專利名稱：平板式pecvd專用鍍膜掛件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種平板式PECVD專用鍍膜掛件。
背景技術(shù)：
利用太陽(yáng)能電池發(fā)電是解決能源問(wèn)題和環(huán)境問(wèn)題的重要途徑之一。目前，80%以上的太陽(yáng)能電池是由晶體硅材料制備而成的，制備高效率低成本的晶體硅太陽(yáng)能電池對(duì)于大規(guī)模利用太陽(yáng)能發(fā)電有著十分重要的意義。減反射膜的制備和氫鈍化是制備高效率的晶體硅太陽(yáng)能電池的非常重要エ序之一。 PECVD鍍膜分為管式PECVD鍍膜和平板式PECVD鍍膜，后者的成本稍低ー些，一般使用較多?，F(xiàn)有的平板式PECVD鍍膜一般采用U形掛鉤(如圖I所示)，這樣形狀的掛鉤在硅片表面留下的鉤子印面積較大，影響電池的轉(zhuǎn)換效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了減少硅片表面留下的鉤子印面積，提高電池轉(zhuǎn)換效率，本發(fā)明提供ー種平板式PECVD專用鍍膜掛件。本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是ー種平板式PECVD專用鍍膜掛件，該掛件呈平板式框架結(jié)構(gòu)，所述的框架結(jié)構(gòu)為上面開ロ的矩形框，其兩側(cè)底部對(duì)稱設(shè)置有V形掛鉤。進(jìn)一歩，具體的，為了便于鍍膜，所述的V形掛鉤的兩壁分別為V形掛鉤的第一側(cè)和V形掛鉤的第二側(cè)，V形掛鉤的第一側(cè)的內(nèi)壁與所述的矩形框的外壁在同一直線上，且為一體結(jié)構(gòu)，所述的V形掛鉤的第二側(cè)的厚度d向端部逐漸遞減至零。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的平板式PECVD專用鍍膜掛件，采用V形掛鉤，與現(xiàn)有的U形掛鉤相比，一方面減小了掛鉤體積，節(jié)約原材料，降低成本；另ー方面，減少了硅片表面的鍍膜鉤子印面積，提升了電池的轉(zhuǎn)換效率。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)ー步說(shuō)明。圖I是現(xiàn)有平板式PECVD鍍膜的U形掛鉤。圖2是本發(fā)明的平板式PECVD專用鍍膜掛件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖2中A處的放大圖。圖中1、矩形框，1-1、V形掛鉤，1-1-1、V形掛鉤的第一側(cè)，1-1-2、V形掛鉤的第二偵れ
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)ー步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
如圖2、3所示，是本發(fā)明平板式PECVD專用鍍膜掛件的最優(yōu)實(shí)施例，掛件呈平板式框架結(jié)構(gòu)，框架結(jié)構(gòu)為上面開ロ的矩形框I，其兩側(cè)底部對(duì)稱設(shè)置有V形掛鉤1-1。V形掛鉤1-1的兩壁分別為V形掛鉤的第一側(cè)1-1-1和V形掛鉤的第二側(cè)1-1-2，V形掛鉤的第一側(cè)1-1-1的內(nèi)壁與所述的矩形框I的外壁在同一直線上，且為一體結(jié)構(gòu)，所述的V形掛鉤的第ニ側(cè)1-1-2的厚度d向端部逐漸遞減至零。以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多祥的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書上的內(nèi)容，必須要根 據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求
1.一種平板式PECVD專用鍍膜掛件，該掛件呈平板式框架結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的框架結(jié)構(gòu)為上面開口的矩形框(I )，其兩側(cè)底部對(duì)稱設(shè)置有V形掛鉤(1-1 )。
2.如權(quán)利要求I所述的平板式PECVD專用鍍膜掛件，其特征在于所述的V形掛鉤(1-1)的兩壁分別為V形掛鉤的第一側(cè)(1-1-1)和V形掛鉤的第二側(cè)(1-1-2)，V形掛鉤的第一側(cè)(1-1-1)的內(nèi)壁與所述的矩形框(I)的外壁在同一直線上，且為一體結(jié)構(gòu)，所述的V形掛鉤的第二側(cè)(1-1-2)的厚度d向端部逐漸遞減至零。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板式PECVD專用鍍膜掛件。該掛件呈平板式框架結(jié)構(gòu)，所述的框架結(jié)構(gòu)為上面開口的矩形框，其兩側(cè)底部對(duì)稱設(shè)置有V形掛鉤。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的平板式PECVD專用鍍膜掛件，采用V形掛鉤，與現(xiàn)有的U形掛鉤相比，一方面減小了掛鉤體積，節(jié)約原材料，降低成本；另一方面，減少了硅片表面的鍍膜鉤子印面積，提升了電池的轉(zhuǎn)換效率。
文檔編號(hào)C23C16/458GK102766856SQ20121026425
公開日2012年11月7日 申請(qǐng)日期2012年7月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月27日
發(fā)明者郭友斌 申請(qǐng)人:常州億晶光電科技有限公司