專利名稱：通過熱等靜壓獲得的圓筒形靶的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及通過外部熱等靜壓(HIP)制備可旋轉(zhuǎn)濺射靶的方法。
背景技術：
旋轉(zhuǎn)圓筒形靶的優(yōu)點(例如增加的材料使用和較少的電弧，僅舉幾例)，使得它們可以利用非常規(guī)材料例如陶瓷從而越來越引人關注。熔融或蒸發(fā)這些材料所需的高溫阻止了常規(guī)的靶制備方法例如鑄造。目前，直接在襯管(backing tube)上制備可旋轉(zhuǎn)陶瓷靶的兩種最常用的方法是-等離子噴涂，其中通過氣體等離子強烈加熱包含所關注陶瓷的粉末并在受控的氣氛下以高速將其噴涂到襯管上。參見例如US 6,461,686，其中靶材料是TiOx(x＜2)。然而，如果例如粉末過細或易于粘附到進料器上使得難以將粉末注入噴嘴中，那么不能應用這種方法。
-熱等靜壓方法(或HIP)。這時將靶形成材料裝入相對薄壁、可變形的圓筒形容器(can)中，該容器具有與所述圓筒形容器同軸安裝的不可變形的芯。將顆粒間氣體抽空后進行氣密密封，將容器維持在高溫(250-1500℃)下的同時(通常通過fluidum特別是Ar)對容器施加高壓(50-200MPa)。在隨后的冷卻和壓力正?；?，將容器從靶材上機械除去。壓力和溫度使粉末致密化成固態(tài)、玻璃狀、密度非常接近于理論密度的材料。
通過HIP方法獲得的可旋轉(zhuǎn)濺射靶已在US 5,354,446和US5,435,965中進行了描述。不可變形的芯是在熱等靜壓中靶材熔化在其上的實心金屬圓柱。該實心金屬圓柱可以涂覆有中間層以緩和在靶操作中芯和靶材間的熱應力(US 5,354,446)。也可以對實心金屬圓柱進行機械處理(車螺紋或噴砂)以提高襯管和靶材間的粘附(US 5,354,446)。在US 5,435,965中提出使用環(huán)形管替換實心圓柱。
外容器的壁不應過厚，使得壁不會妨礙粉末上的等靜壓力作用。外容器的壓縮度取決于容器的尺寸、靶材層的最終厚度和粉末的壓實程度。如果外容器材料的壓縮超過臨界極限，外容器將“發(fā)生皺折(buckle)”，即，外容器的壓縮將不再是均勻的，并且外表面會折皺在一起。當皺折發(fā)生時，非熔融靶材的壓縮不再均勻，這導致不均質(zhì)的材料。如果在HIP過程中，靶材被熔融，材料仍將被均勻壓縮。在這兩種情況下，容器的不規(guī)則形狀使得難以從錠塊上除去容器，從而必須對外表面進行機械加工(如US 5,435,965表2所示)。這種機械加工不僅是附加的處理步驟，而且導致昂貴材料相當大的損失。
發(fā)明概述本發(fā)明的目的是消除提到的現(xiàn)有技術缺點。更具體地，本發(fā)明的目的是消除對錠塊外表面進行機械加工的附加處理步驟。此外，也阻止了由于這種機械加工步驟導致的材料損失。如下面的概述所述，還能解決現(xiàn)有技術的其它問題。
本發(fā)明的第一方面涉及制備如權(quán)利要求1和其從屬權(quán)利要求2-7的特征組合中所描述的可旋轉(zhuǎn)濺射靶的方法。該方法包括步驟(A)提供內(nèi)管。最后，該內(nèi)管將作為靶材的載體。所述內(nèi)管的外表面可提供或不提供有表面涂層或表面處理(例如車螺紋、刷光或噴砂)以提高靶材和內(nèi)管間的粘附?；蛘呖捎脽崤蛎浵禂?shù)介于內(nèi)管和靶材之間的涂層對所述內(nèi)管進行處理，以減小冷卻后的熱殘余應力。可以通過已知技術例如等離子噴涂施用這些涂層。
(B)在第二步驟中，在所述內(nèi)管周圍安裝外模具。該模具具有內(nèi)腔，該內(nèi)腔為旋轉(zhuǎn)體形狀并具有中心旋轉(zhuǎn)軸。安裝模具使得中心旋轉(zhuǎn)軸與內(nèi)管的軸線同軸。內(nèi)管和外模具間形成的空腔用于容納靶形成材料。模具內(nèi)側(cè)可以涂覆或不涂覆有抗粘附層例如Al2O3熱噴涂層，或箔片或已經(jīng)過表面處理。
