專利名稱：用于磨拋機的磨拋液自動輸送裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體制造設備，具體是指半導體材料表面磨拋機用磨拋液自 動輸送裝置。
背景技術：
近幾年來，隨著紅外熱成像技術的蓬勃發(fā)展，對紅外探測器的需求也與日俱 增，對紅外探測器組件芯片材料碲鎘滎和碲鋅鎘的加工要求也越來越高。因此， 為磨拋特殊紅外半導體材料碲鎘汞和碲鋅鎘表面而研制的專用磨拋處理設備一 一精密磨拋機的需求也水漲船高?，F(xiàn)有的專用磨拋機大部分還采用手動進料的 方式供給磨拋液，即費工又費時，還容易帶入雜質(zhì)污染物；雖然有少部分擁有 自動進料裝置，但其效果不是特別好，不能對磨拋液進行均勻的攪拌，使顆粒 度不大于3微米的磨拋液非常容易產(chǎn)生沉淀；同時，由于采用類似吊瓶"滴液" 的方式輸出，使得磨拋液輸出不均勻。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的技術問題是，針對現(xiàn)有技術存在的不足，提供一種用于磨拋 機的磨拋液自動輸送裝置，它應用于加工特殊紅外半導體材料表面的專用磨拋 處理設備——精密磨拋機上，可以配裝3微米以下磨料的研磨液與各類弱酸及 弱堿性拋光液，以滿足實際使用的需要；該裝置還可用于其他各類專用磨拋設 備。
本發(fā)明的技術方案是，所述用于磨拋機的磨拋液自動輸送裝置有置于滾輪 架的滾輪上的料桶，該料桶一端的端面一側設有帶密封蓋的加料口，其結構特 點是，閥座固定安裝在料桶的所述端面上，該閥座位于料桶內(nèi)的一端同取液管 的一端連接而該取液管的另一端為靠近料桶柱面內(nèi)壁的進料口，所述取液管經(jīng)閥座內(nèi)的通道與該閥座中的錐形腔連通，閥體的一端同閥座位于料桶外的一端 固定連接且該閥體上的出料口經(jīng)閥體內(nèi)腔同閥座的所述錐形腔連通；所述閥體 的另一端同閥門調(diào)節(jié)螺母的一端用螺紋連接；閥軸裝在貫通閥門調(diào)節(jié)螺母、閥 體、閥座的閥軸安裝孔中，該閥軸位于料桶中的一端與閥座的相應端之間設有 密封墊圈，且所述閥軸的該端端口經(jīng)該閥軸中的通道及進氣口同所述錐形腔連 通；可在所述閥軸安裝孔中作軸向移動的所述閥軸的錐形段位于所述閥座的錐 形腔部位而組成闊座通道的開閉結構,所述閥門調(diào)節(jié)螺母的閥軸安裝孔管底端 位于所述閥軸的臺階上；閥體的所述另一端端面上固定安裝有三個在同一圓周 平面上均勻分布的銷柱，各銷柱上分別套裝有位于閥體的該端面與鎖緊螺母之 間的彈簧，所述鎖緊螺母裝在閥門調(diào)節(jié)螺母另一端內(nèi)底面；所述閥軸位于閥門 調(diào)節(jié)螺母外的一端固定裝有止動桿安裝塊，且壓緊彈簧裝在該止動桿安裝塊與 閥門調(diào)節(jié)螺母之間，止動桿安裝塊上裝有止動桿。 以下對本發(fā)明做出進一步說明。
參見圖1和圖2，本發(fā)明有置于滾輪架的滾輪28上的料桶16，該料桶16 一端的端面一側設有帶密封蓋11的加料口，其結構特點是，閥座9固定安裝在 料桶16的所述端面上，該閥座9位于料桶16內(nèi)的一端同取液管13的一端連接 而該取液管13的另一端為靠近料桶16柱面內(nèi)壁的進料口，所述取液管13經(jīng)閥 座9內(nèi)的通道與該閥座9中的錐形腔20連通，閥體8的一端同閥座9位于料桶 16外的一端固定連接且該閥體8上的出料口 21經(jīng)閥體8內(nèi)腔同閥座9的所述 錐形腔20連通；所述閥體8的另一端同閥門調(diào)節(jié)螺母7的一端用螺紋連接；閥 軸15裝在貫通閥門調(diào)節(jié)螺母7、閥體8、閥座9的閥軸安裝孔中，該閥軸15 位于料桶16中的一端與閥座9的相應端之間設有密封墊圈14，且所述閥軸15 的該端端口經(jīng)該閥軸中的通道及進氣口 24同所述錐形腔20連通；可在所述閥軸安裝孔中作軸向移動的所述閥軸15的錐形段19位于所述閥座9的錐形腔20
