專利名稱:故障報(bào)警裝置及故障報(bào)警方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種故障報(bào)警裝置以及故障報(bào)警方法,尤其是化學(xué)機(jī)械拋光 工藝過程中拋光設(shè)備發(fā)生故障時(shí)的報(bào)警裝置和故障報(bào)警方法。
背景技術(shù):
隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體制作工藝已經(jīng)進(jìn)入納米時(shí)代,為了 適應(yīng)各項(xiàng)電子產(chǎn)品越做越小,功能越做越強(qiáng)的趨勢(shì),半導(dǎo)體制程中的線寬也由原先的0.18微米發(fā)展到現(xiàn)今的O. 13微米甚至90nm以及65nm的制程。而伴隨著芯片功能越來越強(qiáng),元件越做越小的趨勢(shì)而來的,便是對(duì)制作 過程中各種不同環(huán)節(jié)的技術(shù)要求越來越高。由于元件越來越小,而內(nèi)部線路越做越復(fù)雜,使制程中對(duì)各項(xiàng)參數(shù)的細(xì)微變化更敏感,原先可以容許的制程 條件誤差,在元件體積大幅縮小后,可能會(huì)對(duì)元件的性能造成極大的影響, 因此,為達(dá)到良好的元件性能,對(duì)制作工藝的要求必定會(huì)日趨嚴(yán)謹(jǐn)?;瘜W(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝由IBM于1984年引入集成電路制造工業(yè),并 首先用在后道工藝的金屬間絕緣介質(zhì)(IMD)的平坦化,然后通過設(shè)備和工藝的 改進(jìn)用于鴒(W)的平坦化,隨后用于淺溝槽隔離(STI)和銅(Cu)的平坦化?;瘜W(xué) 機(jī)械拋光(CMP)為近年來IC制程中成長(zhǎng)最快、最受重視的一項(xiàng)技術(shù)。目前的化學(xué)機(jī)械拋光工藝過程已經(jīng)完全實(shí)現(xiàn)了電腦精確控制,但是,在 化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備工作過程中,可能會(huì)出現(xiàn)電腦或者控制軟件的突發(fā)故障, 例如電腦死機(jī)、控制軟件停止運(yùn)行、控制軟件指令錯(cuò)誤等故障,這些故障會(huì) 使化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備停止運(yùn)行或者過度拋光晶圓。在現(xiàn)有的工藝條件下,發(fā) 生這些故障時(shí),設(shè)備不會(huì)自動(dòng)報(bào)警,而且設(shè)備維護(hù)人員也很難在故障發(fā)生時(shí)
就立即發(fā)現(xiàn)并排除故障,這些都會(huì)導(dǎo)致化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中大量晶圓的直接 報(bào)廢,影響產(chǎn)品良率。除此之外,極少數(shù)情況下,還可能會(huì)發(fā)生電腦控制系統(tǒng)或者化學(xué)機(jī)械拋 光設(shè)備突然斷電的情況,這會(huì)導(dǎo)致設(shè)備停止運(yùn)行,因此,未完成化學(xué)機(jī)械拋 光的晶圓就一直停留在拋光溶液中,導(dǎo)致晶圓被拋光液腐蝕掉。如果及時(shí)發(fā) 現(xiàn)所述的設(shè)備故障,就可以及時(shí)取出晶圓,避免發(fā)生晶圓被腐蝕掉的損失。 但是,在這種情況下,由于系統(tǒng)整體斷電,原有的報(bào)警設(shè)備是無法發(fā)揮作用 的。與化學(xué)機(jī)械拋光工藝相同,在半導(dǎo)體的其它制作工藝中,同樣會(huì)發(fā)生用 于控制設(shè)備運(yùn)行的電腦系統(tǒng)或者運(yùn)行軟件發(fā)生故障導(dǎo)致設(shè)備搡作故障的缺 陷,還有設(shè)備整體斷電時(shí)導(dǎo)致設(shè)備操作故障缺陷的情況,目前,都沒有很好 的控制辦法。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明解決的問題是現(xiàn)有控制設(shè)備運(yùn)行的電腦系統(tǒng)或者運(yùn)行軟件發(fā)生故 障以及系統(tǒng)突然斷電導(dǎo)致設(shè)備操作故障時(shí)不能及時(shí)發(fā)現(xiàn)故障、排除故障的缺 陷。為解決上述問題,本發(fā)明提供一種故障報(bào)警裝置,包括運(yùn)行指令捕捉 裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置, 用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào) 警裝置,在運(yùn)行指令捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指令且工作狀 態(tài)信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào) 時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng)處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí),報(bào)警。其中,所述運(yùn)行指令捕捉裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置及計(jì)時(shí)報(bào)警裝置 串聯(lián)電連接;其中所述運(yùn)行指令捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行
的指令時(shí)導(dǎo)通;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定的 工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)導(dǎo)通,在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作 狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)斷路。進(jìn)一步,所述運(yùn)行指令捕捉裝置和工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置為繼電器。更進(jìn)一步,所述的故障報(bào)警裝置還包括獨(dú)立電源,用于供電。所述的故 障報(bào)警裝置還包括開關(guān),用于切斷所述故障報(bào)警裝置。相應(yīng)的,本發(fā)明提供一種故障報(bào)警方法,包括l)捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;2)捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào);3)根據(jù) 工作狀態(tài)信號(hào)判斷化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定的工作狀態(tài);4)如果處于 設(shè)定的工作狀態(tài),則開始計(jì)時(shí),并判斷處于該設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào) 持續(xù)時(shí)間是否超時(shí),如果超時(shí)則報(bào)警。