(C)在內(nèi)管和模具間提供底部環(huán)形封閉體。將所述封閉體與模具和內(nèi)管密封使得接縫在下面步驟中的溫度和壓力的極端條件下保持?？梢酝ㄟ^焊接或釬焊實現(xiàn)密封。也可以通過機械方式例如通過螺紋鎖扣連接例如通過在內(nèi)管末端外側(cè)和環(huán)形封閉體的內(nèi)覆蓋物(mantle)車螺紋獲得密封。也可以在環(huán)形封閉體外表面和模具末端內(nèi)側(cè)進行相同操作?；蛘呖梢詫?nèi)管螺紋旋入端部法蘭(end-flange)的中心，隨后用螺栓將其固定到附著于模具的輪緣(rim)上，該模具在凸緣和輪緣間具有適合的密封。
(D)在所述空腔中填充靶形成材料。典型地，該方法可用于能夠以粉狀形式提供的任何種類的靶形成材料?？梢酝ㄟ^例如灌注在內(nèi)管和模具間的空腔中提供粉末。
非窮舉性的粉末實例是陶瓷粉末，更特別的是金屬例如銦、錫、鋅、鎵、銅、鈦、鋁的氧化物、氮化物或碳化物，僅舉幾例。這些陶瓷粉末的混合物也是可能的，例如氧化鋅(ZnO)可與氧化鋁(Al2O3)混合。這些陶瓷粉末和純金屬粉末的混合物也是可能的以便獲得可旋轉(zhuǎn)靶的期望性能，一種值得注意的實例是混合有錫(Sn)粉末的三氧化二銦(In2O3)。可在空腔中灌注粉末前對粉末進行合金化。合金化的一種方式(即機械合金化)是例如EP 0871 793中描述的方式。
技術人員已知在進行后續(xù)步驟前必須將粉末進行適合的致密化。最為常規(guī)的方式是通過振動實現(xiàn)。
(E)提供頂部環(huán)形封閉體并將所述頂部環(huán)形封閉體密封到所述內(nèi)管和所述模具。使用例如在步驟(C)中描述的用于密封底部封閉體的任何技術進行密封。
(F)將所述空腔抽空和密封。通常通過頂部封閉體的抽真空管進行抽空。在抽空過程中，可進行致密化。在抽空過程中高溫(＞100℃)可有助于水和其它揮發(fā)性污染物從粉末中解吸附。當達到足夠的真空時將抽真空管密封。模具、內(nèi)管以及頂部和底部封閉體一起形成中間具有孔的封閉容器。
(G)作為制備方法的下一步驟，對容器進行熱等靜壓處理。通常在惰性氣氛中在250-1500℃的高溫和50-200MPa的壓力下進行這種處理。待生產(chǎn)的靶材決定了溫度、壓力和時間的精確工藝條件。處理循環(huán)可以是復雜的在不同時期內(nèi)維持不同水平的溫度、壓力以獲得最佳的靶材。
步驟(A)到(G)在現(xiàn)有技術中是已知的。容器的所有部分均由根據(jù)其使用選擇的適合金屬或合金制得。典型的材料是不銹鋼、鈦和其合金、鋁和其合金、Hastalloy、Inconel，僅舉幾例。容器的所有部分可由相同的金屬或合金制得，但對本發(fā)明這不是必須的。
本發(fā)明人對現(xiàn)有技術上的貢獻是已經(jīng)發(fā)現(xiàn)當在熱等靜壓處理過程中，使內(nèi)管變形、并將靶形成材料壓在基本上不變形的外模具上，克服了已知方法的問題。
為了確保上述情形，對內(nèi)管和外模具的強度要求與現(xiàn)有技術相比是相反的。實際上，為了允許內(nèi)管變形，壓力必須能進入內(nèi)管并使其變形。盡管外模具同樣受到相同的等靜壓力，它必須承受壓力并基本上不變形。“基本上不變形”意指模具變形小于內(nèi)管在沿縱向軸測量的模具直徑的最大減少必須小于內(nèi)管直徑的最大增加。“基本上不變形”明確排除了皺折模具的情形。
在這種變形過程中頂部和封閉體的作用重要性較小在過程中無論它們變形與否對本發(fā)明均不會產(chǎn)生明顯的差異。
內(nèi)管和模具之間變形的差異能通過許多方式實現(xiàn)-最顯然的方式是使用內(nèi)管和模具的尺寸特征以改變變形程度。例如制得的內(nèi)管顯著薄于模具。在HIP過程中，因此當將靶材壓在外模具上時，內(nèi)管更容易膨脹。內(nèi)管可以是例如模具材料厚度的1/2或1/3。
-內(nèi)管可以由不同的、延展性好于模具的材料制得。“延展性”涉及材料的塑性可變形。在本發(fā)明中，在過程的高溫下的延展性是特別相關的。根據(jù)經(jīng)驗，在高于其熔點1/3時，金屬或金屬合金的延展性會極大增加。
