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      積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備的制作方法

      文檔序號:3415942閱讀:253來源:國知局
      專利名稱:積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備的制作方法
      技術領域
      本發(fā)明涉及一種真空鍍膜設備,特別是一種在金屬(銅或鋁)卷繞條帶上連續(xù)鍍制太陽能選擇性吸收涂層,應用于太陽能平板式集熱器上的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備。
      背景技術
      為了節(jié)約能源、保護環(huán)境、提高人民生活水平,我國太陽熱水器產業(yè)在近十多年內迅猛發(fā)展。太陽熱水器生產量和銷售量都飛速增長。如今,我國已成為世界上太陽熱水器的生產和銷售大國,年銷售量和總保有量都居世界第一位。我國太陽熱水器種類甚多,有真空管熱水器、平板型熱水器、悶曬型熱水器等幾大類,以真空管熱水器為主。但真空管太陽能熱水器存在易爆管、維修不方便,與建筑結合存在不美觀等缺陷。而在國外,大多采用平板型熱水器。我國一些大型太陽能熱水工程也多采用平板型太陽能集熱器,但所使用的金屬條帶太陽能吸收膜主要靠進口。由于平板型太陽能熱水器采用金屬板材作吸熱核心元器件,具有堅固耐用等優(yōu)點,能與建筑完美結合,克服了真空管太陽能熱水器在安裝、維護及使用壽命,與建筑結合等不足之處。太陽能平板型熱水器采用的是平板金屬條帶作為核心吸熱元件,因此,集熱板表面的選擇性吸附涂層的鍍制質量與性能以及耐氣候性,是決定整個太陽能熱水設備的關鍵技術,而金屬條帶連續(xù)卷繞設備則是制備金屬條帶選擇性吸附涂層的關鍵設備。國內目前使用的是陽極氧化(電鍍)技術生產太陽能平板集熱器,該技術損害環(huán)境,有電鍍污水,已被限制生產同時產品質量低劣,發(fā)射率極高;另外還有采用噴涂技術生產太陽能平板集熱器,該技術生產的產品質量更差,吸收率低,發(fā)射率更高。采用真空磁控濺射技術鍍制太陽能平板集熱器的也是一些單室小型設備,產品質量也極不穩(wěn)定?,F(xiàn)有的金屬條帶連續(xù)卷繞鍍膜裝置大多是箱體式的,放卷室、收卷室和濺射室均在一個箱式體內。中國專利200420077793. 6公開的一種太陽能選擇性吸附涂層連續(xù)鍍膜裝置,所述真空室與真空室兩室之間設置一個獨立的過度裝置,雖然完成單個室獨立連續(xù)鍍膜,但上述的設備在鍍制過程中,工件在每一個鍍膜之后,都會脫落真空環(huán)境之后進入真空過度裝置中,這樣由于在兩次鍍制過程中工件在溫度和真空條件變化下,容易影響膜層質量。中國專利200810M1896. 7公開的一種連續(xù)卷繞式磁控濺真空鍍膜裝置,在其真空室內腔中水平設置有由三個輥構成的三角形張力控制裝置,此裝置結構使金屬條帶卷彎半徑小,易將鍍膜后膜層損壞。另外,上述兩種金屬條帶連續(xù)卷繞鍍膜裝置在工藝室中部設有工藝室隔離板,將工藝室隔離成兩個獨立的腔體,原材料消耗和工藝能耗都比較大。

      發(fā)明內容
      本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術的上述不足,而提供一種積木式結構的金屬條帶連
      續(xù)卷繞真空鍍膜設備。本發(fā)明的技術方案是一種積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,包括卷室放、收卷室和積木式真空室,真空室分別為離子源轟擊清洗室、獨立氣體隔離室、真空濺射室、中頻濺射室和檢測室,每個積木式真空室均有獨立的真空系統(tǒng),卷室放的一端與第一個積木式真空室連接,另一端與真空機組連接,收卷室與最后一個積木式真空室連接,另一端與真空機組連接。