專利名稱：從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置。在硅晶片的加工工序中，將硅錠切割成塊狀，并且用切片鋸、線鋸等將切割后的硅塊切割成晶片狀之后，對所切割的晶片實施磨削、研磨等，加工成具有所需要的表面特性的規(guī)定厚度以及口徑的晶片。 在這樣的硅晶片的加工工序中，切害I]、磨削以及研磨等多種加工場合中，使用冷卻劑以及磨粒例如含有碳化硅(SiC)的研磨漿，其結(jié)果，排出除了這些之外還含有從硅錠、硅塊、晶片等被去除下來的硅粒的已使用研磨漿。在該已使用研磨漿自身中含有有用的磨粒、硅粒以及冷卻劑等成分，因此希望將其回收并再利用。本實用新型涉及從如上所述的已使用研磨漿中短時間內(nèi)有效地回收有用成分的裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為從自如上所述的硅晶片加工工序中排出的已使用研磨漿中回收有用成分的裝置，公開了如下裝置將兩臺離心分離機(jī)串聯(lián)連接，并將已使用研磨漿供給至上游側(cè)的以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的初級離心分離機(jī)進(jìn)行處理之后，將在此分離的液態(tài)成分供給至下游側(cè)的以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的次級離心分離機(jī)進(jìn)行處理，在初級離心分離機(jī)中回收磨粒作為固態(tài)成分，另一方面，在次級離心分離機(jī)中回收硅粒作為固態(tài)成分，并且回收冷卻劑作為液態(tài)成分(例如，參照日本專利文獻(xiàn)1至6)。但是，由于在這樣的以往裝置中，考慮到兩臺離心分離機(jī)的維護(hù)管理，使用相同的離心分離機(jī)作為上游側(cè)的初級離心分離機(jī)以及下游側(cè)的次級離心分離機(jī)，因此，同以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的初級離心分離機(jī)相比，以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的次級離心分離機(jī)的處理量變低，其結(jié)果，存在整個處理需要較長時間的問題。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1日本特開平8-39430號公報專利文獻(xiàn)2日本特開2001-277115號公報專利文獻(xiàn)3日本特開2006-256894號公報專利文獻(xiàn)4日本特開2007-246366號公報專利文獻(xiàn)5日本特開2007-246367號公報專利文獻(xiàn)6日本特開2010-82568號公報

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的問題是，提供一種從自硅晶片加工工序中排出的已使用研磨漿中，經(jīng)由初級離心分離機(jī)以及次級離心分離機(jī)回收有用成分的裝置，能夠短時間內(nèi)有效地回收有用成分。解決上述間題的本實用新型涉及從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置，其將從硅晶片的加工工序中排出的已使用研磨漿供給至以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的初級離心分離機(jī)以及連接在該初級離心分離機(jī)下游側(cè)的以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的次級離心分離機(jī)，從該已使用研磨漿中回收有用成分，其中，該回收裝置構(gòu)成為對于一臺初級離心分離機(jī)并聯(lián)連接多臺次級離心分離機(jī)，將由該一臺初級離心分離機(jī)處理并分離的液態(tài)成分分配給該多臺次級離心分離機(jī)進(jìn)行處理。本實用新型涉及的從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置(以下，簡稱為 “本實用新型的回收裝置”)，也可以具備初級離心分離機(jī)以及次級離心分離機(jī)，將從如上所述的硅晶片加工工序中排出的已使用研磨漿，供給至以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的初級離心分離機(jī)以及連接在該初級離心分離機(jī)下游側(cè)的以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的次級離心分離機(jī)，從該已使用研磨漿中回收有用成分。