部位而組成閥座通道的開閉結構，所述閥門調(diào)節(jié)螺母7的閥軸安裝孔管23底端 為于所述閥軸15上的臺階22上；閥體8的所述另一端端面上固定安裝有三個 在同一圓周平面上均勻分布的銷柱5，各銷柱5上分別套裝有位于閥體8的該 端面與鎖緊螺母4之間的彈簧6，所述鎖緊螺母4裝在閥門調(diào)節(jié)螺母7另一端 內(nèi)底面；所述閥軸15位于閥門調(diào)節(jié)螺母7外的一端固定裝有止動桿安裝塊1， 且壓緊彈簧3裝在該止動桿安裝塊1與閥門調(diào)節(jié)螺母7之間，止動桿安裝塊1 上裝有止動桿2。
本發(fā)明的技術原理是(參見圖1和圖2)，裝置工作時，料桶16水平放置 在滾輪28的上，由旋轉的滾輪28摩擦帶動料桶16繞軸線以恒定的速度旋轉， 使桶內(nèi)磨拋液中的磨料懸??；隨著料桶16 —起旋轉的料桶內(nèi)取液管13的進料 口向下經(jīng)過料液的底部，而隨著料桶16的繼續(xù)旋轉，取液管13將會帶起一些 料液；旋轉中隨著取液管13進料口的上升，料液逐漸向下流入閥座9的通道內(nèi)， 即進入閥軸15與閥座9的閥軸安裝孔之間的環(huán)隙中；控制磨拋液由該環(huán)隙進入 到錐形腔20中，是通過控制閥軸15相對于閥座9的軸向移動量，即調(diào)節(jié)閥軸 15的錐形段19相對于閥座9的錐形腔20腔壁之間的間隙大小來實現(xiàn)的，可以 控制磨拋液流量的大小和通、斷。閥軸15的軸向位置由旋轉閥門調(diào)節(jié)螺母7 來控制，它可打開或關閉閥門、調(diào)接閥門的開度。
本發(fā)明中，磨拋液流過閥座9的通道，再流經(jīng)閥體8的邊緣，最后從出料 口21滴入引料槽27，并順著導流線29滴入到精密磨拋機的磨盤中。同時，空 氣從閥軸15的進氣口 24進入，再經(jīng)過閥軸15中的通道進入料桶16，使桶內(nèi) 壓力保持平衡，拋磨液能順暢流出。
在本發(fā)明裝置工作時，要求不要改變料桶16的預定裝配設置，這就要求閥門調(diào)節(jié)螺母7和閥體8之間的螺紋配合要緊一點，而且可以調(diào)節(jié)；因此，本發(fā) 明將鎖緊螺母4旋進閥門調(diào)節(jié)螺母7內(nèi)螺紋中，并將三個彈簧6套到相應的銷
柱5上去，并在裝配時使所述彈簧6處于被壓縮狀態(tài)，則彈簧的復位張力能使 閥門調(diào)節(jié)螺母7與閥體8為張緊連接。
在本發(fā)明裝置在運動時，所述閥門組件是隨料桶16—同旋轉的。為了防止 磨拋液中的磨料阻塞閥門，從而導致通道堵死，必須用止動桿2來阻止閥軸15 的旋轉，即相對地面使止動桿2為靜止，則閥軸15不能隨料桶16轉動；為此， 本發(fā)明在止動桿安裝塊1和閥門調(diào)節(jié)螺母7的對應端面之間設置一壓緊彈簧3， 且該壓緊彈簧3在裝配時亦為壓縮狀態(tài)，該彈簧的復位張力使所述止動桿安裝 塊1脫離閥門調(diào)節(jié)螺母7的對應端面，這樣就使閥門臺階22在旋轉時可以承受 閥門調(diào)節(jié)螺母7的作用力，該作用力經(jīng)所述閥軸安裝孔管23底端傳遞；從而保 證了閥門調(diào)節(jié)螺母在工作時處于正確的位置，也保證了閥門打開程度的準確。