積木式真空室有十三個,第一個和第二個真空室為離子源轟擊清洗室,第三個和第十個真空室為獨立氣體隔離室,第四個到第九個真空室為真空濺射室,每個真空濺射室中都裝有兩個直流濺射靶,第十一個和第十二個真空室為中頻濺射室,每個中頻濺射室中都裝有兩個中頻濺射靶,第十三個真空室為檢測室。積木式真空室由真空室體和密封蓋組成,真空室體和密封蓋通過鉸鏈連接;真空室體的上面有開口,側面有供金屬條帶通過的長方形行進窗、連接螺栓孔和用于安裝密封圈的密封槽,真空室與真空室之間通過連接螺栓和密封圈密封連接為一個整體。真空室體側面還安裝有托輥。真空室體側面還安裝有行進窗調整塊。密封蓋上有密封圈。密封蓋上有密封件。密封蓋上有觀察窗。本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比,具有如下特點
      一、積木式結構可以根據(jù)工藝要求進行真空室功能拼裝與增減,有利于達到工藝所需要求,如第一個和第二個真空室做清洗金屬條帶的離子源轟擊清洗室,如清洗不干凈也可以增加一個真空室做清洗金屬條帶的離子源轟擊清洗室,其他功能室也可類似進行拼裝調整,該結構新穎、簡單、實用。二、采用積木式結構,整個金屬條帶在每個真空室中的托輥的作用下,成水平勻速運動,保持了金屬條帶不卷彎,不跳動,加上勻速的線速度控制和高精度的漲力控制,使得金屬條帶平穩(wěn),從而保證膜層質量的穩(wěn)定。三、金屬條帶是水平直線勻速運動的,從而攻克了現(xiàn)有技術因金屬條帶卷彎半徑小,易將鍍膜后膜層損壞等技術難題,同時節(jié)省原材料及能耗。四、采用積木式結構在制備金屬條帶的整個流程中,金屬條帶自始至終都處于相同真空環(huán)境下,不露大氣,保證了膜層顏色、厚度的一致性,性能穩(wěn)定,同時真正實現(xiàn)了成卷的金屬條帶進行長時間連續(xù)鍍膜生產,效率高,適合大規(guī)模工業(yè)化生產。以下結合圖和具體實施方式
      對本發(fā)明的詳細結構作進一步描述。


      圖1為本發(fā)明的結構示意圖; 圖2為圖1的俯視圖3為本發(fā)明真空室的結構示意圖; 圖4為圖3的左視圖; 圖5為圖4的俯視圖。
      具體實施方式
      如圖1所示一種積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,包括卷室放 (1)、收卷室(2)和十三個積木式真空室(3),第一個和第二個真空室為離子源轟擊清洗室 (31),第三個和第十個真空室為獨立氣體隔離室(32),第四個到第九個真空室為真空濺射室(33),每個真空濺射室(33)中都裝有兩個直流濺射靶,第十一個和第十二個真空室為中頻濺射室(34),每個中頻濺射室(34)中都裝有兩個中頻濺射靶,第十三個真空室為檢測室 (35),每個積木式真空室均有獨立的真空系統(tǒng),卷室放(1)的一端與第一個積木式真空室連接,另一端與真空機組連接,收卷室(2)與第十三個積木式真空室連接,另一端與真空機組連接。如圖3-5所示積木式真空室由真空室體(36)和密封蓋(37)組成,真空室體(36) 和密封蓋(37)通過鉸鏈(38)連接;真空室體(36)的上面有開口 361,側面有供金屬條帶通過的長方形行進窗362、連接螺栓孔363和用于安裝密封圈的密封槽364,真空室與真空室之間通過連接螺栓和密封圈密封連接為一個整體,真空室體(36)側面還安裝有托輥365和行進窗調整塊366 ;密封蓋(37)上有密封圈(371)、密封件(372)和觀察窗(373)。本發(fā)明除了收、放卷室外,其余所有真空室的結構都是一樣的積木式的真空室,并采用積木式方式進行拼裝、連接,每個積木式的真空室均有獨立的真空系統(tǒng),根據(jù)工藝要求,可以安裝園柱型定向濺射旋轉靶,也可安裝平面靶,還可安裝孤源靶,還可根據(jù)工藝要求針對積木式結構的真空室進行功能拼裝與增減??傊?,這是一種新穎的、實用的、可以在金屬卷繞條帶上鍍制太陽選擇性吸收涂層的真空鍍膜設備,本發(fā)明將打破進口壟斷,使金屬條帶太陽能吸收膜國產化。本發(fā)明除了積木式真空室結構外,其內部結構同時也具有簡單實用功能。每個真空室內一托輥,托輥安裝在每個真空室的長方形行進窗的窗口下,條帶在托輥與行進窗調整塊的相互作用下保持不會跳動,金屬條帶在勻速的線速度控制和高精度的漲力控制下, 經由每個真空室行進窗的窄縫,落座在托輥上緩緩平穩(wěn)行進。因此,本發(fā)明除具有結構簡單、可靈活拼裝的特點,還可在各種卷繞條帶上鍍制各種功能膜,膜層均勻,性能穩(wěn)定,且效率高,適合大規(guī)模工業(yè)化生產。
