圖；圖3為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的主視剖視圖；圖4為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的主視剖視圖；圖5為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的工件安裝處理的說明圖；圖6為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的右方向的側(cè)面剖視圖；圖7為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的左方向的側(cè)面剖視圖；圖8為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的支承墊的側(cè)視圖；圖9為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的支承墊的俯視圖；圖10為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的支承墊的橫向剖視圖；圖11為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置的主要部分的放大剖視圖；圖12為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的工件保持架的側(cè)視圖；圖13為表示本發(fā)明的第1實(shí)施例的支承墊的溫度分析結(jié)果的圖；圖14為表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的支承墊的側(cè)視圖；圖15為表示已有技術(shù)的非接觸支承機(jī)構(gòu)的非接觸支承面的側(cè)視圖；圖16為表示已有技術(shù)的非接觸支承機(jī)構(gòu)的溫度分析結(jié)果的圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖，對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行具體描述。圖1～圖13給出本發(fā)明的第1實(shí)施例。又，在下面的說明中，在采用前后左右的術(shù)語時，將圖1的底側(cè)稱為“前”，將頂側(cè)稱為“后”，將左右稱為“左右”。
在圖1～圖7中，標(biāo)號1表示雙頭平面磨削裝置，其包括工件驅(qū)動裝置2，該工件驅(qū)動裝置2保持半導(dǎo)體圓晶等的薄板圓板狀工件W，并且旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該工件W；砂輪裝置4，該砂輪裝置4通過磨削砂輪3對通過該工件驅(qū)動裝置2保持、旋轉(zhuǎn)的工件W的兩面進(jìn)行磨削。該驅(qū)動裝置2和砂輪裝置4以可裝卸的方式固定于水平底座5上。
該工件驅(qū)動裝置2在對工件W的兩個面進(jìn)行磨削處理時，保持該工件W，并且對其進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，其包括工件保持機(jī)構(gòu)6，該工件保持機(jī)構(gòu)6從周緣部和兩個面?zhèn)缺３止ぜ；工件驅(qū)動機(jī)構(gòu)7，該工件驅(qū)動機(jī)構(gòu)7旋轉(zhuǎn)驅(qū)動通過上述工件保持機(jī)構(gòu)6保持的工件W；內(nèi)殼8，該內(nèi)殼8以可移動的方式支承工件保持機(jī)構(gòu)6，并且覆蓋其周圍；滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)9，該滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)9使工件保持機(jī)構(gòu)6相對內(nèi)殼8而滑動；外殼10，該外殼10支承內(nèi)殼8，并且覆蓋其外側(cè)。
該外殼10大致呈矩形箱狀，其由基本水平地固定于底座5的頂面上的底部11和前后左右的側(cè)壁板12a～12d構(gòu)成，且頂側(cè)開口。在外殼10的前側(cè)，設(shè)置支承內(nèi)殼8的前側(cè)的前部支承機(jī)構(gòu)13，在其后側(cè)設(shè)置支承內(nèi)殼8的后側(cè)的后部支承機(jī)構(gòu)14。
前部支承機(jī)構(gòu)13以可擺動的方式在其前側(cè)支承內(nèi)殼8，其包括一對軸承部15a、15b，該對軸承部15a、15b分別設(shè)置于左右的側(cè)壁板12c、12d的前側(cè)頂部；支承桿16，該支承桿16水平地架設(shè)于左右的側(cè)壁板12c、12d之間，并且通過軸承部15a、15b以可旋轉(zhuǎn)的方式支承于其兩端側(cè)。該支承桿16穿過開設(shè)于內(nèi)殼8的前側(cè)左右中的支承托架17的通孔18，通過固定螺栓19固定于該支承托架17上。即，內(nèi)殼8通過其前側(cè)的支承托架17，借助支承桿16，以可擺動的方式被支承。