所述的故障報(bào)警方法,還包括如果化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備未處于設(shè)定的工 作狀態(tài),則返回步驟2);如果處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間未 超時(shí)則返回步驟2)。本發(fā)明還提供一種故障報(bào)警裝置,包括運(yùn)行指令捕捉裝置,用于捕捉 化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置,用于捕捉化學(xué) 機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào);斷電信號(hào)捕捉裝置, 用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)的斷電信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,在運(yùn)行指令捕捉裝 置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指令且工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué) 機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng)處于設(shè)定工 作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí)或在斷電信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械 拋光系統(tǒng)的斷電信號(hào)時(shí),報(bào)警。其中,所述運(yùn)行指令捕捉裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置及計(jì)時(shí)報(bào)警裝置 串聯(lián)電連接;斷電信號(hào)捕捉裝置與運(yùn)行指令捕捉裝置和工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝
置并聯(lián)電連接;其中所述運(yùn)行指令捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令時(shí)導(dǎo)通;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定 的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)導(dǎo)通,在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)斷路;斷電信號(hào)捕捉裝置在化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供 電時(shí)斷開,在化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)斷電情況下導(dǎo)通。進(jìn)一步,所述運(yùn)行指令捕捉裝置和工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置為繼電器。更進(jìn)一步,所述的故障報(bào)警裝置還包括獨(dú)立電源,用于供電。所述的故 障報(bào)警裝置還包括開關(guān),用于切斷所述故障報(bào)警裝置。相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種故障報(bào)警方法,包括l)捕捉化學(xué)機(jī)械拋光 系統(tǒng)正常供電的信號(hào);2)捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;3)捕 捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào);4)根據(jù)工作狀態(tài)信號(hào)判斷化學(xué)機(jī)械拋 光設(shè)備是否處于設(shè)定的工作狀態(tài);5)如果處于設(shè)定的工作狀態(tài),則開始計(jì)時(shí), 并判斷處于該設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間是否超時(shí),如果超時(shí)則 報(bào)警;化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供電時(shí),計(jì)時(shí)報(bào)警裝置根據(jù)捕捉的化學(xué)機(jī)械拋 光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào)進(jìn)行工作,化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)斷電時(shí),計(jì)時(shí)報(bào)警裝置 報(bào)警。所述的故障報(bào)警方法,還包括如果化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備未處于設(shè)定的工 作狀態(tài),則返回步驟3);如果處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間未 超時(shí)則返回步驟3)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)1、 本發(fā)明提供的故障報(bào)警裝置在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備工作過程中,出現(xiàn)電 腦或者控制軟件的突發(fā)故障時(shí),可以及時(shí)報(bào)警通知工程師排除故障,避免拋 光設(shè)備內(nèi)的晶圓報(bào)廢。2、 本發(fā)明提供的故障報(bào)警裝置還能在化學(xué)拋光設(shè)備斷電時(shí)及時(shí)報(bào)警,通
知工程師排除故障,避免拋光設(shè)備內(nèi)的晶圓報(bào)廢。3、本發(fā)明提供的故障報(bào)警方法可以通過硬件或者軟件來實(shí)現(xiàn),并且能夠 在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備出現(xiàn)電腦或者控制軟件的突發(fā)故障以及系統(tǒng)忽然斷電的 故障時(shí),及時(shí)報(bào)警通知工程師排除故障,避免拋光設(shè)備內(nèi)的晶圓報(bào)廢。
圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的一種故障報(bào)警裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖2是本發(fā)明實(shí)施例1的另一種故障報(bào)警裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖3是本發(fā)明實(shí)施例1故障報(bào)警方法的流程圖; 圖4是本發(fā)明實(shí)施例2的一種故障報(bào)警裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖5是本發(fā)明實(shí)施例2的另一種故障報(bào)警裝置的結(jié)構(gòu)示意圖; 圖6是本發(fā)明實(shí)施例2故障報(bào)警方法的流程圖。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的本質(zhì)在于提供一種故障報(bào)警裝置,通過繼電器捕捉化學(xué)機(jī)械拋 光設(shè)備工作狀態(tài)的信號(hào),以監(jiān)控半導(dǎo)體器件制作工藝過程中化學(xué)機(jī)械拋光設(shè) 備的工作狀態(tài),在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào)與設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)不符 的情況下,啟動(dòng)報(bào)警裝置,以方便搡作人員及時(shí)發(fā)現(xiàn)并排除故障。下面結(jié)合附圖以及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做一詳細(xì)的描述。實(shí)施例1本發(fā)明提供一種故障報(bào)警裝置,包括運(yùn)行指令捕捉裝置,用于捕捉化 學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī) 械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,在運(yùn)行 指令捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指令且工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置 捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng) 處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí),報(bào)警。所述的故障報(bào)警裝置可以通過軟件實(shí)現(xiàn)捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行 的指令以及工作狀態(tài)信號(hào),軟件實(shí)現(xiàn)工作狀態(tài)信號(hào)計(jì)時(shí),然后通過軟件判斷工作狀態(tài)信號(hào)超時(shí)而報(bào)警;當(dāng)然也可以通過硬件電路實(shí)現(xiàn)所述功能;也可以 通過軟硬件結(jié)合實(shí)現(xiàn)所述功能。本實(shí)施例所示故障報(bào)警裝置裝置是通過彼此 串聯(lián)電連接實(shí)現(xiàn)的。參考附圖1所示為本發(fā)明通過硬件實(shí)現(xiàn)故障報(bào)警的實(shí)施例,故障報(bào)警裝 置的運(yùn)行指令捕捉裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置及計(jì)時(shí)報(bào)警裝置串聯(lián)電連接; 其中所述運(yùn)行指令捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令時(shí)導(dǎo) 通;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定的工作狀態(tài)的 工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)導(dǎo)通,在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)的工作 狀態(tài)信號(hào)斷路。參考附圖1所示,所述裝置包括電源10,所述電源4交好的為單獨(dú)供電電 源,無需與常M^的220V交流電源連通,在本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施方式
中,使 用單獨(dú)供電的24V直流電源。圖1所示裝置還包括運(yùn)行指令捕捉裝置20,本發(fā)明釆用美國(guó)應(yīng)用材料公 司生產(chǎn)的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備,通常情況下,所述化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備都帶有若 干暫時(shí)閑置的繼電器,以方便用戶改進(jìn)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備,這些繼電器可以 直接通過控制化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的控制軟件進(jìn)行控制,因此,所述運(yùn)行 指令捕捉裝置20為化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備自帶的繼電器,例如型號(hào)為D05-31的 繼電器??梢酝ㄟ^控制化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的控制軟件捕捉化學(xué)機(jī)械拋光 設(shè)備運(yùn)行過程中的工作狀態(tài)。
在實(shí)際化學(xué)機(jī)械拋光工藝中,化學(xué)機(jī)械拋光裝置在接收到控制軟件發(fā)出 的"開始運(yùn)行"指令后,化學(xué)機(jī)械拋光裝置開啟,然后才開始拋光工藝,本發(fā)明 所述運(yùn)行指令捕捉裝置20通過化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的輸入輸出電路板(DI/O 板)與化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的控制軟件連接,捕捉到控制軟件發(fā)出的"開始運(yùn)行,,指令之后,運(yùn)行指令捕捉裝置20即處于開啟狀態(tài),直至收到控制軟件發(fā)出的 停止運(yùn)行指令的情況下,裝置20關(guān)閉。同樣,工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30也為化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備自帶的繼電器, 通過化學(xué)才幾械拋光設(shè)備的輸入輸出電路板(DI/0板)與化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的 控制軟件連接。在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備進(jìn)入設(shè)定的工作狀態(tài)后,工作狀態(tài)信號(hào) 捕捉裝置30開啟,化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)后,工作狀態(tài)信號(hào) 捕捉裝置30閉合。當(dāng)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備重新進(jìn)入設(shè)定的工作狀態(tài)時(shí),工作狀 態(tài)信號(hào)捕捉裝置30重新開啟。在本發(fā)明中,針對(duì)化學(xué)機(jī)械拋光工藝,表示化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備工作狀態(tài) 的信號(hào)包括化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用于放晶圓的基座下壓、抬起的信號(hào)、拋 光頭的壓力信號(hào)、拋光頭的旋轉(zhuǎn)信號(hào)、真空室的真空狀態(tài)信號(hào)等,所述信號(hào) 都能很好的反應(yīng)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài),在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的上述 工作狀態(tài)發(fā)生變化時(shí),化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的運(yùn)行可能發(fā)生故障,即可通過捕 捉上述工作狀態(tài),啟動(dòng)故障報(bào)警裝置,盡快排除設(shè)備故障。在一個(gè)具體實(shí)施方式