所述墊圈14支撐閥軸15的末端，而且從閥座9內(nèi)密封住料桶。
所述料桶16端面上帶有密封襯墊IO和帶密封蓋11的加料口用于加裝料液 (拋磨液)。裝配時，應使所述取液管13不擋住料桶16上的加料口 11。
由以上可知，本發(fā)明為一種用于磨拋機的磨拋液自動輸送裝置，它具有如 下優(yōu)點
a. 結構簡單，體積小，便于加工裝配。
b. 磨拋液輸出的流量可調(diào)，可分為3種輸出流量，輸出的流量均勻穩(wěn)定。
c. 適用于金相組織、陶瓷、晶體、玻璃等多種專用磨拋設備。
d. 適用于各種不同的研磨拋光液，并能夠均勻攪拌。


圖l為本發(fā)明裝置一種實施例的外形圖2為圖l所示裝置帶局部剖視的結構圖(未畫出滾輪24)。
在圖中
1—-止動桿安裝塊，2—-止動桿，3—-壓緊彈簧，
4—-鎖緊螺母，5—-銷柱，6—-彈簧，
7—-閥門調(diào)節(jié)螺母，8—-閥體，9—-閥座，
10-一密封襯墊，ll--料筒密封螺釘，12-一密封圈，
13-一取液管，14-一墊圈，15-_閥軸，
16-一料桶，17-_平墊圈，18-一緊固螺釘，
23-一填充線，24-一參考線，25-一料液線，
26-一料桶旋轉軸，27-一引料槽，28-_滾輪，
29-一導流線。
具體實施例方式
如圖1和圖2所示，本發(fā)明所述用于磨拋機的磨拋液自動輸送裝置有置于 滾輪架的滾輪28上的料桶16，該料桶16 —端的端面一側設有帶密封蓋11的 加料口，其結構特點是，閥座9固定安裝在料桶16的所述端面上，該閥座9 位于料桶16內(nèi)的一端同取液管13的一端連接而該取液管13的另一端為靠近料 桶16柱面內(nèi)壁的進料口，所述取液管13經(jīng)閥座9內(nèi)的通道與該閥座9中的錐 形腔20連通，閥體8的一端同閥座9位于料桶16外的一端固定連接且該閥體 8上的出料口 21經(jīng)閥體8內(nèi)腔同閥座9的所述錐形腔20連通；所述閥體8的 另一端同閥門調(diào)節(jié)螺母7的一端用螺紋連接；閥軸15裝在貫通閥門調(diào)節(jié)螺母7、 閥體8、閥座9的閥軸安裝孔中，該閥軸15位于料桶16中的一端與闊座9的相應端之間設有密封墊圈14，且所述閥軸15的該端端口經(jīng)該閥軸中的通道及 進氣口 24同所述錐形腔20連通；可在所述閥軸安裝孔中作軸向移動的所述閥
軸15的錐形段19位于所述閥座9的錐形腔20部位而組成閥座通道的開閉結構， 所述閥門調(diào)節(jié)螺母7的閥軸安裝孔管23底端為于所述闊軸15上的臺階22上； 閥體8的所述另一端端面上固定安裝有三個在同一圓周平面上均勻分布的銷柱 5，各銷柱5上分別套裝有位于閥體8的該端面與鎖緊螺母4之間的彈簧6，所 述鎖緊螺母4裝在閥門調(diào)節(jié)螺母7另一端內(nèi)底面；所述閥軸15位于閥門調(diào)節(jié)螺 母7外的一端固定裝有止動桿安裝塊1，且壓緊彈簧3裝在該止動桿安裝塊1 與閥門調(diào)節(jié)螺母7之間，止動桿安裝塊1上裝有止動桿2。