-內(nèi)管可以具有抗變形性較低的區(qū)域，而模具具有基本上均勻的強度。這可以通過在內(nèi)管的外或內(nèi)表面的縱向方向機械開槽獲得。凹槽下方的金屬將比凹槽頂部的材料更容易膨脹。凹槽的機械加工也可以在內(nèi)管側(cè)和內(nèi)管外側(cè)交替進行，使得材料的厚度保持基本相同，由此形成縱向成波紋狀的管。在壓力下，管將在圓周方向部分或全部伸出。這種方法可產(chǎn)生靶材與管的改良粘附和內(nèi)管的提高的剛度。
本領域技術人員清楚可以結(jié)合實現(xiàn)可變形度的不同方式。
作為一個限制性的情況，可以制成不可變形且堅固的模具使其能作為熱等靜壓步驟的高壓容器。在這種情況下，通過內(nèi)管的末端施加壓力?？梢酝ㄟ^模具或通過壓力fluidum進行加熱。
在熱等靜壓步驟后，除去模具(從屬權(quán)利要求2)以及底部和頂部的環(huán)形封閉體的(從屬權(quán)利要求3)。為了方便這種操作，能使用由多個縱向組合殼體例如兩個構(gòu)成的模具，這些殼體通過可除去的條帶(band)緊密結(jié)合在一起。殼體相互接觸的區(qū)域也必須進行抗粘附處理以使在HIP過程后容易除去靶。必須考慮殼間的密封以阻止熱等靜壓過程中流體的進入。可以通過例如銅或銦墊圈獲得這種密封。
由于可旋轉(zhuǎn)濺射靶的外型基本上由模具的腔體決定，因此濺射靶的外部形狀具有大的自由度?？梢灾瞥膳c內(nèi)管同軸的圓筒形式的腔體(從屬權(quán)利要求4)。
腔體還可以包括圓筒形中間部分和與所述頂部和底部封閉體鄰近的兩個圓筒形末端部分，其中該中間部分的外直徑小于末端部分的直徑(從屬權(quán)利要求5)。這種靶的外部形狀有助于提高靶的利用率，如US6,264,803描述。
由于內(nèi)管可能在頂部或底部環(huán)形封閉體的附近具有較小程度的變形，因此這些不同變形的末端部分可進行或不進行機械加工除去(從屬權(quán)利要求6)。在任何情況下，無論末端部分切去與否，轉(zhuǎn)接件對于使可旋轉(zhuǎn)靶可以與濺射機的驅(qū)動系統(tǒng)相連接是必要的，因為在熱等靜壓步驟中內(nèi)管可能并不保持其工程公差(engineering tolerance)(從屬權(quán)利要求7)。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，由所述方法制得的可旋轉(zhuǎn)濺射靶與現(xiàn)有技術的靶顯著不同之處在于權(quán)利要求8-16中所述的特征。
由于工藝的性質(zhì)，內(nèi)管在圓周方向上伸長(獨立權(quán)利要求8)。分別根據(jù)熱等靜壓之前的內(nèi)管外徑(稱為‘d0’)和之后的內(nèi)管外徑(稱為‘d1’)，伸長率將是不同的ε＝ln(d1/d0)對于完全圓筒的情況，壓實比‘c’(即最終靶材密度與粉末材料密度的比)，不僅取決于d0和d1，而且取決于可旋轉(zhuǎn)靶的外徑‘D’c＝(D2-d02)/(D2-d12)優(yōu)選的，生產(chǎn)靶的方法將產(chǎn)生至少2％的伸長率(從屬權(quán)利要求9)。當需要5％的伸長率以形成材料時(從屬權(quán)利要求10)，該方法甚至更為有利。
當仍具有靶的末端部分時，本發(fā)明可旋轉(zhuǎn)濺射靶區(qū)別于現(xiàn)有技術的可旋轉(zhuǎn)靶的另一特征是顯著的。內(nèi)管的內(nèi)直徑大于末端部分的內(nèi)直徑(獨立權(quán)利要求11)。內(nèi)管的伸長率等于(靶末端部分測得的)初始內(nèi)徑與(在靶末端部分之間測得的)最終內(nèi)徑之間的相對差。優(yōu)選的，該差大于2％(從屬權(quán)利要求12)。甚至更優(yōu)選的，該差大于5％(從屬權(quán)利要求13)。