中,工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋 光設(shè)備用于放置晶圓的基座下壓、抬起的信號(hào),在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備用于放 晶圓的基座下壓時(shí),拋光工藝開始,工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30處于開啟狀態(tài), 當(dāng)一次化學(xué)機(jī)械拋光工藝結(jié)束,用于放晶圓的基座抬起,則工作狀態(tài)信號(hào)捕 捉裝置30關(guān)閉。本發(fā)明提供的裝置還連接有計(jì)時(shí)報(bào)警裝置40,所述計(jì)時(shí)報(bào)警裝置可以是 目前市場(chǎng)上出售的任何常規(guī)計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,也可以是一個(gè)計(jì)時(shí)器串聯(lián)連接一 個(gè)報(bào)警器。在本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施方式
中,采用中國(guó)欣靈電器股份有限公司生產(chǎn)的型號(hào)為JSS48A的計(jì)時(shí)器,采用浙江南洲有限公司生產(chǎn)的型號(hào)為 HRV-P80的報(bào)警器,所述報(bào)警器可以隨意設(shè)置報(bào)警聲音,根據(jù)發(fā)生故障的不 同原因,可以設(shè)置不同的報(bào)警聲音。工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備用于放置晶圓的基 座下壓、抬起的信號(hào)時(shí),所述故障報(bào)警裝置在運(yùn)行過程中,首先接通電源10, 在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的控制軟件發(fā)出"開始運(yùn)行"的指令后,運(yùn)行指令捕捉裝置 20即處于開啟狀態(tài),化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始執(zhí)行拋光工藝時(shí),用于放晶圓的 基座下壓在拋光墊上,開始拋光,此時(shí),捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中工作狀態(tài) 信號(hào)捕捉裝置30開啟,并且,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置40在用于放晶圓的基座下壓在 拋光墊上時(shí),即開始計(jì)時(shí),正常情況下,用于放晶圓的基座下壓在拋光墊上 進(jìn)行拋光的工藝時(shí)間tl為設(shè)定的固定時(shí)間,所以,自動(dòng)計(jì)時(shí)裝置設(shè)定的規(guī)定 時(shí)間t2略大于用于放晶圓的基座下壓在拋光墊上進(jìn)行拋光的工藝時(shí)間,較好 的是,t2 = tl+ (5-10)秒,如果計(jì)時(shí)器顯示的時(shí)間達(dá)到t2,則計(jì)時(shí)報(bào)警裝 置40就自動(dòng)報(bào)警。用于放晶圓的基座下壓至拋光墊上,工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30開啟,則 本發(fā)明提供的整個(gè)故障報(bào)警裝置連通,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置40中的計(jì)時(shí)器也開始計(jì) 時(shí),如果化學(xué)機(jī)械拋光工藝沒有發(fā)生任何故障,也就是說,是按照設(shè)定的工 藝時(shí)間開始、結(jié)束的,則拋光工藝完成之后,用于放晶圓的基座離開拋光墊 抬起,將晶圓轉(zhuǎn)入下一道清洗工藝,用于放晶圓的基座從拋光墊抬起時(shí),工 作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30即自動(dòng)閉合,整個(gè)故障報(bào)警裝置中斷,計(jì)時(shí)器自動(dòng)清 0。當(dāng)用于放晶圓的基座下壓至拋光墊,開始下一個(gè)晶圓的化學(xué)機(jī)械拋光時(shí), 工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30再次開啟,使整個(gè)計(jì)時(shí)報(bào)警裝置40連通,計(jì)時(shí)器 開始計(jì)時(shí)。在化學(xué)機(jī)械拋光工藝按照設(shè)定的正常工藝進(jìn)行時(shí),本發(fā)明提供的
故障報(bào)警裝置的計(jì)時(shí)報(bào)警裝置40就隨著工藝的進(jìn)行計(jì)時(shí)、清0,往復(fù)循環(huán)。如果用于放晶圓的基座在拋光的工藝過程中發(fā)生控制軟件中止或者死機(jī) 故障,導(dǎo)致用于放晶圓的基座拋光的工藝時(shí)間大于設(shè)定的時(shí)間tl,則計(jì)時(shí)器 就會(huì)繼續(xù)計(jì)時(shí),當(dāng)計(jì)時(shí)器計(jì)時(shí)的時(shí)間達(dá)到計(jì)時(shí)器設(shè)定的報(bào)警時(shí)間,就會(huì)發(fā)出 報(bào)警聲音。便于設(shè)備工程師以及工藝工程師及時(shí)發(fā)現(xiàn)故障,并排除故障,避 免化學(xué)機(jī)械拋光裝置內(nèi)的晶圓報(bào)廢。參考附圖2所示,為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)化的實(shí)施方案,提供一種故障報(bào)警裝置,包括電源10、運(yùn)行指令捕捉裝置20、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30和計(jì)時(shí) 報(bào)警裝置40,還包括一個(gè)開關(guān)50,所述開關(guān)50可以串聯(lián)連接在本實(shí)施例所 述故障報(bào)警裝置的任何位置,通常情況下,開關(guān)50是閉合的,以保證整個(gè)故 障報(bào)警裝置的連通。