專(zhuān)利名稱(chēng)：成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型與薄膜太陽(yáng)能電池的技術(shù)領(lǐng)域有關(guān)，特別是有關(guān)于一種成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)。
技術(shù)背景薄膜太陽(yáng)能電池是一種能量轉(zhuǎn)換的光電元件，它是經(jīng)由太陽(yáng)光照射后，把光的能量轉(zhuǎn)換成電能，此種光電元件稱(chēng)為太陽(yáng)能電池(Solar Cell)。從物理學(xué)的角度來(lái)看，有人稱(chēng)的為光伏(Thin Film Photovoltaic,簡(jiǎn)稱(chēng) PV)電池。而太陽(yáng)能薄膜基板表面必須保持平整材不致于影響光線的傳輸，然而在太陽(yáng)能薄膜基板的生產(chǎn)制程過(guò)程中，為了對(duì)生產(chǎn)中的太陽(yáng)能薄膜基板進(jìn)行品質(zhì)的檢測(cè)，同時(shí)為了不會(huì)影響或破壞太陽(yáng)能薄膜基板的表面，通常都必須使用非接觸式的方法進(jìn)行檢測(cè)，例如以四點(diǎn)探針?lè)绞竭M(jìn)行片阻值分析；但是這對(duì)生產(chǎn)良率實(shí)質(zhì)上的貢獻(xiàn)并不大。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的，在于解決上述的問(wèn)題而提供一種在生產(chǎn)與運(yùn)送的同時(shí)，可通過(guò)檢測(cè)具有與該批太陽(yáng)能薄膜基板相同制程條件的經(jīng)裁切的小尺寸基板，以獲悉該批太陽(yáng)能薄膜基板良率的成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)。為達(dá)前述的目的，本實(shí)用新型提供一種成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)，其包括一盤(pán)體，具有一第一側(cè)及一第二側(cè)，該第一側(cè)處具有與該第一側(cè)軸向平行并朝下的一第一垂直缺口，該第二側(cè)處具有該第二側(cè)軸向平行并朝上的一第二垂直缺口，其中該盤(pán)體具有一生產(chǎn)置放區(qū)及一測(cè)試置放區(qū)，該生產(chǎn)置放區(qū)鄰近該第二側(cè)設(shè)置，該生產(chǎn)置放區(qū)設(shè)置有具有一預(yù)定尺寸的至少一第一凹槽，供相對(duì)該第一凹槽的尺寸與數(shù)量的太陽(yáng)能薄膜基板容置，該測(cè)試置放區(qū)鄰近該第一側(cè)設(shè)置，該測(cè)試置放區(qū)設(shè)置有相對(duì)應(yīng)該第一凹槽數(shù)量的至少一第二凹槽，供具有與該太陽(yáng)能薄膜基板相同的一電路設(shè)計(jì)的一經(jīng)裁切的預(yù)定尺寸基板容置。本實(shí)用新型的上述及其他目的與優(yōu)點(diǎn)，不難從下述所選用實(shí)施例的詳細(xì)說(shuō)明與附圖中，獲得深入了解。當(dāng)然，本實(shí)用新型在某些零件上，或零件的安排上容許有所不同，但所選用的實(shí)施例，則于本說(shuō)明書(shū)中，予以詳細(xì)說(shuō)明，并于附圖中展示其構(gòu)造。

圖I表示本實(shí)用新型成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2表示本實(shí)用新型成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)裝設(shè)有太陽(yáng)能薄膜基板及相對(duì)應(yīng)經(jīng)裁切的小尺寸基板的結(jié)構(gòu)分解示意圖；圖3表示本實(shí)用新型成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)裝設(shè)有太陽(yáng)能薄膜基板及相對(duì)應(yīng)經(jīng)裁切的小尺寸基板的首lJ視不意圖；[0012]圖4表示本實(shí)用新型多個(gè)成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)相互接合的示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明10_成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)；10’-成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)；10”-成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)；1-盤(pán)體；11-第一側(cè)；12-第二側(cè)；2_第一垂直缺口 ；3_第二垂直缺口 ；4_生產(chǎn)置放區(qū)；41_第一凹槽；5_測(cè)試置放區(qū)；51_第二凹槽；6_太陽(yáng)能薄膜基板；7_經(jīng)裁切的小尺寸基板。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)同時(shí)參考圖I至圖4，其中，圖I表示本實(shí)用新型成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2表示本實(shí)用新型成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)裝設(shè)有太陽(yáng)能薄膜基板及相對(duì)應(yīng)經(jīng)裁切的小尺寸基板的結(jié)構(gòu)分解示意圖，圖3表示本實(shí)用新型成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)裝設(shè)有太陽(yáng)能薄膜基板及相對(duì)應(yīng)經(jīng)裁切的小尺寸基板的剖視示意圖，圖4表示本實(shí)用新型多個(gè)成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)相互接合的示意圖。