優(yōu)選在具有高壓實比的材料上使用該方法。優(yōu)選的，應用于該方法的壓實比大于1.5(從屬權(quán)利要求14)，最優(yōu)選大于2(從屬權(quán)利要求15)。本方法特別優(yōu)選的可旋轉(zhuǎn)濺射靶由下面靶形成材料制成-與錫合金化的三氧化二銦(銦錫氧化物ITO)(從屬權(quán)利要求16)-鈦氧化物(TiOx，x≤2)(從屬權(quán)利要求17)-雜質(zhì)摻雜的ZnO:Al或ZnO:Ga(從屬權(quán)利要求18)用于內(nèi)管的材料優(yōu)選是鈦或一種其合金，因為這種材料的性能在許多情況下與在其上形成的陶瓷匹配最好。
附圖簡述現(xiàn)在將參考附圖更為詳細地描述本發(fā)明，其中

圖1描述通過熱等靜壓形成可旋轉(zhuǎn)靶的現(xiàn)有技術模具的構(gòu)造。
圖2(a)描述根據(jù)第一優(yōu)選實施方案的操作在熱等靜壓前的構(gòu)造(built-up)。
(b)描述第一優(yōu)選實施方案在熱等靜壓后的構(gòu)造形狀。
圖3(a)描述根據(jù)第二優(yōu)選實施方案的操作在熱等靜壓前的構(gòu)造，(b)描述第二優(yōu)選實施方案在熱等靜壓后的構(gòu)造形狀。
圖4(a)描述根據(jù)第三優(yōu)選實施方案的操作在熱等靜壓前的構(gòu)造，(b)描述第三優(yōu)選實施方案在熱等靜壓后的構(gòu)造形狀。
本發(fā)明優(yōu)選實施方案的描述圖1描述了根據(jù)熱等靜壓方法用于制備靶的現(xiàn)有技術容器100。厚壁內(nèi)管102作為載體管并進行車螺紋以增加靶材與管的附著。首先，在內(nèi)管102和外管104之間焊接底108。在內(nèi)管102和外管104間的空腔中灌注粉末狀的靶形成材料110。外管涂覆有抗粘附紙112。在將粉末致密化后，在內(nèi)管102和外管104間焊接頂蓋。抽空所有剩余氣體后，對容器進行熱等靜壓。之后，機械除去外容器104、底和頂蓋。
圖2a描述了本發(fā)明的第一優(yōu)選實施方案，其中優(yōu)選使內(nèi)管變形而模具基本上保持不變形。HIP容器200包括內(nèi)管202和外模具204，其中在內(nèi)管202和外模具204間通過焊縫212焊接底部環(huán)形封閉體206。容器200繞軸220軸向?qū)ΨQ。該第一實施方案的尺寸匯總于表1(所有尺寸以mm表示)。
表1容器的長度是200mm。所有部件均由鈦制成。圓筒形腔體以下面方式產(chǎn)生內(nèi)徑50mm、外徑60mm且長度150mm。腔體部分(至多100mm高度)填充有根據(jù)EP 0871 793制得的ISOT粉末(與錫機械合金化的三氧化二銦)。對填充的容器進行輕敲(tap)并振動以獲得典型為3.5g/cm3的振實密度(tapping density)。填充后，在粉末頂部設置第二個鈦頂部環(huán)形封閉體210。將整個結(jié)構(gòu)焊接在一起。提供排氣管214以便可以將氣體抽空。填充容器后，在至少400℃溫度下對粉末進行脫氣。之后，將排氣管214氣密封閉。這時容器200準備好進行熱等靜壓。
在熱等靜壓過程中，壓力緩慢增加到200MPa，同時溫度升高到700℃。將容器置于在熱等靜壓下約4小時。在這個“停留時間”后，緩慢冷卻容器，同時減小壓力。
在熱等靜壓后，對容器進行如圖2b所描述的變形。當在管的中間部分測量時，內(nèi)管202的內(nèi)徑從45mm變化到48mm。模具204的外徑從70mm變化到68.5mm。最終ITO靶的密度是7g/cm3，約為塊狀(massive)ITO密度(7.14g/cm3)的98％。壓實比為2。內(nèi)管的伸長率是6.5％。
在熱等靜壓后，除去外容器并留下光滑的表面。將變形小于中間部分的末端部分218和216從靶上切除。在插入連接件后，靶準備好在濺射設備中進行安裝。