本發(fā)明中，可以按圖1所示在閥門和料桶上標記填充線23、參考線24、料 液線25等，以便于掌握閥門的開度和開、閉狀態(tài)。使用時，可首先將閥門調(diào)節(jié) 螺母7向右旋轉直至擰不動，感到閥門已鎖死。這時零位置線和閥門上的參考 線24—致。擰開閥門調(diào)節(jié)螺母7—周(可能在閥門脫開時會聽到一聲"卡踏" 聲)，這時零位置線和參考線24再次重合。還應確保引料槽27和導流線29已 到位。打開自動喂料系統(tǒng)開關，并轉動磨(拋)盤。檢査料桶是否象正常工作， 在機器運轉幾分鐘后，檢查料液的流速。然后，關掉自動喂料開關。用一只手 支撐自動喂料料桶，調(diào)節(jié)閥門到一個合適的流速。如果需要的話，調(diào)節(jié)引料槽 的位置，以接住滴下的料液。重新啟動自動喂料系統(tǒng)，查看料液的流速。在重 新添料時，料桶的工作時間隨設定而改變，對于粗的磨拋料液， 一般為2-3小 時。
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權利要求
1、一種用于磨拋機的磨拋液自動輸送裝置，有置于滾輪架的滾輪(28)上的料桶(16)，該料桶(16)一端的端面一側設有帶密封蓋(11)的加料口，其特征是，閥座(9)固定安裝在料桶(16)的所述端面上，該閥座(9)位于料桶(16)內(nèi)的一端同取液管(13)的一端連接而該取液管(13)的另一端為靠近料桶(16)柱面內(nèi)壁的進料口，所述取液管(13)經(jīng)閥座(9)內(nèi)的通道與該閥座(9)中的錐形腔(20)連通，閥體8的一端同閥座(9)位于料桶(16)外的一端固定連接且該閥體(8)上的出料口(21)經(jīng)閥體(8)內(nèi)腔同閥座(9)的所述錐形腔(20)連通；所述閥體(8)的另一端同閥門調(diào)節(jié)螺母(7)的一端用螺紋連接；閥軸(15)裝在貫通閥門調(diào)節(jié)螺母(7)、閥體(8)、閥座(9)的閥軸安裝孔中，該閥軸(15)位于料桶(16)中的一端與閥座(9)的相應端之間設有密封墊圈(14)，且所述閥軸(15)的該端端口經(jīng)該閥軸中的通道及進氣口(24)同所述錐形腔(20)連通；可在所述閥軸安裝孔中作軸向移動的所述閥軸(15)的錐形段(19)位于所述閥座9的錐形腔(20)部位而組成閥座通道的開閉結構，所述閥門調(diào)節(jié)螺母(7)的閥軸安裝孔管(23)底端為于所述閥軸(15)上的臺階(22)上；閥體(8)的所述另一端端面上固定安裝有三個在同一圓周平面上均勻分布的銷柱(5)，各銷柱(5)上分別套裝有位于閥體(8)的該端面與鎖緊螺母(4)之間的彈簧(6)，所述鎖緊螺母4裝在閥門調(diào)節(jié)螺母(7)另一端內(nèi)底面；所述閥軸(15)位于閥門調(diào)節(jié)螺母(7)外的一端固定裝有止動桿安裝塊(1)，且壓緊彈簧(3)裝在該止動桿安裝塊(1)與閥門調(diào)節(jié)螺母(7)之間，止動桿安裝塊(1)上裝有止動桿(2)。
全文摘要
一種用于磨拋機的磨拋液自動輸送裝置，由置于滾輪架上的料桶和安裝在料桶一端的調(diào)節(jié)閥門組成，所述調(diào)節(jié)閥門由鎖緊螺母、銷柱、彈簧、閥門調(diào)節(jié)螺母、閥體、閥座、取液管、閥軸組裝而成。它結構簡單、體積小、便于加工裝配，且磨拋液輸出的流量可調(diào)、輸出的流量均勻穩(wěn)定，適用于金相組織、陶瓷、晶體、玻璃等多種專用磨拋設備，可使用各種不同的研磨拋光液，并能夠均勻攪拌。
文檔編號B24B57/02GK101468450SQ200710303419
公開日2009年7月1日 申請日期2007年12月25日 優(yōu)先權日2007年12月25日
發(fā)明者周健伊, 易臻希, 程遠貴, 超 蔣, 陳延斌 申請人:中國電子科技集團公司第四十八研究所