后部支承機(jī)構(gòu)14用于以高度位置可調(diào)整的方式在其后側(cè)支承內(nèi)殼8，其包括凸輪21，該凸輪21按照可通過設(shè)置于后側(cè)壁板12b的前側(cè)頂部上的托架20，圍繞左右方向的軸而旋轉(zhuǎn)的方式被支承；驅(qū)動電動機(jī)23，該驅(qū)動電動機(jī)23比如，以可裝卸的方式固定于左側(cè)壁板12c的外側(cè)，并且通過驅(qū)動軸22旋轉(zhuǎn)驅(qū)動凸輪21，在凸輪21上放置設(shè)置于內(nèi)殼8的后側(cè)的支承輥24。如果使驅(qū)動電動機(jī)23動作，則通過驅(qū)動軸22，凸輪21旋轉(zhuǎn)，放置于該凸輪21上的支承輥24的位置上下升降。即，內(nèi)殼8通過其后側(cè)的支承輥24，根據(jù)外殼10側(cè)的凸輪21以高度位置可調(diào)整的方式被支承。
另外，在外殼10的內(nèi)部的底部，設(shè)置進(jìn)行磨削砂輪3的修整的修整裝置25。該修整裝置25比如，以可裝卸的方式固定于底座5上。
內(nèi)殼8基本呈矩形箱狀，由前后左右的側(cè)壁板31a～31d形成，為上下開口，比如，設(shè)置于外殼10的內(nèi)部的頂部側(cè)。支承托架17分別固定于前側(cè)壁板31a的前側(cè)左右，支承輥24以可繞左右方向軸旋轉(zhuǎn)的方式支承于后側(cè)壁板31b的后側(cè)頂部。
此外，在前側(cè)壁板31a上，開口30沿左右方向形成，在該開口30的內(nèi)部，板厚測定機(jī)構(gòu)32以可左右移動的方式設(shè)置。該板厚測定機(jī)構(gòu)32用于測定工件W的磨削后的板厚，該機(jī)構(gòu)包括一對測定臂33，該對測定臂33比如安裝于后述的支承板42a上，呈沿前后方向較長的桿狀，并且在前端側(cè)(后側(cè)端部)設(shè)置測定端33a；前后方向的導(dǎo)軌34，該前后方向的導(dǎo)軌34按照與這些測定臂33的上下方向平行的方式設(shè)置；主體部35，該主體部35在前側(cè)端部支承測定臂33，并且通過導(dǎo)軌34以可沿前后方向滑動的方式被支承；固定于該主體部35上的前后方向的齒條36；驅(qū)動電動機(jī)37，該驅(qū)動電動機(jī)37通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動設(shè)置于主體部35的附近，比如底側(cè)的，并且與齒條36嚙合的小齒輪37a，沿導(dǎo)軌34使主體部35沿前后方向移動。
工件保持機(jī)構(gòu)6由左右的工件保持體41a、41b構(gòu)成，該左右的工件保持體41a、41b按照相互面對的方式設(shè)置，并且通過內(nèi)殼8以可左右移動的方式被支承。這些工件保持體41a、41b分別包括按照與前后方向的垂直面平行的方式設(shè)置的一對支承板42a、42b、設(shè)置于這些支承板42a、42b的相對面?zhèn)鹊囊粚χС袎|(非接觸支承機(jī)構(gòu))43a、43b。
該支承墊43a、43b用于通過水等的流體的壓力，從兩面?zhèn)葘ぜ進(jìn)行非接觸支承，其基本呈圓板狀，比如，在底部側(cè)從其外緣側(cè)，到稍稍超過上述支承墊43a、43b的中心位置A的位置，向上形成與磨削砂輪3相對應(yīng)的圓弧狀的砂輪用缺口部44。
圖8～圖10表示左支承體41a側(cè)的支承墊43a。另外，由于右工件支承體41b側(cè)的支承墊43b的形狀也基本與該支承墊43a相同，故支承墊43b側(cè)的放大圖面省略，每次對其不同點(diǎn)進(jìn)行描述。
在支承墊43a、43b的相對面?zhèn)?，沿除了砂輪用缺口?4以外的外緣側(cè)，按照規(guī)定寬度形成比內(nèi)側(cè)的非接觸支承面45低一級的臺階部46。另外，在該臺階部46的規(guī)定位置，比如，最頂部位置，形成朝向中心位置A側(cè)呈圓弧狀凹入的凹入部47。此外，在左工件支承體41a側(cè)的支承墊43a中，在凹入部47的中間，沿板厚方向(左右方向)形成與該凹入部47呈同心圓狀的通孔47a。在支承墊43b側(cè)，僅僅形成凹入部47，未形成通孔47a。
在支承墊43a、43b的非接觸支承面45，即，相對面?zhèn)鹊呐_階部46的內(nèi)側(cè)的部分，形成沿板厚方向凹入的多個凹腔部51，這些凹腔部51以外的部分構(gòu)成形成凹腔部51的突起部的網(wǎng)眼狀的網(wǎng)狀部52。
該網(wǎng)狀部52由周緣部53和內(nèi)肋部54構(gòu)成，該周緣部53沿非接觸支承面45的外周而設(shè)置，上述內(nèi)肋部54按照將該周緣部53的內(nèi)側(cè)的區(qū)域劃分為多個的方式設(shè)置，并且在多個內(nèi)外連接部52a處，與周緣部53連接。另外，該周緣部53由沿砂輪用缺口部44而設(shè)置的內(nèi)側(cè)周緣部53a，與其以外的外側(cè)周緣部53b構(gòu)成，該內(nèi)側(cè)周緣部53a和外側(cè)周緣部53b相互連接于砂輪用缺口部44的兩端部。
