專利名稱：電子槍發(fā)射體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于光學(xué)鍍膜設(shè)備電子槍零部件技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種電子槍發(fā)射體。
背景技術(shù)：
電子槍由于發(fā)射功率大，輸出束流穩(wěn)定，電子束流熔點(diǎn)高，能夠輕易地融化高熔點(diǎn) 的金屬材料，蒸發(fā)過程中膜料表面平整，蒸發(fā)分布均勻，所以廣泛應(yīng)用于真空鍍膜行業(yè)。 電子槍發(fā)射體是電子槍的核心部件，目前的電子槍發(fā)射體由左、右陰極、高壓電 極2個(gè)、燈絲、燈絲壓塊2個(gè)，燈絲定位塊2個(gè)、柵極、加速極、陽(yáng)極、底座、頂板、絕緣固定板 和4個(gè)絕緣柱等18個(gè)結(jié)構(gòu)件組成?；竟ぷ髟硎请娮訕尠l(fā)射體上裝有燈絲，由燈絲變 壓器提供一個(gè)大的燈絲電流使燈絲發(fā)熱后并輻射出大量熱電子形成電子束。同時(shí)燈絲加 有-4KV -10KV電壓，使燈絲產(chǎn)生的電子束對(duì)坩堝具有-4KV -10KV的電勢(shì)，從而使得電 子束具有很大的動(dòng)能。槍體提供一個(gè)均勻磁場(chǎng)，使電子束發(fā)生270度偏轉(zhuǎn)，在槍體磁場(chǎng)的作 用下電子束聚焦、做定向運(yùn)動(dòng)打入坩堝內(nèi)使膜料在真空室內(nèi)融化升華，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的功 能。 現(xiàn)在的電子槍發(fā)射體結(jié)構(gòu)件較多且復(fù)雜，關(guān)鍵結(jié)構(gòu)件之間位置精度不宜保證，在 槍體受熱后位置容易變動(dòng)，致使電子槍在使用中容易發(fā)生打火現(xiàn)象，影響鍍膜時(shí)膜料蒸發(fā) 的均勻性。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、低成本、定位精度與裝配精度高的的電子槍發(fā)射 體。 —種電子槍發(fā)射體，包括固定絕緣板，所述固定絕緣板上設(shè)置頂板、陽(yáng)極、左陰極、 右陰極、燈絲、加速極、柵極，所述頂板下方設(shè)置所述陽(yáng)極，所述陽(yáng)極下方設(shè)置所述加速極， 所述加速極下方設(shè)置燈絲和柵極，所述柵極設(shè)置在燈絲兩側(cè)，所述燈絲下方設(shè)置燈絲壓塊， 燈絲壓塊下方設(shè)置左陰極和右陰極。 本實(shí)用新型左、右陰極上端固定燈絲為電子束的發(fā)射體。燈絲上端固定有柵極，限 制電子束發(fā)射面。柵極前端裝有加速極為電子束提供加速電壓。陽(yáng)極提供的是陽(yáng)極電壓，與 加速極連接在一起，并且與大地相連，這樣就形成了陽(yáng)極與柵極之間具有-4KV——10KV加 速電場(chǎng)。固定絕緣板用來使陰極與陽(yáng)極連接成一體，起到絕緣電壓的作用，頂板是用來防止 發(fā)射體免受污染。由上述幾個(gè)結(jié)構(gòu)件組成了電子槍發(fā)射體，降低制造成本。二是裝配簡(jiǎn)單易 于操作，三是保證了關(guān)鍵部件的定位精度及裝配精度，使電子槍發(fā)射體在使用中穩(wěn)定可靠。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明


圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖；[0010] 圖2是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖；。
具體實(shí)施方式
如