但是,在某些情況下,例如技術(shù)人員維修設(shè)備,此時(shí)用 于放晶圓的基座一直出于下壓狀態(tài),因此,工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置30處于開 啟狀態(tài),因此,整個(gè)故障報(bào)警裝置都是導(dǎo)通的,在維修的整個(gè)工藝時(shí)間內(nèi), 如果不能切斷整個(gè)故障報(bào)警裝置,報(bào)警器就會(huì)一直出于報(bào)警狀態(tài),因此,本 發(fā)明在圖2所示的故障報(bào)警裝置上連接開關(guān)50,用于在特定情況下人為的切 斷故障報(bào)警裝置,避免報(bào)警器發(fā)出錯(cuò)誤的報(bào)警信號(hào)。本發(fā)明所述開關(guān)50較好 的是采用手動(dòng)開關(guān),在需要將其斷開的情況下直接斷開,操作簡(jiǎn)單,成本也 比專交4氐。相應(yīng)的,參考附圖3所示,本發(fā)明提供一種故障報(bào)警方法,包括步驟 S101:捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;步驟S102:捕捉化學(xué)機(jī)械 拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào);步驟S103:根據(jù)工作狀態(tài)信號(hào)判斷化學(xué)機(jī)械拋光 設(shè)備是否處于設(shè)定的工作狀態(tài),如果化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備未處于設(shè)定的工作狀 態(tài),則返回步驟S102,如果處于設(shè)定的工作狀態(tài),則進(jìn)入步驟S104,計(jì)時(shí)報(bào) 警裝置開始計(jì)時(shí),步驟S105:判斷處于該設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù) 時(shí)間是否超時(shí),如果超時(shí),進(jìn)入步驟S106,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置開始報(bào)警,不過不 超時(shí),則返回步驟S102,繼續(xù)捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào),計(jì)時(shí) 報(bào)警裝置的計(jì)時(shí)器清零。如果技術(shù)報(bào)警裝置連續(xù)報(bào)警,可以認(rèn)為切斷報(bào)警裝置。實(shí)施例2在化學(xué)機(jī)械拋光工藝中,有時(shí)候會(huì)發(fā)生整個(gè)操作系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)全部 斷電的情況,由于設(shè)備所用的整個(gè)電路斷電,因此,化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備停止 運(yùn)行,并且外部系統(tǒng)可能具有的報(bào)警裝置都由于斷電不能發(fā)揮作用,因此, 本發(fā)明還提供了另外一種一種故障報(bào)警裝置,包括運(yùn)行指令捕捉裝置,用 于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置,用于捕 捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào);斷電信號(hào)捕捉 裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)的斷電信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,在運(yùn)行指令 捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指令且工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置捕捉 到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng)處于 設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí)或在斷電信號(hào)捕捉裝置捕捉到化 學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)的斷電信號(hào)時(shí),報(bào)警。所述的故障報(bào)警裝置可以通過軟件實(shí)現(xiàn)捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行 的指令以及工作狀態(tài)信號(hào),軟件實(shí)現(xiàn)工作狀態(tài)信號(hào)計(jì)時(shí),然后通過軟件判斷 工作狀態(tài)信號(hào)超時(shí)而報(bào)警;當(dāng)然也可以通過硬件電路實(shí)現(xiàn)所述功能;也可以 通過軟硬件結(jié)合實(shí)現(xiàn)所述功能。本實(shí)施例所示故障報(bào)警裝置裝置是通過彼此 串聯(lián)電連接實(shí)現(xiàn)的。參考附圖4所示為本發(fā)明通過硬件實(shí)現(xiàn)故障報(bào)警的實(shí)施例,其中,所述 運(yùn)行指令捕捉裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置及計(jì)時(shí)報(bào)警裝置串聯(lián)電連接;斷 電信號(hào)捕捉裝置與運(yùn)行指令捕捉裝置和工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置并聯(lián)電連接; 其中所述運(yùn)行指令捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令時(shí)導(dǎo)
通;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定的工作狀態(tài)的 工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)導(dǎo)通,在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)斷路;斷電信號(hào)捕捉裝置在化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供電時(shí)斷開,在 化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)斷電情況下導(dǎo)通。參考附圖4,為本發(fā)明的一個(gè)具體實(shí)施例,如圖中所示,所述裝置包括電 源100,所述電源較好的為單獨(dú)供電電源,無需與常規(guī)的220V交流電源連通, 本發(fā)明采用單獨(dú)供電的24V直流電源。圖4所示裝置還包括運(yùn)行指令捕捉裝置200,為化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備自帶的 繼電器,具體參考實(shí)施例1。在捕捉到控制軟件發(fā)出的"開始運(yùn)行,,指令之后, 運(yùn)行指令捕捉裝置200即處于開啟狀態(tài)。工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置300也為化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備自帶的繼電器,具體 參考實(shí)施例1。