在上述內(nèi)肋部54，按照穿過寬度方向的基本中心部的方式形成規(guī)定寬度的槽部55。該槽部55用作從后述的流體供給孔62排到凹腔部51的內(nèi)部的流體的排出通路，在內(nèi)肋部54的各交叉部或分支部，相互交叉或分支，另外其端部橫切周緣部53，與高差部46或砂輪用缺口部44側(cè)連通。另外，槽部55的深度小于臺階部46的深度。
在內(nèi)側(cè)周緣部53a上的規(guī)定位置，比如，砂輪用缺口部44的兩端部附近和中心位置A的附近的3個部位，形成用于通過空氣壓力檢測與工件W的距離的距離檢測用傳感孔56。該距離檢測用傳感孔56通過支承墊43a、43b內(nèi)的連通通路(圖示省略)，比如，與流體供給源連接，規(guī)定的距離檢測機(jī)構(gòu)(圖示省略)根據(jù)流體供給源的空氣壓力，分別檢測支承墊43a、43b和工件W之間的距離。
另外，在左工件支承體41a側(cè)的支承墊43a中，在周緣部53上的規(guī)定位置，比如，外側(cè)周緣部53b上的最頂部位置的附近(凹入部47的兩側(cè)附近)和上下方向中間位置的共計(jì)6個部位，形成就位檢測用傳感孔58。該就位檢測用傳感孔58通過支承墊43a內(nèi)的連通通路59，比如，與負(fù)壓源連接，規(guī)定的就位檢測機(jī)構(gòu)(圖示省略)根據(jù)該負(fù)壓源的負(fù)荷的變化，檢測工件W的就位的有無。
此外，周緣部53以較寬的范圍形成于傳感孔56，58的附近的內(nèi)側(cè)的凹腔部51側(cè)，以便在傳感孔56、58的周圍確保一定的寬度。另外，在右工件支承體41b側(cè)的支承墊43b中，未形成就位檢測用傳感孔58，而網(wǎng)狀部52呈與支承墊43a側(cè)基本相同的形狀。
還有，非接觸支承面45通過上述那樣的網(wǎng)狀部52，呈網(wǎng)眼狀劃分，由此，在本實(shí)施例的場合，在各支承墊43a、43b上，分別按照與通過中心位置A的垂直軸基本對稱的方式設(shè)置6個凹腔部51。該6個凹腔部51中的，2個凹腔部51a、51b沿砂輪用缺口部44鄰接地設(shè)置，在2個凹腔部51a、51b之間，設(shè)置內(nèi)外連接部52a。即，在本實(shí)施例的支承墊43a、43b中，在周緣部53中的，沿砂輪用缺口44的內(nèi)側(cè)周緣部53a上，內(nèi)外連接部52a僅僅設(shè)置于中心位置A的附近的1個部位，在內(nèi)側(cè)周緣部53a上的其以外的位置，未設(shè)置內(nèi)外連接部52a。
再有，沿砂輪用缺口部44設(shè)置的2個凹腔部51a、51b沿砂輪用缺口部44的周向，即，磨削砂輪3的周向，按照徑向基本相同的寬度形成。另外，剩余的4個凹腔部51c～51f按照通過內(nèi)肋部54中的沿工件W的徑向設(shè)置的部分將剩余區(qū)域，面積基本相等地劃分的方式形成。
在支承墊43a、43b的內(nèi)部，在面內(nèi)分別沿縱橫向設(shè)置1個或多個流體通路60。這些流體通路60通過相互交叉，全部連通。另外，在支承墊43a、43b的內(nèi)側(cè)(相對面的相反側(cè))，在與網(wǎng)狀部52相對應(yīng)的規(guī)定位置，比如，中心位置A的上方，與流體通路60連通的流體供給口61呈朝向相對面?zhèn)鹊陌既霠?。另外，流體通路60的外周面?zhèn)榷瞬?0全部鎖閉。
另外，在各凹腔部51中，在其內(nèi)壁上分別形成1個或多個排出流體的流體供給孔62。該流體供給孔62全部地形成于沿流體通路60的位置，通過沿支承墊43a、43b的板厚方向形成的連接通路63，分別與流體通路60連通。
在沿磨削用缺口部44設(shè)置的2個凹腔部51a、51b上，各自設(shè)置多個比如，5個流體供給孔62，該多個流體供給孔62集中地設(shè)置于內(nèi)外連接部52a的附近和內(nèi)側(cè)周緣部53a與外側(cè)周緣部53b的連接部64的附近。
此外，在支承墊43a、43b上，在除了砂輪用缺口部44以外的外周側(cè)的規(guī)定位置，比如，從后側(cè)的上下方向基本中間位置朝向內(nèi)側(cè)(中心側(cè))，沿比如水平方向形成規(guī)定深度的板厚傳感器用缺口部65。
支承板42a、42b基本呈矩形狀，其中，上下方向的尺寸基本與支承墊43a、43b相同，前后方向的尺寸大于支承墊43a、43b，在該相對面?zhèn)鹊幕局虚g位置，支承墊43a、43b比如，以裝卸的方式固定。另外，在支承板42a、42b中，形成與支承墊43a、43b側(cè)的砂輪用缺口部44相對應(yīng)的缺口部70，另外，形成流通通路71，該流通通路71與支承墊43a、43b側(cè)的流體供給口61連通，并且與流體供給機(jī)構(gòu)(圖示省略)連接。另外，在左工件支承體41a側(cè)的支承板42a中，形成與支承墊43a側(cè)的通孔47a相對應(yīng)的通孔72。
