專(zhuān)利名稱(chēng)：基板載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種鍍膜裝置，尤其是一種應(yīng)用于鍍膜裝置的基板載具。
背景技術(shù)：
目前，薄膜廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體等諸多領(lǐng)域。而薄膜制作通常以物理蒸鍍法為主(Physics Vapor Deposition，簡(jiǎn)稱(chēng)PVD)，該方法為將薄膜材料由固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)或離子態(tài)，氣態(tài)或離子態(tài)的材料，由蒸發(fā)源穿越空間，抵達(dá)基板表面，材料抵達(dá)基板表面后，將沉積而逐漸形成薄膜。通常，為了制作高純度的薄膜，鍍膜的制程須于高真空環(huán)境下完成。由此延伸出真空鍍膜，一般做法為將基片以超聲波洗凈機(jī)洗凈，洗凈后排上夾具，送入鍍膜機(jī)，進(jìn)行加熱及抽真空。達(dá)到高真空后，開(kāi)始鍍膜。鍍膜時(shí)，以電子槍或電阻式加熱，將薄膜材料變成離子態(tài)，鍍膜時(shí)間則視層數(shù)及程序不同而有長(zhǎng)短。鍍膜完畢后，待溫度冷卻后取出。
然現(xiàn)有的鍍膜設(shè)備中，為控制鍍膜的厚度分布，通常利用以特殊幾何形狀的擋流板隔離離子流，因而適當(dāng)調(diào)整空間離子流的分布，使鍍膜厚度得到控制。如公開(kāi)于2003年12月3日的中國(guó)大陸發(fā)明專(zhuān)利第CN1459517A號(hào)，其揭示一鍍膜裝置及鍍膜方法，請(qǐng)參閱圖2，該鍍膜裝置1包括一轉(zhuǎn)盤(pán)11、一遮板12以及一鍍材源13。其中，轉(zhuǎn)盤(pán)11是能規(guī)律旋轉(zhuǎn)；遮板12是依照鍍膜層3的特定厚度而設(shè)置，設(shè)置于靠近基板2的位置；鍍材源13是與轉(zhuǎn)盤(pán)11相對(duì)而設(shè)，而使該遮板12設(shè)置于兩者之間。但是晶圓鍍膜過(guò)程中，其背面通常不需要鍍膜，而且不能有任何雜物或鍍膜成份，使用上述鍍膜裝置時(shí)，鍍膜顆粒可能從基板2與轉(zhuǎn)盤(pán)11之間的空隙鍍于基板背面，從而對(duì)基板背面造成污染。

發(fā)明內(nèi)容鑒于上述狀況，有必要提供一種可避免基板背面鍍膜的基板載具。
一種基板載具，包括一前板及一后蓋板，其中該前板上設(shè)有多個(gè)基板放置孔及多個(gè)定位孔，該后蓋板上設(shè)有多個(gè)定位突起，其中所述后蓋板通過(guò)該定位突起與該定位孔相配合固定于前板。
相較現(xiàn)有技術(shù)，該基板載具通過(guò)其后蓋板可將待鍍的基板背面完全掩蓋，從而可防止鍍膜時(shí)，鍍膜顆粒鍍對(duì)基板背面造成污染，另該后蓋板拆卸簡(jiǎn)單，可方便的用于鍍膜過(guò)程。

圖1是本發(fā)明較佳實(shí)施例的基板載具結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是現(xiàn)有的鍍膜裝置示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖1所示，本發(fā)明較佳實(shí)施例的基板載具5，包括一前板50及一后蓋板52，其中該前板50上設(shè)有多個(gè)基板放置孔502及多個(gè)定位孔504，該后蓋板52上設(shè)有多個(gè)定位突起522，其中所述后蓋板52通過(guò)該定位突起522與該定位孔504相配合而固定于前板50。
前板50具有一傘狀外形，其可采用現(xiàn)有的鍍膜載具所使用的材料制成，如不銹鋼等。所述基板放置孔502用于放置待鍍膜的基板，其呈傘狀分布于前板50表面，該基板放置孔502邊緣設(shè)有多個(gè)可伸縮的凸片506，可限定基板于基板放置孔502內(nèi)。所述定位孔504設(shè)置于前板50的邊角處，其直徑應(yīng)略大于后蓋板52的定位突起522的直徑。
后蓋板52具有一與前板50一致的傘狀外形，其材料可選用鋁或不銹鋼等。該后蓋板52上還設(shè)有多個(gè)與所述定位孔504相對(duì)應(yīng)的定位突起522，該定位突起522上設(shè)有鎖扣結(jié)構(gòu)526，用以將后蓋板52鎖定于前板50上。
組裝該基板載具5時(shí)，首先將基板，如半導(dǎo)體、玻璃等，放置于基板放置孔502內(nèi)，調(diào)整基板放置孔502邊緣的可伸縮凸片506，使得基板不至于從基板放置孔502內(nèi)掉出，接著將后蓋板52的定位突起522對(duì)準(zhǔn)前板50上的定位孔504，然后使定位突起522穿過(guò)定位孔504，使后蓋板52放置于前板50上，鎖緊定位突起522上所設(shè)的鎖扣結(jié)構(gòu)526，則此時(shí)該基板載具已完成組裝。
將三片以上已組裝好的基板載具5呈圓周狀置于鍍膜設(shè)備的旋轉(zhuǎn)盤(pán)上，即可進(jìn)行鍍膜。由于基板背面為基板載具5的后蓋板52所封閉，故鍍膜時(shí)，鍍膜顆粒無(wú)論從任何角度都不能鍍于基板的背面。所以該基板載具可很好的避免鍍膜時(shí)對(duì)基板背面的鍍膜污染。
權(quán)利要求
1.一種基板載具，其特征在于其包括一前板及一后蓋板，該前板上設(shè)有多個(gè)基板放置孔及多個(gè)定位孔，該后蓋板上設(shè)有多個(gè)定位突起，所述后蓋板通過(guò)該定位突起與該定位孔相配合固定于前板。
2.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于所述前板為傘狀。
3.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于所述后蓋板為傘狀。
4.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于所述后蓋板的材料是鋁。
5.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于所述后蓋板的材料是不銹鋼。
6.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于所述定位突起上設(shè)有鎖扣機(jī)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1所述的基板載具，其特征在于所述基板放置孔周?chē)O(shè)有阻擋凸片。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種基板載具，包括一前板及一后蓋板，其中該前板上設(shè)有多個(gè)基板放置孔及多個(gè)定位孔，該后蓋板上設(shè)有多個(gè)定位突起，其中所述后蓋板通過(guò)該定位突起與該定位孔相配合固定于前板。該基板載具可防止鍍膜時(shí)，鍍膜顆粒鍍于基板背面造成污染。
文檔編號(hào)C23C14/50GK1851043SQ20051003436
公開(kāi)日2006年10月25日 申請(qǐng)日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月22日
發(fā)明者張慶州 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司