在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備進(jìn)入設(shè)定的工作狀態(tài)后,工作狀態(tài)信號(hào)捕 捉裝置300開啟,化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)后,工作狀態(tài)信號(hào) 捕捉裝置300閉合。本發(fā)明提供的裝置還連接有計(jì)時(shí)報(bào)警裝置400,所述計(jì)時(shí)報(bào)警裝置可以是 目前市場(chǎng)上出售的任何常規(guī)計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,也可以是一個(gè)計(jì)時(shí)器串聯(lián)連接一 個(gè)報(bào)警器。本實(shí)施例釆用的具體計(jì)時(shí)報(bào)警裝置400參考實(shí)施例1。本發(fā)明提供的裝置還包括斷電信號(hào)捕捉裝置600,為化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備自 帶的常閉繼電器。通常情況下,斷電信號(hào)捕捉裝置600是斷開的,在化學(xué)機(jī) 械拋光的整個(gè)系統(tǒng)發(fā)生斷電的情況下,斷電信號(hào)捕捉裝置600開啟。斷電信 號(hào)捕捉裝置600通過化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的輸入輸出電路板(DI/0板)與化學(xué) 機(jī)械拋光設(shè)備的控制軟件連接。本發(fā)明提供的故障報(bào)警裝置在整個(gè)系統(tǒng)通電的情況下,由于斷電信號(hào)捕 捉裝置600是斷開的,因此,本裝置實(shí)際上與實(shí)施例1提供的故障報(bào)警裝置 是相同的,相當(dāng)于電源100、運(yùn)行指令捕捉裝置200、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置 300和計(jì)時(shí)報(bào)警裝置400串聯(lián)連接。因此,其故障報(bào)警機(jī)理和工作原理與實(shí)施 例1相同。在整個(gè)系統(tǒng)斷電的情況下,由于本發(fā)明提供的電源是單獨(dú)供電的獨(dú)立電 源,因此,不會(huì)對(duì)本故障報(bào)警裝置的運(yùn)行發(fā)生影響。由于整個(gè)系統(tǒng)斷電,因 此,運(yùn)行指令捕捉裝置200、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置300都由于不能捕捉到信 號(hào)而斷開,只有斷電信號(hào)捕捉裝置600在斷電情況下處于開啟狀態(tài),因此, 本發(fā)明提供的故障報(bào)警裝置就相當(dāng)于由電源100、斷電信號(hào)捕捉裝置600和計(jì) 時(shí)報(bào)警裝置400接,報(bào)警器即可發(fā)出報(bào)警信息。參考附圖5所示,為本實(shí)施例另一個(gè)優(yōu)化的實(shí)施方案,提供一種故障報(bào) 警裝置,包括運(yùn)行指令捕捉裝置200、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置300、計(jì)時(shí)報(bào)警 裝置400和斷電信號(hào)捕捉裝置600,還包括一個(gè)開關(guān)500,所述開關(guān)500與計(jì) 時(shí)報(bào)警裝置400串聯(lián)連接。通常情況下,開關(guān)500是閉合的,以保證整個(gè)故障報(bào)警裝置的連通。但 是,在某些情況下,例如技術(shù)人員維修設(shè)備,此時(shí)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備可能處 于工作狀態(tài),工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置300處于開啟狀態(tài),因此,整個(gè)故障報(bào) 警裝置都是導(dǎo)通的,在維修的整個(gè)工藝時(shí)間內(nèi),如果不能切斷整個(gè)故障報(bào)警 裝置,報(bào)警器就會(huì)一直出于報(bào)警狀態(tài),因此,本發(fā)明在圖4所示的故障報(bào)警 裝置上連接開關(guān)500,用于在特定情況下人為的切斷故障報(bào)警裝置,避免報(bào)警 器發(fā)出錯(cuò)誤的報(bào)警信號(hào)。此外,在整個(gè)系統(tǒng)斷電的情況下,報(bào)警裝置也會(huì)一直處于報(bào)警狀態(tài),當(dāng) 技術(shù)人員發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)斷電信息后,即可關(guān)閉開關(guān)500,避免報(bào)警器一直處于報(bào)警 狀態(tài)。本發(fā)明所述開關(guān)500較好的是采用手動(dòng)開關(guān),在需要將其斷開的情況下
直接斷開,操作簡(jiǎn)單,成本也比較低。相應(yīng)的,本發(fā)明還提供一種故障報(bào)警方法,參考附圖6所示,包括步驟S200:捕捉化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供電的信號(hào),進(jìn)入步驟S201,,判斷系 統(tǒng)是否正常供電,如果是,則繼續(xù)步驟S200,如果不是,則進(jìn)入驟S206,計(jì) 時(shí)報(bào)警裝置開始報(bào)警;同時(shí),完成步驟S200,捕捉化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供 電的信號(hào)后,進(jìn)入步驟S201:捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;之 后,進(jìn)入步驟S202:捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào);步驟S203:根 據(jù)化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào)判斷化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定的 工作狀態(tài),如果化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備未處于設(shè)定的工作狀態(tài),則返回步驟S202, 如果處于設(shè)定的工作狀態(tài),則進(jìn)入步驟S204,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置開始計(jì)時(shí),進(jìn)入 步驟S205:判斷處于該設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間是否超時(shí),如 果超時(shí),進(jìn)入步驟S206,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置開始報(bào)警,不過不超時(shí),則返回步驟 S202,繼續(xù)捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào),計(jì)時(shí)報(bào)警裝置的計(jì)時(shí)器 清零。如果技術(shù)報(bào)警裝置連續(xù)報(bào)警,可以認(rèn)為切斷報(bào)警裝置。 雖然本發(fā)明己以較佳實(shí)施例披露如上,但本發(fā)明并非限定于此。任何本 領(lǐng)域技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi),均可作各種更動(dòng)與修改, 因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1. 一種故障報(bào)警裝置,其特征在于,包括運(yùn)行指令捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,在運(yùn)行指令捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指令且工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng)處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí),報(bào)警。