在左工件支承體41a側(cè)的支承板42a上，在與右工件支承體41b的相對面?zhèn)?，在支承墊43a的周邊部，沿比如支承墊43a的外周按照基本等間距設(shè)置4個支承輥73，通過4個支承輥73，以可旋轉(zhuǎn)的方式支承保持工件W的工件保持架(工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu))74。
該工件保持架74像圖11和圖12所示的那樣，由較厚的環(huán)部75和薄板狀的保持板76構(gòu)成，該保持板76從該環(huán)部75朝向徑向內(nèi)側(cè)，以規(guī)定尺寸突出。該保持板76的內(nèi)周側(cè)構(gòu)成可松動嵌合工件W的工件嵌入部77，在內(nèi)周側(cè)的一部分，朝向徑向內(nèi)側(cè)形成的突起部78可與工件W側(cè)的槽部Wn嚙合。另外，保持板76的板厚小于工件W的板厚。
還有，工件保持架74按照該環(huán)部75與支承墊43a、43b側(cè)的臺階部46相對應(yīng)的尺寸形成，另外，保持板76的內(nèi)徑稍稍小于支承墊43a、43b側(cè)的非接觸支承面45的外徑，該保持板76通過支承輥73，按照其中心沿支承墊43a、43b的面內(nèi)方向與支承墊43a、43b側(cè)的中心位置A基本一致的方式被支承。由此，保持于工件保持架74上的工件W的外緣部位于支承墊43a、43b的外側(cè)周緣部53b上。在下面，工件W的中心位置區(qū)別于支承墊43a、43b側(cè)的中心A，而由A’的標(biāo)號表示。
再有，在環(huán)部75的內(nèi)周側(cè)形成內(nèi)齒80，該內(nèi)齒80與設(shè)置于支承墊43a側(cè)的凹入部47的內(nèi)部的工件驅(qū)動齒輪79嚙合，通過具有該工件驅(qū)動齒輪79的工件驅(qū)動機(jī)構(gòu)7的驅(qū)動，借助工件保持架74，工件W旋轉(zhuǎn)。
工件保持體41a、41b以沿左右方向設(shè)置于內(nèi)殼8側(cè)的多個比如4個導(dǎo)向桿81，以可沿左右方向的滑動的方式被支承。即，在內(nèi)殼8側(cè)，在左右的側(cè)壁板31c、31d之間，沿前后上下各架設(shè)1根，共計(jì)架設(shè)4根導(dǎo)向桿81，另外，在工件保持體41a、41b上，并且在支承墊43a、43b的左右兩側(cè)的位置，開設(shè)與導(dǎo)向桿81相對應(yīng)的4個通孔82，工件支承體41a、41b通過相對內(nèi)殼8側(cè)的導(dǎo)向桿81，借助滑動套83，可滑動地嵌合通孔82的方式，可左右滑動地被支承。
另外，導(dǎo)向桿81在工件保持體41a、41b和內(nèi)殼8之間，通過柔性罩81a覆蓋。
此外，工件保持體41a、41b通過滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)9，沿導(dǎo)向桿81分別滑動地驅(qū)動。滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)9像圖4等所示的那樣，與上下的導(dǎo)向桿81、81之間相對應(yīng)，設(shè)置于工件保持體41a、41b的左右兩側(cè)，其具有壓縮空氣式等的第1驅(qū)動缸84和壓縮空氣式等的第2驅(qū)動缸85構(gòu)成，在該第1驅(qū)動缸84中，在驅(qū)動軸84a朝向左工件保持體41a側(cè)的狀態(tài)，驅(qū)動缸主體固定于右工件保持體41b的支承板42b上，并且驅(qū)動軸84a固定于左工件保持體41a側(cè)，上述第2驅(qū)動缸85中的驅(qū)動缸主體固定于內(nèi)殼8的左側(cè)壁板31c上，并且朝向右工件保持體41b側(cè)設(shè)置的驅(qū)動軸85a固定于左工件保持體41a上。
在第1驅(qū)動缸84中，驅(qū)動缸主體固定于右工件保持體41b的支承板42b的右面?zhèn)?，?qū)動軸84a以可滑動的方式穿過形成于支承板42b中的導(dǎo)向孔86，固定于左工件保持體41a上。在第2驅(qū)動缸85中，該驅(qū)動缸主體固定于內(nèi)殼8的左側(cè)壁板31c的左面?zhèn)壬希?qū)動軸85a以可滑動的方式穿過形成于左側(cè)壁板31c中的導(dǎo)向孔87，固定于左工件保持體41a側(cè)的支承板42a上。
通過上述滑動驅(qū)動機(jī)構(gòu)9，在工件W的磨削時，工件保持體41a、41b針對在內(nèi)殼8內(nèi)的左右方向的基本中間位置，保持在支承墊43a、43b相互接近的“磨削時位置”(參照圖1～圖3)。就該“磨削時位置”來說，設(shè)置于工件保持體41a、41b上的至少1個部位，比如，設(shè)在4個角部的定位機(jī)構(gòu)89的接觸部89a按照與內(nèi)殼8側(cè)的止動件90接觸的方式正確地定位。另外，該接觸部89a通過可調(diào)整其突出量的螺栓等構(gòu)成。