本實(shí)用新型的成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)10具有一盤(pán)體1，具有一第一側(cè)11及一第二側(cè)12，第一側(cè)11處具有與第一側(cè)11軸向平行并朝下的一第一垂直缺口 2，第二側(cè)12處具有第二側(cè)12軸向平行并朝上的一第二垂直缺口 3,其中,第一垂直缺口 2及第二垂直缺口 3供前后鄰近的各托盤(pán)10’及10”進(jìn)行相對(duì)應(yīng)的接合(如圖4所示)。再者,盤(pán)體I具有一生產(chǎn)置放區(qū)4及一測(cè)試置放區(qū)5,生產(chǎn)置放區(qū)4鄰近第二側(cè)12設(shè)置，并設(shè)置有具有一預(yù)定尺寸的至少一第一凹槽41，供相對(duì)第一凹槽41的尺寸與數(shù)量的太陽(yáng)能薄膜基板6容置，測(cè)試置放區(qū)5鄰近第一側(cè)11設(shè)置，并設(shè)置有相對(duì)應(yīng)第一凹槽41數(shù)量的至少一第二凹槽51，供具有與太陽(yáng)能薄膜基板6相同的一電路設(shè)計(jì)的一經(jīng)裁切的小尺寸基板7容置。其中，上述的預(yù)定尺寸可根據(jù)生產(chǎn)所需而設(shè)計(jì)，若是太陽(yáng)能薄膜基板6為大尺寸，則第一凹槽41的數(shù)量則可僅為一個(gè)，而第二凹槽51的數(shù)量亦相對(duì)應(yīng)為一個(gè)；若是太陽(yáng)能薄膜基板6為中尺寸，則第一凹槽41的數(shù)量則可為二或四個(gè)(如圖2所示，以此為例說(shuō)明，但并不以此為限)，且第二凹槽51的數(shù)量亦相對(duì)應(yīng)可為二到四個(gè)；依此類(lèi)推。故而在生產(chǎn)時(shí)，亦即托盤(pán)10由第二側(cè)12朝第一側(cè)方向運(yùn)送時(shí)，在生產(chǎn)與運(yùn)送太陽(yáng)能薄膜基板6的同時(shí)，能對(duì)設(shè)置在第二凹槽51中的經(jīng)裁切的小尺寸基板7進(jìn)行接觸性的檢測(cè)，而不會(huì)影響到整個(gè)生產(chǎn)制程，以及避免破壞太陽(yáng)能薄膜基板6的表面而影響制程良率，同時(shí)可通過(guò)檢測(cè)從生產(chǎn)該批太陽(yáng)能薄膜基板6中所具有相同制程條件的經(jīng)裁切的小尺寸基板7，以知悉所生產(chǎn)的太陽(yáng)能薄膜基板6的電路狀況，由此以獲悉該批太陽(yáng)能薄膜基板6的制程良率。以上所述實(shí)施例的揭示用以說(shuō)明本實(shí)用新型，并非用以限制本實(shí)用新型，故舉凡數(shù)值的變更或等效元件的置換仍應(yīng)隸屬本實(shí)用新型的范疇。 由以上詳細(xì)說(shuō)明，可使熟知本項(xiàng)技藝者明了本實(shí)用新型的確可達(dá)成前述目的，實(shí)已符合專(zhuān)利法的規(guī)定，爰提出專(zhuān)利申請(qǐng)。
權(quán)利要求1.一種成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)，其包括一盤(pán)體，具有一第一側(cè)及一第二側(cè)，該第一側(cè)處具有與該第一側(cè)軸向平行并朝下的一第一垂直缺口，該第二側(cè)處具有該第二側(cè)軸向平行并朝上的一第二垂直缺口，其特征在于 該盤(pán)體具有一生產(chǎn)置放區(qū)及一測(cè)試置放區(qū)，該生產(chǎn)置放區(qū)鄰近該第二側(cè)設(shè)置，該生產(chǎn)置放區(qū)設(shè)置有具有一預(yù)定尺寸的至少一第一凹槽，供相對(duì)該第一凹槽的尺寸與數(shù)量的太陽(yáng)能薄膜基板容置，該測(cè)試置放區(qū)鄰近該第一側(cè)設(shè)置，該測(cè)試置放區(qū)設(shè)置有相對(duì)應(yīng)該第一凹槽數(shù)量的至少一第二凹槽，供具有與該太陽(yáng)能薄膜基板相同的一電路設(shè)計(jì)的一經(jīng)裁切的預(yù)定尺寸基板容置。
專(zhuān)利摘要一種成膜測(cè)機(jī)托盤(pán)，包括具有第一側(cè)及第二側(cè)的盤(pán)體，第一側(cè)處具有與其軸向平行并朝下的第一垂直缺口，第二側(cè)處具有其軸向平行并朝上的第二垂直缺口，盤(pán)體更具有生產(chǎn)置放區(qū)及測(cè)試置放區(qū)，生產(chǎn)置放區(qū)鄰近第二側(cè)設(shè)置，并設(shè)置有具有預(yù)定尺寸的至少一第一凹槽以供相對(duì)第一凹槽的尺寸與數(shù)量的太陽(yáng)能薄膜基板容置，測(cè)試置放區(qū)鄰近第一側(cè)設(shè)置，并設(shè)置有相對(duì)應(yīng)第一凹槽數(shù)量的至少一第二凹槽以供具有與太陽(yáng)能薄膜基板相同的電路設(shè)計(jì)的經(jīng)裁切的小尺寸基板容置；由此直接對(duì)經(jīng)裁切的小尺寸基板進(jìn)行接觸性檢測(cè)，避免破壞太陽(yáng)能薄膜基板及影響制程良率。
文檔編號(hào)C23C16/458GK202363507SQ201120486248
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月16日
發(fā)明者黃庭輝 申請(qǐng)人:豪客能源科技股份有限公司