2. 如權(quán)利要求1所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,所述運(yùn)行指令捕捉 裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置及計(jì)時(shí)報(bào)警裝置串聯(lián)電連接;其中所述運(yùn)行指 令捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令時(shí)導(dǎo)通;工作狀態(tài)信號(hào) 捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)導(dǎo) 通,在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)斷路。
3. 如權(quán)利要求2所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,運(yùn)行指令捕捉裝置 和工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置為繼電器。
4. 如權(quán)利要求2或3所迷的故障報(bào)警裝置,其特征在于,還包括獨(dú)立電 源,用于供電。
5. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于工作狀 態(tài)信號(hào)指化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用于放晶圓的基座下壓、抬起的信號(hào)、拋光頭 的壓力信號(hào)、拋光頭的旋轉(zhuǎn)信號(hào)或者真空室的真空狀態(tài)信號(hào)。
6. 如權(quán)利要求5所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于設(shè)定工作狀態(tài)指 化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用于放晶圓的基座下壓;而化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用于放 晶圓的基座抬起,離開設(shè)定工作狀態(tài)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,還包括開關(guān),用于切斷所述故障報(bào)警裝置。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,所述開關(guān)為手動(dòng) 開關(guān)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,所述 計(jì)時(shí)報(bào)警裝置包括串聯(lián)連接的計(jì)時(shí)器和報(bào)警器。
10. —種故障報(bào)警方法,其特征在于,包括1 )捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;2) 捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào);3) 根據(jù)工作狀態(tài)信號(hào)判斷化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定的工作狀態(tài);4) 如果處于設(shè)定的工作狀態(tài),則開始計(jì)時(shí),并判斷處于該設(shè)定工作狀 態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間是否超時(shí),如果超時(shí)則報(bào)警。
11. 如權(quán)利要求IO所述的故障報(bào)警方法,其特征在于,還包括 如果化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備未處于設(shè)定的工作狀態(tài),則返回步驟2 ); 如果處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間未超時(shí)則返回步驟2)。
12. 如權(quán)利要求10所述的故障報(bào)警方法,其特征在于,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置 持續(xù)報(bào)警時(shí),可通過開關(guān)使其停止報(bào)警。
13. —種故障報(bào)警裝置,其特征在于,包括運(yùn)行指令捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作 狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào); 斷電信號(hào)捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)的斷電信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,在運(yùn)行指令捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指 令且工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng)處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí) 或在斷電信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)的斷電信號(hào)時(shí),報(bào)警。