在工件W的裝卸時，由于工件保持體41a、41b處于位于“磨削時位置”的狀態(tài)，故僅僅第1驅(qū)動缸84側(cè)在使驅(qū)動軸84a突出的方向被動作，右工件保持體41b側(cè)保持在與左工件保持體41a離開規(guī)定距離的“工件裝卸時位置”(參照圖5)。另外，在通過修整裝置25進(jìn)行磨削砂輪3的修整時，比如，從工件保持體41a、41b位于“磨削時位置”的狀態(tài)，第1驅(qū)動缸84側(cè)沿使驅(qū)動軸84a突出的方向(左方向)動作，另外，沿拉入驅(qū)動軸85a的方向(左方向)使第2驅(qū)動缸85側(cè)動作，由此，左右的工件保持體41a、41b共同地沿離開方向移動，保持在“修整作業(yè)時位置”(參照圖4)。
另外，驅(qū)動軸85a在內(nèi)殼8的左側(cè)壁板31c和左工件保持體41a之間，通過柔性罩91覆蓋。另外，第1驅(qū)動缸84的驅(qū)動缸主體右端部通過形成于外殼10的右側(cè)壁板12d中的開口部92，在外殼10的外側(cè)突出，該突出部的側(cè)面的至少一部分通過柔性罩93覆蓋。另外，第2驅(qū)動缸85的驅(qū)動主體左端部通過外殼10的左側(cè)壁板12c中形成的開口部94，在外殼10的外側(cè)突出，該突出部的側(cè)面的至少一部分通過柔性罩95覆蓋。
工件驅(qū)動機(jī)構(gòu)7像圖3所示的那樣，包括設(shè)置于左工件支承體41a側(cè)的工件驅(qū)動齒輪79；工件驅(qū)動電動機(jī)97，該工件驅(qū)動電動機(jī)97固定于內(nèi)殼8側(cè)，并且旋轉(zhuǎn)驅(qū)動上述工件驅(qū)動齒輪79。
該工件驅(qū)動齒輪79按照將其旋轉(zhuǎn)軸79a從支承墊43a的通孔47a側(cè)向支承板42a的通孔72插入的狀態(tài)，以可旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置于凹入部47的內(nèi)部。在該工件驅(qū)動齒輪79的旋轉(zhuǎn)軸79a的左端側(cè)，比如，連接形成軸向的槽98a的連接軸98。
工件驅(qū)動電動機(jī)97通過外殼10側(cè)的開口孔99以可裝卸的方式固定于內(nèi)殼8的右側(cè)壁板31c的外側(cè)上。驅(qū)動連接部100傳遞工件驅(qū)動電動機(jī)97中的驅(qū)動軸97a的旋轉(zhuǎn)，該驅(qū)動連接部100以與驅(qū)動軸97a偏心的方式設(shè)置。在該驅(qū)動連接部100上形成左右方向的通孔，該通孔的中央與連接軸98側(cè)的槽98a相對應(yīng)形成突起部(圖示省略)，左工件支承體41a側(cè)的連接軸98通過內(nèi)殼8的左側(cè)壁板31c的通孔101，以可左右方向滑動的方式穿過上述通孔。
由此，在相對內(nèi)殼8，左工件支承體41a可左右方向移動的同時，內(nèi)殼8側(cè)的工件驅(qū)動電動機(jī)97的驅(qū)動力通過驅(qū)動軸97a、驅(qū)動連接部100、連接軸98傳遞給工件驅(qū)動齒輪79。
另外，在內(nèi)殼8的左側(cè)壁板31c和左工件保持體41a之間，安裝覆蓋連接軸98的柔性罩96。
砂輪裝置4包括比如，杯型的磨削砂輪3、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動該磨削砂輪3的驅(qū)動電動機(jī)(圖示省略)，在工件驅(qū)動裝置2的左右兩側(cè)，各自設(shè)置1個。各砂輪裝置4的各磨削砂輪3通過開設(shè)于工件驅(qū)動裝置2側(cè)的外殼10中的開口孔102、設(shè)置于內(nèi)殼8上的缺口部103、工件保持體41a、41b側(cè)的缺口部70和砂輪用缺口部44，按照與通過工件保持架74保持的工件W的兩面?zhèn)认鄬Φ姆绞皆O(shè)置。
此外，砂輪裝置4按照可沿軸向(左右方向)移動磨削砂輪3的方式構(gòu)成，在工件W的裝卸時，將磨削砂輪3從“磨削位置”移動到規(guī)定的“等待位置”。
在具有上述那樣的方案的雙頭平面磨削裝置1中，在進(jìn)行工件W的磨削時，將磨削砂輪3保持在“等待位置”，將工件保持體41a、41b分別保持在“工件裝卸時位置”的狀態(tài)，工件W通過圖中未示出的裝載器，經(jīng)過工件保持體41a、41b之間安裝于工件保持架74的工件嵌入部77的內(nèi)部(參照圖5)。此時，處于工件嵌入部77側(cè)的突起部78卡合于工件W側(cè)的槽部Wn，工件W處于基本與支承墊43a的非接觸支承面45接觸的狀態(tài)(參照圖11，圖12)。
如果工件W安裝于工件保持架74的工件嵌入部77的內(nèi)部，則處于通過工件W，支承墊43a側(cè)的就位檢測用傳感孔58基本鎖閉的狀態(tài)，由此，根據(jù)與就位檢測用傳感孔58連接的負(fù)壓源側(cè)的負(fù)荷的變化，通過就位檢測機(jī)構(gòu)，檢測工件W的就位。