作為第二實施方案，制備第一實施方案的更大型式。再次使用具有初始內(nèi)徑135mm、外徑141mm(因此壁厚3mm)、長600mm的鈦內(nèi)管。外模具具有165mm的外徑和153mm的內(nèi)徑，因此厚度為6mm。作為底部封閉體，使用具有內(nèi)徑141mm、外徑153mm和厚度100mm的鈦環(huán)。用ISOT粉末填充腔體直到400mm高度。通過振動，能獲得3.5g/cm3的振實密度。在填充后，嵌入與底部封閉體相同的頂部封閉體。將整個結(jié)構(gòu)焊接在一起并具有3個排氣管使得可以通過排氣管進行抽空。在至少400℃溫度下進行脫氣。之后，將管真空密封，容器準備好在200MPa壓力和500℃的溫度下進行熱等靜壓。以這種方式，內(nèi)管進行變形，而容器的外徑受到限制。內(nèi)管的內(nèi)徑從135變形到139(即圓周伸長率3％)而容器的外徑則變?yōu)?63.5。材料的密度增加到6.4g/cm3，產(chǎn)生1.8的壓實比。當從最終靶材上除去模具時只損失非常少的材料。
在第三優(yōu)選實施方案中進一步研究外模具厚度的影響。這里使用相同的材料進行與第二實施方案相同的過程，不同的是使用不同尺寸的外模具。熱等靜壓前和后的尺寸匯總于表2中
表2所有數(shù)字均以mm表示?！癐D”和“OD”分別表示“內(nèi)”和“外”直徑。括號中的數(shù)字是通過將管或模具的厚度考慮在內(nèi)進行計算而得。較厚的外模具(20mm)導致較小的變形。內(nèi)管直徑增加12mm即材料圓周伸長9％。沒有發(fā)生皺折，并且管長度方向上的致密程度是均勻的。除去外模具后靶外表面是光滑的，且無需另外的機械加工。由于較小壓縮的環(huán)形封閉體和膨脹的內(nèi)管之間的轉(zhuǎn)變(如圖2b所示，權(quán)利要求11)，內(nèi)管兩端的內(nèi)徑小于(約130mm)中間的內(nèi)徑。以這種方式，通過本發(fā)明方法制得的靶可區(qū)別于通過其它方法制得的靶。
根據(jù)圖3(a)和(b)中描述的第四優(yōu)選實施方案300，底部和頂部環(huán)形封閉體310具有特定的形狀以確保熱等靜壓310′后末端部分附近粉末的充分壓縮。在如圖4所示的第五優(yōu)選實施方案400中，可以通過使外模具404變得更薄從而將其局部弱化，使得靶表面在熱等靜壓后獲得特定的形狀。
權(quán)利要求
1.制備可旋轉(zhuǎn)濺射靶的方法，包括步驟-提供內(nèi)管-在所述內(nèi)管周圍安裝外模具，所述外模具形成腔體，所述腔體具有旋轉(zhuǎn)體的形狀，所述腔體與所述內(nèi)管具有相同軸，使得在所述內(nèi)管和所述模具之間形成空腔-在所述空腔內(nèi)提供底部環(huán)形封閉體并將所述底部封閉體密封到所述內(nèi)管和所述模具上-用靶形成材料填充所述空腔-提供頂部環(huán)形封閉體并將所述頂部環(huán)形封閉體密封到所述內(nèi)管和所述模具上-對所述空腔進行抽空和密封，所述內(nèi)管、所述模具和所述頂部和底部封閉體形成中間具有孔的容器-對所述容器進行熱等靜壓處理其特征在于，在熱等靜壓處理過程中，所述內(nèi)管變形，并將所述靶形成材料壓在所述基本上不變形的外模具上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，接著進行從所述容器上除去所述模具的步驟。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的方法，接著進行除去所述頂部和底部環(huán)形封閉體的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3中任一項的方法，其中在所述模具中的所述腔體是圓筒。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3中任一項的方法，所述腔體包括圓筒形中間部分和與所述頂部和底部封閉體鄰近的兩個圓筒形末端部分，其中所述中間部分具有第一直徑而所述末端部分具有第二直徑，所述第二直徑大于所述第一直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項的方法，接著進行其中切去所述可旋轉(zhuǎn)濺射靶末端部分的步驟，所述靶含有的所述內(nèi)管的這些部分變形小于所述內(nèi)管中間部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項的方法，接著進行將一個或兩個轉(zhuǎn)接件組裝到所述內(nèi)管的步驟，所述轉(zhuǎn)接件用于將管狀靶連接到磁控濺射設備。