本實用新型的回收裝置也可以構(gòu)成為對于一臺初級離心分離機(jī)具備多臺次級離心分離機(jī)，多臺次級離心分離機(jī)并聯(lián)連接，將如上所述的已使用研磨漿供給至初級離心分離機(jī)而分離為固態(tài)成分和液態(tài)成分之后，將在此分離的液態(tài)成分分配給多臺次級離心分離機(jī)，在各次級離心分離機(jī)中進(jìn)一步分離為固態(tài)成分和液態(tài)成分，從而回收已分離的初級離心分離機(jī)的固態(tài)成分、各次級離心分離機(jī)的固態(tài)成分以及液態(tài)成分。雖然也依賴于根據(jù)運(yùn)轉(zhuǎn)時施加于初級離心分離機(jī)的離心力或施加于各次級離心分離機(jī)的離心力而受到影響的初級離心分離機(jī)的處理能力或各次級離心分離機(jī)的處理能力，但是，例如在各次級離心分離機(jī)的處理能力為初級離心分離機(jī)的1/2的情況下，對于一臺初級離心分離機(jī)并聯(lián)連接二臺次級離心分離機(jī)。如果這樣，由初級離心分離機(jī)分離的液態(tài)成分不會滯留在初級離心分離機(jī)和次級離心分離機(jī)之間，從而能夠在短時間內(nèi)有效地進(jìn)行整個處理。在本實用新型的回收裝置中，作為初級離心分離機(jī)以及次級離心分離機(jī)，分離固體液體的分離機(jī)自身可以使用公知的各種形式的離心分離機(jī)，但是，一般優(yōu)選使用水平放置(或者橫型)的沉降型(或者螺旋沉降型(ScrewDecanter))連續(xù)式離心分離機(jī)，考慮到各離心分離機(jī)的維護(hù)管理，例如若具備部件的互換性會使檢查、修理、更換等變得容易，因此優(yōu)選都使用相同的離心分離機(jī)。另外，在本實用新型的回收裝置中，優(yōu)選的是，對于一臺初級離心分離機(jī)經(jīng)由切換閥并聯(lián)連接多臺接收由該一臺初級離心分離機(jī)處理并分離的固態(tài)成分的收集罐。接收由初級離心分離機(jī)從已使用研磨漿中處理并分離的固態(tài)成分的收集罐，一般作為為了再使用而具備的調(diào)節(jié)收集罐使用，這樣的收集罐配備攪拌機(jī)、另外在需要時還具備加熱或者冷卻單元，從而能夠供給由次級離心分離機(jī)處理并分離的液態(tài)成分、或新追加的液態(tài)成分等。從硅晶片加工工序中排出的已使用研磨漿的情況下，將由初級離心分離機(jī)作為固態(tài)成分分離的磨粒、例如SiC粒接收到收集罐中，但是，對該收集罐供給由次級離心分離機(jī)作為液態(tài)成分分離的冷卻劑或新追加的冷卻劑，在該收集罐中將所需量的磨粒和冷卻劑進(jìn)行混合而提供給再使用。如果對于一臺初級離心分離機(jī)經(jīng)由切換閥并聯(lián)連接多臺這樣的收集罐，則即使在一個收集罐為了再使用而如上所述地進(jìn)行調(diào)節(jié)的期間，也能夠使初級離心分離機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)并且將從中分離的固態(tài)成分接收到其他收集罐中，其結(jié)果，能夠在更短時間內(nèi)有效地進(jìn)行已使用研磨漿的處理和有用成分的回收。根據(jù)本實用新型的回收裝置，具有能夠從自硅晶片加工工序中排出的已使用研磨漿中，短時間內(nèi)有效地回收有用成分的效果。
圖1是將本實用新型的回收裝置的一部分用方框表示的整體結(jié)構(gòu)圖。附圖標(biāo)記說明11:初級離心分離機(jī)；21、22 次級離心分離機(jī)；31 35 收集罐；41 45 泵；51 53:切換閥。
具體實施方式
圖1是將本實用新型的回收裝置的一實施例的一部分用方框表示的整體結(jié)構(gòu)圖。 在圖1中，11表示初級離心分離機(jī)，21、22表示次級離心分離機(jī)，31 35表示收集罐，41 45表示泵，51 53表示切換閥，61 64表示攪拌機(jī)。在圖1的回收裝置的情況下，對于上游側(cè)的一臺初級離心分離機(jī)11，在下游側(cè)并聯(lián)連接有兩臺次級離心分離機(jī)21、22。