e型電子槍磁場調節(jié)器的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種e型電子槍磁場調節(jié)器。
【背景技術】
[0002]現(xiàn)有的e型電子槍磁場是通過放置單一永磁鐵來調整磁場的，沒有調節(jié)性，僅能對一種真空靶材進行設置，具有單一性和局限性。
[0003]更換其它真空靶材溶解時，產生兩種現(xiàn)象，一種是能量過于集中，導致真空靶材飛濺，嚴重時，飛濺的真空靶材進入到旋轉坩禍中去，導致坩禍卡死。另外一種，由于能量過小，溶解過慢，導致加工零件表面產生霧化等缺陷。
[0004]因此，e型電子槍在進行溶解真空靶材時，需要一個穩(wěn)定磁場的作用，還需要穩(wěn)定磁場在對于不同真空靶材具有可調節(jié)性，因此，單一的永磁鐵所產生的磁場無法滿足其要求，在真空溶解時產生較大的缺陷。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型要解決的技術問題是為了克服e型電子槍由于磁場不穩(wěn)定引起的聚焦不良，提供一種e型電子槍磁場調節(jié)器。
[0006]本實用新型是通過下述技術方案來解決上述技術問題:
[0007]一種e型電子槍磁場調節(jié)器，其包括調節(jié)器外殼、刻度尺、永磁鐵滑塊和固定螺栓，所述調節(jié)器外殼有兩排滑道，所述刻度尺的范圍為1-lOcm，所述永磁鐵滑塊帶有內螺紋，所述固定螺栓帶有外螺紋，能夠把永磁鐵滑塊固定在調節(jié)器的外殼上及把調節(jié)器固定在旋轉坩禍外殼上。
[0008]較佳地，所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述調節(jié)器外殼上有刻度尺，所述可以讀取相應的刻度值。
[0009]較佳地，所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述永磁鐵滑塊可以在調節(jié)器外殼上滑動。
[0010]較佳地，所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述固定螺栓把永磁鐵滑塊固定在調節(jié)器外殼上固定位置，所述固定螺栓把調節(jié)器固定在旋轉坩禍外殼上。
[0011]較佳地，所述調節(jié)器外殼和所述固定螺栓均材料為鐵，所述永磁鐵滑塊材料為磁鐵。
[0012]本實用新型的積極進步效果在于:通過使用永磁鐵滑塊在調節(jié)器外殼上的滑道滑動，調節(jié)分布在e型電子槍周圍的磁場，這樣，在進行不同真空靶材溶解時，電子槍光斑能量穩(wěn)定。隨著真空靶材種類的增多，為光學薄膜設計和生產提供更多的選擇。而且，本實用新型具有結構簡單、裝配工藝簡單、成本低的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型較佳實施例的立體示意圖。
[0014]圖2為本實用新型較佳實施例的正視示意圖。
[0015]圖3為圖2中的A-A剖視示意圖。
[0016]圖中各附圖標記依次表示為:調節(jié)器外殼(1)、刻度尺(2)、永磁鐵滑塊(3)和固定螺栓A (4)、固定螺栓B (5)、固定螺栓C (6)、固定螺栓D (7)。
【具體實施方式】
[0017]下面舉個較佳實施例，并結合附圖來更清楚完整地說明本實用新型。
[0018]如圖1和圖2所示，一種e型電子槍磁場調節(jié)器，其包括調節(jié)器外殼(1)、刻度尺
(2)、永磁鐵滑塊(3)和固定螺栓A (4)、固定螺栓B (5)、固定螺栓C (6)、固定螺栓D (7)，所述調節(jié)器外殼(1)有兩排滑道，所述刻度尺(2)的范圍為1cm至10cm，所述永磁鐵滑塊(3)帶有內螺紋，所述固定螺栓A(4)帶有外螺紋，能夠把永磁鐵滑塊(3)固定在調節(jié)器的外殼(1)上，所述固定螺栓B (5)、固定螺栓C (6)、固定螺栓D (7)帶有外螺紋，能夠把調節(jié)器固定在旋轉坩禍外殼上。