圖1 、圖2所示， 一種電子槍發(fā)射體，包括固定絕緣板9，所述固定絕緣板9上設(shè) 置頂板8、陽(yáng)極7、左陰極1、右陰極2、燈絲4、加速極6、柵極5，所述頂板8下方設(shè)置所述陽(yáng) 極7，所述陽(yáng)極7下方設(shè)置所述加速極6，所述加速極6下方設(shè)置燈絲4和柵極5，所述柵極 5設(shè)置在燈絲4兩側(cè)，所述燈絲4下方設(shè)置燈絲壓塊3，燈絲壓塊3下方設(shè)置左陰極1和右 陰極2。 左陰極與右陰極之間是完全絕緣的，左陰極頂端與柵極用螺釘固定連接，柵極的 右端與右陰極的頂端覆蓋的三個(gè)面間隔距離為0. 5mm，本設(shè)計(jì)加長(zhǎng)了左陰極與柵極的連接 尺寸，采用過渡配合方式，使柵極固定位置準(zhǔn)確穩(wěn)定，并拆卸安裝方便。避免了人工裝配時(shí) 位置固定不準(zhǔn)確，柵極前后擺動(dòng)現(xiàn)象，使發(fā)射體在高溫工作中柵極位置不會(huì)產(chǎn)生偏移，保證 了柵極與右陰極頂端的三面間隔距離尺寸，從而避免發(fā)生短路現(xiàn)象，使電子槍發(fā)射體運(yùn)行 穩(wěn)定可靠， 基本工作原理是電子槍發(fā)射體上裝有燈絲，由燈絲變壓器提供一個(gè)大的燈絲電流 使燈絲發(fā)熱后并輻射出大量熱電子形成電子束。同時(shí)燈絲加有-4KV -10KV電壓，使燈絲 產(chǎn)生的電子束對(duì)坩堝具有-4KV -10KV的電勢(shì)，從而使得電子束具有很大的動(dòng)能。槍體提 供一個(gè)均勻磁場(chǎng)，使電子束發(fā)生270度偏轉(zhuǎn)，在槍體磁場(chǎng)的作用下電子束聚焦、做定向運(yùn)動(dòng) 打入坩堝內(nèi)使膜料在真空室內(nèi)融化升華，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜的功能。 本實(shí)用新型左、右陰極上端固定燈絲為電子束的發(fā)射體。燈絲上端固定有柵極，限 制電子束發(fā)射面。柵極前端裝有加速極為電子束提供加速電壓。陽(yáng)極提供的是陽(yáng)極電壓，與 加速極連接在一起，并且與大地相連，這樣就形成了陽(yáng)極與柵極之間具有-4KV——10KV加 速電場(chǎng)。固定絕緣板用來使陰極與陽(yáng)極連接成一體，起到絕緣電壓的作用，頂板是用來防止 發(fā)射體免受污染。由上述幾個(gè)結(jié)構(gòu)件組成了電子槍發(fā)射體，降低制造成本。二是裝配簡(jiǎn)單易 于操作，三是保證了關(guān)鍵部件的定位精度及裝配精度，使電子槍發(fā)射體在使用中穩(wěn)定可靠。
權(quán)利要求一種電子槍發(fā)射體，包括固定絕緣板，其特征在于所述固定絕緣板上設(shè)置頂板、陽(yáng)極、左陰極、右陰極、燈絲、加速極、柵極，所述頂板下方設(shè)置所述陽(yáng)極，所述陽(yáng)極下方設(shè)置所述加速極，所述加速極下方設(shè)置燈絲和柵極，所述柵極設(shè)置在燈絲兩側(cè)，所述燈絲下方設(shè)置燈絲壓塊，燈絲壓塊下方設(shè)置左陰極和右陰極。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種電子槍發(fā)射體，包括固定絕緣板，所述固定絕緣板上設(shè)置頂板、陽(yáng)極、左陰極、右陰極、燈絲、加速極、柵極，本實(shí)用新型左、右陰極上端固定燈絲為電子束的發(fā)射體。燈絲上端固定有柵極，限制電子束發(fā)射面。固定絕緣板用來使陰極與陽(yáng)極連接成一體，起到絕緣電壓的作用，頂板是用來防止發(fā)射體免受污染。由上述幾個(gè)結(jié)構(gòu)件組成了電子槍發(fā)射體，降低制造成本。裝配簡(jiǎn)單易于操作，保證了關(guān)鍵部件的定位精度及裝配精度，使電子槍發(fā)射體在使用中穩(wěn)定可靠。
文檔編號(hào)C23C14/30GK201525880SQ200920092610
公開日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2009年8月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月26日
發(fā)明者黨亞軍, 楊育興, 陳杰 申請(qǐng)人:河南中光學(xué)集團(tuán)有限公司