經(jīng)由泵41將含有從硅晶片的加工工序中排出的冷卻劑、磨粒以及硅粒的已使用研磨漿供給至以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的一臺初級離心分離機(jī) 11，分離成作為固態(tài)成分的磨粒和作為液態(tài)成分的冷卻劑以及硅粒的混合物之后，將所分離的作為固態(tài)成分的磨粒經(jīng)由切換閥51接收到收集罐31中，另外，將作為液態(tài)成分的冷卻劑以及硅粒的混合物接收到收集罐33中。另外，將接收到收集罐33的作為液態(tài)成分的冷卻劑以及硅粒的混合物用攪拌機(jī) 63攪拌的同時，經(jīng)由泵42、43分配給以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的兩臺次級離心分離機(jī)21、22， 并通過各次級離心分離機(jī)21、22進(jìn)一步分離成作為固態(tài)成分的硅粒和作為液態(tài)成分的冷卻劑之后，將所分離的作為固態(tài)成分的硅粒接收到收集罐34中，并且將作為液態(tài)成分的冷卻劑接收到收集罐35中。然后，如果在一定時間內(nèi)連續(xù)進(jìn)行以上的處理，則在收集罐31中積存所需量的磨粒，因此將接收到收集罐35而積存的作為液態(tài)成分的冷卻劑用攪拌機(jī)64攪拌的同時，經(jīng)由泵44以及切換閥52供給至收集罐31，另外，將不足部分的新冷卻劑經(jīng)由泵45以及切換閥 53供給至收集罐31，在收集罐31中用攪拌機(jī)61攪拌的同時，混合所需量的磨粒和冷卻劑并提供給再使用。為了供給再使用而在如上所述的調(diào)節(jié)中使用收集罐31的期間，切換切換閥51，將由初級離心分離機(jī)11分離的作為固態(tài)成分的磨粒，接收到對于初級離心分離機(jī)11 同收集罐31并聯(lián)連接的收集罐32中。以下是以上記述的重復(fù)，在圖1的回收裝置的情況下，一臺初級離心分離機(jī)11以及兩臺次級離心分離機(jī)21、22全都使用相同的水平放置的沉降型連續(xù)式離心分離機(jī)。
權(quán)利要求1.一種從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置，將從硅晶片的加工工序中排出的已使用研磨漿供給至以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的初級離心分離機(jī)以及連接在該初級離心分離機(jī)下游側(cè)的以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的次級離心分離機(jī)，從該已使用研磨漿中回收有用成分，其特征在于，該回收裝置構(gòu)成為對于一臺初級離心分離機(jī)并聯(lián)連接多臺次級離心分離機(jī)，將由該一臺初級離心分離機(jī)處理并分離的液態(tài)成分分配給該多臺次級離心分離機(jī)進(jìn)行處理。
2.如權(quán)利要求1所述的從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置，其特征在于， 一臺初級離心分離機(jī)以及多臺次級離心分離機(jī)均為相同的沉降型連續(xù)式離心分離機(jī)。
3.如權(quán)利要求1或2所述的從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置，其特征在于， 對于一臺初級離心分離機(jī)，經(jīng)由切換閥并聯(lián)連接多臺接收由該一臺初級離心分離機(jī)處理并分離的固態(tài)成分的收集罐。
專利摘要本實用新型提供一種從已使用研磨漿中回收有用成分的回收裝置，從硅晶片加工工序中排出的已使用研磨漿中，經(jīng)由初級離心分離機(jī)以及次級離心分離機(jī)能夠短時間內(nèi)有效地回收有用成分的回收裝置。其結(jié)構(gòu)是，對于以相對低的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的一臺離心分離機(jī)并聯(lián)連接多臺以相對高的離心力運(yùn)轉(zhuǎn)的次級離心分離機(jī)，將由該一臺初級離心分離機(jī)處理并分離的液態(tài)成分分配給該多臺次級離心分離機(jī)進(jìn)行處理。
文檔編號B24B57/00GK202106307SQ201120054049
公開日2012年1月11日 申請日期2011年3月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月30日
發(fā)明者保木口洋平, 岡篤, 小出晃子, 森永義備, 都筑悠介 申請人:聯(lián)合科技株式會社