      權利要求
      1.一種積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,包括卷室放、收卷室和積木式真空室,其特征是真空室分別為離子源轟擊清洗室、獨立氣體隔離室、真空濺射室、中頻濺射室和檢測室,每個積木式真空室均有獨立的真空系統(tǒng),卷室放的一端與第一個積木式真空室連接,另一端與真空機組連接,收卷室與最后一個積木式真空室連接,另一端與真空機組連接。
      2.根據(jù)權利要求1所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是積木式真空室有十三個,第一個和第二個真空室為離子源轟擊清洗室,第三個和第十個真空室為獨立氣體隔離室,第四個到第九個真空室為真空濺射室,每個真空濺射室中都裝有兩個直流濺射靶,第十一個和第十二個真空室為中頻濺射室,每個中頻濺射室中都裝有兩個中頻濺射靶,第十三個真空室為檢測室。
      3.根據(jù)權利要求1或2所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是積木式真空室由真空室體和密封蓋組成,真空室體和密封蓋通過鉸鏈連接;真空室體的上面有開口,側面有供金屬條帶通過的長方形行進窗、連接螺栓孔和用于安裝密封圈的密封槽,真空室與真空室之間通過連接螺栓和密封圈密封連接為一個整體。
      4.根據(jù)權利要求3所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是真空室體側面還安裝有托輥。
      5.根據(jù)權利要求3所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是真空室體側面還安裝有行進窗調整塊。
      6.根據(jù)權利要求3所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是密封蓋有密封圈。
      7.根據(jù)權利要求3所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是密封蓋有密封件。
      8.根據(jù)權利要求3所述的積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,其特征是密封蓋有觀察窗。
      全文摘要
      一種積木式結構的金屬條帶連續(xù)卷繞真空鍍膜設備,包括卷室放(1)、收卷室(2)和十三個積木式真空室(3),第一、二個真空室為離子源轟擊清洗室(31),第三個和第十個真空室為獨立氣體隔離室(32),第四個到第九個真空室為真空濺射室(33),第十一、十二個真空室為中頻濺射室(34),第十三個真空室為檢測室(35),卷室放(1)的一端與第一個積木式真空室連接,收卷室(2)與第十三個積木式真空室連接。本發(fā)明由于真空室采用積木式結構,可以根據(jù)工藝要求進行真空室功能拼裝與增減,有利于達到工藝所需要求,與現(xiàn)有技術相比,具有結構新穎、簡單、實用等特點,金屬條帶上的膜層質量的穩(wěn)定,節(jié)省原材料及能耗,可長時間連續(xù)鍍膜生產,效率高,適合大規(guī)模工業(yè)化生產。
      文檔編號C23C14/56GK102230164SQ201110193478
      公開日2011年11月2日 申請日期2011年7月12日 優(yōu)先權日2011年7月12日
      發(fā)明者李云松, 李云程, 李綱, 顏朝陽 申請人:湖南菲爾姆光能有限公司
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