14. 如權(quán)利要求13所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,所述運(yùn)行指令 捕捉裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置及計(jì)時(shí)報(bào)警裝置串聯(lián)電連接;斷電信號(hào)捕 捉裝置與運(yùn)行指令捕捉裝置和工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置并聯(lián)電連接;其中所述 運(yùn)行指令捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令時(shí)導(dǎo)通;工作狀 態(tài)信號(hào)捕捉裝置在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信 號(hào)時(shí)導(dǎo)通,在捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備離開設(shè)定的工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)斷 路;斷電信號(hào)捕捉裝置在化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供電時(shí)斷開,在化學(xué)機(jī)械拋 光系統(tǒng)斷電情況下導(dǎo)通。
15. 如權(quán)利要求14所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,運(yùn)行指令捕捉 裝置、工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置和斷電信號(hào)捕捉裝置為繼電器。
16. 如權(quán)利要求14或15所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,還包括獨(dú) 立電源,用于供電。
17. 如權(quán)利要求13至15任一項(xiàng)所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于工作狀態(tài)信號(hào)指化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用于放晶圓的基座下壓、抬起的信號(hào)、拋 光頭的壓力信號(hào)、拋光頭的旋轉(zhuǎn)信號(hào)或者真空室的真空狀態(tài)信號(hào)。
18. 如權(quán)利要求17所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于設(shè)定工作狀態(tài) 指化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用于放晶圓的基座下壓;而化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中用 于放晶圓的基座抬起,離開設(shè)定工作狀態(tài)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求13至15任一項(xiàng)所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于, 還包括開關(guān),用于切斷所述故障報(bào)警裝置。
20. 根據(jù)權(quán)利要求19所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于,所述開關(guān)為 手動(dòng)開關(guān)。
21. 根據(jù)權(quán)利要求13至15任一項(xiàng)所述的故障報(bào)警裝置,其特征在于, 所述計(jì)時(shí)報(bào)警裝置包括串聯(lián)連接的計(jì)時(shí)器和報(bào)警器。
22. —種故障報(bào)警方法,其特征在于,包括 1 )捕捉化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)正常供電的信號(hào);2) 捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;3) 捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào);4) 根據(jù)工作狀態(tài)信號(hào)判斷化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定的工作狀態(tài);5) 如果處于設(shè)定的工作狀態(tài),則開始計(jì)時(shí),并判斷處于該設(shè)定工作狀 態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間是否超時(shí),如果超時(shí)則報(bào)警;化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng) 正常供電時(shí),計(jì)時(shí)報(bào)警裝置根據(jù)捕捉的化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備的工作狀態(tài)信號(hào)進(jìn) 行工作,化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)斷電時(shí),計(jì)時(shí)報(bào)警裝置報(bào)警。
23. 如權(quán)利要求22所述的故障報(bào)警方法,其特征在于,還包括 如果化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備未處于設(shè)定的工作狀態(tài),則返回步驟3 ); 如果處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間未超時(shí)則返回步驟3)。
24. 如權(quán)利要求22所述的故障報(bào)警方法,其特征在于,計(jì)時(shí)報(bào)警裝置 持續(xù)報(bào)警時(shí),可通過開關(guān)使其停止報(bào)警。
全文摘要
一種故障報(bào)警裝置,包括運(yùn)行指令捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備開始運(yùn)行的指令;工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置,用于捕捉化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備是否處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào);計(jì)時(shí)報(bào)警裝置,在運(yùn)行指令捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備運(yùn)行的指令且工作狀態(tài)信號(hào)捕捉裝置捕捉到化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)時(shí)開始計(jì)時(shí);當(dāng)處于設(shè)定工作狀態(tài)的工作狀態(tài)信號(hào)持續(xù)時(shí)間超時(shí),報(bào)警。所述裝置在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備工作過程中,出現(xiàn)電腦或者控制軟件以及化學(xué)拋光設(shè)備斷電的突發(fā)故障時(shí),可以及時(shí)報(bào)警通知工程師排除故障,避免拋光設(shè)備內(nèi)的晶圓報(bào)廢。本發(fā)明還提供了故障報(bào)警方法。
文檔編號(hào)B24B37/04GK101209541SQ20061014824
公開日2008年7月2日 申請(qǐng)日期2006年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月28日
發(fā)明者張溢鋼 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司