[0019]調節(jié)器外殼⑴上有刻度尺(2)，可以讀取相應的刻度值。永磁鐵滑塊(3)可以在調節(jié)器外殼上滑動。固定螺栓A(4)把永磁鐵滑塊固定在調節(jié)器外殼上固定位置，固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)把調節(jié)器固定在旋轉坩禍外殼上。調節(jié)器外殼(1)和固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)材料均為鐵，所述永磁鐵滑塊材料為磁鐵。
[0020]使用時，根據(jù)e型電子槍真空鍍膜時，選擇的真空靶材不同，把永磁鐵固定到特定的位置上，并記錄好兩側刻度值，以便第二次使用，這樣對于不同真空靶材，永磁鐵的位置會產生相應的變化，使e型電子槍獲得均勻穩(wěn)定的磁場，達到良好的聚焦特性。
[0021]本實用新型的積極進步效果在于:通過使用永磁鐵滑塊在調節(jié)器外殼上的滑道滑動，調節(jié)分布在e型電子槍周圍的磁場，這樣，在進行不同真空靶材溶解時，電子槍光斑能量穩(wěn)定。隨著真空靶材種類的增多，為光學薄膜設計和生產提供更多的選擇。而且，本實用新型具有結構簡單、裝配工藝簡單、成本低的優(yōu)點。
[0022]在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0023]雖然以上描述了本實用新型的【具體實施方式】，但是本領域的技術人員應當理解，這僅是舉例說明，本實用新型的保護范圍是由所附權利要求書限定的。本領域的技術人員在不背離本實用新型的原理和實質的前提下，可以對這些實施方式做出多種變更或修改，但這些變更和修改均落入本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種e型電子槍磁場調節(jié)器，其包括調節(jié)器外殼(1)、刻度尺(2)、永磁鐵滑塊(3)和固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)，所述調節(jié)器外殼(1)有兩排滑道，所述刻度尺(2)的范圍為1cm至10cm，所述永磁鐵滑塊(3)帶有內螺紋，所述固定螺栓A(4)帶有外螺紋，能夠把永磁鐵滑塊(3)固定在調節(jié)器的外殼(1)上，所述固定螺栓B (5)、固定螺栓C (6)、固定螺栓D (7)帶有外螺紋，能夠把調節(jié)器固定在旋轉坩禍外殼上。2.如權利要求1所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述調節(jié)器外殼(1)上有刻度尺(2)，所述刻度尺(2)可以讀取相應的刻度值。3.如權利要求1所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述永磁鐵滑塊(3)可以在調節(jié)器外殼上滑動。4.如權利要求1所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述固定螺栓A(4)把永磁鐵滑塊(3)固定在調節(jié)器外殼(1)上，所述固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)把調節(jié)器固定在旋轉坩禍外殼上。5.如權利要求1所述的電子槍磁場調節(jié)器，其特征在于，所述調節(jié)器外殼(1)和所述固定螺栓A(4)、固定螺栓B(5)、固定螺栓C(6)、固定螺栓D(7)材料均為鐵，所述永磁鐵滑塊(3)材料為磁鐵
【專利摘要】本實用新型公開了一種e型電子槍磁場調節(jié)器，其包括調節(jié)器外殼、刻度尺、永磁鐵滑塊和固定螺栓，所述調節(jié)器外殼有兩排滑道，所述刻度尺的范圍為1cm至10cm，所述永磁鐵滑塊帶有內螺紋，所述固定螺栓帶有外螺紋，能夠把永磁鐵滑塊固定在調節(jié)器的外殼上及把調節(jié)器固定在旋轉坩堝外殼上。本實用新型具有結構簡單、裝配工藝簡單、成本低的優(yōu)點。
【IPC分類】C23C14/30
【公開號】CN204982039
【申請?zhí)枴緾N201520662102
【發(fā)明人】劉凱, 宋佳妮, 盧玲, 苗瑩, 馬瑩瑩, 王丹, 董括, 薛嘉睿, 肖靜波
【申請人】吉林電子信息職業(yè)技術學院
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年8月29日