如果檢測到工件W的就位，則第1驅(qū)動缸84沿拉入驅(qū)動軸84a的方向動作，右工件保持體41b移動到左工件保持體41a側(cè)，支承墊43a、43b保持在接近工件W的兩面?zhèn)鹊摹肮ぜb卸時位置”。另外，從流體供給機(jī)構(gòu)(圖示省略)，通過支承板42a、42b側(cè)的流體通路71、支承墊43a、43b側(cè)的流體供給口61、流體通路59、連接通路63，從各凹腔部51的流體供給孔62排出空氣、水的流體，工件W通過在磨削砂輪3的磨削位置的外側(cè)的區(qū)域，從兩面?zhèn)韧ㄟ^承受該流體的壓力的方式，保持在非接觸狀態(tài)。
在該狀態(tài)，通過工件驅(qū)動電動機(jī)97的驅(qū)動，借助工件驅(qū)動齒輪79，工件保持架74開始旋轉(zhuǎn)，由此，工件W也開始旋轉(zhuǎn)，另外，左右的磨削砂輪3也開始旋轉(zhuǎn)。如果工件W開始旋轉(zhuǎn)，則左右的磨削砂輪3開始旋轉(zhuǎn)，并且從“等待位置”慢慢地接近工件W的被磨削面，不久，通過左右的磨削砂輪3，工件W呈在磨削位置從兩側(cè)受到夾持的狀態(tài)，開始工件W的磨削。
如果在磨削砂輪3的磨削中，比如，左右的磨削砂輪3的磨耗量產(chǎn)生差異，在磨削砂輪3的工件W的磨削位置、支承墊43a、43b的工件W的保持位置之間產(chǎn)生左右方向的錯位，則具有工件W處于在保持位置和磨削位置之間彎曲的狀態(tài)，平面度降低等的問題。由此，在工件W的磨削中，按照下述方式進(jìn)行控制，該方式為從支承墊43a、43b的各距離檢測用傳感孔56供給空氣等的流體，根據(jù)該空氣壓力，通過距離檢測機(jī)構(gòu)分別檢測工件W和各支承墊43a、43b之間的距離，根據(jù)該檢測結(jié)果，調(diào)整比如，左右的磨削砂輪3的左右方向位置，以便工件W和各支承墊43a、43b之間的距離均等。另外也可調(diào)整非磨削砂輪3側(cè)的，而調(diào)整工件保持體41a、41b側(cè)的左右方向位置。
在磨削工件W時，從各凹腔部51的流體供給孔62供給的流體的壓力保持一定。在工件W的磨削中，因磨削砂輪3和工件W的摩擦，該磨削砂輪3的附近處于高溫，該熱量從砂輪用缺口部44的周緣部傳遞到支承墊43a、43b側(cè)。由于傳遞到支承墊43a、43b側(cè)的熱量避開填充有流體的凹腔部51，而沿網(wǎng)狀部52而傳導(dǎo)，故在沿砂輪用缺口部44的內(nèi)側(cè)周緣部53a上，在向砂輪用缺口部44的兩端部側(cè)的外側(cè)周緣部53b側(cè)的連接部分、與內(nèi)肋部54連接的內(nèi)外連接部52a，其溫度變化的梯度小于其它的部分，溫度分布產(chǎn)生紊亂，與該溫度分布的紊亂的位置相對應(yīng)，在工件W側(cè)產(chǎn)生波形狀。
在這里，在本實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置1中，由于在內(nèi)側(cè)周緣53a上，內(nèi)外連接部52a僅僅設(shè)置于中心位置A的附近的1個部位，故溫度分布發(fā)生紊亂的部位僅僅為下述兩個部位，即從砂輪用缺口部44的兩端部側(cè)的內(nèi)側(cè)周緣部53a向外側(cè)周緣部53b側(cè)的連接部分、以及中心位置A的附近的1個的內(nèi)外連接部52a，即僅僅為與在沿工件W的徑向觀看時，中心位置A’附近和外周部附近相對應(yīng)的位置(參照圖13)。由此，可有效地防止在構(gòu)成過去的雙頭平面磨削裝置中的問題，即在工件W中產(chǎn)生的同心圓狀的波狀，可進(jìn)一步提高磨削后的工件W表面的平面度。
另外，在工件W中產(chǎn)生波狀的原因在于產(chǎn)生按照沿面外方向使工件W彎曲的方式作用的某種物理力，故人們認(rèn)為，該物理的力對應(yīng)于內(nèi)側(cè)周緣部53a上的溫度分布的紊亂的位置相對應(yīng)而產(chǎn)生。同樣在本實(shí)施例的雙頭平面磨削裝置1中，人們認(rèn)為，在內(nèi)側(cè)周緣部53a上，產(chǎn)生溫度分布的紊亂的部位依然殘留，對應(yīng)于該位置，在工件W上作用有某種物理力，但是，由于該部位僅僅為與工件W的中心部附近和外周部附近相對應(yīng)的位置，不位于該中間部分，故可推測到物理力的作用點(diǎn)的間距大于過去，由此，可使作用于工件W上的彎曲力減緩，波狀可抑制。
此外，由于沿砂輪用缺口部44而設(shè)置的凹腔部51a、51b內(nèi)的流體供給孔62集中地設(shè)置于內(nèi)外連接部52a的附近、以及內(nèi)側(cè)周緣部53a和外側(cè)周緣部53b的連接部的附近，故從這些流體供給孔62供給的流體首先通過內(nèi)外連接部52a等的附近，并且可有效地冷卻內(nèi)外連接部52a等的附近，可進(jìn)一步抑制在磨削后的工件W中產(chǎn)生的同心圓狀的波狀。