8.可旋轉(zhuǎn)濺射靶，包括內(nèi)管和靶材，所述靶材位于所述內(nèi)管的外表面上，所述內(nèi)管由內(nèi)管材料制得，所述內(nèi)管具有對稱軸，其特征在于在垂直于所述軸的平面內(nèi)的內(nèi)管材料在圓周方向上伸長。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中圓周方向伸長率至少2％。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中圓周方向伸長率至少5％。
11.可旋轉(zhuǎn)濺射靶，包括內(nèi)管，所述內(nèi)管具有第一末端部分和第二末端部分，所述靶還包括位于所述第一和第二末端部分之間的所述內(nèi)管外表面上的靶材，所述內(nèi)管在末端部分具有第一內(nèi)直徑，所述內(nèi)管在所述第一和第二末端部分之間具有第二內(nèi)直徑，其特征在于所述第二直徑大于所述第一直徑。
12.根據(jù)權(quán)利要求11的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述第二直徑比所述第一直徑大2％。
13.根據(jù)權(quán)利要求11的旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述第二直徑比所述第一直徑大5％。
14.通過權(quán)利要求1-7中任一項的方法獲得的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述靶形成材料被壓實的系數(shù)至少為1.5。
15.通過權(quán)利要求1-7中任一項的方法獲得的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述靶形成材料被壓實的系數(shù)至少為2.0。
16.根據(jù)權(quán)利要求8-15中任一項的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述靶形成材料是與錫合金化的三氧化二銦。
17.根據(jù)權(quán)利要求8-15中任一項的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述靶形成材料是鈦氧化物。
18.根據(jù)權(quán)利要求8-15中任一項的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述靶形成材料是鋁或鎵雜質(zhì)摻雜的氧化鋅。
19.根據(jù)權(quán)利要求8-18中任一項的可旋轉(zhuǎn)濺射靶，其中所述內(nèi)管由鈦或鈦合金制得。
全文摘要
描述了生產(chǎn)可旋轉(zhuǎn)靶的方法和制得的靶。在圓筒形模具間形成的空腔中注入靶形成材料，其中內(nèi)管通過頂部和底部封閉體共軸固定。在高的溫度和壓力下對該組件進行熱等靜壓。該方法不同于現(xiàn)有技術之處在于，在熱等靜壓過程中內(nèi)管變形，并將靶形成材料壓在基本上不變形的外模具上。
文檔編號B22F3/15GK1985345SQ200580024029
公開日2007年6月20日 申請日期2005年3月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年7月16日
發(fā)明者W·德波舍爾, R·弗米爾什 申請人:貝卡爾特先進涂層公司