專利名稱:一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及平板式等離子鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,更具體的是涉及一種去除平板 式等離子鍍膜設(shè)備灰塵的裝置。
背景技術(shù):
目前,光學器件,太陽電池及半導體等行業(yè)都需要用到平板式等離子鍍膜設(shè)備,該 設(shè)備的工作原理是在密閉的真空腔體內(nèi),通入不同的可反應的氣體,通過等離子放電發(fā)后 激發(fā)氣體產(chǎn)生化學反應形成所需要的化合物沉積到需要鍍膜的工件表面。這個設(shè)備的優(yōu)點 在于能夠大量生產(chǎn),膜層均勻穩(wěn)定,致密性好。但是目前此設(shè)備都有一個共性的問題,流水 線生產(chǎn)中,在密閉輕體內(nèi)會沉積較厚的鍍膜成分,形成污染,鍍膜完成后掉落在工件表面, 對于光學器件或太陽能,半導體等行業(yè)來說,這樣的污染必然影響產(chǎn)品品質(zhì)。并且受流水線 生產(chǎn)的限制,沒有足夠的時間打開真空腔體進行清潔維護或通入腐蝕氣體將不需要的沉積 層去除。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)之不足而提供的一種不僅結(jié)構(gòu)簡單合 理、使用方便,而且能解決等離子鍍膜設(shè)備流水線生產(chǎn)過程中,共性的灰塵沾染問題的平板 式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置。本實用新型是采用如下技術(shù)解決方案來實現(xiàn)上述目的一種平板式等離子鍍膜設(shè) 備除塵裝置,設(shè)置在平板式鍍膜設(shè)備的出口處,其特征在于,它包括一垂直于載板移動方向 的風刀,風刀設(shè)置在一端密閉的管上,該管外接空氣壓縮機。作為上述方案的進一步說明,所述管的側(cè)面設(shè)置吹風口以吹除灰塵并按設(shè)計方向 移動,載板的下方風刀吹掃方向的延長線上設(shè)置吸塵口,吸塵口上安裝吸塵器。所述吸塵器采用負壓吸塵裝置。所述風刀的吹掃方向與載板平面呈30-60度夾角。所述載板外側(cè)設(shè)置有位置傳感器,該位置傳感器控制空氣壓縮機的壓縮空氣電磁 閥門開閉。本實用新型采用上述技術(shù)解決方案所能達到的有益效果是本實用新型采用在平板式鍍膜設(shè)備的出口處,增加一個垂直于載板移動方向的風 刀,該風刀的原理是在一端密閉的管上,在特定方向上開口,通入壓縮空氣后,氣體從管的 側(cè)面吹出,以吹除灰塵并按設(shè)計方向移動,掉落在與之配合的吸塵口處,由吸塵器吸走。此 方法結(jié)構(gòu)簡單,裝置可在載板運行到出料口時自動啟動,有效的去除鍍膜工件表面灰塵,并 且在流水線生產(chǎn)過程中,不增加額外的手動操作和影響節(jié)拍時間。
圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖;[0012]附圖標記說明1、平板式鍍膜設(shè)備2、載板3、風刀4、吸塵器。
具體實施方式
如圖1所示,本實用新型一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,設(shè)置在平板式鍍 膜設(shè)備1的出口處,它包括一垂直于載板2移動方向的風刀3,風刀3設(shè)置在一端密閉的管 上,該管外接空氣壓縮機。管的側(cè)面設(shè)置吹風口以吹除灰塵并按設(shè)計方向移動,風刀吹掃方 向的延長線上設(shè)置吸塵口,吸塵口上安裝吸塵器4。吸塵器一般采用負壓吸塵裝置。風刀的 吹掃方向與載板平面呈30-60度夾角。載板外側(cè)設(shè)置有位置傳感器,該位置傳感器控制空 氣壓縮機的壓縮空氣電磁閥門開閉。使用過程中,載板運行到出料口時,被位置傳感器感應到,控制壓縮空氣電磁閥門 打開,壓縮空氣從風刀口吹出,對鍍膜后的物件進行吹掃,配合安裝在載板下方的吸塵裝置 將吹下的灰塵吸走,以達到去除回程的效果。以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式,應當指出,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說,在不脫離本實用新型創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進,這些都屬 于本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,設(shè)置在平板式鍍膜設(shè)備的出口處,其特征在 于,它包括一垂直于載板移動方向的風刀,風刀設(shè)置在一端密閉的管上,該管外接空氣壓縮 機。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,其特征在于,所述管 的側(cè)面設(shè)置吹風口,載板的下方設(shè)置吸塵口,吸塵口上安裝吸塵器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,其特征在于,所述吸 塵器采用負壓吸塵裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,其特征在于,所述風 刀的吹掃方向與載板平面呈30-60度夾角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,其特征在于,所述載 板外側(cè)設(shè)置有位置傳感器,該位置傳感器控制空氣壓縮機的壓縮空氣電磁閥門開閉。
專利摘要本實用新型公開了一種平板式等離子鍍膜設(shè)備除塵裝置,設(shè)置在平板式鍍膜設(shè)備的出口處,其特征在于,它包括一垂直于載板移動方向的風刀,風刀設(shè)置在一端密閉的管上,該管外接空氣壓縮機。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,裝置可在載板運行到出料口時自動啟動,有效的去除鍍膜工件表面灰塵,并且在流水線生產(chǎn)過程中,不增加額外的手動操作和影響節(jié)拍時間。
文檔編號C23C16/00GK201908129SQ20102066657
公開日2011年7月27日 申請日期2010年12月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月18日
發(fā)明者李云峰 申請人:廣東愛康太陽能科技有限公司