還有，由于沿砂輪用缺口部44而設(shè)置的凹腔部51a、51b沿砂輪用缺口部44的周向，即沿磨削砂輪3的周向，按照徑向基本相同的寬度形成，故可沿砂輪用缺口部44，使砂輪用缺口部44的周圍的熱傳遞特性基本一定，由此，可進(jìn)一步抑制在磨削后的工件W中產(chǎn)生的同心圓狀的波狀。
如果工件W的磨削結(jié)束，則板厚測定機(jī)構(gòu)32的驅(qū)動電動機(jī)37動作，通過齒條36，主體部35沿導(dǎo)軌34向后移動，主體部35的后側(cè)的左右一對的測定臂33、33進(jìn)入支承墊43a、43b的板厚傳感器用缺口部65的內(nèi)部，通過測定臂33、33的前端側(cè)的一對的測定端33a、33a，從兩面?zhèn)葕A持工件W，由此，測定工件W的磨削后的板厚。
如果板厚測定機(jī)構(gòu)32的工件W的板厚測定結(jié)束，板厚測定機(jī)構(gòu)32的測定臂33從支承墊43a、43b側(cè)的板厚傳感器用缺口部65引退。而且，將磨削砂輪3從“磨削位置”移動到“等待位置”，另外，工件保持體41b從“磨削時位置”移動到“工件裝卸時位置”，通過圖中未示出的裝載器，磨削后的工件W從工件保持架74的工件嵌入部77取出、被送出。
圖14表示本發(fā)明的第2實(shí)施例的實(shí)例，其給出下述支承墊43a、43b的實(shí)例，即在周緣部53中，在沿砂輪用缺口部44的內(nèi)側(cè)周緣部53a的部分上，支承墊43a、43b以下述方式形成，即作為與內(nèi)肋部54的連接部分的內(nèi)外連接部52a完全不設(shè)置。
本實(shí)施例的支承墊43a、43b與第1實(shí)施例的不同之處在于像圖14所示的那樣，沿砂輪用缺口部44設(shè)置的凹腔部51為1個。如果采用這樣的方案，則一方面具有僅在凹腔部51的區(qū)域擴(kuò)大部分的壓力分布容易不均勻的缺點(diǎn)，而另一方面可形成在內(nèi)側(cè)周緣部53a的部分完全不設(shè)置內(nèi)外連接部52a的方案，可進(jìn)一步減小磨削后的工件中產(chǎn)生的波狀的優(yōu)點(diǎn)。
即，如果象這樣，形成在內(nèi)側(cè)周緣部53a的部分完全不設(shè)置內(nèi)外連接部52a的方案，則在內(nèi)側(cè)周緣部53a的部分溫度分布產(chǎn)生紊亂的部位僅僅為從磨削用缺口部44的兩端部側(cè)的內(nèi)側(cè)周緣部53a向外側(cè)周緣部53b側(cè)的連接部分，即，僅僅為與工件W的外周部附近相對應(yīng)的位置，故與第1實(shí)施例的場合相比較，可更加有效地防止在工件W中產(chǎn)生的同心圓狀的的波狀，可進(jìn)一步提高磨削后的工件W的表面的平面度。
上面給出本發(fā)明的各實(shí)施形式的實(shí)例，但是，本發(fā)明不限于這些實(shí)施例，可在不脫離本發(fā)明的實(shí)質(zhì)的范圍內(nèi)，進(jìn)行各種變更。比如，對于支承墊43a、43b的非接觸支承面45的形狀，可在周緣部53中，沿砂輪用缺口部44的部分，至少工件W的中心位置A’的附近，即，除了中心位置A的附近以外的部分，不設(shè)置內(nèi)外連接部52a，其以外的條件可任意地設(shè)定。比如，也可沿砂輪用缺口部44的徑向設(shè)置3排(3層)以上的凹腔部51，從砂輪用缺口部44側(cè)，第2排(第2層)以后的凹腔部51的形狀、配置等是任意的。
以可旋轉(zhuǎn)的方式支承工件W的工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)不限于采用實(shí)施例所示的工件保持架74的場合，比如，也可按照下述方式構(gòu)成，該方式為通過3個以上的支承輥，直接保持工件W的外緣部，并且通過這些支承輥內(nèi)的1個或其以外的驅(qū)動輥，直接旋轉(zhuǎn)驅(qū)動工件W。
此外，在采用工件保持架，以可旋轉(zhuǎn)的方式支承工件W的場合，工件保持架的形狀等、及其驅(qū)動機(jī)構(gòu)是任意的。比如，也可在工件保持架的外周側(cè)形成驅(qū)動齒輪79所嚙合的外齒。
同樣對于支承墊43a、43b以外的工件驅(qū)動裝置2側(cè)的方案，砂輪器4側(cè)的方案也可任意地改變實(shí)施例的方案。
在實(shí)施例中，給出磨削砂輪3沿左右方向相對地設(shè)置的雙頭平面磨削裝置的實(shí)例，但是，本發(fā)明同樣可適用于其它的雙頭平面磨削裝置，比如，按照磨削砂輪3沿上下方向相對的方式構(gòu)成的場合等。
符號的說明符號1表示雙頭平面磨削裝置；標(biāo)號3表示磨削砂輪；
標(biāo)號43a、43b表示支承墊(非接觸支承機(jī)構(gòu))；標(biāo)號44表示砂輪用缺口部(缺口部)；標(biāo)號45表示非接觸支承面；標(biāo)號51、51a～51f表示凹腔部；標(biāo)號52表示網(wǎng)狀部；標(biāo)號52a表示內(nèi)外連接部；標(biāo)號53表示周緣部；標(biāo)號53a表示內(nèi)側(cè)周緣部；標(biāo)號53b表示外側(cè)周緣部；標(biāo)號54表示內(nèi)肋部；標(biāo)號62表示流體供給部；標(biāo)號74表示工件保持架(工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu))標(biāo)號W表示工件。
權(quán)利要求
1.一種雙頭平面磨削裝置，該雙頭平面磨削裝置包括一對磨削砂輪，該對磨削砂輪按照磨削面相互面對的方式可旋轉(zhuǎn)地被支承；工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)，該工件旋轉(zhuǎn)支承機(jī)構(gòu)按照在工件的兩面的被磨削面中的至少一部分設(shè)置于上述磨削面之間的磨削位置的狀態(tài)，可圍繞與上述磨削砂輪的旋轉(zhuǎn)軸平行的旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)的方式支承薄板狀的工件；一對非接觸支承機(jī)構(gòu)，該對非接觸支承機(jī)構(gòu)按照從兩側(cè)夾持上述工件的被磨削面的上述磨削位置的外側(cè)的區(qū)域的幾乎整個面的方式設(shè)置，并且通過流體的壓力非接觸地支承上述工件，該雙頭平面磨削裝置按照在通過上述非接觸支承機(jī)構(gòu)支承上述工件的狀態(tài)，使上述工件和上述磨削砂輪旋轉(zhuǎn)，對上述工件的兩個面的被磨削面進(jìn)行磨削的方式構(gòu)成，其特征在于在上述非接觸支承機(jī)構(gòu)中，形成基本呈圓弧狀的缺口部，該缺口部從基本圓形的外緣側(cè)，至少超過上述工件的中心位置與上述磨削砂輪相對應(yīng)，在與上述工件面對的非接觸支承面上，設(shè)置多個凹腔部和網(wǎng)眼狀的網(wǎng)狀部，該多個凹腔部呈凹入狀，并且在其內(nèi)壁上具有排出流體的1個或多個流體供給孔，上述網(wǎng)狀部形成這些凹腔部的周圍的突起部，上述網(wǎng)狀部由周緣部和內(nèi)肋部構(gòu)成，該周緣部沿上述非接觸支承面的外周設(shè)置，上述內(nèi)肋部按照將該周緣部的內(nèi)側(cè)的區(qū)域分為多個的方式設(shè)置，且在多個內(nèi)外連接部中與上述周緣部連接，在上述周緣部中，沿上述缺口部的部分至少在除了上述工件的中心位置的附近的部分，未設(shè)置上述內(nèi)外連接部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙頭平面磨削裝置，其特征在于在上述周緣部中，沿上述缺口部設(shè)置的內(nèi)側(cè)周緣部、其以外的外側(cè)周緣部在上述缺口部的兩端部被連接，沿上述缺口部設(shè)置的上述凹腔部內(nèi)的流體供給孔設(shè)置于上述內(nèi)外連接部的附近和上述內(nèi)側(cè)周緣部與外側(cè)周緣部的連接部的附近。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的雙頭平面磨削裝置，其特征在于沿上述缺口部設(shè)置的上述凹腔部沿上述磨削砂輪的周向，按照徑向基本相同的寬度形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任何一項(xiàng)所述的雙頭平面磨削裝置，其特征在于沿上述缺口部設(shè)置的凹腔部以外的凹腔部通過上述內(nèi)部肋部中的沿上述工件的徑向設(shè)置的部分被劃分。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供可通過磨削消除在工件表面上產(chǎn)生的同心圓狀的波狀，進(jìn)一步提高磨削后的工件表面的平面度的雙頭平面磨削裝置。在磨削砂輪的外側(cè)夾持工件，通過流體的壓力對工件進(jìn)行非接觸支承的一對支承墊(43a)上，從其外緣側(cè)朝向中心，形成與磨削砂輪相對應(yīng)的缺口部(44)，并且，在其非接觸支承面(45)上設(shè)有具有流體供給孔(62)的多個凹腔部(51)，和形成這些凹腔部(51)的突起部的網(wǎng)狀部(52)，網(wǎng)狀部(52)由沿著非接觸支承面(45)的外周的周緣部(53)和內(nèi)肋部(54)構(gòu)成，該內(nèi)肋部(54)分割周緣部(53)的內(nèi)側(cè)，并且在內(nèi)外連接部(52a)與周緣部(53)連接，周緣部(53)中沿缺口部(44)的部分，按照至少在除了工件W的中心位置A’附近的部分未設(shè)置內(nèi)外連接部(52a)的方式形成。
文檔編號B24B7/17GK1905990SQ20048004069
公開日2007年1月31日 申請日期2004年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月22日
發(fā)明者大倉健司 申請人:光洋機(jī)械工業(yè)株式會社